JP2012098110A - 放射線検出器及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可視光を電気信号に変換する光電変換素子を含む画素1が基板2上の面方向に多数配列されたセンサーパネル5と、センサーパネル5の光電変換素子上に設けられ、放射線を可視光に変換するタリウム賦活ヨウ化セシウム蛍光体層6とを有する放射線検出器10において、タリウム賦活ヨウ化セシウム蛍光体層6中の膜厚方向のタリウム濃度は、センサーパネル5側に近づくに従って大きくなっている。
【選択図】図1
Description
2:ガラス基板
3:有機膜
5:センサーパネル
6:CsI/Tl蛍光体層
7:反射膜層
8:防湿層
10:放射線検出器
12:CsI用るつぼ
13:TlI用るつぼ
14:真空蒸着装置
Claims (3)
- 可視光を電気信号に変換する光電変換素子を含む画素が基板上の面方向に多数配列されたセンサーパネルと、前記センサーパネルの前記光電変換素子上に設けられ、放射線を可視光に変換するタリウム賦活ヨウ化セシウム蛍光体層とを有する放射線検出器において、
前記蛍光体層中の膜厚方向のタリウム濃度は、前記センサーパネル側に近づくに従って大きくなっていることを特徴とする放射線検出器。 - 真空蒸着装置内に、光電変換素子を含む画素が基板上の面方向に多数配列されたセンサーパネルを配置し、前記センサーパネルの蛍光体層形成面に対向して、タリウム賦活ヨウ化セシウム蛍光体層の原料となるヨウ化セシウムとヨウ化タリウムを別々に収納したるつぼを配置し、るつぼを加熱させることにより、前記センサーパネル上にタリウム賦活ヨウ化セシウム蛍光体層を形成する放射線検出器の製造方法において、
前記ヨウ化セシウムが収納されているるつぼにも、ヨウ化タリウムを収納することを特徴とする放射線検出器の製造方法。 - 前記ヨウ化セシウムが収納されているるつぼの底部に、ヨウ化タリウムを収納することを特徴とする請求項2記載の放射線検出器の製造方法。
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