JP2014216502A - 光電変換素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
一方、非晶質セレンを成膜後、加熱によって一様に結晶化を行った結晶セレンは、前記非晶質セレンにおける問題点を克服し、可視光全域での高い感度特性と素子の熱的な安定性を有する。非晶質セレンの結晶化は、非晶質セレンの成膜中や成膜後の加熱処理により行われる。(例えば、非特許文献1、特許文献1参照)。
このような増倍手法の一つに、例えば、特許文献2に、アバランシェ増倍を可能とする非晶質セレンを使った光電変換膜を用いる方法が開示されてある。
また、非特許文献2には、無機材料(非晶質シリコン)を使用したアバランシェ増倍型光電変換膜が開示されている。
なお、注入増倍とは、光入射量に応じた信号電荷に加えて外部電極から電荷を注入することで、信号電流を増倍する方法である。
また実用的には、さらに印加電圧を下げることが望まれており、低電圧でも高感度の光電変換素子が要望されている。
また、非特許文献2に記載の光電変換膜においても、一定以上の印加電圧が必要である上、飛躍的に高い量子効率を得ることが難しい問題があった。
また、特許文献3及び4に記載の光電変換素子は有機膜材料を使用したものであるため、光照射や大気暴露などにおける耐久性が課題であった。
しかし、本発明者らが検討した結果、結晶化させる際の加熱方法やその条件により、その後得られる光電変換素子の特性、特に量子効率や成膜性において良好な効果を得ることができない場合があることが分かった。
そこで、本発明者はさらに鋭意検討した結果、非晶質の材料を成膜した後に加熱する際、加熱温度を所定の温度範囲とすることにより、暗電流の増大を抑制するとともに、優れた量子効率を得られることを見出した。
[2]上記[1]に記載の光電変換素子の製造方法において、前記加熱温度を70℃〜200℃、前記加熱時間を10分〜5時間とすることを特徴とする
[3]上記[1]または[2]に記載の光電変換素子の製造方法において、前記正孔取り出し電極の膜厚を、5〜1000nmとすることを特徴とする。
[4]上記[1]〜[3]に記載の光電変換素子の製造方法において、光電変換層の膜厚を、0.1〜300μmとすることを特徴とする
[5]上記[1]〜[4]の何れか一項に記載の光電変換素子の製造方法において、前記第2導電材料が、ITO、Au、IT(インジウム錫)、ZnO、Zn、Al、ステンレス鋼、InO、In、NiO、Ni、IZO、Ti、Pt、Agの群から選択されたものであることを特徴とする。
[6]上記[1]〜[5]の何れか一項に記載の光電変換素子の製造方法において、前記第1導電材料が、Au、ITO、IT(インジウム錫)、ZnO、Zn、Al、ステンレス鋼、InO、In、NiO、Ni、IZO、Ti、Pt、Agの群から選択されたものであることを特徴とする。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴を分かりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。また、以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに必ずしも限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
まず、本実施形態に係る光電変換素子の製造方法について図1を参照しながら説明する。なお、図1は、本実施形態の製造方法により得られる光電変換素子の断面模式図である。
本実施形態に係る光電変換素子10の製造方法は、図1に示すように、基板1上に、第1導電材料からなる正孔取り出し電極2及び非晶質セレン3´を順に成膜し、続いて非晶質セレン3´上に第2導電材料からなる電子取り出し電極4を成膜した後、正孔取り出し電極2、非晶質セレン3´及び電子取り出し電極4を、不活性ガス雰囲気中において、70〜250℃の加熱温度で1分〜5時間加熱することにより、非晶質セレン3´を結晶化させて結晶セレンからなる光電変換層3を形成することを特徴とする。
以下、上記製造方法における条件等について具体的に説明する。
第1導電材料としては、特に限定しないが、Au、ITO、IT(インジウム錫)、ZnO、Zn、Al、ステンレス鋼、InO、In、NiO、Ni、IZO、Ti、Pt、Agを用いることができ、特に電極の表面粗さの観点からAu、Al、ITOを用いることが好ましい。
正孔取り出し電極2の膜厚については、用いる材料により適宜選択可能であるが、5〜1000nmとすることができる。
ここで、正孔取り出し電極2の膜厚は、正孔取り出し電極2自体の表面形状(表面粗さ)に影響を及ぼし、膜厚が大きければ表面形状は粗くなる。そして、正孔取り出し電極2の表面形状は、その上に形成する光電変換層3の平坦性へ大きく影響を及ぼし、その結果、量子効率に対しても影響を及ぼすこととなる。本発明者らは、この正孔取り出し電極2の表面形状と量子効率の関係に着目し検討した結果、そのメカニズムについては未だ解明できていないが、正孔取り出し電極2の粗さを粗くするほど、高い量子効率を確保できることが分かった。そして、表面粗さが大きな正孔取り出し電極2を形成するためには、正孔取り出し電極2の膜厚を5〜1000nmの範囲内とすることで達成できることが分かった。
なお、基板1としては、特に限定せず光電変換素子10を搭載するデバイスにより適宜選択可能である。具体的には、ガラス基板、ファイバー基板、アクリル基板、シリコン基板、ベリリウム基板等を例示できる。
非晶質セレン3´は、後工程において加熱することで結晶化させ六方晶構造である結晶セレンとされるため、膜厚が0.1〜300μmである結晶セレン(光電変換層3)を得られるよう非晶質セレン3´を成膜する。
光電変換層3の膜厚を薄くしすぎると、非晶質セレン3´の成膜条件が過酷なものとなり製造コストの懸念が生じるほか、成膜状態が不安定となるおそれがあるため、光電変換層3の膜厚を0.1μm以上とすることが好ましい。一方、光電変換層3は、膜厚が厚いほど量子効率は増大する傾向にあるが、膜厚を過剰に厚くすると成膜状態が不均一となり、得られる量子効率にばらつきが生じ、結果、素子特性が不安定となるおそれがある。そのため、光電変換層3の膜厚を300μm以下とすることが好ましい。
非晶質セレン3´の成膜方法は特に限定しないが、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法等の方法で成膜することができる。
第2導電材料としては、特に限定しないが、Au、ITO、IT(インジウム錫)、ZnO、Zn、Al、ステンレス鋼、InO、In、NiO、Ni、IZO、Ti、Pt、Agを例示できる。なお、光電変換素子10は電子取り出し電極4側から光が入射するため、電子取り出し電極4は透明性の導電材料であることが好ましいため、第2導電材料として、ITO、ZnO、IZOを用いることが好ましい。
電子取り出し電極4の膜厚については、用いる材料により適宜選択可能であるが、透明性の導電材料を用いた場合には、5〜1000nmとすることができる。
具体的には、まず、不活性ガス雰囲気に置換された加熱炉内において、基板1上に正孔取り出し電極2、非晶質セレン3´及び電子取り出し電極4が形成された構造体を設置する。続いて、加熱温度70〜250℃の範囲内で、1分〜5時間加熱する。なお、加熱時間は、前記加熱温度に達した時点からを有効加熱時間とする。
従来では、非晶質セレンを成膜し、結晶化させた後に第2導電材料を成膜していたが、このような従来の方法では、結晶化させた結晶セレンにおいて膜剥がれが生じるおそれがあった。従って、本実施形態では、非晶質セレン3´上に第2導電材料を成膜した後に加熱して非晶質セレン3´を結晶させることが重要である。このように、非晶質セレン3´上に第2導電材料を成膜した上で非晶質セレン3´を結晶させることによって、非晶質セレン3´上に成膜した第2導電材料の適度な自重、つまり第2導電材料によって非晶質セレン3´を押さえつけた状態とすることにより、非晶質セレン3´を結晶化させる際に、非晶質セレン3´と正孔取り出し電極2との密着性を確保しながら結晶化させることができる。
加熱温度が低すぎると、非晶質セレン3´の結晶化が不十分となり、量子効率を十分に高めることができないため、70℃以上の加熱温度が必要である。また、加熱温度が高すぎるとセレンが溶融するおそれがあるため、加熱温度の上限は250℃とする。なお、非晶質セレン3´を安定して結晶化させ、量子効率を高め、素子特性のばらつきを抑制するとともに、膜剥がれをより抑制するためには、加熱温度を70〜200℃とすることが好ましい。
なお、不活性ガスとしては、特に限定せず、N2、Ar、Krガス等を用いてよい。
また、膜剥がれを抑制する観点から加熱温度と加熱時間について鋭意検討した結果、高温で短時間よりもより低温で長時間の加熱を与えた方が膜剥がれを抑制できることが分かった。このような観点から、加熱温度を70〜200℃、かつ加熱時間を10分〜5時間とすることがさらに好ましい。
ここで、一般的に非晶質セレンを結晶化させる加熱方法としては、例えば、アセトン等の薬品に浸漬させる化学反応法や、非晶質セレンを正孔取り出し電極に成膜する際に予め基板を加熱しておくことで非晶質セレンの成膜と結晶化を同時に行う方法が挙げられる。しかしながら、本発明者が検討した結果、化学反応法にて非晶質セレンを結晶化させた場合は、十分な量子効率が得られず、また基板加熱による結晶化は、結晶化が不均一となるほか、成膜させた非晶質セレンが結晶化する前に蒸発してしまい、所望の膜厚を確保できない、などの問題があった。
従って、本実施形態においては、基板1上に正孔取り出し電極2、非晶質セレン3´及び電子取り出し電極4を成膜した後に、不活性ガス雰囲気内にて加熱することで非晶質セレン3´を結晶化させる。なお、加熱手段としては加熱炉に限定せず、不活性ガス雰囲気内において、上記加熱温度、上記加熱時間を満足する加熱環境であれば良い。
次に、本実施形態に係る光電変換素子10について、説明する。
本実施形態に係る光電変換素子10は、図1に示すように、基板1上に形成された第1導電材料からなる正孔取り出し電極2と、正孔取り出し電極上2に形成された六方晶構造を有する結晶セレンからなる光電変換層3と、光電変換層3上に形成された第2導電材料からなる電子取り出し電極4と、を備えることを特徴とする。
正孔取り出し電極2を構成する第1導電材料としては、特に限定しないが、Au、ITO、IT(インジウム錫)、ZnO、Zn、Al、ステンレス鋼、InO、In、NiO、Ni、IZO、Ti、Pt、Agを用いることができ、特に電極の表面粗さの観点からAu、Al、ITOを用いることが好ましい。
上述したように、正孔取り出し電極2の表面形状は、その上に形成する光電変換層3の平坦性へ大きく影響を及ぼし、その結果、量子効率に対しても影響を及ぼす。本発明者らの検討の結果、正孔取り出し電極2の表面形状を適度に粗くし、その粗さを0.5〜5nmの範囲内とすることにより、高い量子効率を確保できることが分かった。
また、正孔取り出し電極2自体の表面形状(表面粗さ)は正孔取り出し電極2の膜厚に依存する。そのため、上記表面粗さの範囲を達成するためには、正孔取り出し電極2の膜厚を5〜1000nmの範囲内とすることが好ましい。
本実施形態に係る光電変換層3を構成する六方晶構造を有する結晶セレンは、正孔取り出し電極2上に非晶質セレンを成膜し、当該非晶質セレンを70〜200℃の範囲内で加熱させることにより得ることができる。
光電変換層3の膜厚は、0.1〜300μmとすることができる。
光電変換層3の膜厚が薄いと、非晶質セレン3´の成膜する際の条件が過酷なものとなり製造コストの懸念が生じるほか、成膜状態が不安定となるおそれがある。そのため、光電変換層3の膜厚を0.1μm以上とすることが好ましい。
一方、光電変換層3は、膜厚が厚いほど量子効率は増大する傾向にあるが、膜厚を過剰に厚くすると成膜状態が不均一となり、得られる量子効率にばらつきが生じ、結果、素子特性が不安定となるおそれがある。そのため、光電変換層3の膜厚を300μm以下とすることが好ましい。
電子取り出し電極4を構成する第2導電材料としては、特に限定しないが、Au、ITO、IT(インジウム錫)、ZnO、Zn、Al、ステンレス鋼、InO、In、NiO、Ni、IZO、Ti、Pt、Agを例示できる。なお、光電変換素子10は電子取り出し電極4側から光が入射するため、電子取り出し電極4は透明性の導電材料であることが好ましいため、第2導電材料として、ITO、ZnO、IZOを用いることが好ましい。
また、電子取り出し電極4の膜厚については、用いる材料により適宜選択可能であるが、5〜1000nmとすることができる。
以下に示す製造方法により、本実施例の光電変換素子を作製し、評価した。
まず、ガラス基板(25.0mm×35.0mm、1.7mm厚)上に、正孔取り出し電極として、Au(2.0mm×12.5mm、膜厚1000nm)を成膜した。成膜方法は真空蒸着法を用い、真空度は2×10−5Paとした。
次に、正孔取り出し電極上に非晶質セレン(4.0mm×4.0mm、膜厚4μm)を、真空蒸着法によって成膜した。真空度は2×10−5Paとした。
引き続き、非晶質セレン上に、電子取り出し電極として、ITO(7.0mm×2.0mm、膜厚30nm)を、真空蒸着法を用いて成膜した。このときの真空槽内の圧力は、酸素を7.6×10−3Pa、アルゴンを6.0×10−1Paとして行った。
その後、窒素置換された加熱炉において100℃、20分の加熱処理を施し、非晶質セレンを結晶化させ、六方晶構造を有する結晶セレンとし光電変換層を形成した。
以上のようにして作製した本実施例の光電変換素子について、大気中(22℃)にて、量子効率、及び電流-電圧特性(暗電流特性)を測定した。
図2のグラフに示すように、本実施形態に係る光電変換素子10は、0.1〜5Vと非常に低い印加電圧でも、高い量子効率が得られることが分かる。特に、印加電圧5V、入射光量50μW/cm2時に、可視光全域に亘って10000%を超える量子効率が得られている。
また、グラフからも明らかなように、量子効率は、光電変換膜に印加する電圧を制御することにより調整が可能である。
グラフより分かるように、例えば、印加電圧が5Vの時では、信号電流密度は青、緑、赤光共に450μA/cm2以上と非常に高い値を得ることができた。
加熱処理において、加熱温度を200℃、加熱時間を10分としたこと以外は、上記実施例1の製造条件と同様の条件で光電変換素子を作製した。
2・・・正孔取り出し電極
3・・・光電変換層(結晶セレン)
3´・・・非晶質セレン
4・・・電子取り出し電極
10・・・光電変換素子
F・・・光
Claims (7)
- 基板上に、第1導電材料からなる正孔取り出し電極及び非晶質セレンを順に成膜し、続いて前記非晶質セレン上に第2導電材料からなる電子取り出し電極を成膜した後、
前記正孔取り出し電極、前記非晶質セレン及び前記電子取り出し電極を、不活性ガス雰囲気中において、加熱温度を70℃〜250℃、加熱時間を1分〜5時間として加熱することにより、前記非晶質セレンを結晶化させて結晶セレンからなる光電変換層を形成することを特徴とする光電変換素子の製造方法。 - 前記加熱温度を70℃〜200℃、前記加熱時間を10分〜5時間とすることを特徴とする請求項1に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記正孔取り出し電極の膜厚を、5〜1000nmとすることを特徴とする請求項1または2に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記光電変換層の膜厚を、0.1〜300μmとすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記第2導電材料が、ITO、Au、IT、ZnO、Zn、Al、ステンレス鋼、InO、In、NiO、Ni、IZO、Ti、Pt、Agの群から選択されたものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記第1導電材料が、Au、ITO、IT、ZnO、Zn、Al、ステンレス鋼、InO、In、NiO、Ni、IZO、Ti、Pt、Agの群から選択されたものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の光電変換素子の製造方法。
- 第1導電材料からなる正孔取り出し電極と、
前記正孔取り出し電極上に形成された六方晶構造を有する結晶セレンからなる光電変換層と、
前記光電変換層上に形成された第2導電材料からなる電子取り出し電極と、
を備えることを特徴とする光電変換素子。
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