JP5966925B2 - 放射線画像検出器の製造方法 - Google Patents
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Description
(1)該基材上にシンチレータ層を形成してシンチレータパネルを作製するシンチレータパネル作製工程、
(2)該剛性板に、接着剤を介して可撓性高分子フィルムを貼合し、複合剛性板を作製する複合剛性板作製工程
(3)該複合剛性板の、該剛性板の該可撓性高分子フィルム側とは反対側の面と、該シンチレータパネルの、基材の該シンチレータ層とは反対側の面とを対面させ、該複合剛性板と該シンチレータパネルとを貼合して複合剛性板付きシンチレータパネルを作製する、複合剛性板付きシンチレータパネル作製工程および、
(4)該光電変換基板の該光電変換素子が配置された面と、該複合剛性板付きシンチレータパネルの該シンチレータ層側の面とを対面させ、該光電変換基板と該複合剛性板付きシンチレータパネルとを貼合して放射線画像検出部材を作製する放射線画像検出部材作製工程、
を有することを特徴とする放射線画像検出器の製造方法。
図1は、本発明の放射線画像検出器の例の模式断面図である。
本発明の製造方法は、上記(1)から(4)の工程を有する。
シンチレータパネル作製工程では、基材上にシンチレータ層を形成してシンチレータパネルを作製する。
本発明に係るシンチレータパネルは、基材上にシンチレータ層を有するが、基材とシンチレータ層の間に下引層を有する態様が好ましく、また基材上に反射層を設け反射層、下引層、およびシンチレータ層の構成であってもよい。以下、各構成層および構成要素等について説明する。
本発明に係るシンチレータ層は、蛍光体を含有する。
基材上には反射層を設けることが好ましい。反射層は、蛍光体(シンチレータ)から発した光を反射して、光の取り出し効率を高めるためのものである。当該反射層は、Al,Ag,Cr,Cu,Ni,Ti,Mg,Rh,PtおよびAuからなる元素群の中から選ばれるいずれかの元素を含む材料により形成されることが好ましい。特に、上記の元素からなる金属薄膜、例えば、Ag膜、Al膜などを用いることが好ましい。また、このような金属薄膜を2層以上形成するようにしても良い。なお、反射層の厚さは、0.005〜0.3μm、より好ましくは0.01〜0.2μmであることが、発光光取り出し効率の観点から好ましい。
本発明においては、基材とシンチレータ層の間、または反射層とシンチレータ層の間に下引き層を設けることが好ましい。当該下引層は、CVD法(気相化学成長法)によりポリパラキシリレン膜を成膜する方法や高分子結合材(バインダー)による方法があるが、膜付の観点から高分子結合材(バインダー)による方法がより好ましい。また下引層の厚さは、鮮鋭性、柱状結晶の乱れ発生防止性などの面から0.5〜4μmが好ましい。
本発明に係る基材は、樹脂からなる樹脂フィルムであり、樹脂フィルムとしては、セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミド(PI)フィルム、トリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム、炭素繊維強化樹脂シート等の高分子フィルム(プラスチックフィルム)を用いることができる。
基材の一方の表面に反射層としての金属薄膜(Al膜、Ag膜等)をスパッタ法により形成する。樹脂フイルムを基材として使用する場合、樹脂フイルム上にAl膜をスパッタ蒸着したフイルムは、各種の品種が市場で流通しており、これらを基材として使用することも可能である。
下引層は、有機溶剤に高分子結合材を分散・溶解した組成物を塗布、乾燥して形成する。高分子結合材としては接着性、反射層の耐腐食性の観点でポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等の疎水性樹脂が好ましい。
シンチレータ層は、蒸着方法などの気相堆積法で形成することができる。以下に、蒸着方法の典型例について説明する。
図2に示す通り、蒸着装置961は箱状の真空容器962を有しており、真空容器962の内部には真空蒸着用のボート963が配されている。ボート963は蒸着源の被充填部材であり、当該ボート963には電極が接続されている。当該電極を通じてボート963に電流が流れると、ボート963がジュール熱で発熱するようになっている。放射線用シンチレータパネルの製造時においては、ヨウ化セシウムと賦活剤化合物とを含む混合物がボート963に充填され、そのボート963に電流が流れることで、上記混合物を加熱・蒸発させることができるようになっている。
複合剛性板作製工程では、剛性板に、接着剤を介して該可撓性高分子フィルムを貼合し、複合剛性板を作製する。
本発明に係る剛性板とは、弾性率が10GPa以上の板状体を指す。剛性板としては、金属、ガラス、カーボン、これらの複合材料などが挙げられる。
可撓性高分子フィルムは、高分子化合物からなるフィルムであって、120℃での弾性率(E120)が1000〜6000N/mm2であるフィルムを指す。
本発明に係る、複合剛性板作製工程に用いられる接着剤は、高分子フィルムと剛性板を接着し得る接着剤であれば特に制限はないが、熱可塑性樹脂を主成分とする接着剤を好ましく用いることができる。
可撓性高分子フィルムが貼合された剛性板(複合剛性板)は、上記可撓性高分子フィルムと剛性板の間に上記接着剤を配置して圧着することにより得られる。特に圧着時加熱することが好ましい態様である。
複合剛性板付きシンチレータパネル作製工程では、上記複合剛性板の、剛性板の可撓性高分子フィルム側とは反対側の面と、上記シンチレータパネルの、基材のシンチレータ層とは反対側の面とを対面させ、複合剛性板とシンチレータパネルとを貼合して複合剛性板付きシンチレータパネルを作製する。
放射線画像検出部材作製工程では、光電変換基板の光電変換素子が配置された面と、剛性板付きシンチレータパネルのシンチレータ層側の面とを対面させ、光電変換基板と剛性板付きシンチレータパネルとを貼合して放射線画像検出部材を作製する。
本発明に係る光電変換基板について、図3を参照して説明する。図3は、放射線画像検出器における光電変換基板の概略構成図である。図3(a)は当該装置の上面図、図3(b)は断面図である。図3(b)に示すように、基台53上に接着層D54によって、光電変換素子が形成される光電変換素子部51が接着されている。これを光電変換基板30とする。
(シンチレータパネルの作製)
反射層の形成
厚さ125μmのポリイミド基板の一方の表面に第1の金属薄膜として厚さ20nmのニッケルクロム合金薄膜をスパッタ法により形成した。続いて第2の金属薄膜として厚さ100nmの銀薄膜をスパッタ蒸着で形成した。
バイロン630(東洋紡社製:高分子ポリエステル樹脂) 100質量部
メチルエチルケトン 90質量部
トルエン 90質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、塗設用の塗布液を得た。この塗布液を上記ポリイミド基板のスパッタ面に乾燥膜厚が1.0μmになるようにバーコーターで塗布した後、100℃で8時間乾燥することで保護層を形成した。
保護層を形成した基板を金属製の枠に合わせ、図2に示す蒸着装置のホルダ964にセットした。
基板の保護層側に母材(CsI:賦活剤なし)および賦活剤(TlI)を、図2に示した蒸着装置を使用して蒸着させ、次のようにシンチレータ層(蛍光体層)を形成した。
可撓性高分子フィルムとしてポリエチレンテレフタレート(0.125mm厚)を、剛性板としてガラス(0.5mm厚)を用い、接着剤としてホットメルトシートNP608(ソニーケミカル製)を用い、可撓性高分子フィルムと剛性板との間に、可撓性フィルムと同じ大きさの接着剤を挟み、100kPaに減圧、続いて100℃で10分間加熱溶融することにより、剛性板と可撓性フィルムを接合して、接着剤の厚さが0.05mmである複合剛性板を作製した。
続いて、上記のシンチレータパネルのシンチレータ層側面と上記複合剛性板の可撓性高分子フィルムと反対側面との間にホットメルトシートNP608(上記と同じ)を挟みこみ、100kPaに減圧、続いて100℃で10分間、加熱溶融することにより、シンチレータ層と剛性板を接合して、複合剛性板付きシンチレータパネルを作製した。
得られた複合剛性板付きシンチレータパネルと、光電変換基板とを貼り合わせ、放射線画像検出部材を作製した。
(シンチレータパネルの作製)
実施例1に記載の方法と同様にして、シンチレータパネルを作製した。
以下のようにして、複合剛性板の作製と、複合剛性板付きシンチレータパネルの作製を同時に行った。
得られた複合剛性板付きシンチレータパネルと、光電変換基板とを貼り合わせ、放射線画像検出部材を作製した。
実施例1の放射線画像検出器1の作製において、可撓性高分子フィルムを貼合する工程を有さない他は、実施例1と同様にして、放射線画像検出器3を作製した。
(画像均一性)
下記のように、反り量および輝度ムラを測定して、画像均一性の指標とした。
得られた放射線画像検出器を水平な台に静置したときの端部の浮き量を、隙間ゲージを用いて測定する。なお、端部の浮き量は0.5mm以下ならば実用的に良好な範囲内である。
作製した放射線画像検出器の放射線入射面側に管電圧70kVpで1.0mRのX線を照射し、シンチレータの発光を示すデジタル信号をハードディスクに記録し画像を得る。
10 シンチレータパネル
11 基材
12 シンチレータ層
13 接着層B
21 剛性板
22 接着層A
23 可撓性高分子フィルム
30 光電変換基板
40 接着層C
51 光電変換素子部
53 基台
54 接着層D
961 蒸着装置
962 真空容器
963 ボート
964 ホルダ
965 回転機構
966 真空ポンプ
Claims (6)
- 基材上に蒸着により形成された柱状結晶構造の蛍光体を含有するシンチレータ層を有するシンチレータパネルと、該シンチレータパネルの該基材側に配置されたガラス、カーボンから選ばれる剛性板と、該シンチレータパネルの該シンチレータ層側に配置された、基台の一方の面に複数の光電変換素子を有する光電変換基板と、を有する放射線画像検出器の製造方法であって、
(1)該基材上にシンチレータ層を形成してシンチレータパネルを作製するシンチレータパネル作製工程、
(2)該剛性板に、接着剤を介して可撓性高分子フィルムを貼合し、複合剛性板を作製する複合剛性板作製工程
(3)該複合剛性板の、該剛性板の該可撓性高分子フィルム側とは反対側の面と、該シンチレータパネルの、基材の該シンチレータ層とは反対側の面とを対面させ、該複合剛性板と該シンチレータパネルとを貼合して複合剛性板付きシンチレータパネルを作製する、複合剛性板付きシンチレータパネル作製工程および、
(4)該光電変換基板の該光電変換素子が配置された面と、該複合剛性板付きシンチレータパネルの該シンチレータ層側の面とを対面させ、該光電変換基板と該複合剛性板付きシンチレータパネルとを貼合して放射線画像検出部材を作製する放射線画像検出部材作製工程、
を有することを特徴とする放射線画像検出器の製造方法。 - 前記複合剛性板付きシンチレータパネル作製工程において、前記複合剛性板と前記シンチレータパネルとを貼合して前記複合剛性板付きシンチレータパネルを作製する方法が、前記複合剛性板と前記シンチレータパネルとを接着剤を介して貼合して前記複合剛性板付きシンチレータパネルを作製する方法であることを特徴とする請求項1に記載の放射線画像検出器の製造方法。
- 前記複合剛性板作製工程で用いられる接着剤がホットメルト接着剤であることを特徴とする請求項1または2に記載の放射線画像検出器の製造方法。
- 前記複合剛性板付きシンチレータパネル作製工程が、加熱工程を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の放射線画像検出器の製造方法。
- 前記複合剛性板作製工程と、複合剛性板付きシンチレータパネル作製工程とが同時に行われることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の放射線画像検出器の製造方法。
- 前記放射線画像検出部材作製工程における前記光電変換基板と前記複合剛性板付きシンチレータパネルとの貼合が、減圧下に行われることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の放射線画像検出器の製造方法。
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