JP7125502B2 - 放射線検出器、放射線画像撮影装置、及び製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態の放射線検出器は、被写体を透過した放射線を検出して被写体の放射線画像を表す画像情報を出力する機能を有する。本実施形態の放射線検出器は、TFT(Thin Film Transistor)基板と、放射線を光に変換する変換層と、を備えている(図4、放射線検出器10のTFT基板12及び変換層14参照)。
次に、第2実施形態について説明する。図9には、本実施形態の放射線検出器10の一例の断面図を示す。
上記各実施形態では、本開示の固定部材としての固定層13が、センサ部層50の変換層14側の面の全面を覆っている形態について例示したが、本開示の固定部材は、この形態には限らない。例えば、固定部材として、センサ部層50の変換層14側の面の一部から、センサ部層50の端面を介して、基材11のセンサ部層50側の面の一部までの領域を覆うことにより、センサ部層50を基材11に固定する形態としてもよい。
Claims (15)
- 可撓性の基材の画素領域に、放射線から変換された光に応じて発生した電荷を蓄積する複数の画素を有するセンサ部層を含む基板と、
前記基材の前記画素領域が設けられた面側に設けられ、前記放射線を光に変換する変換層と、
前記変換層より前記基板側に設けられ、前記センサ部層を前記基材に固定する固定部材と、
を備え、
前記固定部材は、前記センサ部層の端部において前記センサ部層を前記基材に固定し、
前記固定部材は、前記センサ部層の前記変換層側の面の少なくとも一部から、前記センサ部層の端面を介して、前記基材の前記センサ部層側の面の少なくとも一部までの領域を覆うことにより前記センサ部層を前記基材に固定する、
放射線検出器。 - 前記固定部材は、樹脂を含んで構成されている、
請求項1に記載の放射線検出器。 - 前記固定部材は、前記センサ部層の前記変換層側の面の全面から、前記センサ部層の端面を介して、前記基材の前記センサ部層側の面の少なくとも一部までの領域を覆うことにより前記センサ部層を前記基材に固定する、
請求項1に記載の放射線検出器。 - 前記基材及び前記固定部材は、同一の材料を含む、
請求項3に記載の放射線検出器。 - 前記基材の熱膨張率CTEflexと前記固定部材の熱膨張率CTEsurとの比が、0.5≦CTEsur/CTEflex≦4である、
請求項3または請求項4に記載の放射線検出器。 - 前記基材は、ポリイミドを含む、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記基材は、塗布によって形成されている、
請求項6に記載の放射線検出器。 - 前記固定部材は、ポリイミドまたはパリレン(登録商標)を含む、
請求項6または請求項7に記載の放射線検出器。 - 前記変換層を覆う封止層をさらに備え、
前記固定部材は、前記封止層とは材質が異なる、
請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記変換層は、CsIの柱状結晶が直接蒸着により形成されたものであり、
前記柱状結晶の先端部側に前記基材よりも剛性が高い補強基板をさらに備えた、
請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記補強基板は、降伏点を有する材料を含む、
請求項10に記載の放射線検出器。 - 前記補強基板は、前記変換層が設けられた領域よりも広い領域に設けられている、
請求項10または請求項11に記載の放射線検出器。 - 前記基板の、前記画素領域が設けられた面と対向する面に、前記基材よりも剛性が高い補強部材をさらに備えた、
請求項10から請求項12のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の放射線検出器と、
前記複数の画素に蓄積された電荷を読み出すための制御信号を出力する制御部と、
前記放射線検出器に可撓性の配線により電気的に接続され、前記制御信号に応じて前記複数の画素から電荷を読み出す回路部と、
を備えた放射線画像撮影装置。 - 支持体に、剥離層を介して可撓性の基材を設け、前記基材の画素領域に、放射線から変換された光に応じて発生した電荷を蓄積する複数の画素を有するセンサ部層が設けられた基板を形成し、
前記センサ部層を前記基材に固定する固定部材を形成し、
前記基材の前記画素領域が設けられた面側に、前記放射線を光に変換する変換層を形成し、
前記変換層の、前記基板側の面と対向する側の面と反対側の面に、前記基材よりも剛性が高い補強基板を貼り合わせ、
前記変換層及び前記補強基板が設けられた前記基板を、前記支持体から剥離し、
前記固定部材は、前記センサ部層の端部において前記センサ部層を前記基材に固定し、
前記固定部材は、前記センサ部層の前記変換層側の面の少なくとも一部から、前記センサ部層の端面を介して、前記基材の前記センサ部層側の面の少なくとも一部までの領域を覆うことにより前記センサ部層を前記基材に固定する、
放射線検出器の製造方法。
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