JP2009510765A - 発光用の半導体デバイスの製造 - Google Patents
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Abstract
発光用のn型層及び光反射用のp型層を備え、複数のエピタキシャル層を有する発光用の半導体デバイスを提供する。p型層は、導電金属の外層用の少なくとも1つのシード層を有する。少なくとも1つのシード層は、外層及び光反射層の熱膨張差のためのバッファを提供するための材料である。
【選択図】 図17(a)
【選択図】 図17(a)
Description
本発明は、発光用の半導体デバイスの製造に関し、特に、これに限定するわけではないが、サファイア基板上への発光用半導体デバイスの製造について言及する。
例えば、発光ダイオード(「LED」)、レーザダイオード、光検出器、トランジスタ、スイッチなどのGaN半導体デバイスは、多くの用途に広く用いられている。周知の用途は、信号機、携帯電話ディスプレイの背面照明、液晶ディスプレイ(「LCD」)の背面照明、カメラ用のフラッシュライトなどが挙げられるが、これらに限定されるわけではない。LED、レーザダイオード又は照明として使用するための窒化ガリウム半導体の製造は、比較的低い生産性を示す。また、公知の技術は、最適化されていない光出力を有する半導体デバイスをもたらす。
第1の好ましい態様によれば、
(a)光生成用の活性層、光透過用のn型層及び光反射用のp型層を備える複数のエピタキシャル層を備える、発光用の半導体デバイスであって、
(b)p型層が、その上に導電金属の外層用の少なくとも1つのシード層を有し、
(c)少なくとも1つのシード層が、外層及び光反射層の熱膨張差のためのバッファを提供するための材料からなる、発光用の半導体デバイスが提供される。
(a)光生成用の活性層、光透過用のn型層及び光反射用のp型層を備える複数のエピタキシャル層を備える、発光用の半導体デバイスであって、
(b)p型層が、その上に導電金属の外層用の少なくとも1つのシード層を有し、
(c)少なくとも1つのシード層が、外層及び光反射層の熱膨張差のためのバッファを提供するための材料からなる、発光用の半導体デバイスが提供される。
前記少なくとも1つのシード層は、このシード層に付着される層がp型層、活性層及びn型層の少なくとも1つに拡散するのを防ぐ拡散バリアを備えてもよい。
第2の好ましい態様によれば、
(a)光生成用の活性層、光透過用のn型層及び光反射用のp型層を備える複数のエピタキシャル層を備える、発光用の半導体デバイスであって、
(b)p型層は、その上に導電金属の外層用の少なくとも1つのシード層を有し、
(c)少なくとも1つのシード層は、このシード層に付着される層がp型層、活性層及びn型層の少なくとも1つに拡散するのを防ぐ拡散バリアを備える発光用の半導体デバイスが提供される。
(a)光生成用の活性層、光透過用のn型層及び光反射用のp型層を備える複数のエピタキシャル層を備える、発光用の半導体デバイスであって、
(b)p型層は、その上に導電金属の外層用の少なくとも1つのシード層を有し、
(c)少なくとも1つのシード層は、このシード層に付着される層がp型層、活性層及びn型層の少なくとも1つに拡散するのを防ぐ拡散バリアを備える発光用の半導体デバイスが提供される。
第2の態様に関して、少なくとも1つのシード層はまた、外層及び光反射層の熱膨張差のためのバッファを提供するための材料からなるとよい。
両方の態様に関して、少なくとも1つのシード層は、複数のシード層を備えてもよく、複数のシード層は、反射材料及び第1の熱膨張係数を有する第1のシード層及び第2の熱膨張係数を有する第2の材料の第2のシード層を備える。第2の熱膨張係数は、第1の熱膨張係数より大きい。
n型層は、n型金属アレイからなるものが考えられる。外層及びn型金属アレイは、半導体デバイス端子を備えるとよい。
第3の好ましい態様によれば、複数のエピタキシャル層を備える発光用の半導体デバイスであって、複数のエピタキシャル層は、
(a)p型層と、
(b)p型層上の少なくとも1つの反射層と、
(c)少なくとも1つの反射層上の導電材料の外層と、
(d)n型層と、
(e)n型層上のn型金属と、
(f)n型層とp型層との間の活性層と
を備え、
n型金属は、光出力におけるその影響を最小限に抑えるために、n型層の中央でアレイ状に配置され、n型金属及び外層は、半導体デバイス用の端子である、発光用の半導体デバイスが提供される。
(a)p型層と、
(b)p型層上の少なくとも1つの反射層と、
(c)少なくとも1つの反射層上の導電材料の外層と、
(d)n型層と、
(e)n型層上のn型金属と、
(f)n型層とp型層との間の活性層と
を備え、
n型金属は、光出力におけるその影響を最小限に抑えるために、n型層の中央でアレイ状に配置され、n型金属及び外層は、半導体デバイス用の端子である、発光用の半導体デバイスが提供される。
複数のシード層は、反射材料から構成される第1の熱膨張係数を有する第1のシード層と、第2の熱膨張係数を有する第2の材料の第2のシード層とを備えるものが考えられ、第2の熱膨張係数は、第1の熱膨張係数より大きい。
上記3つのすべての態様に関して、第1のシード層と第2のシード層との間に、中間熱膨張係数を有する少なくとも1つの中間材料の少なくとも1つの中間シード層があってもよく、中間熱膨張係数は、第1の熱膨張係数より大きく、第2の熱膨張係数より小さい。外層は、第2の材料から構成されてもよい。反射材料、第2の材料及び中間材料はすべて、異なっていてもよい。中間材料は、第2の材料がエピタキシャル層に拡散しないようするための拡散バリアであってもよい。外層は、比較的厚く、半導体デバイス用の、構造支持体、ヒートシンク、放熱体、電流散逸体のうち少なくとも1つのためのものであり、半導体デバイス用の端子として機能してもよい。アレイは、中央部分と、外側部分と、中央部分と外側部分との間を接続するための接合部分とを備えてもよく、外側部分及び接合部分は、電流散逸のためのものとすることができる。半導体デバイスは、窒化ガリウム半導体デバイスとすることができ、外層は、第2の材料から構成することができる。
第4の好ましい態様によれば、発光用の半導体デバイスの製造方法であって、
(a)半導体デバイスの複数のエピタキシャル層におけるp型層上に、p型金属の層を形成するステップと、
(b)p型金属の層上に、複数のシード層における第1のシード層を付着するステップであって、第1のシード層は、光反射性である、第1の熱膨張係数を有する第1の材料から構成される、ステップと、
(c)第1のシード層上に複数のシード層における第2のシード層を形成するステップであって、第2のシード層は、第2の熱膨張係数を有する第2の材料から構成され、第2の熱膨張係数は、第1の熱膨張係数より大きい、ステップと、
(b)p型金属の層上に、シード層に付着された層がp型層に拡散しないようにする拡散バリアとして少なくとも1つのシード層を付着するステップと、を備える発光用の半導体デバイスの製造方法が提供される。
(a)半導体デバイスの複数のエピタキシャル層におけるp型層上に、p型金属の層を形成するステップと、
(b)p型金属の層上に、複数のシード層における第1のシード層を付着するステップであって、第1のシード層は、光反射性である、第1の熱膨張係数を有する第1の材料から構成される、ステップと、
(c)第1のシード層上に複数のシード層における第2のシード層を形成するステップであって、第2のシード層は、第2の熱膨張係数を有する第2の材料から構成され、第2の熱膨張係数は、第1の熱膨張係数より大きい、ステップと、
(b)p型金属の層上に、シード層に付着された層がp型層に拡散しないようにする拡散バリアとして少なくとも1つのシード層を付着するステップと、を備える発光用の半導体デバイスの製造方法が提供される。
複数のシード層のうちの1層は、シード層に付着される層がp型層に拡散しないようにするための拡散バリアとすることができる。
第5の好ましい態様によれば、発光用の半導体デバイスの製造方法であって、
(a)半導体デバイスの複数のエピタキシャル層におけるp型層上に、p型金属の層を形成するステップと、
(b)p型金属の層上に、シード層に付着される層がp型層に拡散するのを防止する拡散バリアとして少なくとも1つのシード層を付着するステップと、を備える発光用の半導体デバイスの製造方法が提供される。
(a)半導体デバイスの複数のエピタキシャル層におけるp型層上に、p型金属の層を形成するステップと、
(b)p型金属の層上に、シード層に付着される層がp型層に拡散するのを防止する拡散バリアとして少なくとも1つのシード層を付着するステップと、を備える発光用の半導体デバイスの製造方法が提供される。
少なくとも1つのシード層は、複数のシード層からなるものとしてもよく、第1のシード層は、光反射性である、第1の熱膨張係数を有する第1の材料から構成され、第1のシード層の上に複数のシード層における第2のシード層を形成し、第2のシード層は、第2の熱膨張係数を有する第2の材料から構成され、第2の熱膨張係数は、第1の熱膨張係数より大きい。
第4の態様及び第5の態様に関して、本方法はさらに、第2のシード層上に外層を形成するステップを備えてもよく、外層は、比較的厚く、半導体デバイス用の、構造支持体、ヒートシンク、放熱体、電流散逸体からなる群から選択される少なくとも1つのためのものであり、半導体デバイス用の端子として機能する。n型金属アレイは、複数のエピタキシャル層におけるn型金属層の上に形成されてもよい。アレイ及び外層は、半導体デバイスの端子であってもよい。
第6の好ましい態様によれば、複数のエピタキシャル層を備える発光用の半導体デバイスの製造方法であって、
複数のエピタキシャル層におけるp型層上に、反射層として複数のシード層における第1のシード層を形成するステップと、
複数のシード層上に導電材料の外層を形成するステップと、
複数のエピタキシャル層におけるn型層上に、光出力におけるその影響を最小限に抑えるために、n型層の中央にてアレイ状にn型金属を形成するステップと
を備え、n型金属及び外層は、半導体デバイス用端子である発光用の半導体デバイスの製造方法が提供される。
複数のエピタキシャル層におけるp型層上に、反射層として複数のシード層における第1のシード層を形成するステップと、
複数のシード層上に導電材料の外層を形成するステップと、
複数のエピタキシャル層におけるn型層上に、光出力におけるその影響を最小限に抑えるために、n型層の中央にてアレイ状にn型金属を形成するステップと
を備え、n型金属及び外層は、半導体デバイス用端子である発光用の半導体デバイスの製造方法が提供される。
第1のシード層は、反射材料から構成され、第1の熱膨張係数を有するものとすることができ、本方法は好ましくは、さらに、第1のシード層の上に第2の熱膨張係数を有する第2の材料から構成される第2のシード層を形成するステップを備え、第2の熱膨張係数は、第1の熱膨張係数より大きい。
本方法はさらに、第2のシード層が形成される前に、第1のシード層上に少なくとも1つの中間シード層を形成してもよく、少なくとも1つの中間シード層が第1の熱膨張係数より大きく、第2の熱膨張係数より小さい中間熱膨張係数を有する少なくとも1つの材料から構成される。外層は、第2の材料から構成されてもよい。反射材料、第2の材料及び中間シード層材料はすべて、異なっていてもよい。半導体デバイスは、窒化ガリウム半導体デバイスであってもよい。
第7の好ましい態様によれば、基板上に設けられた複数のエピタキシャル層を備える発光用の半導体デバイスを製造する方法であって、
複数のエピタキシャル層がその電気的特性及び機械的特性を保持するために非損傷状態で、複数のエピタキシャル層から基板を分離するステップを備える。
複数のエピタキシャル層がその電気的特性及び機械的特性を保持するために非損傷状態で、複数のエピタキシャル層から基板を分離するステップを備える。
本方法はさらに、分離する前に、複数のエピタキシャル層上に少なくとも1つのシード層を形成するステップと、少なくとも1つのシード層上に外層を形成するステップと、を備え、外層は、比較的厚く、半導体デバイス用の、構造支持体、ヒートシンク、放熱体、電流散逸体からなる群から選択される少なくとも1つのためのものであり、半導体デバイス用端子として機能する。
少なくとも1つのシード層が形成された後であって、外層が少なくとも1つのシード層上に形成される前に、以下のステップが行われてもよい。
(a)p型金属オーミック接触層を複数のエピタキシャル層におけるp型層に付着するステップ
(b)p型金属オーミック接触層及びp型層上に酸化物の層を付着するステップ
(c)金属オーミック接触層から酸化物層を除去するステップ
(d)酸化物層及び金属オーミック接触層上に少なくとも1つのシード層を堆積するステップ。
(a)p型金属オーミック接触層を複数のエピタキシャル層におけるp型層に付着するステップ
(b)p型金属オーミック接触層及びp型層上に酸化物の層を付着するステップ
(c)金属オーミック接触層から酸化物層を除去するステップ
(d)酸化物層及び金属オーミック接触層上に少なくとも1つのシード層を堆積するステップ。
ステップ(d)の後であって、外層が形成される前に、厚いレジストパターンが少なくとも1つのシード層に施されてもよく、外層は、厚いレジストパターン間に形成される。外層はまた、厚いレジストパターン上に形成されてもよい。外層は、分離の次に研磨されてもよい。酸化物層は、二酸化ケイ素であってもよい。
基板の分離の次に、以下のステップが行われてもよい。
(a)各メサ部の縁部に沿ったトレンチエッチングによって、個別のデバイスの孤立化の第1の段階、
(b)パッドエッチングステップ、
(c)ダイの孤立化ステップ、
(d)複数のエピタキシャル層におけるn型層上にn型オーミック接触アレイを形成するステップ、
(e)ダイ分離ステップ。
(a)各メサ部の縁部に沿ったトレンチエッチングによって、個別のデバイスの孤立化の第1の段階、
(b)パッドエッチングステップ、
(c)ダイの孤立化ステップ、
(d)複数のエピタキシャル層におけるn型層上にn型オーミック接触アレイを形成するステップ、
(e)ダイ分離ステップ。
本発明が十分に理解され、容易に実用化されることができるようにするために、本発明の好ましい実施形態のみが非限定的な例によって本明細書では記載されるものとし、説明は、添付の例示図面を参照するものとする。
以下に記載するGaNデバイスは、サファイア基板上の半導体薄層(エピタキシャル層と呼ぶ)の積層から構成されるエピタキシャルウェーハから製造される。エピタキシャル層の組成及び厚さは、ウェーハ設計に左右され、ウェーハから製造されるデバイスによって発せられる光の光色(波長)を決定する。通常、薄いバッファ層が最初に10〜30nmの範囲であることが多い厚さで、サファイア基板の上に堆積され、この薄いバッファ層は、AlN又はGaNのいずれかであってもよい。本明細書において、この層は、記載及び図示されていない。薄いバッファ層の上部には、GaN、AlGaN、InN、InGaN、AlGaInNなどから形成される他の層が堆積される。高いウェーハ品質を実現するために、n型層は、薄いバッファ層の上に堆積されることが多く、次に、意図せずにドープされた活性領域が続く。最後に、p型ドープ層が、堆積される。活性領域は通常、単一の量子井戸又は複数の量子井戸から形成され、光生成のためのダブルヘテロ構造である。しかし、活性領域は、例えば、量子ドットなどの他の形態であってもよい。エピタキシャル層の堆積は通常、有機金属化学気相堆積法(「MOCVD」)又は分子線エピタキシ(「MBE」)による。エピタキシャル層の厚さは、数ナノメートル〜数ミクロンの範囲である。
第一に、図1を参照して、サファイア基板4の上に窒化ガリウム(GaN)のn型層3、量子井戸又は活性層2及びGaNのp型層1が付着された後から、プロセスが始まる。次に、p型金属層5が、p型層1上に付着される。p型金属層5は、ニッケル−金(NiAu)又は他の適切な金属から形成されてもよい。標準的なフォトリソグラフィ及びエッチングが次に、層5にパターン形成するために用いられる。これは、金属層5上にフォトレジストの薄層(図2における層6(a))を付着し、次に、レジスト露光及び現像を行うことによって実行される。レジストパターン6(a)は、金属層5をエッチングするためのエッチングマスクとして機能する。エッチングは、ウェット化学エッチング又はプラズマドライエッチング(図2参照)のいずれによるものであってもよい。フォトレジスト6(a)が次に、除去される。p型GaN層1の表面に残っているパターン形成された層5は、p型GaN層1に対するオーミック接触層として機能する。アニーリングは、層5がパターン形成される前又は後のいずれに行われてもよい。
p型層1は、比較的薄く、普通は1ミクロン程度であるが、好ましくは1ミクロン未満である。
二酸化ケイ素(SiO2)の層7は、残っているP型金属層部分5及びp型GaN層1(図3)上に標準的な薄膜堆積法によって堆積される。これは、プラズマ強化化学気相堆積法(「PECVD」)、スパッタリング、気化又は他の適切な技術によるものであってもよい。
図4に図示されているように、第2のフォトレジスト層6(b)が、酸化物層7上に付着される。レジストが次に、パターン形成され、酸化物層7をパターン形成するためのマスクとして機能する。酸化物層7のウェットエッチング又はドライエッチング(プラズマエッチング)が、実行される。フォトレジスト6(b)が除去されていない領域における酸化物が除去され、エッチング後に、レジスト6(b)によって保護される酸化物7が残る。図4において図示されているように、パターン形成された第2のレジスト層6(b)は、NiAu層5より面積が大きいため、残っているSiO2層7は、NiAu層5にわたってNiAu層5の側部から下方にp型GaN層1まで延出する。
図5に図示されているように、第2のレジスト層6(b)は、p型GaN層1、量子井戸層2及びn型GaN層3のメサエッチングのために除去される。エッチングは、p型GaN層1及び量子井戸層2の全体深さと、n型GaN層3の深さのごく小さな部分のためである。図5において、パターン形成された酸化物7は、デバイスが続いて形成されるメサ部を画成するために、ドライエッチングマスクとして機能する。
図5のSiO2層7が除去され、上面全体を覆うSiO2層の完全コーティング孤立化層8によって置き換えられる(図6)。フォトレジスト層6(c)が、SiO2層8上に付着される。フォトレジスト層6(c)は、次に、露光及び次の現像によってパターン形成され、その結果、P型金属層5上のメサ部の中央部分以外のすべての場所を覆う。第3のレジスト層6(c)は、周囲を、及び中心に向かって延び、第3のレジスト層6(c)は一般に環状である。したがって、第3のレジスト層6(c)は、SiO2層8の中央部分17を覆わない。SiO2のウィンドウエッチングは、NiAu層5上のSiO2層8の中央部分17を除去し、したがって、NiAu層5の上部を露出させるために続いて行われる。
図8に図示されているように、第3のレジスト層6(c)が次に除去され、シード層の堆積が続く。シード層は、3つの異なる金属層から構成される。第1のシード層11は、NiAu層5に十分に接触し、クロム又はチタンから構成されてもよい。このシード層11の後に、それぞれタンタル及び銅から構成される第2の層10及び第3の層9が続く。他の材料が用いられてもよい。第1のシード層11は好ましくは、発光デバイスで発生される光の反射用に良好な反射率を有する。第2のシード層10は、拡散バリアとして作用し、その上(例えば、第3のシード層9)に配置される銅又は他の材料が、オーミック接触層及び半導体エピタキシャル層に拡散しないようにする。第3のシード層9は、次の電気メッキのためのシード層として作用する。
シード層の熱膨張係数は、3.17であるGaNの熱膨張係数と異なっていてもよい。オーミック接触層(Ni及びAu)の熱膨張係数はまた、GaNの熱膨張係数と異なっており(それぞれ、14.2及び13.4である)、比較的薄く(数ナノメートル)であり、裏のGaNエピタキシャル層に対する深刻な応力問題を引き起こさない。しかし、後に加えられることになっているメッキ銅は、数百ミクロンの厚さである可能性があり、したがって、著しい応力問題の原因となりうる。したがって、シード層は、応力を緩和するために用いられることができる。これは、以下の1つ以上によるものであってもよい。
(a)応力を吸収するために十分な可撓性を有することによる。
(b)応力を吸収するために十分な内部スリップ特性を有することによる。
(c)応力に耐えるために十分な剛性を有することによる。
(d)段階的な熱膨張係数を有することによる。
(a)応力を吸収するために十分な可撓性を有することによる。
(b)応力を吸収するために十分な内部スリップ特性を有することによる。
(c)応力に耐えるために十分な剛性を有することによる。
(d)段階的な熱膨張係数を有することによる。
段階的な熱膨張係数の場合には、第1の層11の熱膨張係数は好ましくは、第2の層10の熱膨張係数より小さく、第2の層の熱膨張係数は好ましくは、第3の層9の熱膨張係数より小さい。例えば、第1の層11は、熱膨張係数4.9を有するクロム、第2の層10は、熱膨張係数6.3を有するタンタル、第3の層9は、熱膨張係数16.5を有する銅とすることができる。このように、熱膨張係数は、SiO2層8及びGaN層から外側の銅層9まで段階的である。別法は、関連する温度で、1つの金属層は膨張するのに対し、別の金属層は収縮するように異なる膨張係数を有することである。
外側の銅層9がSiO2層8及びp型金属層5に直に付着されている場合には、熱膨張率の差は、亀裂、分離及び/又は故障の原因となる可能性がある。それぞれが異なる熱膨張係数を有する異なる材料、特に金属から構成される複数のシード層11、10及び9を堆積することによって、熱膨張の応力は、層11、10及び9にわたって広がり、結果として亀裂、分離及び/又は故障の確率が低くなる。第1のシード層11は、比較的低い熱膨張係数を有する材料から構成される必要があるのに対し、最後の層9は、より高い熱膨張係数を有してもよい。中間層10がある場合には、中間層は層11と層9との間の膨張係数を有する必要があり、第1の層11の膨張係数から最後の層9の膨張係数まで段階的である必要がある。中間層10がなくてもよく、又は任意の必要な数又は所望の数の中間層10(1つ、2つ、3つなど)があってもよい。
あるいは、シード層9、10及び11は、銅層9(a)をp型金属層5と接続可能にするために、その中にビア又は孔を有する例えば、AlNなどの誘電体の単独層に置き換えられてもよい。
元の基板4の除去後、新たな基板及びヒートシンクとして機能する銅などの比較的厚い金属のパターン形成されたメッキのために、厚いレジスト12のパターンが、標準的なフォトリソグラフィによって外側の銅シード層9に付着され(図9)、残っている金属9(a)が、厚いレジスト12によって画成される領域においてメッキされ(図10)、次に、厚いレジスト12上にメッキされ、単独の金属支持層9(a)を形成する。
あるいは、厚いレジスト12の付着前に、外側のシード銅層9は厚いフォトレジスト12の形成のためのメサ部(図9)と主要な銅層9(a)のメッキ(図10)との間の通路の中心において部分的にエッチングされてもよい。これは、向上した接着性という利点を有する。
サファイア基板5の除去又はリフトオフが次に、例えば、Kelly[M.K.Kelly,O.Ambacher,R.Dimitrov,R.Handschuh,及びM.Stutzmann,phys.stat.sol.(a)159,R3(1997)]に記載されたような公知の技術に基づいて行われる(図11)。基板はまた、研磨又はウェットエッチングによって除去されてもよい。これは、n型GaN層3の最下面13を露出させる。基板5のリフトオフは、除去の質を向上させるため、及び構造的強度に関して、エピタキシャル層が非損傷状態で行われることが好ましい。除去時にエピタキシャル層を無傷にすることによって、エピタキシャル層の電気的特性及び機械的特性が保持される。
元の基板4の除去後に、厚くメッキされた金属9(a)は、新たな機械的支持体として作用し、半導体デバイスの動作中に、ヒートシンク、放熱体、p型層1用の端子及び電流散逸体のうちの1つ以上として作用することができる。p型層1は比較的薄いため、活性層2において生成された熱は、厚い層9(a)により容易に伝導されることができる。
図12に図示されているように、デバイスは、次に、メサ部の縁部に沿って新たに露出された面からトレンチエッチングによって互いから分離され、図12〜図14に図示されているように、フォトレジスト層6(d)がエッチングプロセス中、n型GaN層3の領域を保護している。
あるいは、n型層3の最下面13は、フォトレジスト12と整列である位置で劈開され、ダイが分離されてもよい。これは、n型層3の露出された側面が実質的に平行であり、したがって、大量の全内部反射を生じるとき、レーザダイオードにとって利点となる。これは、光出力の向上及び指向のための光増幅系として作用する。
パッドエッチングは、SiO2層8の露出された面、n型GaN層3の側部及びn型GaN層3の中央(図13(a)及び(b))に第5のレジスト層6(e)を付着した後に行われ、したがって、n型GaN層3の保護部分14及び凹部部分15を形成する。
レジスト6(e)が次に除去され、第6のレジスト6(f)が、n型GaN層3の露出された面及びSiO2層8の外周縁部に付着され、したがって、ダイの孤立化のためのギャップ16が残る。厚いフォトレジスト12の端部が露出されるまで、ギャップ16及びSiO2層8及びシード層11を通ってエッチングが行われる(図14)。レジスト6(f)が、除去される。
第7のレジスト層6(g)が、SiO2層8の縁部から中央ギャップ17が残るn型GaN層3の中央に隣接する場所を通るすべての露出された下面の上に付着される(図15)。
n型金属の1つ以上の層18が次に、レジスト6(g)の上に付着され、n型GaN層3の中央にあるギャップ17の層18は、GaN層3に直に付着される(図16)。層18を有するレジスト層6(g)が取り付けられ、ギャップ17が既に位置していたn型GaN層3の中心17に付着された層18が残るように除去される。
銅層9(a)が次に、フラットに研磨され(図17)、ダイが分離される。
このように、シード層11、10、9及び銅層9(a)は、光出力を増大するために反射体として作用し、銅層9(a)は、このように光出力に干渉しない1つの端子である。第2の端子は、GaNのn型層3の上の層18であり、これは、その層3の中央及び/又はその付近でアレイとして存在し、したがって、光出力におけるその影響を最小限に抑え、電流の拡散を増大する。アレイは、接合部分が通常は付着される中央部分19、外側部分20、中央部分19及び外側部分20を接続する接合部分21を有する。外側部分20及び接合部分21は、光出力を最大にするように電流を分散するためである。図17(a)に図示されているように、部分20、21は、接着を助けるために、層3に形成される小さなトレンチを有してもよい。
銅層9(a)の研磨後、ダイが残されてもよく、複数のダイは、物理的に相互接続されるが、酸化ケイ素層8によってn型層側で電気的に孤立される。n型層接続は、通常の慣行に基づき、個別に、集合的又は任意の所望の組み合わせ又は必要な組み合わせ又は順列で指定可能である。p型層は、銅層9(a)によってすべてのダイに関して共通の接続を有する。このように、複数のダイは、n型層接続の適切な制御によって、最大光出力のために一度に、又は任意の可能な組み合わせ又は順序で、動作されることができる。銅層9(a)は、p型層側に共通の接続性、物理的強度及び支持体を提供し、共通のヒートシンクとして作用する。酸化物層8の存在は、電気的孤立を提供し、漏れを防止する。
層18は、正方形、十字形及びドットアレイを有するように図示されているが、任意の適切な形態及びアレイの形状を有してもよい。
高品質のGaN層を成長させるために、図1において0.5〜1.5ミクロンの第1のGaN層4は、無ドープであり、したがって、電気的に非導電性であることが一般的である。電流電導のために、この層は、エッチングによって除去される必要がある。しかし、接合パッド19が堆積されることになっている領域に関して、接合パッド19の下のこの非導電層を維持することが好都合であり、その結果、電流はこの領域を通って垂直に流れるのではなく、n型GaN層3を介して広がることが好都合である。図17(a)は、円形の接合パッド19の下に、非導電材料が保持される実施形態の接点を図示している。
前述の説明において本発明の好ましい実施形態について記載してきたが、設計又は構造の詳細におけるさまざまな変形又は改変が本発明を逸脱することなく行うことができることは、当技術の当業者によって理解される。
Claims (39)
- (a)光生成用の活性層、光透過用のn型層及び光反射用のp型層を有する複数のエピタキシャル層を備える、発光用の半導体デバイスであって、
(b)前記p型層上には、導電金属からなる外層用の少なくとも1つのシード層があり、
(c)前記少なくとも1つのシード層が、前記外層と前記光反射層との熱膨張差のためのバッファを提供する材料からなる、半導体デバイス。 - 前記少なくとも1つのシード層に付着される層が前記p型層、前記活性層及び前記n型層の少なくとも1つに拡散するのを防ぐ拡散バリアを、前記少なくとも1つのシード層が備える、請求項1に記載の半導体デバイス。
- (a)光生成用の活性層、光透過用のn型層及び光反射用のp型層を有する複数のエピタキシャル層を備える、発光用の半導体デバイスであって、
(b)前記p型層上には、導電金属からなる外層用の少なくとも1つのシード層があり、
(c)前記少なくとも1つのシード層に付着される層が前記p型層、前記活性層及び前記n型層の少なくとも1つに拡散するのを防ぐ拡散バリアを、前記少なくとも1つのシード層が備える、半導体デバイス。 - 前記少なくとも1つのシード層が、前記外層と前記光反射層との熱膨張差のためのバッファを提供する材料からなる、請求項3に記載の半導体デバイス。
- 前記少なくとも1つのシード層が複数のシード層を備え、前記複数のシード層が、反射材料からなり且つ第1の熱膨張係数を有する第1のシード層と、第2の熱膨張係数を有する第2の材料からなる第2のシード層を備える、請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体デバイス。
- 前記第2の熱膨張係数が、前記第1の熱膨張係数より大きい、請求項5に記載の半導体デバイス。
- 前記n型層が、n型金属アレイを備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体デバイス。
- 前記外層及び前記n型金属アレイが、当該半導体デバイスの端子を備える、請求項7に記載の半導体デバイス。
- 複数のエピタキシャル層を備える発光用の半導体デバイスであって、
前記複数のエピタキシャル層が、
(a)p型層と、
(b)前記p型層上の少なくとも1つの反射層と、
(c)前記少なくとも1つの反射層上の導電材料からなる外層と、
(d)n型層と、
(e)前記n型層上のn型金属と、
(f)前記n型層と前記p型層との間の活性層と、
を備え、
前記n型金属が、光出力における該n型金属の影響を最小限に抑えるために、前記n型層の中央でアレイ状に配置され、前記n型金属及び前記外層が当該半導体デバイス用の端子である、半導体デバイス。 - 複数のシード層が、反射材料からなり且つ第1の熱膨張係数を有する第1のシード層と、第2の熱膨張係数を有する第2の材料からなる第2のシード層とを備え、前記第2の熱膨張係数が前記第1の熱膨張係数より大きい、請求項9に記載の半導体デバイス。
- 前記第1のシード層と前記第2のシード層との間に、中間熱膨張係数を有する少なくとも1つの中間材料からなる少なくとも1つの中間シード層があり、前記中間熱膨張係数が、前記第1の熱膨張係数より大きく、前記第2の熱膨張係数より小さい、請求項5〜8及び10のいずれか一項に記載の半導体デバイス。
- 前記外層が、前記第2の材料からなる、請求項5〜8、10及び11のいずれか一項に記載の半導体デバイス。
- 前記反射材料、前記2の材料及び前記中間材料が互いに異なる材料である、請求項11又は12に記載の半導体デバイス。
- 前記中間材料は、前記第2の材料が前記エピタキシャル層に拡散するのを防ぐ拡散バリアである、請求項5〜8及び11〜13のいずれか一項に記載の半導体デバイス。
- 前記外層が、比較的厚く、当該半導体デバイス用の、構造支持体、ヒートシンク、放熱体及び電流散逸体からなる群から選択される少なくとも1つのためのものであり、且つ、当該半導体デバイス用の端子として機能する、請求項1〜14のいずれか一項に記載の半導体デバイス。
- 前記n型金属アレイが、中央部分と、外側部分と、前記中央部分と前記外側部分との間を接続するための接合部分とを備え、前記外側部分及び前記接合部分が電流散逸のためのものである、請求項7〜15のいずれか一項に記載の半導体デバイス。
- 窒化ガリウム半導体デバイスである、請求項1〜16のいずれか一項に記載の半導体デバイス。
- 前記外層が、前記第2の材料からなる、請求項5〜8及び10〜17のいずれか一項に記載の半導体デバイス。
- 発光用の半導体デバイスを製造する方法であって、
(a)前記半導体デバイスの複数のエピタキシャル層におけるp型層上に、p型金属の層を形成するステップと、
(b)前記p型金属の層上に、複数のシード層における第1のシード層を付着するステップであって、該第1のシード層が、光反射性であり、第1の熱膨張係数を有する第1の材料からなる、ステップと、
(c)前記第1のシード層上に、前記複数のシード層における第2のシード層を形成するステップであって、該第2のシード層が、第2の熱膨張係数を有する第2の材料からなり、前記第2の熱膨張係数が前記第1の熱膨張係数より大きい、ステップと、
(d)前記p型金属の層上に少なくとも1つのシード層を付着するステップであって、該シード層上に付着される層が前記p型層に拡散するのを防ぐ拡散バリアとして該シード層が機能する、ステップと
を備える方法。 - 前記複数のシード層のうちの1層は、該層に付着される層が前記p型層に拡散するのを防ぐ拡散バリアである、請求項19に記載の方法。
- 発光用の半導体デバイスを製造する方法であって、
(a)前記半導体デバイスの複数のエピタキシャル層におけるp型層上に、p型金属の層を形成するステップと、
(b)前記p型金属の層上に少なくとも1つのシート層を付着するステップであって、該シード上に付着される層が前記p型層に拡散するのを防ぐ拡散バリアとして該シード層が機能する、ステップと
を備える方法。 - 前記少なくとも1つのシード層が複数のシード層を備え、第1のシード層が、光反射性である、第1の熱膨張係数を有する第1の材料からなり、
前記第1のシード層上に、前記複数のシード層における第2のシード層を形成し、前記第2のシード層が、第2の熱膨張係数を有する第2の材料からなり、前記第2の熱膨張係数が前記第1の熱膨張係数より大きい、請求項21に記載の方法。 - 前記第2のシード層上に外層を形成するステップをさらに備え、
前記外層が、比較的厚く、前記半導体デバイス用の、構造支持体、ヒートシンク、放熱体及び電流散逸体からなる群から選択される少なくとも1つのためのものであり、且つ、前記半導体デバイス用の端子として機能する、請求項19、20又は22に記載の方法。 - 複数のエピタキシャル層におけるn型金属層上にn型金属アレイを形成するステップをさらに備える、請求項19〜23のいずれか一項に記載の方法。
- 前記n型金蔵アレイ及び前記外層が、前記半導体デバイス用の端子である請求項23に追加されたときの、請求項24に記載の方法。
- 複数のエピタキシャル層を備える発光用の半導体デバイスを製造する方法であって、
前記複数のエピタキシャル層におけるp型層上に、複数のシード層における第1のシード層を反射層として形成するステップと、
前記複数のシード層上に導電材料からなる外層を形成するステップと、
前記複数のエピタキシャル層におけるn型層上に、光出力におけるその影響を最小限に抑えるために、前記n型層の中央にてアレイ状にn型金属を形成するステップと
を備え、前記n型金属及び前記外層が前記半導体デバイス用の端子である、方法。 - 前記第1のシード層が、反射材料からなり、かつ、第1の熱膨張係数を有し、
当該方法がさらに、前記第1のシード層上に、第2の熱膨張係数を有する第2の材料からなる第2のシード層を形成するステップを備え、
前記第2の熱膨張係数が、前記第1の熱膨張係数より大きい、請求項26に記載の方法。 - 前記第2のシード層が形成される前に、前記第1のシード層上に少なくとも1つの中間シード層を形成するステップをさらに備え、
前記少なくとも1つの中間シード層が、前記第1の熱膨張係数より大きく、前記第2の熱膨張係数より小さい中間熱膨張係数を有する少なくとも1つの材料からなる、請求項19、20、22〜25及び27のいずれか一項に記載の方法。 - 前記外層が、前記第2の材料から構成される、請求項23〜25、27及び28のいずれか一項に記載の方法。
- 前記反射材料、前記2の材料及び前記中間シード層の材料が互いに異なる材料である、請求項28又は29に記載の方法。
- 窒化ガリウム半導体デバイスである、請求項19〜30のいずれか一項に記載の方法。
- 基板上に形成された複数のエピタキシャル層からなる発光用の半導体デバイスを製造する方法であって、
前記複数のエピタキシャル層が前記複数のエピタキシャル層の電気的特性及び機械的特性を保持すべく非損傷状態で、前記複数のエピタキシャル層から前記基板を分離すると同時に、前記複数のエピタキシャル層が前記複数のエピタキシャル層の電気的特性及びステップを備える、方法。 - 分離前に、前記複数のエピタキシャル層上に少なくとも1つのシード層を形成するステップと、前記少なくとも1つのシード層上に外層を形成するステップとをさらに備え、
前記外層が、比較的厚く、前記半導体デバイス用の、構造支持体、ヒートシンク、放熱体及び電流散逸体からなる群から選択される少なくとも1つのためのものであり、かつ、前記半導体デバイス用の端子として機能する、請求項32に記載の方法。 - 前記少なくとも1つのシード層が形成された後であって、前記外層が前記少なくとも1つのシード層上に形成される前に、
(a)p型金属オーミック接触層を複数のエピタキシャル層におけるp型層に付着するステップと、
(b)前記p型金属オーミック接触層及び前記p型層上に酸化物層を付着するステップと、
(c)前記金属オーミック接触層から前記酸化物層を除去するステップと、
(d)前記酸化物層及び前記金属オーミック接触層上に前記少なくとも1つのシード層を堆積するステップと
が行われる、請求項33に記載の方法。 - 前記ステップ(d)の後であって、前記外層が形成される前に、厚いレジストパターンが前記少なくとも1つのシード層に付着され、前記外層が、前記厚いレジストパターン間に形成される、請求項34に記載の方法。
- 前記外層が、前記厚いレジストパターン上に形成される、請求項35に記載の方法。
- 前記外層が続いて研磨される、請求項35又は36に記載の方法。
- 前記酸化物層が二酸化ケイ素である、請求項34〜37のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板の分離に続いて、
(a)各メサ部の縁部に沿ったトレンチエッチングによって、個別のデバイスの孤立化の第1の段階と、
(b)パッドエッチングステップと、
(c)ダイ孤立化ステップと、
(d)前記複数のエピタキシャル層におけるn型層上にn型オーミック接触アレイを形成するステップと、
(e)ダイ分離ステップと
が行われる、請求項32〜38のいずれか一項に記載の方法。
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