JP2009503139A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. インプリントリソグラフィの基板に層を接着する方法であって、
   （ｉ）有機主鎖基（ａ）と、前記有機主鎖基の対向する両端に結合された、互いに異なる第１官能基と第２官能基（ｂ）とを有する多官能性反応性化合物を含んだ組成物を前記インプリントリソグラフィの基板に堆積するステップと、
   （ｉｉ）前記組成物を架橋、重合させるステップ、および前記第２官能基を介して前記インプリントリソグラフィの基板と前記多官能性反応性化合物間の相互作用を形成するステップとを含む、前記組成物を熱硬化させるステップと、
   （ｉｉｉ）前記熱硬化された組成物上に重合可能な材料を堆積させて前記層を形成するステップと、
   （ｉｖ）前記重合可能な材料を化学線エネルギーに曝露し、前記重合可能な材料を重合するステップと、
   から成り、
   前記重合可能な材料を重合するステップは、前記第１官能基を介して前記熱硬化された組成物にある重合可能な材料と前記多官能性化合物との間に共有結合を形成することを特徴とする方法。
2. 前記相互作用は、共有結合、イオン結合、ファンデルワールス力から構成される接着機構の中から選択されることを特徴とする請求項１記載の方法。
3. 前記重合可能な材料を堆積させるステップは、前記熱硬化された組成物上に前記重合可能な材料の液滴を離散して堆積させることを特徴とする請求項１記載の方法。
4. 前記組成物は、架橋剤をさらに有することを特徴とする請求項１記載の方法。
5. 前記第１官能基は、アクリル酸基であることを特徴とする請求項１記載の方法。
6. 前記有機主鎖基は脂肪族および芳香族から構成される複数の群から選択されることを特徴とする請求項１記載の方法。
7. インプリントリソグラフィの基板に層を接着する方法であって、
   （ｉ）有機主鎖基（ａ）と前記有機主鎖基の対向する両端に結合された第１官能基と第２官能基（ｂ）とを有する多官能性反応性化合物を含んだ組成物を、前記インプリントリソグラフィの基板に堆積するステップと、
   （ｉｉ）前記組成物を架橋、重合させるステップ、および前記第２官能基と前記インプリントリソグラフィの基板との間に相互作用を形成するステップを含む、前記組成物を凝固させて前記インプリントリソグラフィの基板に接着するステップと、
   （ｉｉｉ）前記凝固された組成物上に重合可能な材料の液滴を離散して堆積するステップと、
   （ｉｖ）前記重合可能な材料をインプリントリソグラフィのモールドに接触させるステップと、
   （ｖ）前記重合可能な材料を重合するステップと、
   （ｖｉ）前記インプリントリソグラフィのモールドを前記重合された材料から剥離するステップと、
   から成り、前記相互作用は、共有結合、イオン結合、ファンデルワールス力から構成される接着機構の中から選択され、
   前記重合するステップは、重合している間、前記凝固された組成物内の前記重合可能な材料と前記第１官能基との間に共有結合を形成するステップを有することを特徴とする方法。
8. 前記組成物を凝固するステップは、前記組成物を熱硬化するステップと、化学線エネルギーに前記重合可能な材料を曝露するステップをさらに有することを特徴とする請求項７記載の方法。
9. 前記第１官能基と前記第２官能基は異なることを特徴とする請求項７記載の方法。
10. 前記組成物は架橋剤を有し、前記組成物を凝固するステップは、前記第２官能基が前記インプリントリソグラフィの基板と前記架橋と反応するステップをさらに有することを特徴とする請求項７記載の方法。
11. 前記第１官能基はアクリル酸基であることを特徴とする請求項７記載の方法。
12. 前記有機主鎖基は、脂肪族および芳香族から構成される複数の群から選択されることを特徴とする請求項１記載の方法。