JP2009152604A - 位置決めデバイスのためのコントローラ、位置決めデバイスを制御する方法、位置決めデバイスおよび位置決めデバイスを備えるリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位置決めデバイスのためのコントローラは、位置決めデバイスの位置を示す位置信号を受信し、エラー信号を得るために位置信号を位置決めデバイスの所望の位置を示すセットポイント信号と比較し、変更されたエラー信号を得るためにエラー信号の振幅成分および周波数成分に基づいてエラー信号を選択的に変更し、位置決めデバイスを制御するための制御信号を変更されたエラー信号に基づいて生成するように構成される。このコントローラは、リソグラフィ装置の位置決めデバイスの制御に適用されてもよい。
【選択図】図2
Description
Claims (16)
- 位置決めデバイスに使用されるためのコントローラであって、
前記位置決めデバイスの位置を示す位置信号を受信し、エラー信号を得るために前記位置信号を前記位置決めデバイスの所望の位置を示すセットポイント信号と比較し、変更されたエラー信号を得るために前記エラー信号の振幅成分および周波数成分に基づいて前記エラー信号を選択的に変更し、前記位置決めデバイスを制御するための制御信号を前記変更されたエラー信号に基づいて生成するように構成されるコントローラ。 - 前記エラー信号を選択的に変更するために、
(a)フィルタされたエラー信号を得るために前記エラー信号に対して周波数に基づいた第1のフィルタリングを行い、
(b)前記フィルタされたエラー信号を振幅に基づいて変更し、
(c)周波数に基づいた前記第1のフィルタリングの逆に実質的に相当する、周波数に基づいた第2のフィルタリングを行う、
ように構成される請求項1に記載のコントローラ。 - 前記エラー信号を選択的に変更するための帯域通過フィルタを備える請求項1に記載のコントローラ。
- 前記エラー信号を選択的に変更するための非線形のフィルタを備える請求項1に記載のコントローラ。
- 前記非線形のフィルタは、大きさが所定の範囲内にあるエラー信号に対する利得を、大きさが前記範囲外にあるエラー信号に対する値よりも低いある値に選択的に設定する請求項4に記載のコントローラ。
- 前記エラー信号を選択的に変更するためのデッドゾーンフィルタを備える請求項1に記載のコントローラ。
- 対象を位置決めする位置決めデバイスであって、
第1部分および第2部分を備え、
前記第1部分は前記第2部分に対して移動可能であり、前記第2部分は前記対象を受け、
当該位置決めデバイスはさらに、
前記対象の位置を示す位置信号を生成する位置センサと、
前記対象の位置を示す位置信号を受信し、エラー信号を得るために前記位置信号を前記対象の所望の位置を示すセットポイント信号と比較し、変更されたエラー信号を得るために前記エラー信号の振幅成分および周波数成分に基づいて前記エラー信号を選択的に変更し、前記位置決めデバイスを制御するための制御信号を前記変更されたエラー信号に基づいて生成するコントローラと、を備える位置決めデバイス。 - 前記コントローラは、前記エラー信号を選択的に変更するために、
(a)フィルタされたエラー信号を得るために前記エラー信号に対して周波数に基づいた第1のフィルタリングを行い、
(b)前記フィルタされたエラー信号を振幅に基づいて変更し、
(c)周波数に基づいた前記第1のフィルタリングの逆に実質的に相当する、周波数に基づいた第2のフィルタリングを行う、
請求項7に記載の位置決めデバイス。 - 前記コントローラは前記エラー信号を選択的に変更する帯域通過フィルタを含む請求項7に記載の位置決めデバイス。
- 前記コントローラは前記エラー信号を選択的に変更するデッドゾーンフィルタを含む請求項7に記載の位置決めデバイス。
- 前記第1部分はロングストロークアクチュエータであり、前記第2部分はショートストロークアクチュエータである請求項7に記載の位置決めデバイス。
- 放射ビームを調節する照明システムと、
パターン形成された放射ビームを形成するために前記放射ビームの断面にパターンを付与することが可能なパターニングデバイスを支持するよう構成されたパターニングサポートと、
基板を保持するよう構成された基板サポートと、
前記基板のターゲット部分に前記パターン形成された放射ビームを投影する投影システムと、
前記サポートのうちの少なくともひとつを位置決めする位置決めデバイスと、を備え、
前記位置決めデバイスは、
第1部分および第2部分を含み、
前記第1部分は前記第2部分に対して移動可能であり、前記第2部分は前記サポートのうちの前記少なくともひとつを受け、
前記位置決めデバイスはさらに、
前記サポートのうちの前記少なくともひとつの位置を示す位置信号を生成する位置センサと、
前記サポートのうちの前記少なくともひとつの位置を示す位置信号を受信し、エラー信号を得るために前記位置信号を前記サポートのうちの前記少なくともひとつの所望の位置を示すセットポイント信号と比較し、変更されたエラー信号を得るために前記エラー信号の振幅成分および周波数成分に基づいて前記エラー信号を選択的に変更し、前記位置決めデバイスを制御するための制御信号を前記変更されたエラー信号に基づいて生成するコントローラと、を含むリソグラフィ装置。 - 前記第1部分はロングストロークアクチュエータであり、前記第2部分はショートストロークアクチュエータである請求項12に記載のリソグラフィ装置。
- 位置決めデバイスを制御する方法であって、
前記位置決めデバイスの位置を示す位置信号を受信することと、
エラー信号を得るために前記位置信号を前記位置決めデバイスの所望の位置を示すセットポイント信号と比較することと、
変更されたエラー信号を得るために前記エラー信号の振幅成分および周波数成分に基づいて前記エラー信号を選択的に変更することと、
前記位置決めデバイスを制御するための制御信号を前記変更されたエラー信号に基づいて生成することと、を含む方法。 - 前記エラー信号を選択的に変更することは、
フィルタされたエラー信号を得るために前記エラー信号に対して周波数に基づいた第1のフィルタリングを行うことと、
前記フィルタされたエラー信号を振幅に基づいて変更することと、
周波数に基づいた前記第1のフィルタリングの逆に実質的に相当する、周波数に基づいた第2のフィルタリングを行うことと、を含む請求項14に記載の方法。 - 機械で読み取り可能な命令を表すコンピュータコードを収容するデータキャリアであって、前記命令は、コンピュータシステムにロードされると前記コンピュータシステムを、位置決めデバイスを制御する方法を実行するコントローラとして働かせ、
前記方法は、
前記位置決めデバイスの位置を示す位置信号を受信することと、
エラー信号を得るために前記位置信号を前記位置決めデバイスの所望の位置を示すセットポイント信号と比較することと、
変更されたエラー信号を得るために前記エラー信号の振幅成分および周波数成分の両方に基づいて前記エラー信号を選択的に変更することと、
前記位置決めデバイスを制御するための制御信号を前記変更されたエラー信号に基づいて生成することと、を含むデータキャリア。
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