JP2003330545A - 制御装置及びこれを用いた振動切削装置 - Google Patents
制御装置及びこれを用いた振動切削装置Info
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Abstract
ック制御装置において、入指令の周波数が高い場合にも
高精度の応答が可能な制御装置を提供する。 【解決手段】 周期的駆動信号に応じて周期的動作を行
うアクチュエータに対し、目標値として所定の周期を有
する指令信号Pと、アクチュエータの制御量P’とを比
較することによってフィードバック制御を行うフィード
バック制御系20を有すると共に、指令信号に対応して
フィードバック制御系20の制御量を補償するフィード
フォワード制御器17を有する。また、フィードバック
制御系に入力される前記指令信号の位相に対し、フィー
ドバックフォワード制御器17に入力される前記指令信
号の位相を相対的に遅らせる遅延手段23を設け、この
遅延手段14は、前記指令信号Pの位相の遅延量を調整
可能とする。
Description
される指令に対して、高精度の周波数応答が可能な制御
装置及びこれを用いた振動切削装置に関するものであ
る。
所定周期で繰り返される指令に対し、制御偏差を零に収
束させ、高い精度のモータ制御を行うものとして繰り返
し制御装置が用いられている。
図8のブロック図に示すような構成を有する予見繰り返
し制御装置が知られている。
の遅れ要素81は、制御対象84を同定した場合に設定
される次数Nによって決まるサンプリング数Nだけ入力
される指令信号を遅らせるものとなっている。82は積
分器、83はゲインである。前記制御対象84は、速度
コントローラとサーボモータなどを含めたものであって
伝達関数Goで表される伝達特性を有しており、従来か
ら公知のPI(比例・積分)制御等を行うものとなって
いる。85は繰り返し制御器、86は逆システムフィー
ドフォワードコントローラである。この逆システムフィ
ードフォワードコントローラ86は、制御対象84の伝
達特性を同定して得られるコントローラであり、速度指
令Pを入力することにより、指令uを出力する。この指
令uは加算器89においてゲイン83から出力される速
度指令vに加算される。
量によるフィードバック量ωは、前記遅れ要素81から
出力される速度指令Pdと減算器88において減算され
る。このフィードバック量ωは、サンプリング周期tの
間にサーボモータが移動した移動量のフィードバック量
ωであり、また速度指令Pdは、遅れ要素81で指令P
よりNサンプリング分だけ遅らせられた指令である。そ
して、この速度指令Pdと前記フィードバック量ωとを
減算して偏差を求め、この偏差を積分器82で積分し位
置偏差dを求める。この位置偏差dは繰り返し制御器8
5に入力される。
すブロック図である。図において、減衰器31は前記積
分器82から出力された偏差信号dを所定の周波数帯域
に制限するよう機能し、この繰り返し制御器を安定化さ
せる働きを有する。また、遅れ要素33は信号をモータ
の1駆動周期分だけ遅らせた信号εを生成し、この信号
εを加算器34によって偏差信号dに加算し、繰り返し
制御器に入力される偏差信号dを駆動周期毎に積分する
働きをする。ディジタルフィルタ32は上記積分された
信号に働き、制御対象の動特性を補償する働きをする。
から出力された補正量yは、加算器87で位置偏差dに
加算される。その結果、位置偏差dは駆動周波数の周波
数成分に対して零になるように修正され、この修正され
た位置偏差(d+y)に対してゲイン83を乗じて指令
vを求める。
トローラ86はN次のFIR型ディジタルフィルタで構
成されている。この伝達関数ISは次のようになる。
N-1Z-(N-1)+WNZ-N ここで、係数Wi(i=0〜N)は制御対象84の逆シ
ステムになるよう最急降下法を適応した適応アルゴリズ
ムにより自動的に決定される。このコントローラはN次
の遅れを有するので、指令uと速度指令vとの位相を一
致させるために、遅れ要素81を用い、フィードバック
制御系への指令Pの入力を遅らせるようになっている。
れている制御対象を同定して得られる伝達関数ISの伝
達特性と、制御対象の伝達特性の逆関数を完全に一致さ
せることは困難であり、両伝達特性には不一致が生じ
る。その結果、上記のように遅れ要素81を用いたとし
ても、フィードフォワード制御器による出力とフィード
バック制御系に入力される移動指令Pdの位相を完全に
一致させることができず、この位相差による偏差がPI
D制御器のI成分に積分されて、追従性の低下を招くと
いう課題があった。
の加工に用いられる振動切削装置などに適用した場合、
制御装置の追従性が低いことから振動切削装置の駆動周
波数を高めることができず、ワークの送り速度が低下
し、加工時間が増大してしまうという問題が生じた。
なされたもので、フィードフォワード系を含むフィード
バック制御装置において、入力される指令の周波数が高
い場合にも、高精度の応答が可能な制御装置及びこれを
用いた振動切削装置の提供を目的とする。
め、本発明は、次のような構成を有する。すなわち、本
発明は、周期的駆動信号に応じて周期的動作を行うアク
チュエータに対し、目標値としての所定の周期を有する
指令信号と前記アクチュエータの制御量とを比較するこ
とによってフィードバック制御を行うフィードバック制
御系を有する制御装置であって、前記指令信号に対応し
て前記フィードバック制御系の制御量を補償するフィー
ドフォワード制御器と、前記フィードフォワード制御系
に入力される前記指令信号の位相に対し、前記フィード
バック制御器に入力される前記指令信号の位相を相対的
に遅らせる遅延手段と、を備え、前記遅延手段は、前記
指令信号の位相の遅延量を調整可能とすることを特徴と
するものである。
御装置から出力される周期的駆動信号に従ってバイトを
振動させるバイト駆動機構とを備え、前記バイト駆動機
構は、前記バイトを保持すると共に所定のフレームによ
って交差する2方向に移動可能に支持されるバイトホル
ダと、前記制御装置から出力される周期的駆動信号によ
り前記バイトホルダに対して前記交差する2方向に沿っ
てそれぞれ前記バイトホルダに振動を付与する第1、第
2のアクチュエータと、を備える振動切削装置である。
御系に入力される指令信号はフィードバック制御系に入
力される指令信号よりも任意時間Δtだけ遅延されて入
力される。この任意時間Δtを変更することで、フィー
ドバック制御系の制御量とフィードフォワード制御系の
出力との位相差を解消することができ、制御装置の追従
性を高めることができる。また、制御装置における追従
性の低下は、フィードバック制御系に含まれるPID制
御器のI成分によって生じるため、任意時間Δtを変更
する手段にはPID制御器からの出力を用いる手段が適
応可能である。制御装置を振動切削装置に適用した場
合、駆動周波数を上げることができるため、ワークの送
り速度を向上することができる。その結果、加工時間を
短縮することができる。
比較して十分小さくない場合、任意時間Δtをサンプリ
ング周期t以下の時間で設定すると、フィードフォワー
ド制御器の出力信号によるバイト位置の応答特性である
位置信号とフィードバック制御系への指令信号との位相
差を解消する効果が大きい。従って、追従性をより向上
させることができ、この制御装置を振動切削装置に適用
した場合、より加工時間を短縮することができる。
の第1の実施形態を図1ないし図6に基づき説明する。
図1は本発明の第1の実施形態における制御装置を含む
振動切削加工機の全体構成を概略的に示すブロック図で
ある。図において、11はこの振動切削加工機に設けら
れているバイト駆動機構70のバイト77の駆動軌跡を
生成するバイト駆動指令信号生成器、13は後述のアク
チュエータを駆動するための電流アンプ等に代表される
アクチュエータ駆動装置、71は後述の振動切削加工機
のバイトを駆動するアクチュエータである。この実施形
態では、前記アクチュエータとして磁歪アクチュエータ
を用いており、アクチュエータ駆動装置13の出力によ
って駆動されるようになっている。
を機械的に結合するバイトホルダー、14はバイトホル
ダー内に設けられ、バイトホルダー73の変位を検出す
る位置センサーである。また、12はバイト駆動信号P
とバイト変位信号P’とに基づき、アクチュエータ71
の駆動信号を生成するディジタル制御装置であり、前記
位置センサー14からの信号が負帰還されることによ
り、閉ループが形成されている。
を図2に示すブロック図に基づき説明する。図におい
て、25は入力される指令信号Pdと前記変位センサー
によって検出されるバイト変位信号P’の偏差dを求め
る減算器、21は前記アクチュエータ71への指令wを
計算しフィードバック制御系を安定化させるよう機能す
る周知のPID(比例・積分・微分)制御器、22は所
定の周期を有する移動指令が入力に対して制御系の追従
性を向上させる繰り返し制御器、23は入力される指令
信号Pを遅れ時間Δtだけ遅らせる遅れ要素、24は上
記PId制御機21から算出される指令ωと前記繰り返
し制御器22から算出される指令yと後述のフィードフ
ォワード制御器26より出力される指令uとを加算する
加算器であり、その値は前記アクチュエータ駆動装置1
3に駆動信号Irefとして出力される。なお、上記2
1、22及び25によってフィードバック制御系20が
構成されている。
ィジタルフィルタ26aによって構成されており、この
ディジタルフィルタ26aによって外乱などの不要な周
波数成分を除去することによって、フィードバック制御
系における負担を軽減し、応答特性を高めるものとなっ
ている。
を任意の値に設定し得るものとなっており、これによっ
て、前記フィードフォワード制御器26に入力される指
令Pの位相に対し、フィーバック制御系に入力される指
令P(減算器25への入力)の位相を適宜変更し得るよ
うになっている。また、前記繰り返し制御器22は、前
記従来技術にて示したものと同様であるのでここでは、
その説明の詳細は省略するが、ここに示す繰り返し制御
器では、減算器25から出力された偏差dを積分し、そ
の値yを前記加算器24に入力するものとなっている。
駆動機構の構成を説明する。図7はバイト駆動機構70
の構成を示す縦断側面図である。図において、このバイ
ト駆動機構70は、内部に可動部74を収納してなるメ
インフレーム70Aと、このメインフレーム70Aの上
面部及び側面部に固定されたアクチュエータ収納部70
B,70Cとによってその外殻が構成されている。一方
のアクチュエータ収納部70Bの内部には磁歪アクチュ
エータ71aが、他方のアクチュエータ収納部70Cに
はアクチュエータ71bがそれぞれ保持されており、一
方の磁歪アクチュエータ71aはZ方向に伸縮し、他方
の磁歪アクチュエータ72bはX方向に伸縮する方向に
配置されている。また、各アクチュエータ収納部70
B,70Cには冷却部72a,72bが埋設されてお
り、これらによって各アクチュエータ71a,71bを
冷却し、アクチュエータからの発熱を短時間で抑え、熱
変位などの影響を極力減少させて熱的安定性を保つよう
になっている。
ャンク77aの先端にダイヤモンドチップ77bを固定
した超精密ダイヤモンドバイトであり、このバイト77
はバイトホルダー73に固定され、バイトホルダー73
は前記可動部74に固定されている。可動部74には、
前記磁歪アクチュエータ71a,71bが弾性ヒンジ7
5a,75bを介してそれぞれ接続されている。なお、
一方の弾性ヒンジ75aはヒンジ部分が1段であり、他
方の弾性ヒンジ75bはヒンジ部分が2段のヒンジとな
っている。また、可動部74は、上面部及び下面部が板
バネ76a及び76bを介してメインフレーム70に保
持されている。一方の板バネ76aは十字形状をなして
いるため、平面方向(X及びY方向)に高い剛性を有
し、かつ(上下方向)Z方向に柔軟性を有する板バネと
なっており、その平面方向における取り付け位置は弾性
ヒンジ75aの中間位置に所定の隙間を介して配置され
ている。また、他方の板バネ76bは平面上の一方向
(Y方向)に高い剛性を有し、かつ平面状の他方向(X
方向)及び上下方向(Z方向)に柔軟性を有する板バネ
となっている。
71b、板バネ76a,76b、及び弾性ヒンジ75
a,75bを構成することにより、可動部74は、磁歪
アクチュエータ71aの伸縮によってZ方向に運動する
と共に、磁歪アクチュエータ71bの伸縮によって板バ
ネ76aの十字形状の中央を回転中心とした円弧状の運
動を行う。また、この板バネ76a,76bの形状及び
配置により、バイト先端の移動方向は上記の方向に制限
され、それ以外の方向に付いての移動は板バネの剛性に
よって阻止される一方、X方向については大きなストロ
ークが得られる構成となっている。
は、磁歪アクチュエータ71a、71bに周期的な駆動
信号を入力し、その駆動信号によって各磁歪アクチュエ
ータを周期的に振動させて、バイト77の先端部に設け
られたダイヤモンドチップ77bをワークに接触させて
切削加工を施す。この切削加工におけるZ方向のバイト
駆動信号Pの一例を図4に示す。図中、横軸は時間、縦
軸はバイト位置指令を示しており、図示のように、ある
一定の周期を持った波形が駆動信号として入力される。
制御を行った場合、通常は、機構系の共振が制御の不安
定要因になるので、PID制御器21は、機構系の共振
周波数より高い周波数成分の信号を取り除くような特性
に設計される。その結果、PID制御によって駆動され
るバイトの応答性は制約を受けることとなる。
号Pが所定周期で繰り返される波形であることに着目
し、繰り返し制御器22を付加し、周期的な波形に対す
る応答性の向上を図ると共に、フィードフォワード制御
器26を付加した。フィードフォワード制御器26を構
成するディジタルフィルタ26aの特性はアクチュエー
タ駆動装置13とバイト駆動機構80の伝達特性によっ
て決定される。
uは、前述のように加算器24によってPDI制御器2
1の出力信号u及び繰り返し制御器22の出力信号yと
加算され、得られた信号が駆動信号Irefとなってア
クチュエータ71に入力され。そして、このアクチュエ
ータ71によって振動するバイト77の位置が、バイト
ホルダー73に設けられた位置センサー14によって検
出され、その検出出力がフィードバック制御系20の入
力として用いられる。
出力信号uを加えて得られた駆動信号Irefによって
駆動されたバイト77の応答特性である位置信号P’
と、フィードバック制御系への指令信号Pdとの間に位
相差が生じたとすると、フィードフォワード制御器26
の出力信号を加えて得られる駆動信号により駆動される
バイトの位置信号とフィードバック制御系への指令信号
との間の偏差が増大する可能性があり、フィードフォワ
ード制御器26を設けたことによる効果が十分に得られ
ないこととなる。
ドフォワード制御器26の出力信号によるバイト位置の
応答特性が高周波成分を持たないようにディジタルフィ
ルタ26aを設計すると共に、前記遅れ要素23を可変
とすることにより、フィードフォワード制御器26の出
力信号によるバイト位置の応答特性である位置信号と、
フィードバック制御系への指令信号との間に生じる位相
差を解消するものとなっている。
25に入力される指令信号Pdに対し、フィードフォワ
ード制御器26に入力する指令信号Pを任意の時間Δt
だけ遅延させるよう遅れ要素23を設定することによ
り、加算器24における出力信号uとフィードバック制
御系における信号w,yとの間の位相を合わせ、それに
よって、フィードフォワード制御器26による外乱によ
る影響を抑制する効果を得ることができ、追従性を高め
ることができる。なお、遅れ要素23はメモリーであ
り、Z-Nと表現されるものである。また、フィードフォ
ワード制御器26の出力とフィードバック系との間に発
生する位相差は、PID制御器21のI成分に起因する
ため、Δtの決定にはPID制御器21のI成分の出力
を用いて決定している。
る制御装置は、フィードバック制御系における遅れ要素
23を可変とすることによって優れた追従性を得ること
ができるため、この制御装置を用いた振動切削装置の駆
動周波数を高めることができる。その結果、ワークの送
り速度を高めることが可能となり、加工時間の短縮を図
ることができる。
の実施形態における制御装置を説明する。図5はこの第
2の実施形態おける制御装置及びこれを用いた振動切削
装置の全体構成を示すブロックである。図において、5
1はフィードフォワード制御系用駆動指令信号生成器
(FF駆動指令信号生成器)であり、この信号生成器5
1は、フィードバック制御系に入力されるバイト駆動指
令信号Pdに対して任意時間Δtだけ位相の進んだ駆動
指令をフィードフォワード制御器であるデジタルフィル
タ26aに提供するものである。この任意時間Δtは、
サンプリング周期tに関わらず設定可能である。また、
11はフィードバック制御系に対してバイト駆動指指令
信号Pdを生成するバイト駆動指令信号生成器である。
なお、その他の構成は上記実施形態と同様である。
においては、フィードバック駆動指令信号生成器51か
ら駆動指令信号Pdに対し、Δtだけ位相を進ませた信
号をフィードフォワード制御器を構成するディジタルフ
ィルタ26aに入力するようにしたため、フィードフォ
ワード制御器26から出力される信号uとフィードバッ
ク制御系において出力される信号w,yとの位相を合わ
せることができ、これによって追従性を向上させること
ができる。しかも、この第2の実施形態においては、F
Fバイト駆動指令信号生成器51によってサンプリング
周波数に関わりなくΔtの設定が可能であるため、Δt
をサンプリング周期t以下に設定することが可能であ
り、高精度な位相操作が可能となる。このため、上記第
1の実施形態と比較して指令信号Pdとバイトホルダ7
3に設けられた位相センサ(ここでは図示せず)による
検出位置との偏差を零に近づけることができる。この実
施形態においても、Δtの設定には上記第1の実施形態
と同様にPID制御器21のI成分の出力を用いてい
る。
に対し、本発明の制御装置を用いた振動切削装置による
加工軌跡(実線にて示す)と、PID制御器のみを用い
た振動切削装置による加工軌跡(一点鎖線にて示す)と
を示す。図示のように、本発明による加工軌跡は、PI
Dの加工軌跡に比べ明らかに追従性の改善されたものと
なっている。
バイト駆動機構のアクチュエータ71として磁歪素子を
用いているが、この磁歪素子に替えて圧電素子を用いる
ことも可能であり、この場合にも磁歪素子を用いた場合
と同様の効果を期待できる。また、本発明の制御装置を
適用する装置として、上記実施形態では振動切削装置を
例に採り説明したが、本発明は周期的信号を指令信号と
して制御動作を行う装置全般に適用可能であり、それら
装置に対しても上記実施形態と同様の効果を得ることが
できる。
ドバック制御系を有すると共に、所定の周期を有する指
令信号に対応して前記フィードバック制御系の制御量を
補償するフィードフォワード制御器を備え、フィードバ
ック制御系に入力される前記指令信号の位相に対し、前
記フィードフォワード制御器に入力される前記指令信号
の位相を遅延手段によって相対的に遅らせ得るようにし
たため、フィードバック制御系とフィードフォワード制
御系との位相差を解消することができ、加工速度の高速
化を図ることができる。
延時間を、サンプリング時間より短い時間に設定するこ
とにより、より追従性の高い応答を得ることが出来る。
振動切削装置によれば、高周波の入力指令に対しても高
い追従性が得られ、ワークの送り速度を向上させること
ができ、良好な加工速度を得ることができる。このた
め、本発明は、高精度光学金型の加工などに極めて有効
なものとなる。
の概略構成を示すブロック図である。
ブロック図である。
である。
動させるためのバイト駆動信号の一例を示す線図であ
る。
成を示すブロック図である。
いた振動切削加工器の軌跡を示す線図である。
構成を示す縦断側面図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 周期的駆動信号に応じて周期的動作を行
うアクチュエータに対し、目標値としての所定の周期を
有する指令信号と前記アクチュエータの制御量とを比較
することによってフィードバック制御を行うフィードバ
ック制御系を有する制御装置であって、 前記指令信号に対応して前記フィードバック制御系の制
御量を補償するフィードフォワード制御器に入力される
前記指令信号の位相に対し、前記フィードバック制御器
に入力される前記指令信号の位相を相対的に遅らせる遅
延手段と、を備え、 前記遅延手段は、前記指令信号の位相の遅延量を調整可
能とすることを特徴とする制御装置。 - 【請求項2】 前記遅延手段は、前記フィードバック制
御系に入力される指令信号を遅延するものであって、前
記フィードフォワード制御器における遅延量より小なる
遅延量を設定可能であることを特徴とする請求項1に記
載の制御装置。 - 【請求項3】 前記遅延手段は、前記フィードフォワー
ド制御器に入力される指令信号の位相を進ませるもので
あることを特徴とする請求項1に記載の制御装置。 - 【請求項4】 前記遅延手段は、位相の調整を制御装置
のサンプリング周期よりも短い時間で調整可能であるこ
とを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の制
御装置。 - 【請求項5】 前記遅延手段の遅延量は、PID制御器
からの出力により変更することを特徴とする請求項1な
いし4のいずれかに記載の制御装置。 - 【請求項6】 前記請求項1ないし5のいずれかに記載
の制御装置と、 前記制御装置から出力される周期的駆動信号に従ってバ
イトを振動させるバイト駆動機構とを備え、 前記バイト駆動機構は、前記バイトを保持すると共に所
定のフレームによって交差する2方向に移動可能に支持
されるバイトホルダと、 前記制御装置から出力される周期的駆動信号により前記
バイトホルダに対して前記交差する2方向に沿ってそれ
ぞれ前記バイトホルダに振動を付与する第1、第2のア
クチュエータと、を備えたことを特徴とする振動切削装
置。 - 【請求項7】 前記アクチュエータは、磁歪素子または
圧電素子であることを特徴とする請求項6記載の振動切
削装置。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007075915A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Kobe Univ | 切削加工方法および切削加工装置 |
JP2008199020A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
JP2009152604A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Asml Netherlands Bv | 位置決めデバイスのためのコントローラ、位置決めデバイスを制御する方法、位置決めデバイスおよび位置決めデバイスを備えるリソグラフィ装置 |
JP2010003071A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Idemitsu Kosan Co Ltd | プラントの制御装置 |
JP2011234603A (ja) * | 2010-04-09 | 2011-11-17 | Canon Inc | 振動型アクチュエータの制御回路 |
JP2013248683A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Kobe Steel Ltd | 多関節ロボットの弾性変形補償制御装置および制御方法 |
WO2020003658A1 (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 画像表示装置および駆動装置 |
WO2022025057A1 (ja) * | 2020-07-29 | 2022-02-03 | ファナック株式会社 | 工作機械の制御装置 |
-
2002
- 2002-05-15 JP JP2002140758A patent/JP3970091B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007075915A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Kobe Univ | 切削加工方法および切削加工装置 |
JP2008199020A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
US8014881B2 (en) | 2007-02-15 | 2011-09-06 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2012074718A (ja) * | 2007-12-19 | 2012-04-12 | Asml Netherlands Bv | 位置決めデバイスのためのコントローラ、位置決めデバイスを制御する方法、位置決めデバイスおよび位置決めデバイスを備えるリソグラフィ装置 |
JP2009152604A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Asml Netherlands Bv | 位置決めデバイスのためのコントローラ、位置決めデバイスを制御する方法、位置決めデバイスおよび位置決めデバイスを備えるリソグラフィ装置 |
JP2010003071A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Idemitsu Kosan Co Ltd | プラントの制御装置 |
JP2011234603A (ja) * | 2010-04-09 | 2011-11-17 | Canon Inc | 振動型アクチュエータの制御回路 |
JP2013248683A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Kobe Steel Ltd | 多関節ロボットの弾性変形補償制御装置および制御方法 |
WO2020003658A1 (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 画像表示装置および駆動装置 |
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