JP2003141833A - ヘッド位置決め装置、およびこれを用いたディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 二重アクチュエータを用いたヘッド位置決め
装置において、振動や衝撃などの外乱を受けても、常に
安定な動作で位置決め制御が可能なヘッド位置決め装
置、およびそれを用いたディスク装置を提供する。 【解決手段】 振動検出部１６０は、微動アクチュエー
タ５２の変位量に応じた相対変位信号ｙ２を入力し、高
周波成分のみを抽出する。微動アクチュエータ５２は、
位置誤差信号ｅ２に基づき生成された微動制御信号ｕ２
と上記高周波成分とを微動補正部１６４で合成した信号
に応じて駆動される。また、粗動アクチュエータ５１
は、相対変位信号ｙ２に基づき生成された粗動制御信号
ｕ１と上記高周波成分とを粗動補正部１６３で合成した
信号に応じて駆動される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、二重構造のアクチ
ュエータを有するヘッド位置決め装置、およびこれを用
いたディスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、マルチメディアの進展に伴って、
ディスク状の記録媒体上で目標位置に高速にヘッドの位
置決めを行い、大容量の映像情報、音声情報、文字情報
などを高速で記録再生する高記録密度のディスク装置
が、市場から強く要請されており、ヘッドの高速高精度
な位置決め技術が種々提案されている。このような高速
高精度の位置決めを実現する技術として、主要な駆動機
構と、補助の駆動機構との二つの駆動機構が協働するよ
うに制御することでヘッドの位置決めを行う手法が注目
されている。

【０００３】主要な駆動機構は、主としてシーク動作や
複数のトラックジャンプなどの大移動のために使用さ
れ、ボイスコイルモータ（以下、ＶＣＭと呼ぶ）などに
より、シャーシに取り付けられた軸を中心にヘッド支持
機構を回転させ、ヘッドおよびヘッドスライダを動か
す。補助の駆動機構は、主としてトラック追従や１トラ
ックジャンプなどの高速で微小な位置決めを行うために
使用され、圧電素子であるピエゾ素子などにより、主要
な駆動機構の先端部で、可動範囲は狭いが広帯域に制御
され、速い応答性でヘッドおよびヘッドスライダの位置
決めを行う。主要な駆動機構と補助の駆動機構とを有し
た駆動機構部を、一般に二重アクチュエータ、あるいは
ピギーバックアクチュエータと呼ばれる。また、主要な
駆動機構は粗動アクチュエータ、補助の駆動機構は微動
アクチュエータとそれぞれ呼ばれ、このような二重アク
チュエータによるヘッドの位置決め制御手法が高速高精
度な位置決め手法として提案されている（例えば、特開
平１０−２５５４１８号公報）。

【０００４】特に、微動アクチュエータとしてのピエゾ
素子は、圧電効果と逆圧電効果の両機能を併せ持ってい
る。すなわち、逆圧電効果としての制御電圧によるひず
みを利用した微少な変位による位置制御と同時に、圧電
効果としての変位により発生する電圧を利用して、微少
な変位量を検出することができる。このため、この両機
能を利用したセルフセンシングアクチュエータと呼ばれ
るアクチュエータ制御手法も提案されている（例えば、
日本機械学会論文集６４巻６２４号、２９３１〜２９３
７（１９９８−８）「仮想ブリッジ回路に基づくセルフ
センシング・アクチュエータを用いたはりの軌跡制御」
参照）。さらに、このようなアクチュエータ制御手法を
ディスク装置に応用した技術として、粗動アクチュエー
タで駆動されるヘッド支持機構上に、微動アクチュエー
タとしてピエゾ素子を搭載し、ピエゾ素子の圧電効果と
逆圧電効果の両機能を利用して高速高精度な位置決め制
御が可能な二重アクチュエータ制御手法も提案されてい
る（例えば、特開昭６０−３５３８３号公報）。

【０００５】さらには、ピエゾ素子を利用した微動アク
チュエータを、ディスク装置に加わる振動や衝撃を検出
するためのセンサとしても機能させ、振動や衝撃による
ヘッド位置の変動を補正する二重アクチュエータ制御手
法も提案されている（例えば、特開平４−３３０６７９
号公報）。

【０００６】図５は、従来の、二重アクチュエータを用
い、微動アクチュエータ自体を振動センサとして機能さ
せて、振動等によって生じるヘッド位置の変動を補正可
能としたヘッド位置決め装置の構成図である。以下、図
５を参照して、従来例としてのヘッド位置決め装置につ
いて説明する。

【０００７】図５において、ディスク状の記録媒体の一
つである磁気ディスク１１（以下、ディスクと呼ぶ）に
情報の記録再生を行う磁気ヘッド１２（以下、ヘッドと
呼ぶ）は、ヘッドスライダ１３の先端部分に一体的に取
り付けられている。ヘッドスライダ１３は、微動アクチ
ュエータ５２の先端部分に搭載され、さらに微動アクチ
ュエータ５２はヘッド支持機構１４の先端部に連結され
ている。ヘッド支持機構１４は、ディスク装置本体に設
けた回転軸１４０を中心として粗動アクチュエータ５１
により駆動され、微動アクチュエータ５２と協働してヘ
ッド１２の位置決めを行う。また、粗動アクチュエータ
５１は、制御部９６の粗動駆動信号ｄ１により、目標位
置Ｒまでヘッド１２を含むヘッド支持機構１４を移動さ
せる。微動アクチュエータ５２は、制御部９６の微動駆
動信号ｄ２により、ヘッド支持機構１４の先端側に搭載
されたヘッド１２が、ヘッド支持機構１４の延長線上で
ある中心位置Ｙ１から、変位量Ｙ２だけ微少に変位する
ように制御される。ヘッド１２は、ディスク１１上にあ
らかじめ記録されたサーボ情報より、ヘッド１２の現在
位置Ｙを示す現在位置信号ｙを読み取る。一方、微動ア
クチュエータ５２による中心位置Ｙ１からヘッド位置Ｙ
までの変位量Ｙ２は、ピエゾ素子等を用いて検出するこ
とができる。ここでは、微動アクチュエータ５２の実際
の微小な変位量Ｙ２を相対変位信号ｙ２として検出して
いる。制御部９６は、現在位置信号ｙと、相対変位信号
ｙ２と、目標位置Ｒまで移動させるために指示された目
標位置信号ｒとを入力し、それぞれ演算し、粗動駆動信
号ｄ１、および微動駆動信号ｄ２を生成する。ヘッド１
２は、この演算結果より得られた駆動信号により目標位
置Ｒに位置決めされる。このような構成により、目標ト
ラックに向けての位置決め制御が行われる。

【０００８】さらに、本従来例では、制御部９６が振動
検出用ゲート信号ｇを入力している。制御部９６は、こ
の振動検出用ゲート信号ｇの指令により外部からの振動
を検出し、振動等によるヘッド位置の変動の補正を行
う。

【０００９】図６は、本従来例の外部からの振動による
影響を補正する動作について説明するために示した動作
タイミングチャートである。図６に示すように、本従来
例のヘッド位置決め装置は、時刻０からＴ１までは、粗
動アクチュエータ５１によって大まかな位置決めを行
う。時刻Ｔ１からＴ２までは、変位量Ｙ２で示すような
微動アクチュエータ５２の変位によって、目的のトラッ
クにヘッド１２が位置するように位置決めを行う。続い
て、振動検出用ゲート信号ｇにより、そのゲート期間で
あるＴ２からＴ３において、微動アクチュエータ５２を
一定変位量に保持し、微動アクチュエータ５２からの振
動情報を検出する。すなわち、制御部９６は、ヘッド１
２が目標位置Ｒに達した時点で、微動アクチュエータ５
２の変位量Ｙ２を一定量に保持する。この間、微動アク
チュエータ５２自体がセンサとして機能し、制御部９６
は、相対変位信号ｙ２を振動情報として利用する。さら
に、制御部９６では、この間の振動情報を微動アクチュ
エータ５２、および粗動アクチュエータ５１の制御信号
にフィードバックして、振動による変動を打ち消すよう
に駆動する。

【００１０】このようにして、本従来例では、振動によ
るヘッド位置の変動を補正することができる。さらに、
加速度センサなどの特別な振動検出の要素を設けず、も
ともとヘッド位置決め用として設けられている微動アク
チュエータ５２を振動検出の手段として併用しているの
で、低コストに構成できる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、振動検出用ゲート信号ｇが指令された期間以
外は振動検出ができないため、例えばシーク動作中につ
いては、振動に対する補正が困難であるという課題を有
していた。

【００１２】すなわち、上記従来例は、図６での時間Ｔ
２からＴ３までの期間で示した、ほぼ目標位置に到達し
てからのフォロイング動作中においては、外部からの衝
撃や振動を検出してヘッド位置の変動を補正可能であ
る。しかし、時刻０からＴ２までの期間のようなヘッド
１２が移動期間中は、微動アクチュエータ５２を振動や
衝撃を検出するセンサとして利用できず、このような期
間において外部より衝撃や振動を受けたとき、ヘッド位
置の変動を十分に補正できず、位置決めを行うまでの時
間の増大を招く可能性があった。

【００１３】以上のように、従来例では、ヘッド１２が
移動しているときには、外部からの衝撃や振動により、
ヘッド１２の位置が所定位置から大きくずれてしまい、
位置決め時間が増大するおそれがあった。

【００１４】本発明の目的は、このような問題を解決す
るためになされたもので、二重アクチュエータによる位
置決め制御系に簡易な要素を付加することにより、外部
から振動や衝撃を受けても、常に安定な動作で位置決め
制御が可能なヘッド位置決め装置、およびこれを用いた
ディスク装置を提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のヘッド位置決め装置は、ヘッド移動手段と
して粗動アクチュエータおよび微動アクチュエータによ
るアクチュエータと、アクチュエータを協働させて目標
位置にヘッドを移動させ微動アクチュエータの変位量の
絶対値が最小となるように位置決め制御する制御手段と
を具備する。さらに、制御手段は、粗動アクチュエータ
および微動アクチュエータを位置決め制御するための制
御信号を生成する位置決め制御手段と、微動アクチュエ
ータの変位量に応じた信号に含まれる高周波成分のみを
抽出する振動検出手段と、制御信号と高周波成分とを合
成する外乱補正手段とを有した構成である。

【００１６】この構成により、振動検出手段は、微動ア
クチュエータの変位量に応じた信号に含まれる高周波成
分のみを、外乱により振動する振動成分として抽出す
る。外乱補正手段は、この抽出された振動成分を利用し
て、外乱の影響を補正する。これにより、特別に加速度
センサなどを設ける必要はなく、もともと設けられてい
る微動アクチュエータを利用して、外乱を検出すること
ができる。さらに、振動検出手段は、微動アクチュエー
タの変位量に応じた信号に含まれる位置決め制御のため
の制御成分と外乱による振動成分とを、周波数的に分
離、抽出する。このため、本発明のヘッド位置決め装置
は、微動アクチュエータ５２が一定変位量に保持される
期間というような、時間的制限を受けずに外乱による振
動成分を検出できる。従って、本発明によれば、ヘッド
位置決め装置が動作時は常に、外乱による位置決め制御
への影響を補正することができ、これによって、動作時
は常に外乱による位置決め精度の劣化を抑制することが
できる。

【００１７】また、本発明のヘッド位置決め装置は、デ
ィスク状の記録媒体に情報の記録再生を行うヘッドを搭
載し、ヘッドの微細な位置決めを行う微動アクチュエー
タと、微動アクチュエータを搭載したヘッド支持機構を
移動させ、ヘッドの粗い位置決めを行う粗動アクチュエ
ータと、微動アクチュエータの変位、および粗動アクチ
ュエータによるヘッドの移動を制御する制御部とを具備
する。さらに、制御部は、微動制御部と、粗動制御部
と、振動検出部と、微動補正部と、粗動補正部とを有す
る。微動制御部は、ヘッドを目標位置に位置決めするた
めの目標位置信号とヘッドにより再生された記録媒体上
のサーボ情報からの現在位置信号との差分を位置誤差信
号として入力し、位置誤差信号に基づいて微動アクチュ
エータの変位を制御するための微動制御信号を生成す
る。粗動制御部は、微動アクチュエータの変位量に対応
した相対変位信号を入力し、相対変位信号に基づいて粗
動アクチュエータによるヘッドの移動を制御するため粗
動制御信号を生成する。振動検出部は、相対変位信号を
入力し、相対変位信号に含まれる高周波成分を抽出し、
抽出した高周波成分を振動検出信号とし、振動検出信号
に所定の増幅率で増幅した信号を微動補正信号、および
粗動補正信号として出力する。微動補正部は、微動制御
信号と微動補正信号とを合成した信号を微動合成信号と
して出力する。粗動補正部は、粗動制御信号と粗動補正
信号とを合成した信号を粗動合成信号として出力する。
そして、微動アクチュエータは微動合成信号に応じて駆
動され、粗動アクチュエータは粗動合成信号に応じて駆
動される構成である。

【００１８】この構成により、振動検出部は、微動アク
チュエータからの相対変位信号に含まれる、外乱により
振動する振動成分のみを抽出する。外乱補正部は、この
抽出された振動成分を利用して、外乱の影響を補正す
る。これにより、特別に加速度センサなどを設ける必要
はなく、もともと設けられている微動アクチュエータを
利用することができる。さらに、振動検出部は、相対変
位信号に含まれる位置決め制御のための制御成分と外乱
による振動成分とを、周波数的に分離、抽出する。この
ため、本発明のヘッド位置決め装置は、微動アクチュエ
ータが一定変位量に保持される期間というような、時間
的制限を受けずに外乱による振動成分を検出できる。従
って、本発明によれば、ヘッド位置決め装置が動作時は
常に、外乱による位置決め制御への影響を補正すること
ができ、これによって、動作時は常に外乱による位置決
め精度の劣化を抑制することができる。

【００１９】また、本発明のヘッド位置決め装置は、上
記微動アクチュエータが、圧電素子で構成される。

【００２０】この構成により、圧電素子の圧電効果を利
用して、微動アクチュエータの変位量に対応した相対変
位信号を検出できるとともに、逆圧電効果を利用して微
動合成信号に応じて微動アクチュエータを駆動すること
で、微動アクチュエータの変位を制御できる。

【００２１】また、本発明のヘッド位置決め装置は、上
記振動検出部が、所定帯域幅内の高周波の信号成分を抽
出するバンドパスフィルタを有し、バンドパスフィルタ
により抽出された信号成分を振動検出信号として出力す
る構成である。

【００２２】この構成により、微動アクチュエータから
の相対変位信号に含まれる外乱による振動成分を容易
に、しかも常に抽出することができる。これにより、特
別に加速度センサなどを設ける必要はなく、もともと設
けられている微動アクチュエータからの相対変位信号を
利用して、時間的制限を受けずに外乱による振動成分を
検出できる。さらに、この検出した振動検出信号を利用
して、動作時は常に外乱による位置決め精度の劣化を抑
制することができる。

【００２３】また、本発明のヘッド位置決め装置は、上
記振動検出部が、さらに、微小振幅の信号成分を除去す
る、非線形特性を有したコアリング回路を有し、コアリ
ング回路は、バンドパスフィルタにより抽出された高周
波の信号成分を入力し、非線形特性に基づき非線形処理
した信号を振動検出信号として出力する構成である。

【００２４】この構成により、より精度よく相対変位信
号に含まれる位置決め制御のための制御成分と外乱によ
る振動成分とを分離し、外乱による振動成分を検出する
ことができる。これにより、この検出した振動検出信号
を利用して、動作時は常に、また精度よく、外乱による
位置決め精度の劣化を抑制することができる。

【００２５】また、本発明のディスク装置は、上記ヘッ
ド位置決め装置を有した構成である。

【００２６】この構成により、特別に加速度センサなど
を設ける必要はなく、もともと設けられている微動アク
チュエータを利用して、外乱を検出することができる。
さらに、本発明のディスク装置は、時間的制限を受けず
に外乱による振動成分を検出できる。従って、本発明に
よれば、ディスク装置が動作時は常に、外乱による位置
決め制御への影響を補正することができ、これによっ
て、動作時は常に外乱による位置決め精度の劣化を抑制
することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明によるヘッド位置決
め装置の実施の形態について、磁気ディスク装置を例に
とり、図面を参照して説明する。

【００２８】（第１の実施の形態）図１は、本発明の第
１の実施の形態であるヘッド位置決め装置の構成図であ
る。

【００２９】図１において、ディスク状の記録媒体の一
つである磁気ディスク１１（以下、ディスクと呼ぶ）に
情報の記録再生を行う磁気ヘッド１２（以下、ヘッドと
呼ぶ）は、ヘッドスライダ１３の先端部分に一体的に取
り付けられている。ヘッドスライダ１３は、微動アクチ
ュエータ５２の先端部分に搭載され、さらに微動アクチ
ュエータ５２は、ヘッド支持機構１４の先端部に連結さ
れている。ヘッド支持機構１４は、ディスク装置本体に
設けた回転軸１４０を中心として粗動アクチュエータ５
１により駆動され、微動アクチュエータ５２と協働して
ヘッド１２の位置決めを行う。このように、本ヘッド位
置決め装置での位置決め機構の構成は、粗動アクチュエ
ータ５１と微動アクチュエータ５２との二重アクチュエ
ータの構成である。粗動アクチュエータ５１は、ボイス
コイルモータなどによりヘッド支持機構１４を回転駆動
することで、先端のヘッド１２を動かし、主としてシー
ク動作や複数のトラックジャンプなどの大移動のために
使用される。一方、微動アクチュエータ５２は、ピエゾ
素子などの圧電素子あるいは電歪素子により、可動範囲
は狭いが広帯域に制御され、速い応答性で先端のヘッド
１２を動かし、主としてトラック追従や１トラックのジ
ャンプなどの高速で微小な位置決めに使用される。

【００３０】さらに、本ヘッド位置決め装置の位置決め
機構は、制御手段としての制御部１６からの制御信号に
基づいて駆動され位置決めする。制御部１６は、微動ア
クチュエータ５２の変位量に応じた信号、位置検出部６
６で生成された現在位置信号ｙ、および所要の位置決め
動作をさせるため指示された目標位置信号ｒなどに基づ
いて制御信号を生成する。位置検出部６６は、ヘッド１
２からディスク１１に記録されたサーボ情報を読み出
し、ヘッド１２の現在位置を示す現在位置信号ｙを生成
する。

【００３１】制御部１６において、減算器６５は、現在
位置信号ｙと目標位置信号ｒとを減算し、目標位置まで
の位置誤差を示す位置誤差信号ｅ２を生成する。微動制
御部１６２は、位置誤差信号ｅ２を入力し、位置誤差信
号ｅ２に対して所定の伝達特性のフィルタ処理、および
増幅処理を行い、微動制御信号ｕ２を生成する。微動制
御部１６２は、微動アクチュエータ５２を位置決め制御
するための微動制御信号ｕ２を生成する。微動補正部１
６４は、微動制御信号ｕ２と、後述する振動検出部１６
０からの微動補正信号ａ２とを合成し、合成した信号を
微動合成信号ｕａ２として出力する。微動駆動部６４
は、この微動合成信号ｕａ２に応じて微動アクチュエー
タ５２を駆動できる微動駆動信号ｄ２に変換し、微動駆
動信号ｄ２により微動アクチュエータ５２を駆動する。
また、本ヘッド位置決め装置は、微動アクチュエータ５
２の変位量を検出する。制御部１６は、微動アクチュエ
ータ５２の変位量に応じた検出信号を相対変位信号ｙ２
として入力する。粗動制御部１６１は、相対変位信号ｙ
２を入力し、相対変位信号ｙ２に対して所定の伝達特性
のフィルタ処理、および増幅処理を行い、粗動アクチュ
エータ５１を位置決め制御するための粗動制御信号ｕ１
を生成する。粗動補正部１６３は、粗動制御信号ｕ１
と、後述する振動検出部１６０からの粗動補正信号ａ１
とを合成し、合成した信号を粗動合成信号ｕａ１として
出力する。粗動駆動部６３は、この粗動合成信号ｕａ１
に応じて粗動アクチュエータ５１を駆動できる粗動駆動
信号ｄ１に変換し、粗動駆動信号ｄ１により粗動アクチ
ュエータ５１を駆動する。また、微動補正部１６４、お
よび粗動補正部１６３により外乱補正部１６５が構成さ
れる。

【００３２】さらに、制御部１６において、振動検出部
１６０は、微動アクチュエータ５２からの相対変位信号
ｙ２を入力し、外部から加えられた振動や衝撃によって
発生した振動成分としての高周波成分を抽出し、この振
動成分に基づき振動や衝撃による影響を低減するための
微動補正信号ａ２、および粗動補正信号ａ１を生成す
る。制御部１６は、微動制御信号ｕ２に微動補正信号ａ
２を合成して微動アクチュエータ５２を駆動し、粗動制
御信号ｕ１に粗動補正信号ａ１を合成して粗動アクチュ
エータ５１を駆動する。制御部１６は、このような構成
により、粗動アクチュエータ５１と微動アクチュエータ
５２とを駆動して、両アクチュエータによるヘッド１２
の位置決めを行う。すなわち、制御部１６において、振
動検出部１６０は、微動アクチュエータ５２の変位量に
応じた信号に含まれる高周波成分のみを抽出する振動検
出手段として機能し、また、外乱補正部１６５は、制御
信号と、振動検出部１６０で抽出した高周波成分とを合
成することで、振動や衝撃などの外乱によるヘッド位置
の変動を補正する外乱補正手段として機能する。

【００３３】また、図１に示すように、微動アクチュエ
ータ５２は、破線ａで示したヘッド支持機構１４の延長
線上の位置を中心位置Ｙ１として、ディスク１１の内周
方向や外周方向へ変位し、ヘッド１２の微小な位置決め
を行う。ここでは、中心位置Ｙ１からヘッド１２の位置
までを、変位量Ｙ２で示している。本ヘッド位置決め装
置は、粗動アクチュエータ５１による位置、すなわち中
心位置Ｙ１と、微動アクチュエータ５２の変位量Ｙ２と
を併せてヘッド１２のヘッド位置Ｙとして、ヘッド１２
を目標位置Ｒまで移動させ、目標位置Ｒで目標トラック
に追従させるような位置決めを行う。

【００３４】図２は、図１に示す本実施の形態の二重ア
クチュエータを制御する位置決め制御系のブロック図で
ある。

【００３５】ここでは、本ヘッド位置決め装置の位置決
め制御動作について、この装置における位置決め制御系
をモデル化したブロック図を用いて説明する。

【００３６】図２において、現在位置信号ｙは、粗動ア
クチュエータ５１によるヘッド１２の位置Ｙ１の仮想信
号ｙ１と、微動アクチュエータ５２による変位量Ｙ２に
相当する相対変位信号ｙ２とを、加算器９９で加算して
現在位置信号ｙとしたモデルで示している。現在位置信
号ｙは、目標トラックまで移動させるために指示された
目標位置Ｒに相当する目標位置信号ｒより、減算器６５
によって減算される。この減算による差分は、位置誤差
を示す位置誤差信号ｅ２として出力される。この位置誤
差信号ｅ２は、微動制御部１６２に入力され、通常は、
この位置誤差信号ｅ２に基づいて微動アクチュエータ５
２が位置制御される。一方、微動アクチュエータ５２に
よるヘッド位置の変位量Ｙ２は、ピエゾ素子を用いるこ
とで検出可能である。本実施の形態では、微動アクチュ
エータ５２の変位量Ｙ２を相対変位信号ｙ２として検出
している。この相対変位信号ｙ２は、粗動制御部１６１
に入力され、通常は、この相対変位信号ｙ２に基づいて
粗動アクチュエータ５１によるヘッド１２の移動が制御
される。このような構成により、目標トラックに向けて
トラック間の移動動作を行うシーク動作モードと、目標
トラックの中心にヘッドを追従させるフォロイング動作
モードとの二つの動作モードに対して、粗動アクチュエ
ータ５１と微動アクチュエータ５２との協働によってヘ
ッド１２の位置決めをする、位置決め制御が行われる。

【００３７】さらに、本ヘッド位置決め装置は、位置決
め動作時に振動や衝撃の影響を受けても、これらの影響
を抑制するため、振動や衝撃を検出する振動検出部１６
０、および振動や衝撃の影響を抑制するための外乱補正
部１６５を備えている。外乱補正部１６５は、粗動補正
部１６３、および微動補正部１６４により構成される。
振動検出部１６０は、バンドパスフィルタ６００、増幅
器６０１、および増幅器６０２により構成される。バン
ドパスフィルタ６００は、微動アクチュエータ５２から
の相対変位信号ｙ２を入力し、相対変位信号ｙ２に含ま
れる所定帯域幅内の高周波の信号成分を抽出し、抽出し
た信号成分を振動検出信号ｂとして出力する。振動検出
信号ｂは、それぞれ所定のゲインを有する増幅器６０
１、および増幅器６０２で増幅される。増幅器６０２か
らは、微動補正信号ａ２が微動補正部１６４に出力さ
れ、増幅器６０１からは、粗動補正信号ａ１が粗動補正
部１６３に出力される。振動検出部１６０は、このよう
な構成により、ヘッド１２の位置決め制御に影響する振
動や衝撃などの外乱によるヘッド位置の変動を信号とし
て検出する。さらに、振動検出部１６０は、検出した信
号に基づいて補正するための信号を生成する。本ヘッド
位置決め装置は、この生成した信号を粗動補正信号ａ
１、および微動補正信号ａ２として、振動や衝撃の影響
を抑制するために利用する。

【００３８】以上、本実施の形態のヘッド位置決め装置
は、微動アクチュエータ５２の相対変位信号ｙ２から外
乱に含まれる振動成分を抽出する振動検出部１６０、お
よび抽出した振動成分により振動や衝撃の影響を抑制す
るための外乱補正部１６５を有することを特徴とする。

【００３９】以下、ディスク装置が振動や衝撃を受けた
とき、本実施の形態のヘッド位置決め装置によれば、常
に振動や衝撃の影響を抑制することが可能となり、これ
により常に安定な位置決め制御が可能となる動作につい
て説明する。

【００４０】まず、本ヘッド位置決め装置が、振動や衝
撃などの外乱を受けない場合の通常の位置決め動作につ
いて述べる。目標トラックが指示されると、現在位置を
示す現在位置信号ｙと目標位置信号ｒとの差が生じる。
この差は、位置誤差信号ｅ２として微動制御部１６２に
入力される。微動制御部１６２は応答性が速いため、ま
ず微動アクチュエータ５２が目標トラック方向に変位す
る。また、微動アクチュエータ５２の変位量は相対変位
信号ｙ２として検出され、粗動制御部１６１はこの相対
変位信号ｙ２を入力する。このため、粗動アクチュエー
タ５１により、ヘッド支持機構１４も目標トラック方向
へ移動を始め、シーク動作が開始される。微動アクチュ
エータ５２が目標方向に変位したままで、かつその変位
量に相当する相対変位信号ｙ２で粗動アクチュエータ５
１が制御されながら、ヘッド１２は、ほぼ定常速度で目
標トラック方向に向けて移動する。目標トラックに近づ
くに従い、位置誤差信号ｅ２が減少してくるため微動ア
クチュエータ５２の変位量も減少し、ヘッド１２は、速
度を落としながら目標トラックに接近する。設定条件に
もよるが、通常は、微動アクチュエータ５２が変位した
状態で、ヘッド１２は一度目標トラックまで達する。そ
の後、微動アクチュエータ５２の変位量がゼロとなるよ
うに、微動アクチュエータ５２と粗動アクチュエータ５
１とにより、ヘッド１２の位置は目標トラック位置を中
心にして振動する。この過渡時を経て、最終的には、微
動アクチュエータ５２の変位量がほぼゼロの状態で、ヘ
ッド１２は目標トラックに追従し、フォロイング動作に
入る。

【００４１】すなわち、本ヘッド位置決め装置は、粗動
アクチュエータ５１および微動アクチュエータ５２によ
る二重アクチュエータと、この二重アクチュエータを制
御する制御手段とを備えており、制御手段としての制御
部１６は、この二重アクチュエータを協働させて目標位
置にヘッド１２を移動させ、微動アクチュエータ５２の
変位量の絶対値が最小、すなわちゼロとなるように位置
決め制御する。

【００４２】このように、本ヘッド位置決め装置は、位
置誤差信号ｅ２に基づき微動アクチュエータ５２を制御
し、微動アクチュエータ５２の相対変位信号ｙ２に基づ
き粗動アクチュエータ５１を制御する。これにより、本
ヘッド位置決め装置は、微動アクチュエータ５２と粗動
アクチュエータ５１とが協働して、ヘッド１２のトラッ
ク間の移動およびトラック追従動作を行う。さらに、シ
ーク動作などによりヘッド１２が目標トラックに達した
とき、微動アクチュエータ５２の変位量がゼロとなるよ
うに位置決め制御が行われる。よって、本ヘッド位置決
め装置は、フォロイング動作のようなトラック追従動作
において、微動アクチュエータ５２の変位量がゼロを中
心とした、最も安定した状態でトラック追従動作を行う
ことができる。

【００４３】ところで、以上説明した外乱を受けない場
合の位置決め動作において、相対変位信号ｙ２の周波数
成分を考えた場合、この周波数成分は、直流成分に近い
ところに分布していると言える。すなわち、シーク動作
時は微動アクチュエータ５２が目標位置方向に一定変位
したままで動作し、フォロイング動作時は変位量がほぼ
ゼロで動作しており、周波数の観点からすると直流成分
に近い。言い換えれば、本ヘッド位置決め装置は、シー
ク動作からフォロイング動作に入る過渡期を除いて、微
動アクチュエータ５２が正負の変位を繰り返すような振
動的動作を行わない。これに対して、例えば、微動アク
チュエータが変位量ゼロを中心にランダムに目標位置に
向けて変位するようなヘッド位置決め手法であれば、正
負の変位を繰り返すような動作を含むため、相対変位信
号は高い周波数成分も含めて広帯域な周波数成分を有す
る。

【００４４】このように、本ヘッド位置決め装置が外乱
を受けない通常の場合、相対変位信号ｙ２の周波数成分
は直流成分付近に分布している。言い換えれば、この場
合、相対変位信号ｙ２は、周波数的に直流成分付近に分
布する位置決め制御のための信号成分のみを有してい
る。よって、相対変位信号ｙ２における位置決め制御の
ための信号成分は、バンドパスフィルタ６００を通過せ
ず、その結果、通常の場合、本ヘッド位置決め装置は、
外乱補正部１６５がない状態と同等の動作を行う。すな
わち、本ヘッド位置決め装置は、上記説明のような通常
の位置決め動作を行う。

【００４５】しかし、本ヘッド位置決め装置が、振動や
衝撃などの外乱を受けた場合、微動アクチュエータ５２
やヘッド支持機構１４はその外乱に応じて振動する。こ
のような外乱としては、ディスク装置内部で発生するス
ピンドルモータの軸ぶれや、位置決め機構の機構共振、
またディスク装置外部からの振動、衝撃等がある。これ
ら外乱は、その原因によりある周波数成分の近辺に分布
している。これらの周波数成分が位置決め制御系に振動
として加わるため、この振動が位置決めの精度に影響を
及ぼす。本ヘッド位置決め装置は、微動アクチュエータ
５２をこのような振動成分を検出するセンサとしても利
用し、常に、検出した信号を利用して振動による位置決
め精度の劣化を抑制することを可能としている。

【００４６】次に、このような外乱が加わったときの動
作について説明する。例えば、ディスク装置に振動や衝
撃が加わると、ヘッド１２は、位置決め制御系で制御さ
れている所定の位置より強制的に外されることとなる。
ヘッド位置決め装置は、この影響を抑えるように目標位
置へ再度引き込む動作をする。しかし、振動や衝撃の強
度が大きいと、ヘッド位置決め装置による引き込み動作
に打ち勝って、振動や衝撃による強制的な振動が継続す
る。微動アクチュエータ５２も、このような振動に合わ
せて強制的な意図しない変位が繰り返される。よって、
外乱が加わると、相対変位信号ｙ２は、位置決め制御の
ための信号成分（以下、制御成分と呼ぶ）に加えて、外
乱により振動する信号成分（以下、振動成分と呼ぶ）が
重畳されることとなる。

【００４７】この振動成分は、振動する信号であるた
め、周波数的にはある程度高い周波数成分である。この
ことより、外乱が加わったとき、バンドパスフィルタ６
００の出力には、ある程度高い周波数成分、すなわち振
動成分のみを抽出した信号が出力される。言い換えれ
ば、バンドパスフィルタ６００は、外乱による振動成分
を抽出する動作を行う。特に、通常の動作で説明したよ
うに、相対変位信号ｙ２の制御成分としては、シークや
フォロイングなどの位置決め動作にかかわらず、周波数
的には直流成分付近に分布する。このため、本発明によ
れば、バンドパスフィルタ６００により、制御成分と外
乱による振動成分とを分離可能である。すなわち、本発
明は、バンドパスフィルタ６００により、位置決め制御
のための信号成分と外乱により振動する信号成分とを周
波数的に分離しているため、位置決め動作の状態にかか
わらず、常に、外乱により振動する信号成分が検出可能
である。

【００４８】このように分離、抽出された振動成分とし
ての振動検出信号ｂは所定のゲインで増幅されて微動補
正信号ａ２として加算器で構成される微動補正部１６４
に出力され、また粗動補正信号ａ１として加算器で構成
される粗動補正部１６３に出力される。微動補正部１６
４は、位置決め制御のための微動制御信号ｕ２に、さら
に振動や衝撃による強制的な振動を打ち消すための微動
補正信号ａ２を加える。よって、微動駆動信号ｄ２は、
振動や衝撃により振動する微動アクチュエータ５２の振
動を抑制するように駆動する。また、粗動補正部１６３
は、位置決め制御のための粗動制御信号ｕ１に、さらに
振動や衝撃による強制的な振動を打ち消すための粗動補
正信号ａ１を加える。よって、粗動駆動信号ｄ１は、振
動や衝撃により振動する粗動アクチュエータ５１の振動
を抑制するように駆動する。なお図示してないが、制御
部１６において適宜位相補正を行うことで、外乱補正部
１６５が振動成分を打ち消すように構成することは言う
までもない。

【００４９】以上のような動作を行うことで、本ヘッド
位置決め装置は、フォロイング動作時など微動アクチュ
エータが一定変位量に保持されるような期間に限定され
ず、常に外乱による位置決め精度の劣化を抑制すること
ができる。すなわち、本ヘッド位置決め装置は、外乱に
よる微動アクチュエータ５２の振動を、相対変位信号ｙ
２に含まれる振動成分としてバンドパスフィルタ６００
により抽出することで、振動を検出した振動検出信号ｂ
としている。これにより、本ヘッド位置決め装置が動作
しているときは常に、外乱による振動が検出可能であ
る。さらに、振動検出信号ｂを利用して外乱の影響を補
正することで、外乱による位置決め精度の劣化を抑制す
ることができ、常に安定な動作でヘッド１２の位置決め
制御が可能となる。

【００５０】図３の（ａ）は、本ヘッド位置決め装置に
おける振動検出部１６０の他の具体的な構成の一例を示
すブロック図である。図２の構成要素に対応する構成要
素については同一の符号を付しており、また、振動検出
部は振動検出部２６０で示している。本振動検出部２６
０は、複数のバンドパスフィルタを有し、さらにコアリ
ング回路を有しているところが、図２で説明した振動検
出部１６０と異なっている。

【００５１】図３の（ａ）において、振動検出部２６０
は、微動アクチュエータ５２から検出した相対変位信号
ｙ２を入力する。振動検出部２６０のバンドパスフィル
タ６００、６１０は、それぞれこの相対変位信号ｙ２を
入力し、相対変位信号ｙ２に含まれる所定の高周波の信
号成分を抽出し、抽出した信号成分をそれぞれ振動抽出
信号ｂ０、ｂ１として出力する。バンドパスフィルタ６
００とバンドパスフィルタ６１０とは、それぞれが異な
る中心周波数となるようにあらかじめ設定されている。
このため、それぞれが、異なる周波数の信号成分を抽出
して出力する。バンドパスフィルタ６００、６１０から
の振動抽出信号ｂ０、ｂ１は、加算器６０３により加算
される。加算器６０３からの加算結果は、振動検出信号
ｂとして、非線形処理を行うコアリング回路６０４に入
力される。図３の（ｂ）は、このコアリング回路６０４
の非線形特性の一例を示した特性図である。図３の
（ｂ）において、横軸はコアリング回路６０４の入力信
号の入力レベルを示し、縦軸はコアリング回路６０４の
出力信号の出力レベルを示している。このような非線形
特性により、入力信号に含まれる微小振幅の信号成分は
除去され、比較的大きな振幅の信号成分のみが出力され
る。コアリング回路６０４より出力された信号ｃは、そ
れぞれ所定のゲインを有する増幅器６０１、および増幅
器６０２で増幅される。それぞれ増幅された信号は、図
２で説明した振動検出部１６０と同様に、増幅器６０２
から微動補正信号ａ２として微動補正部１６４に出力さ
れ、増幅器６０１から粗動補正信号ａ１として粗動補正
部１６３に出力される。

【００５２】振動検出部２６０は、このような構成によ
り、振動検出部１６０と同様に、外乱による微動アクチ
ュエータ５２の振動成分を抽出し、抽出した振動成分と
しての信号を利用して、外乱の影響を補正するための微
動補正信号ａ２、および粗動補正信号ａ１を生成する。

【００５３】次に、振動検出部２６０の動作について説
明する。まず、振動検出部２６０は、バンドパスフィル
タ６００とバンドパスフィルタ６１０との二つのバンド
パスフィルタを有している。これにより、二種類の外乱
に対しての周波数成分が検出可能としている。外乱とな
る振動や衝撃の要因はさまざまであり、特定の周波数と
して決まっていない。このため、振動検出部２６０に二
つのバンドパスフィルタを備えることで、それぞれの要
因により位置決め制御系に加わる外乱の振動成分を検出
可能としている。なお、ここでは二つのバンドパスフィ
ルタとしたが、これに限定されるものでなく複数のバン
ドパスフィルタを備えてもよい。また、逆に、振動検出
部１６０のように一つのバンドパスフィルタであって
も、周波数帯域を広帯域にして、より広範囲な外乱要因
に対応することも可能である。このように、振動検出部
２６０は、複数のバンドパスフィルタを備えることで、
種々の要因による外乱の振動成分を検出する。

【００５４】また、振動検出部２６０は、コアリング回
路６０４を有している。これにより、検出した振動成分
に含まれる微小振幅の信号成分を除去し、比較的大きな
振幅の信号成分のみを出力している。すなわち、これま
での説明では、相対変位信号ｙ２の制御成分は周波数的
には直流成分付近に分布するとしたが、より正確には、
この制御成分は微小振幅の高周波成分を含んでいる。例
えば、シーク動作からフォロイング動作に入る過渡期に
おいて、微動アクチュエータ５２は、正負の変位、すな
わち振動を繰り返してフォロイング動作に移る。また、
フォロイング動作時においても、微動アクチュエータ５
２は微小な正負の変位をしながら目標トラックに追従す
る。このように、上記過渡期やフォロイング時には、相
対変位信号ｙ２の制御成分が微小振幅の高周波成分を含
んでいる。このため、このような振動する制御成分が加
算器６０３の出力に混入して出力される。このような振
動する制御成分は外乱による振動成分ではないため、振
動検出部１６０のような構成では、通常の位置決め動作
において悪影響が生じる。このため、コアリング回路６
０４は、上記過渡期やフォロイング時の振動する制御成
分を除去するために設置している。すなわち、このよう
な振動する制御成分は微小振幅であるため、図３の
（ｂ）のような非線形特性により除去可能となる。一
方、振動や衝撃などによる外乱の振動成分は、大きな振
幅の信号であるため、除去されずにコアリング回路６０
４から出力される。このように、振動検出部２６０は、
コアリング回路６０４を備えることで、振動や衝撃など
による外乱のみの振動成分をより精度よく抽出してい
る。

【００５５】このように種々の要因による外乱の振動成
分を、精度よく分離、抽出された振動成分としての信号
ｃは所定のゲインで増幅されて微動補正信号ａ２として
微動補正部１６４に出力され、また粗動補正信号ａ１と
して粗動補正部１６３に出力される。これにより、本ヘ
ッド位置決め装置は、振動や衝撃により振動する微動ア
クチュエータ５２、および粗動アクチュエータ５１に対
してこの影響を打ち消すように作用し、動作時は常に外
乱による位置決め精度の劣化を抑制することができる。

【００５６】なお、コアリング回路６０４の非線形特性
は、図３の（ｂ）のような特性としたが、他の特性も可
能である。すなわち、コアリング回路６０４の非線形特
性は、微小な振幅の信号成分を除去し、大きな振幅の信
号成分のみを出力するような非線形特性であればよい。
また、コアリング回路６０４は、加算器６０３の後段に
設置した構成で説明したが、それぞれのバンドパスフィ
ルタ６００、６１０の後段にそれぞれコアリング回路を
設置し、それぞれコアリング回路の出力を加算するよう
な構成でも同様の効果が得られる。

【００５７】（第２の実施の形態）図４は、本発明の第
２の実施の形態である磁気ディスク装置の構成図であ
る。本第２の実施の形態の磁気ディスク装置は、第１の
実施の形態で説明したヘッド位置決め装置を磁気ディス
ク装置に利用した一例である。

【００５８】図４において、スピンドルモータ１７によ
り回転するディスク状の記録媒体の一つである磁気ディ
スク１１（以下、ディスクと呼ぶ）に情報の記録再生を
行う磁気ヘッド１２（以下、ヘッドと呼ぶ）はヘッドス
ライダ１３の先端部分に一体的に取り付けられている。
ヘッドスライダ１３は、微動アクチュエータ５２の先端
部分に搭載され、さらに微動アクチュエータ５２はヘッ
ド支持機構１４の先端部に連結されている。ヘッド支持
機構１４は、磁気ディスク装置本体の回転軸１４０を中
心として粗動アクチュエータ５１により駆動され、微動
アクチュエータ５２と協働してヘッド１２の位置決めを
行う。粗動アクチュエータ５１、微動アクチュエータ５
２、およびヘッド支持機構１４を併せて位置決め機構１
５と呼ぶ。このように、本実施の形態の位置決め機構１
５は、粗動アクチュエータ５１と微動アクチュエータ５
２との二重アクチュエータの構成である。粗動アクチュ
エータ５１は、ボイスコイルモータなどによりヘッド支
持機構１４を回転させることで、先端のヘッド１２を動
かし、主としてシーク動作や複数のトラックジャンプな
どの大移動のために使用される。一方、微動アクチュエ
ータ５２は、ピエゾ素子の変位などにより可動範囲は狭
いが広帯域な位置制御をすることで、先端のヘッド１２
を動かし、主としてトラック追従や１トラックのジャン
プなど高速で微少な位置決めに使用される。

【００５９】位置決め機構１５は、制御回路で構成され
た制御部６からの制御信号に応じて駆動され位置決めす
る。制御部６は、微動アクチュエータ５２の変位量に対
応した相対変位信号ｙ２、ヘッド１２から読み出したサ
ーボ情報を利用して位置検出部６６により生成された現
在位置信号ｙ、および所要の位置決め動作をさせるため
指示された目標位置信号ｒなどにより制御信号を生成す
る。制御信号は、駆動回路で駆動信号ｄ１およびｄ２に
変換して、粗動アクチュエータ５１および微動アクチュ
エータ５２を駆動して、両アクチュエータのサーボ制御
を行う。

【００６０】制御部６は、本発明の第１の実施の形態で
説明した図１の制御部１６を、振動検出部は図２の振動
検出部１６０、または図３の振動検出部２６０用いるこ
とができる。これにより、フォロイング動作時など微動
アクチュエータが一定変位量に保持されるような期間に
限定されず、常に外乱による位置決め精度の劣化を抑制
することを可能とした磁気ディスク装置が実現できる。

【００６１】なお、本発明において、ヘッド１２を位置
決めする制御手段としての制御部１６の構成は、図１に
示すような構成により二重アクチュエータを制御する構
成として説明したが、二重アクチュエータを協働させて
目標位置にヘッド１２を移動させ微動アクチュエータ５
２の変位量の絶対値が最小となるように位置決め制御す
るような制御手段であれば他の構成でもよい。

【００６２】また、本発明において、外乱に対する補正
は、微動補正部１６４、および粗動補正部１６３の双方
で行う構成で説明したが、どちらか一方のみの補正でも
よい。

【００６３】また、本発明において、ヘッド１２は情報
の記録再生を行うヘッド１２として説明したが、一つの
ヘッドで情報の記録と再生とを行う構成であっても、あ
るいはヘッドスライダ１３に二つのヘッドを有し、一方
が記録、他方が再生を行う構成であってもよい。

【００６４】また、本発明において、ディスク１１の片
面に記録や再生を行う例を挙げて説明したが、ディスク
１１の両面に記録や再生を行うためのヘッド位置決め装
置、およびディスク装置であっても、あるいは複数のデ
ィスクを有して一括して回転させ記録や再生を行うため
のヘッド位置決め装置、およびディスク装置であっても
よい。

【００６５】また、本発明において、磁気ディスク装置
を例として説明したが、本発明はそれに限定されるもの
ではなく、例えば光りヘッドを利用した形態の光ディス
ク装置などにも適用することができる。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のヘッド位
置決め装置、およびこれを用いたディスク装置は、位置
決め動作時に振動や衝撃の影響を受けても、これらの影
響を抑制するため、振動や衝撃を検出する振動検出部、
および振動や衝撃の影響を抑制するための外乱補正部を
備えている。振動検出部は、バンドパスフィルタを有し
ており、バンドパスフィルタにより、微動アクチュエー
タからの相対変位信号に含まれる、外乱により振動する
振動成分のみを抽出する。外乱補正部は、この抽出され
た振動成分を利用して、外乱の影響を補正する。これに
より、特別に加速度センサなどを設ける必要はなく、も
ともと設けられている微動アクチュエータを利用するこ
とができる。さらに、振動検出部は、相対変位信号に含
まれる位置決め制御のための制御成分と外乱による振動
成分とを、周波数的に分離、抽出する。このため、本発
明のヘッド位置決め装置、およびディスク装置は、微動
アクチュエータが一定変位量に保持される期間というよ
うな、時間的制限を受けずに外乱による振動成分を検出
できる。従って、本発明によれば、ヘッド位置決め装
置、およびディスク装置は、常に外乱による位置決め制
御への影響を補正することができ、これによって、常に
外乱による位置決め精度の劣化を抑制することができ、
常に安定な動作で位置決め制御ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態のヘッド位置決め装
置の構成図

【図２】本発明の第１の実施の形態のヘッド位置決め装
置のブロック図

【図３】（ａ）は、本発明の制御部における振動検出部
の他の構成を示すブロック図 （ｂ）は、振動検出部におけるコアリング回路の非線形
特性の一例を示す特性図

【図４】本発明の第２の実施の形態の磁気ディスク装置
の構成図

【図５】従来のヘッド位置決め装置の構成図

【図６】従来のヘッド位置決め装置の動作を説明するた
めの動作タイミングチャート

【符号の説明】

１１ ディスク １２ ヘッド １３ ヘッドスライダ １４ ヘッド支持機構 １４０ 回転軸 １６，９６ 制御部 １６０，２６０ 振動検出部 １６１ 粗動制御部 １６２ 微動制御部 １６３ 粗動補正部 １６４ 微動補正部 １６５ 外乱補正部 ５１ 粗動アクチュエータ ５２ 微動アクチュエータ ６００，６１０ バンドパスフィルタ ６０１，６０２ 増幅器 ６０４ コアリング回路 ６３ 粗動駆動部 ６４ 微動駆動部 ６５ 減算器 ６６ 位置検出部 ９９，６０３ 加算器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D096 AA02 BB01 CC01 DD01 DD02 EE01 GG10 HH06 HH16 KK12 NN03 NN08

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ヘッド移動手段として粗動アクチュエー
   タおよび微動アクチュエータによるアクチュエータと、
   前記アクチュエータを協働させて目標位置に前記ヘッド
   を移動させ前記微動アクチュエータの変位量の絶対値が
   最小となるように位置決め制御する制御手段とを具備し
   たヘッド位置決め装置において、 前記制御手段は、 前記粗動アクチュエータおよび前記微動アクチュエータ
   を位置決め制御するための制御信号を生成する位置決め
   制御手段と、 前記微動アクチュエータの前記変位量に応じた信号に含
   まれる高周波成分のみを抽出する振動検出手段と、 前記制御信号と前記高周波成分とを合成する外乱補正手
   段とを有することを特徴とするヘッド位置決め装置。
2. 【請求項２】 ディスク状の記録媒体に情報の記録再生
   を行うヘッドを搭載し、前記ヘッドの微細な位置決めを
   行う微動アクチュエータと、 前記微動アクチュエータを搭載したヘッド支持機構を移
   動させ、前記ヘッドの粗い位置決めを行う粗動アクチュ
   エータと、 前記微動アクチュエータの変位、および前記粗動アクチ
   ュエータによる前記ヘッドの移動を制御する制御部とを
   具備し、 前記制御部は、 前記ヘッドを前記目標位置に位置決めするための目標位
   置信号と前記ヘッドにより再生された前記記録媒体上の
   サーボ情報からの現在位置信号との差分を位置誤差信号
   として入力し、前記位置誤差信号に基づいて前記微動ア
   クチュエータの変位を制御するための微動制御信号を生
   成する微動制御部と、 前記微動アクチュエータの変位量に対応した相対変位信
   号を入力し、前記相対変位信号に基づいて前記粗動アク
   チュエータによる前記ヘッドの移動を制御するため粗動
   制御信号を生成する粗動制御部と、 前記相対変位信号を入力し、前記相対変位信号に含まれ
   る高周波成分を抽出し、抽出した前記高周波成分を振動
   検出信号とし、前記振動検出信号に所定の増幅率で増幅
   した信号を微動補正信号、および粗動補正信号として出
   力する振動検出部と、 前記微動制御信号と前記微動補正信号とを合成した信号
   を微動合成信号として出力する微動補正部と、 前記粗動制御信号と前記粗動補正信号とを合成した信号
   を粗動合成信号として出力する粗動補正部とを有し、 前記微動アクチュエータは前記微動合成信号に応じて駆
   動され、前記粗動アクチュエータは前記粗動合成信号に
   応じて駆動されることを特徴とするヘッド位置決め装
   置。
3. 【請求項３】 前記微動アクチュエータは圧電素子で構
   成されることを特徴とする請求項２記載のヘッド位置決
   め装置。
4. 【請求項４】 前記振動検出部は、所定帯域幅内の高周
   波の信号成分を抽出するバンドパスフィルタを有し、前
   記バンドパスフィルタにより抽出された信号成分を前記
   振動検出信号として出力することを特徴とする請求項２
   または請求項３記載のヘッド位置決め装置。
5. 【請求項５】 前記振動検出部は、さらに、微小振幅の
   信号成分を除去するような非線形特性を有するコアリン
   グ回路を有し、 前記コアリング回路は、前記バンドパスフィルタにより
   抽出された前記高周波の信号成分を入力し、前記非線形
   特性に基づき非線形処理した信号を前記振動検出信号と
   して出力することを特徴とする請求項４記載のヘッド位
   置決め装置。
6. 【請求項６】 請求項１から５までのいずれか一項に記
   載のヘッド位置決め装置を有するディスク装置。