JP2009081163A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ゲートオーバーラップ容量を少なくすることができる半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体基板1上に形成された柱状体3と、前記柱状体3の先端側3bに形成された先端側不純物拡散領域5と、前記柱状体3の基端側3aに形成された基端側不純物拡散領域4と、前記柱状体3の外周面3cに形成されたゲート絶縁膜7と、前記先端側不純物拡散領域5を覆うように外周面3cに形成された先端側絶縁層10と、前記基端側不純物拡散領域4を覆うように外周面3cに形成された基端側絶縁層9と、前記先端側絶縁層10および前記基端側絶縁層9の間に配置されたゲート電極8と、を具備することを特徴とする半導体装置21を用いることにより、上記課題を解決できる。
【選択図】図1
Description
特許文献1には、半導体基板の主面から垂直方向に延在する柱状部を具備し、その表面にゲート絶縁膜、ゲート電極が配設された縦型MOSトランジスタが開示されている。また、特許文献2には、半導体基板より突出した半導体柱の一部領域にドレインが形成され、前記半導体基板の表面にソースが形成され、前記半導体柱の周りを絶縁膜を介してゲート電極が取り囲み、さらにフォトンを遮蔽する部材により取り囲まれた半導体装置が開示されている。さらに、特許文献3には、上部と下部にそれぞれ半導体領域を有する柱状の積層体の側壁に絶縁膜を介して導電性膜が形成された縦型MISFETを有する半導体集積回路装置について開示されている。
従来の半導体装置の製造方法では、まず、シリコンからなる半導体基板1表面にシリコン酸化膜2とシリコン窒化膜を形成した後、リソグラフィー法を用いて、前記シリコン窒化膜をマスク層50として、前記シリコン酸化膜2をエッチングした後、さらに半導体基板1をエッチングして、シリコンからなる柱状体3を形成する。次に、ドーパントを柱状体3の基端側3aに注入することにより、基端側不純物拡散領域4を形成する。次に、柱状体3の外周面3cおよび半導体基板1の表面1cを酸化して、図15(a)に示すようなシリコン酸化膜からなるゲート絶縁膜7を形成する。
次に、図15(d)に示すように、半導体基板1および柱状体3を覆うように第一層間絶縁膜118を成長させる。次に、図16(a)に示すように、マスク層50が露出するまで、第一層間絶縁膜118をCMP(Chemical Mechanical Polishing)処理する。
さらに、図17(a)に示すように、半導体基板1および柱状体3を覆うように第二層間絶縁膜119を形成した後、図17(b)に示すように、先端側不純物拡散領域5と接続するコンタクトプラグ12を形成して、縦型MOSトランジスタ100とする。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態である半導体装置の一例を示す断面概略図である。図1に示すように、本発明の実施形態である半導体装置21は、半導体基板1上に形成された柱状体3と、柱状体3の先端側3bに形成された不純物拡散領域(先端側不純物拡散領域)5と、柱状体3の基端側3aに形成された別の不純物拡散領域(基端側不純物拡散領域)4と、柱状体3の外周面3cに形成されたゲート絶縁膜7と、先端側不純物拡散領域5を覆うように外周面3cに形成された先端側絶縁層10と、基端側不純物拡散領域4を覆うように外周面3cに形成された基端側絶縁層9と、先端側絶縁層10および基端側絶縁層9の間に配置され、かつ先端側絶縁層10に覆われたゲート電極8と、が具備されて構成されている。
先端側絶縁層10は、少なくとも先端側不純物拡散領域5を覆うように外周面3cに形成されており、また、基端側絶縁層9の上に積層され、かつ、ゲート電極8の先端側の端面8bを覆って、ゲート絶縁膜7の先端側を覆うように形成されている。
基端側絶縁層9は、基端側不純物拡散領域4を覆うように外周面3cおよび酸化膜6を介して半導体基板1の表面1aに形成されている。
そのため、ゲート電極8の端面8bを覆う先端側絶縁層10と基端側絶縁層9との間にゲート電極8が配置される格好になる。
このように、先端側絶縁層10および基端側絶縁層9が形成されることにより、先端側絶縁層10と基端側絶縁層9の間に配置されたゲート電極8は、先端側不純物拡散領域5および基端側不純物拡散領域4の間に配置されることになり、ゲート電極8と先端側不純物拡散領域5および基端側不純物拡散領域4とが相互に重ならず、これによりゲートオーバーラップ容量を少なくすることができる。そのため、従来の縦型MOSトランジスタ100のように電圧−電流特性を不安定化したりすることはなく、半導体特性の信頼性を大きく損なうことはない。
本発明の実施形態である半導体装置の製造方法は、柱状体形成工程と、基端側不純物拡散領域形成工程と、酸化膜層形成工程と、基端側絶縁層形成工程と、ゲート絶縁膜形成工程と、ゲート電極形成工程と、先端側絶縁層形成工程と、先端側不純物拡散領域形成工程とから概略構成される。
まず、シリコンからなる半導体基板1を1000℃で熱酸化して、図2(a)に示すように、その半導体基板1表面に、たとえば10nmの厚みでシリコン酸化膜2を形成する。
次に、図2(b)に示すように、シリコン酸化膜2上に900℃で、たとえば100nmの厚みの窒化膜55を成長させる。
次に、ドーパントを柱状体3の基端側3aに注入することにより、図3(b)に示す基端側不純物拡散領域4を形成する。例えば、砒素(As)を加速エネルギー10keV、ドープ量1×1015/cm2の条件で注入する。
さらに、柱状体3の外周面3cおよび半導体基板1の表面1cを、1000℃で熱酸化することにより、図3(c)に示すように、外周面3cおよび表面1cに厚さ5nmのシリコン酸化膜60を形成する。
このとき、半導体基板1の表面1cに垂直な方向に膜厚が厚くなるように、すなわち、半導体基板1を覆う厚みよりも柱状体3の外周面3cを覆う厚みが薄くなるように、シリコン酸化膜層90を形成する。このようにすることにより、次の基端側絶縁層形成工程において、シリコン酸化膜層90に等方性エッチングを施したときに、膜厚の厚いシリコン酸化膜層90を残存させることができる。
たとえば、半導体基板1の表面1cに垂直な方向には50nmの厚みで成長させ、柱状体3の外周面3cには10nmの厚みで成長させる。
次に、シリコン酸化膜層90に等方性エッチングを施す。たとえば、15nmの深さのウエットエッチングを行う。
これにより、図4(a)に示すように、半導体基板1上およびマスク層50上のシリコン酸化膜層90は残存され、柱状体3の外周面3c上のシリコン酸化膜層90およびシリコン酸化膜60は除去される。ここで、半導体基板1上に残存されたシリコン酸化膜層90は、柱状体3の基端側3aの基端側不純物拡散領域4を覆う基端側絶縁層9となる。また、半導体基板1と基端側絶縁層9に挟まれたシリコン酸化膜60は酸化膜6とされる。
次に、図4(b)に示すように、柱状体3の露出された外周面3cを、たとえば1000℃で熱酸化することにより、たとえば5nmの膜厚のゲート絶縁膜7を形成する。
次に、図4(c)に示すように、CVD法を用いて、柱状体3および半導体基板1を覆うようにドープト・ポリシリコン(DOPOS)からなるゲート電極層80を成長させる。たとえば、ドープト・ポリシリコン(DOPOS)成長を、たとえば、30nmの厚みで形成する。
その後、図4(d)に示すように、ゲート電極層80に異方性エッチングを施す。たとえば、柱状体3の外周面3cに形成されたゲート電極層80の先端側の端面80bが、柱状体3の先端側3bのシリコン表面3dよりも30nm基端側の位置となるまで異方性エッチングを施す。
柱状体3の先端側3bとなるゲート電極層80の一部が異方性エッチングにより除去され、柱状体3の先端側3bのゲート絶縁膜7を露出される。また、半導体基板1上に形成されたゲート電極層80も除去され、柱状体3にゲート電極8が形成される。
次に、図5(a)に示すように、高密度プラズマCVD法を用いて、半導体基板1および柱状体3を埋めるように、たとえば、膜厚500nmの絶縁層92を堆積する。
次に、図5(b)に示すように、マスク層50が露出するまで、絶縁膜92およびシリコン酸化膜層90をCMP処理して、絶縁層92の表面を平坦化する。残存された絶縁膜92は、先端側絶縁層10となる。
次に、図5(c)に示すように、マスク層50をウエットエッチングにより除去する。
その後、柱状体3の露出された先端側3bに、たとえば、ドーパントを加速エネルギー10keV、ドープ量1×1015/cm2の条件で注入することにより、図5(d)に示すように、先端側不純物拡散領域5を形成する。このとき、先端側不純物拡散領域5は、ゲート電極8と重ならない程度の深さまで注入する。
さらに、必要に応じて層間絶縁膜11の平坦性を増すために層間絶縁膜11の表面をCMP処理してもよい。
図7は、本発明の実施形態である半導体装置の別の一例を示す断面概略図である。
本発明の実施形態である半導体装置22は、保護酸化膜13が、ゲート電極8の外周面8cから、ゲート電極8の先端側の端面8bと、さらにゲート絶縁膜7の先端側の外周面7cにかけて形成されており、その保護酸化膜13の上に先端側絶縁層10が形成されているほかは、実施形態1で示した半導体装置21とほぼ同様の構成とされている。
次に、柱状体3の外周面3cおよび半導体基板1の表面1cを1000℃で熱酸化することにより、図8(a)に示すように、たとえば5nmの厚さの犠牲酸化膜62を形成する。
さらに、図8(b)に示すように、ウエットエッチングを行い、犠牲酸化膜62を除去して、マスク層50の端面50cよりも柱状体3の外周面3cを引き込ませる。
犠牲酸化膜62が、たとえば5nmの厚さで形成されていた場合には、柱状体3の外周面3cがマスク層50の端面50cよりも5nm引き込まれる。この深さは犠牲酸化膜62の厚さおよびウエットエッチングの条件によって決定され、たとえば1nm〜15nmとするが、形成する柱状体3の大きさ、形状によって決定することが良く、前記深さに限定されるものではない。
次に、柱状体3の外周面3cおよび半導体基板1の表面1cを1000℃で熱酸化することにより、図8(c)に示すように、たとえば5nmの厚さのシリコン酸化膜60を形成する。
次に、図8(d)に示すように、高密度プラズマCVD法を用いて、柱状体3の外周面3cおよび半導体基板1の表面1cに形成されたシリコン酸化膜60ならびにマスク層50の上に、シリコン酸化膜層90を成長させる。
このとき、半導体基板1の表面に垂直な方向に膜厚が厚くなるように、すなわち、半導体基板1を覆う厚みよりも柱状体3の外周面3cを覆う厚みが薄くなるように、シリコン酸化膜層90を形成する。このようにすることにより、次の基端側絶縁層形成工程において、シリコン酸化膜層90に等方性エッチングを施したときに、膜厚の厚い半導体基板1上のシリコン酸化膜層90を残存させることができる。
たとえば、半導体基板1の表面1cに垂直な方向には50nmの厚みで成長させ、柱状体の外周面3cには10nmの厚みで成長させる。
このエッチングによって、図9(a)に示すように、半導体基板1上およびマスク層50上のシリコン酸化膜層90は残存され、柱状体3の外周面3c上のシリコン酸化膜層90およびシリコン酸化膜60は除去される。ここで、半導体基板1上に残存されたシリコン酸化膜層90は、柱状体3の基端側3aの基端不純物拡散領域4を覆う基端側絶縁層9となる。また、半導体基板1と基端側絶縁層9に挟まれたシリコン酸化膜60は酸化膜6とされる。
次に、図9(b)に示すように、柱状体3の露出された外周面3cを1000℃で熱酸化することにより、たとえば5nmの膜厚のゲート絶縁膜7を形成する。
次に、図9(c)に示すように、CVD法を用いて、柱状体3および半導体基板1を覆うようにドープト・ポリシリコン(DOPOS)からなるゲート電極層80を、たとえば30nmの膜厚まで成長させる。
さらに、ゲート電極層80の表面を1000℃で熱酸化して、図10(a)に示すように、たとえば5nmの膜厚のシリコン酸化膜からなる保護酸化膜13を形成する。また、この工程により、ゲート電極層80の残存部はゲート電極8とされる。
保護酸化膜13は、マスク層50の端面50cよりも柱状体3の外周面3cが引き込まれた部分と、ゲート電極層80の先端側の端面80bと、ゲート電極の表面に形成される。そのため、後述する工程で作成する先端側絶縁層10は、保護酸化膜13を介してゲート電極8上に形成されることとなり、先端側絶縁層10によって覆われる先端側不純物拡散領域5とゲート電極8との重なりを少なくすることができ、オーバーラップ容量を少なくすることができる。
次に、図10(b)に示すように、高密度プラズマCVD法を用いて、半導体基板1および柱状体3を埋めるように絶縁層92を堆積する。膜厚は、たとえば500nmとする。
次に、図10(c)に示すように、実施形態1と同様にして、マスク層50が露出するまで、絶縁膜92およびシリコン酸化膜層90をCMP処理して、絶縁層92の表面を平坦化する。残存された絶縁膜92は、先端側絶縁層10となる。
さらに、必要に応じて層間絶縁膜11の平坦性を増すために層間絶縁膜11の表面をCMP処理する。
一方、本実施形態の半導体装置の製造方法においては、異方性エッチングをする時に、マスク層50の端面50cよりも柱状体3の先端側3bの引き込まれた部分にゲート電極層80を残存させる。これにより、異方性エッチングの際に、ゲート絶縁膜7がダメージを受けるおそれがなく、ゲート耐圧を向上させることができ、半導体装置22の信頼性を向上させることができる。
図11は、本発明の実施形態である半導体装置21を備え、素子分離領域15が存在する部分の一例を示す断面概略図である。
このように、半導体装置21を素子分離領域15で取り囲んで半導体装置30を作成してもよい。素子分離領域15は、半導体装置21を形成する前に、公知の方法により作成すればよい。
このように、半導体装置31の基端側不純物拡散領域4にコンタクトプラグ12を接続させて利用しても良い。コンタクトプラグ12は、半導体装置31を形成した後、公知の方法で形成すればよい。
図13は、本発明の実施形態である半導体装置21をDRAMのメモリセルとして利用した半導体装置の一例を示す図であって、図13(a)は平面模式図であり、図13(b)は図13(a)のA−A’線における断面模式図である。
図13(a)に示されているように、半導体装置32では、略矩形形状の活性領域32aが形成されており、その活性領域32aを囲むように素子分離領域15が形成され、その活性領域32aには格子状に平面視したときに円形となる柱状体3が縦3×横3で配置されている。この柱状体3には、それぞれコンタクトプラグ12が形成されている。
このように、一つの活性領域32aにおいて、本発明の実施形態である半導体装置21(縦型MOSトランジスタ)を複数形成してもよい。各半導体装置21は、それぞれゲートオーバーラップ容量が少ない構成とされているので、電圧―電流特性を安定化させ、半導体装置32の信頼性を向上させることができる。その際、図13に示すように、半導体装置21の先端側不純物拡散領域5に接続させたコンタクトプラグ12を介して、キャパシタもしくは相変化物質17を接続し、メモリとして利用しても良い。この場合、3個×3個のメモリセルとして利用できる。
図14に示されているように、半導体装置33は、略矩形形状の活性領域33aが形成されており、その活性領域33aを囲むように素子分離領域15が形成され、その活性領域33aには格子状に平面視したときに円形となる柱状体3が縦m×横n(m、nは任意の整数)で配置されている。この柱状体3には、それぞれコンタクトプラグ12が形成されている。この場合、m個×n個のメモリセルとして利用できる。
このように、一つの活性領域33aにおいて、本発明の実施形態である半導体装置21(縦型MOSトランジスタ)を複数含有してもよい。各半導体装置21は、それぞれゲートオーバーラップ容量が少ない構成とされているので、電圧―電流特性を安定化させ、半導体装置33の信頼性を向上させることができる。
Claims (5)
- 半導体基板上に形成された柱状体と、
前記柱状体の先端側に形成された先端側不純物拡散領域と、
前記柱状体の基端側に形成された基端側不純物拡散領域と、
前記柱状体の外周面に形成されたゲート絶縁膜と、
前記先端側不純物拡散領域を覆うように前記外周面に形成された先端側絶縁層と、
前記基端側不純物拡散領域を覆うように前記外周面に形成された基端側絶縁層と、
前記先端側絶縁層および前記基端側絶縁層の間に配置されたゲート電極と、を具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記ゲート電極と前記先端側絶縁層との間に保護酸化膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 半導体基板上に柱状体を形成するとともに前記柱状体の基端側に基端側不純物拡散領域を形成する基端側不純物拡散領域工程と、
高密度プラズマCVD法によって、前記半導体基板および前記柱状体を覆うように、かつ、前記半導体基板を覆う厚みよりも前記柱状体の外周面を覆う厚みが薄くなるように、酸化膜層を形成する酸化膜層形成工程と、
前記酸化膜層に等方性エッチングを施して、前記半導体基板上の前記酸化膜層を残存させつつ前記外周面上の前記酸化膜層を除去することにより、前記基端側不純物拡散領域を覆う基端側絶縁層を形成する基端側絶縁層形成工程と、
前記柱状体の外周面にゲート絶縁膜を形成する工程と、
少なくとも前記ゲート絶縁膜を覆うようにゲート電極層を形成してから、前記ゲート電極層のうち前記柱状体の先端側の一部を異方性エッチングにより除去して前記柱状体の先端側のゲート絶縁膜を露出させることにより、ゲート電極を形成するゲート電極形成工程と、
高密度プラズマCVD法によって、少なくとも前記柱状体の先端側に露出されたゲート絶縁膜を覆うように別の酸化物層を形成することによって、前記先端側のゲート絶縁膜を覆う先端側絶縁層を形成する先端側絶縁層形成工程と、
前記柱状体の先端側であって前記先端側絶縁層が形成された領域に先端側不純物拡散領域を形成する先端側不純物拡散領域工程と、を具備してなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記酸化膜層形成工程が、前記柱状体および前記半導体基板に均一な膜厚の酸化膜を下地層として形成した後に、高密度プラズマCVD法を用いて、前記柱状体の外周面上よりも半導体基板表面における膜厚が厚くなるように酸化膜層を成長させる工程であることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基端側不純物拡散領域工程の後であって、酸化膜層形成工程の前において、前記柱状体および前記半導体基板に均一な膜厚の犠牲酸化膜を形成した後、ウエットエッチングにより前記犠牲酸化膜を除去して、前記柱状体の上に積層され前記柱状体の形成に用いられたマスク層の端面よりも前記柱状体の外周面を引き込ませる外周面引き込み工程と、
さらに、前記ゲート電極形成工程において、前記ゲート電極層を形成してから、前記ゲート電極層のうち前記柱状体の先端側の一部を異方性エッチングにより除去して、少なくとも前記マスク層の端面よりも引き込まれた部分にゲート電極層を残しつつゲート電極を形成し、前記残存するゲート電極層を熱酸化して、保護酸化膜を形成する保護酸化膜形成工程を具備することを特徴とする請求項3または請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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