JP2009017196A - キャリブレーション回路及びこれを備える半導体装置、並びに、データ処理システム - Google Patents

キャリブレーション回路及びこれを備える半導体装置、並びに、データ処理システム Download PDF

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    • H03K19/0005Modifications of input or output impedance

Abstract

【課題】外部クロックの周波数が高い場合であっても、正しくキャリブレーション動作を実行する。
【解決手段】レプリカバッファ110,120と、レプリカバッファ110,120のインピーダンスコードDRZQP,DRZQNを変化させるアップダウンカウンタ140と、インピーダンスコードをそれぞれ保持するラッチ回路141,142と、レプリカバッファ110,120のインピーダンス調整完了に応答してラッチ回路141,142を活性化させる終了判定回路161と、キャリブレーションコマンドZQCSの発行から所定の期間が経過したことに応答して、強制的にラッチ回路141,142を活性化させる32tCKサイクルカウンタ162とを備える。これにより、1回のキャリブレーション期間で調整が完了しなかった場合であっても、次回のキャリブレーション動作を続きから実行することができる。
【選択図】図1

Description

本発明はキャリブレーション回路及びこれを備える半導体装置に関し、さらに詳細には、出力バッファのインピーダンスを調整するためのキャリブレーション回路及びこれを備える半導体装置に関する。また、本発明は、このような半導体装置を有するデータ処理システムに関する。
近年、半導体装置間(CPUとメモリ間など)におけるデータ転送には、非常に高いデータ転送レートが要求されており、これを実現するため、入出力信号の振幅はますます小振幅化されている。入出力信号が小振幅化すると、出力バッファに対するインピーダンスの要求精度は非常に厳しくなる。
出力バッファのインピーダンスは、製造時のプロセス条件によってばらつくのみならず、実使用時においても、周辺温度の変化や電源電圧の変動の影響を受ける。このため、出力バッファに高いインピーダンス精度が要求される場合には、インピーダンス調整機能を持った出力バッファが採用される(特許文献1〜5参照)。このような出力バッファに対するインピーダンスの調整は、一般に「キャリブレーション回路」と呼ばれる回路を用いて行われる。
特許文献3〜5に記載されているように、キャリブレーション回路には出力バッファと同じ構成を有するレプリカバッファが含まれている。そして、キャリブレーション動作を行う場合、キャリブレーション端子に外部抵抗を接続した状態で、キャリブレーション端子に現れる電圧と基準電圧とを比較し、これによってレプリカバッファのインピーダンスを調整する。そして、レプリカバッファの調整内容を出力バッファに反映させることによって、出力バッファのインピーダンスを所望の値に設定する。
キャリブレーション動作においては、電圧比較やレプリカバッファのインピーダンス更新を含む調整ステップが複数回実行され、これによって、レプリカバッファのインピーダンスを所望の値に近づける。但し、一連のキャリブレーション動作を行う期間(キャリブレーション期間)にてインピーダンス調整が正しく完了しない場合には、何らかの異常が発生したものとみなして、調整内容は破棄される。これにより、キャリブレーション動作において何らかの異常が発生した場合であっても、誤った方向へのインピーダンス調整が防止される。
特開2002−152032号公報 特開2004−32070号公報 特開2006−203405号公報 特開2005−159702号公報 特開2007−110615号公報
キャリブレーション動作における電圧比較や、レプリカバッファのインピーダンス変更などには、ある程度の時間が必要である。このため、外部クロックの周波数が高い場合には、外部クロックが活性化するたびに毎回調整ステップを実行することは不可能である。このような場合には、外部クロックを分周することによって、より周波数の低い内部クロックを生成し、これに同期して調整ステップを実行すればよい。
しかしながら、キャリブレーション期間(=tZQCS)は、通常、外部クロック数(例えば64クロック)によって規定される。このため、外部クロックの分周数が大きくなればなるほど、キャリブレーション期間に実行可能な調整ステップ数が減ってしまう。つまり、キャリブレーション期間を規定する外部クロック数をmとし、分周数をnとすると、1回のキャリブレーション期間において内部クロックが活性化する回数、つまり調整ステップ数はm/n回となる。外部クロックの周波数が高くなると、必然的に分周数nを増やす必要が生じることから、1回のキャリブレーション期間に実行可能な調整ステップ数はますます減少する。
このため、外部クロックの周波数が非常に高くなると、1回のキャリブレーション期間にてインピーダンス調整が完了しないケースも生じうる。上述の通り、このようなケースが生じた場合、従来は異常とみなして調整内容を破棄していたが、周波数の向上によって1回のキャリブレーション期間に実行可能な調整ステップ数が大幅に少なくなると、1回のキャリブレーション期間でインピーダンス調整が完了しないケースが頻繁に生じものと考えられる。
このような場合、インピーダンス調整に失敗するたびに調整内容を破棄していると、目的とするインピーダンスに辿り着くことができなくなってしまう。
本発明は、このような問題を解決すべくなされたものである。したがって、本発明の目的は、外部クロックの周波数が高い場合であっても、正しくキャリブレーション動作を実行可能なキャリブレーション回路及びこれを備える半導体装置を提供することである。
また、本発明は、このような半導体装置を有するデータ処理システムを提供することである。
本発明によるキャリブレーション回路は、出力バッファを構成するプルアップ回路及びプルダウン回路のインピーダンスを調整するキャリブレーション回路であって、プルアップ回路及びプルダウン回路の一方と実質的に同じ回路構成を有する第1のレプリカバッファと、プルアップ回路及びプルダウン回路の他方と実質的に同じ回路構成を有する第2のレプリカバッファと、第1及び第2のレプリカバッファのインピーダンスをそれぞれ規定する第1及び第2のインピーダンスコードを変化させるカウンタ回路と、第1及び第2のインピーダンスコードをそれぞれ保持する第1及び第2のラッチ回路と、第1のレプリカバッファのインピーダンスが所定のレベルに達したことに応答して第1のラッチ回路を活性化させ、第2のレプリカバッファのインピーダンスが所定のレベルに達したことに応答して第2のラッチ回路を活性化させる第1の終了判定回路と、キャリブレーションコマンドの発行から所定の期間が経過したことに応答して、第1又は第2のレプリカバッファのインピーダンスが所定のレベルに達したか否かに関わらず、第1又は第2のラッチ回路を活性化させる第2の終了判定回路と、を備えることを特徴とする。
また、本発明による半導体装置は、上記のキャリブレーション回路及び出力バッファを含む。さらに、本発明によるデータ処理システムは、上記の半導体装置を含む。
本発明において、「所定の期間」とは、絶対時間で規定される期間に限らず、クロック数で規定される期間であっても構わない。また、インピーダンスが「所定のレベルに達した」か否かの判断条件は特に制限されない。したがって、複数回の調整ステップにおいて所定の結果が連続して出現したことを条件として、インピーダンスが「所定のレベルに達した」と判断するケースも含む。
所定の期間はキャリブレーション期間の実質的に半分であり、第2の終了判定回路は、キャリブレーション動作の開始から所定の期間が経過したことに応答して、カウンタ回路の動作モードを切り替えることが好ましい。或いは、所定の期間はキャリブレーション期間と実質的に同一であり、キャリブレーションコマンドが発行されるたびに、カウンタ回路の動作モードが切り替えられることもまた好ましい。
このように、本発明によれば、レプリカバッファのインピーダンスが所定のレベルに達したか否かに関わらず、調整内容であるインピーダンスコードを破棄することなく、ラッチ回路に取り込んでいる。このため、1回のキャリブレーション期間でインピーダンス調整が完了しなかった場合であっても、次回のキャリブレーション動作を続きから実行することができる。したがって、外部クロックの周波数が高い場合であっても、キャリブレーションコマンドを複数回発行することにより、目的とするインピーダンスに辿り着くことが可能となる。
しかも、本発明では、レプリカバッファのインピーダンスが所定のレベルに達したことに応答して、インピーダンスコードをラッチ回路に取り込んでいる。このため、所定回数の調整ステップを強制的に実行するタイプのキャリブレーション回路に比べ、高いインピーダンス精度を得ることが可能となる。
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明する。
図1は、本発明の好ましい第1の実施形態によるキャリブレーション回路100の回路図である。
図1に示すように、本実施形態によるキャリブレーション回路100は、レプリカバッファ110,120,130と、レプリカバッファ110,120,130のインピーダンスを制御するアップダウンカウンタ140と、アップダウンカウンタ140が生成するインピーダンスコードをラッチするラッチ回路141,142とを備えている。
レプリカバッファ110,120,130は、後述する出力バッファの一部と同じ回路構成を有している。そして、レプリカバッファ110,120,130を用いて出力インピーダンスの調整を行い、その結果を出力バッファに反映させることによって、出力バッファのインピーダンスを所望の値に設定する。これがキャリブレーション回路100の役割である。
図2は、レプリカバッファ110の回路図である。
図2に示すように、レプリカバッファ110は、電源電位VDDに対して並列接続された5つのPチャンネルMOSトランジスタ111〜115と、一端がこれらトランジスタのドレインに接続された抵抗119によって構成されている。抵抗119の他端は、キャリブレーション端子ZQに接続されている。レプリカバッファ110はプルアップ機能のみを有し、プルダウン機能は有していない。
トランジスタ111〜115のゲートには、レプリカバッファ110の前段に設けられたレプリカ制御回路110aを介して、インピーダンス制御信号DRZQP1〜DRZQP5がそれぞれ供給されている。これにより、レプリカバッファ110に含まれる5個のトランジスタは、個別にオン/オフ制御を行うことができる。尚、図1及び図2においては、インピーダンス制御信号DRZQP1〜DRZQP5を纏めてDRZQPと表記している。レプリカ制御回路110aは、インピーダンス制御信号DRZQP1〜DRZQP5のスルーレートなどを調整する回路である。後述するレプリカ制御回路120a,130aも同様である。
トランジスタ111〜115からなる並列回路は、導通時に所定のインピーダンス(例えば120Ω)となるように設計されている。しかしながら、トランジスタのオン抵抗は製造条件によってばらつくとともに、動作時における環境温度や電源電圧によって変動することから、必ずしも所望のインピーダンスが得られるとは限らない。このため、実際にインピーダンスを120Ωとするためには、オンさせるべきトランジスタの数を調整する必要があり、かかる目的のために、複数のトランジスタからなる並列回路を用いている。
インピーダンスを微細且つ広範囲に調整するためには、並列回路を構成する複数のトランジスタのW/L比(ゲート幅/ゲート長比)を互いに異ならせることが好ましく、2のべき乗の重み付けをすることが特に好ましい。この点を考慮して、本実施形態では、トランジスタ111のW/L比を「1」とした場合、トランジスタ112〜115のW/L比をそれぞれ「2」、「4」、「8」、「16」に設定している(W/L比の値は相対値であり、実際のW/L比を表しているものではない。以下同様)。
これにより、インピーダンス制御信号DRZQP1〜DRZQP5によってオンさせるトランジスタを適宜選択することによって、製造条件によるばらつきや温度変化などにかかわらず、並列回路のオン抵抗をほぼ120Ωに固定させることができる。
また、抵抗119の抵抗値は例えば120Ωに設計されている。これにより、トランジスタ111〜115からなる並列回路がオン状態となれば、キャリブレーション端子ZQからみたレプリカバッファ110のインピーダンスは240Ωとなる。抵抗119としては、例えばタングステン(W)抵抗を用いることができる。
レプリカバッファ120についても、抵抗119の他端が接点Aに接続されている他は、図2に示したレプリカバッファ110と同一の回路構成を有している。したがって、レプリカバッファ120に含まれる5つのトランジスタのゲートには、レプリカ制御回路120aを介してインピーダンス制御信号DRZQP1〜DRZQP5が供給される。
図3は、レプリカバッファ130の回路図である。
図3に示すように、レプリカバッファ130は、接地電位に対して並列接続された5つのNチャンネルMOSトランジスタ131〜135と、一端がこれらトランジスタのドレインに接続された抵抗139によって構成されている。抵抗139の他端は、接点Aに接続されている。レプリカバッファ130はプルダウン機能のみを有し、プルアップ機能は有していない。
トランジスタ131〜135のゲートには、レプリカバッファ130の前段に設けられたレプリカ制御回路130aを介して、インピーダンス制御信号DRZQN1〜DRZQN5がそれぞれ供給されている。これにより、レプリカバッファ130に含まれる5個のトランジスタは、個別にオン/オフ制御を行うことができる。尚、図1及び図3においては、インピーダンス制御信号DRZQN1〜DRZQN5を纏めてDRZQNと表記している。
トランジスタ131〜135からなる並列回路についても、導通時に例えば120Ωとなるように設計されている。また、抵抗139の抵抗値も、例えば120Ωに設計されている。これにより、トランジスタ131〜135からなる並列回路がオン状態となれば、接点Aからみたレプリカバッファ130のインピーダンスは、レプリカバッファ110,120と同様、240Ωとなる。
トランジスタ131〜135についても、トランジスタ111〜115と同様、W/L比に2のべき乗の重み付けをすることが特に好ましい。具体的には、トランジスタ131のW/L比を「1」とした場合、トランジスタ132〜135のW/L比をそれぞれ「2」、「4」、「8」、「16」に設定すればよい。
図1に戻って、アップダウンカウンタ140は、インピーダンス制御信号DRZQPを構成する第1のインピーダンスコードと、インピーダンス制御信号DRZQNを構成する第2のインピーダンスコードを個別にカウントアップ及びカウントダウン可能なカウンタ回路である。つまり、アップダウンカウンタ140は、第1のインピーダンスコードをカウントする動作モードと、第2のインピーダンスコードをカウントする動作モードを有しており、その切り替えは、32tCKサイクルカウンタ162より出力される終了信号END3によって制御される。
インピーダンス制御信号DRZQPを構成する第1のインピーダンスコードは、比較信号COMP1に基づいてカウントアップ及びカウントダウンされ、インピーダンス制御信号DRZQNを構成する第2のインピーダンスコードは、比較信号COMP2に基づいてカウントアップ及びカウントダウンされる。
比較信号COMP1は、コンパレータ回路151によって生成される。コンパレータ回路151は、キャリブレーション端子ZQの電位と基準電位(VDD/2)とを比較する回路であり、その大小関係に基づいてアップダウンカウンタ140を制御する。具体的には、キャリブレーション端子ZQの電位が基準電位よりも高い場合には、第1のインピーダンスコードをカウントダウンさせ、これによりレプリカバッファ110のインピーダンスを上昇させる。逆に、キャリブレーション端子ZQの電位が基準電位よりも低い場合には、第1のインピーダンスコードをカウントアップさせ、これによりレプリカバッファ110のインピーダンスを低下させる。コンパレータ回路151に供給される基準電位は、基準電位生成回路191によって生成される。
比較信号COMP2は、コンパレータ回路152によって生成される。コンパレータ回路152は、レプリカバッファ120とレプリカバッファ130との接点Aの電位と、基準電位(VDD/2)とを比較する回路であり、その大小関係に基づいてアップダウンカウンタ140を制御する。具体的には、接点Aの電位が基準電位よりも高い場合には、第2のインピーダンスコードをカウントアップさせ、これによりレプリカバッファ130のインピーダンスを低下させる。逆に、接点Aの電位が基準電位よりも低い場合には、第2のインピーダンスコードをカウントダウンさせ、これによりレプリカバッファ130のインピーダンスを上昇させる。コンパレータ回路152に供給される基準電位は、基準電位生成回路192によって生成される。
図1に示すように、比較信号COMP1,COMP2は、終了判定回路161にも供給される。終了判定回路161は、レプリカバッファ110のインピーダンスが所定のレベルに達したことに応答して終了信号END1を生成し、レプリカバッファ130のインピーダンスが所定のレベルに達したことに応答して終了信号END2を生成する回路である。レプリカバッファ110,130のインピーダンスが所定のレベルに達したか否かの判断は、それぞれ比較信号COMP1,COMP2を参照することによって行われる。一例として、比較信号COMP1,COMP2が変化した場合、レプリカバッファ110,130のインピーダンスが所定のレベルに達したと判断することができる。或いは、比較信号COMP1,COMP2が複数回連続して変化した場合、レプリカバッファ110,130のインピーダンスが所定のレベルに達したと判断することもできる。本発明において、インピーダンスが所定のレベルに達したか否かの判断条件については、特に限定されない。
終了信号END1,END2は、それぞれEXORゲート171,172を介してラッチ回路141,142に供給される。EXORゲート171,172には、32tCKサイクルカウンタ162より出力される終了信号END3が共通に供給されている。このため、終了信号END3が活性化する前に終了信号END1が活性化すると、アップダウンカウンタ140にてカウントしている第1のインピーダンスコードがラッチ回路141にラッチされる。同様に、終了信号END3が活性化する前に終了信号END2が活性化すると、アップダウンカウンタ140にてカウントしている第2のインピーダンスコードがラッチ回路142にラッチされる。
さらに、終了信号END1,END2が活性化する前に終了信号END3が活性化すると、アップダウンカウンタ140にてカウントしている第1及び第2のインピーダンスコードがラッチ回路141,142にそれぞれラッチされることになる。
32tCKサイクルカウンタ162は、キャリブレーションコマンドの発行から32クロックが経過したことに応答して終了信号END3を活性化させる回路であり、第2の終了判定回路としての役割を果たす。本実施形態では、キャリブレーションコマンドに応答して実行される一連のキャリブレーション期間が64クロック周期(=64tCK)と規定されており、したがって、32tCKサイクルカウンタ162は、キャリブレーション期間が半分経過した時点(キャリブレーション開始から32クロック経過時点)で終了信号END3を活性化させるとともに、キャリブレーション期間が終了した時点(キャリブレーション開始から64クロック経過時点)で終了信号END3を再び活性化させる。
このように、終了信号END3は、EXORゲート171,172を介してラッチ回路141,142に供給されることから、レプリカバッファ110,130のインピーダンスが所定のレベルに達したか否かに関わらず、キャリブレーション開始から32クロック経過時点及び64クロック経過時点で、第1及び第2のインピーダンスコードが強制的にラッチされることになる。
上述の通り、終了信号END3はアップダウンカウンタ140に供給されており、これが活性化すると、アップダウンカウンタ140の動作モードが切り替えられる。したがって、キャリブレーション開始から32クロック経過時点及び64クロック経過時点で、動作モードが切り替えられることになる。本実施形態では、キャリブレーション期間の前半においては、第1のインピーダンスコードを変化させる動作モードが選択され、キャリブレーション期間の後半においては、第2のインピーダンスコードを変化させる動作モードが選択される。
また、本実施形態によるキャリブレーション回路100は、スタートコード発生回路180を有している。スタートコード発生回路180は、キャリブレーションコマンドZQCSの発行に応答して、アップダウンカウンタ140にスタートコードを供給する回路である。アップダウンカウンタ140に供給するスタートコードは、ラッチ回路141,142に保持されているインピーダンスコードである。
以上が本実施形態によるキャリブレーション回路100の構成である。そして、実際にキャリブレーション回路100を動作させる場合には、図1に示すように、キャリブレーション端子ZQに外部抵抗Rを接続する。
次に、本実施形態によるキャリブレーション回路100の動作について説明する。
図4は、キャリブレーション動作時におけるレプリカバッファの出力変化の一例を示す模式的な波形図である。図4には、終了信号END1〜END3の発生タイミングも併せて表示してある。
図4に示す例では、レプリカバッファ110,120,130のインピーダンスが目標値よりも高く、このため、キャリブレーション端子ZQの電位が目標値である基準電位(=VDD/2)よりも低く、接点Aの電位が基準電位よりも高くなっているケースを示している。
そして、1回目のキャリブレーションコマンドが発行されると、スタートコード発生回路180は、ラッチ回路141に保持されている第1のインピーダンスコードをアップダウンカウンタ140に供給する。キャリブレーションコマンドの発行時においては、アップダウンカウンタ140は第1のインピーダンスコードをカウントアップ又はカウントダウンする第1の動作モードが選択されており、このため、ラッチ回路141の内容が第1のインピーダンスコードとして取り込まれる。
そして、コンパレータ回路151を用いてキャリブレーション端子ZQの電位と基準電位との比較を行い、その結果に応じて、アップダウンカウンタ140により第1のインピーダンスコードをカウントアップ又はカウントダウンする。図4に示す例では、レプリカバッファ110のインピーダンスが高いことから、キャリブレーション端子ZQの電位は基準電位よりも低くなっており、このため、第1のインピーダンスコードがカウントアップされる。その結果、レプリカバッファ110のインピーダンスは1ステップ低下し、キャリブレーション端子ZQの電位も1ステップ上昇する。
このような動作を複数サイクル(図4に示す例では3サイクル)実行し、キャリブレーションコマンドの発行から32クロックが経過すると、32tCKサイクルカウンタ162は終了信号END3を活性化させる。これに応答して、ラッチ回路141には現在のインピーダンスコードがラッチされることになる。また、ラッチされたインピーダンスコードはレプリカバッファ120にも反映され、これにより、レプリカバッファ120のインピーダンスは、レプリカバッファ110のインピーダンスと実質的等しくなる。
さらに、終了信号END3の活性化に応答してアップダウンカウンタ140の動作モードが切り替わり、第2のインピーダンスコードをカウントアップ又はカウントダウンする第2の動作モードとなる。また、スタートコード発生回路180は、ラッチ回路142に保持されている第2のインピーダンスコードをアップダウンカウンタ140に供給する。このため、ラッチ回路142の内容が第2のインピーダンスコードとしてアップダウンカウンタ140に取り込まれる。
そして、コンパレータ回路152を用いて接点Aの電位と基準電位との比較を行い、その結果に応じて、アップダウンカウンタ140により第2のインピーダンスコードをカウントアップ又はカウントダウンする。図4に示す例では、レプリカバッファ130のインピーダンスが高いことから、接点Aの電位は基準電位よりも高くなっており、このため、第2のインピーダンスコードがカウントアップされる。その結果、レプリカバッファ130のインピーダンスは1ステップ低下し、接点Aの電位も1ステップ低下する。
このような動作を複数サイクル(図4に示す例では3サイクル)実行し、キャリブレーションコマンドの発行から64クロックが経過すると、32tCKサイクルカウンタ162は再び終了信号END3を活性化させる。これに応答して、ラッチ回路142には現在のインピーダンスコードがラッチされる。
以上により、1回目のキャリブレーション期間tZQCS(1)が終了する。この間、コンパレータ回路151,152の出力は一度も変化しておらず、したがって、終了判定回路161は終了信号END1,END2を発生しない。しかしながら、既に説明したとおり、終了信号END1,END2の発生に関わらず、キャリブレーション開始から32クロック経過時点及び64クロック経過時点で、第1及び第2のインピーダンスコードが強制的にラッチされることから、キャリブレーション失敗とはならず、最終コードが保持されることになる。つまり、以降のキャリブレーション動作は、前回の続きから実行することが可能となる。
そして、2回目及び3回目のキャリブレーションコマンドが発行され、これに応じてキャリブレーション動作を進めると、やがてキャリブレーション端子ZQの電位及び接点Aの電位が基準電位に到達する。図4に示した例では、3回目のキャリブレーション動作において、キャリブレーション端子ZQの電位及び接点Aの電位が基準電位に到達している。つまり、3回目のキャリブレーション動作においてインピーダンス調整が成功している。インピーダンス調整が成功すると、終了判定回路161は終了信号END1,END2を発生し、これに応答してラッチ回路141,142は現在のインピーダンスコードをラッチする。
このように、本実施形態では、1回のキャリブレーション期間においてインピーダンス調整が完了しなかった場合であっても、インピーダンスコードを破棄することなく、ラッチ回路141,142に最後のインピーダンスコードを保持させている。このため、外部クロックの周波数が高いために1回のキャリブレーション期間tZQCSが短い場合であっても、複数回のキャリブレーション期間を利用することによって、正しいキャリブレーション動作を実行することが可能となる。
また、本実施形態では、32tCKサイクルカウンタ162が終了信号END3を発生する前に、終了判定回路161が終了信号END1,END2を発生させた場合、この時点で当該レプリカバッファのインピーダンス調整を終了させ、ラッチ回路141,142にインピーダンスコードをラッチさせている。このため、不必要にインピーダンス調整を続けることによる調整誤差を縮小することが可能となる。
つまり、図4に示す例では、4回目のキャリブレーションコマンドに応答した動作は、プルアップ側及びプルダウン側とも、2回のインピーダンス調整で動作を終了している。このため、調整誤差は、基準電位に最も近いインピーダンスコードに対して±1の範囲内に収まる。この誤差は、例えば、図4に示す3回目のキャリブレーション動作の終了時におけるインピーダンスコードが最適値であるとすると、4回目のキャリブレーション動作の終了時におけるインピーダンスコードは、最適値から1ステップずれた値となる。このような誤差は、コンパレータ回路を用いた大小比較を行っている以上、不可避的に生じる誤差であると言える。
これに対し、終了判定回路161を用いない場合には、レプリカバッファのインピーダンスが最適値に到達した後も、あらかじめ定められた期間中は調整動作を継続することから、最終的に得られるインピーダンスコードが最適値であるとは限らない。つまり、最終的に得られるインピーダンスコードは、1ステップずれた値である可能性がある。このようなずれがプルアップ側でまず生じ、さらに、プルダウン側はインピーダンスのずれたプルアップ側に合わせるよう、インピーダンス調整がなされることから、プルダウン側においてずれがさらに拡大する可能性がある。その結果、調整誤差は、基準電位に最も近いインピーダンスコードに対して±2程度に拡大する可能性が生じる。
本実施形態によるキャリブレーション回路100ではこのような問題は生じず、したがって、より正確なインピーダンス調整を行うことが可能となる。
しかも、本実施形態では、1回のキャリブレーション期間において、プルアップ側のレプリカバッファ110,120のインピーダンス調整と、プルダウン側のレプリカバッファ130のインピーダンス調整を両方行っている。このため、プルアップ側とプルダウン側のインピーダンスにミスマッチが生じにくいという利点も有している。
図5は、キャリブレーション回路100を備える半導体装置200の主要部を示すブロック図である。
図5に示す半導体装置200は、キャリブレーション回路100の他、データ入出力端子DQに接続された出力バッファ210及び入力バッファ220を備えている。入力バッファ220の構成については、本発明の要旨と直接関係がないため、本明細書での説明は省略する。
出力バッファ210の動作は、前段回路230より供給される動作信号230P,230Nによって制御される。図5に示すように、前段回路230には、キャリブレーション回路100より供給されるインピーダンス制御信号DRZQP,DRZQNが供給されている。
図6は、出力バッファ210の回路図である。
図6に示すように、出力バッファ210は、並列接続された5つのPチャンネルMOSトランジスタ211p〜215pと、並列接続された5つのNチャンネルMOSトランジスタ211n〜215nとを備えている。これらトランジスタ211p〜215pとトランジスタ211n〜215nとの間には、抵抗218,219が直列に接続されており、抵抗218と抵抗219の接続点がデータ入出力端子DQに接続されている。
トランジスタ211p〜215pのゲートには、動作信号230Pを構成する5つの動作信号231P〜235Pが供給されている。また、トランジスタ211n〜215nのゲートには、動作信号230Nを構成する5つの動作信号231N〜235Nが供給されている。これにより、出力バッファ210に含まれる10個のトランジスタは、10本の動作信号231P〜235P,231N〜235Nによって、個別にオン/オフ制御がされる。動作信号231P〜235Pは動作信号230Pを構成する信号群であり、動作信号231N〜235Nは動作信号230Nを構成する信号群である。
出力バッファ210のうち、PチャンネルMOSトランジスタ211p〜215p及び抵抗218からなるプルアップ回路PUは、図2に示したレプリカバッファ110(120)と同じ回路構成を有している。また、NチャンネルMOSトランジスタ211n〜215n及び抵抗219からなるプルダウン回路PDは、図3に示したレプリカバッファ130と同じ回路構成を有している。
したがって、トランジスタ211p〜215pからなる並列回路及びトランジスタ211n〜215nからなる並列回路は、いずれも導通時に例えば120Ωとなるように設計されている。また、抵抗218,219の抵抗値は、いずれも例えば120Ωに設計されている。これにより、トランジスタ211p〜215pからなる並列回路及びトランジスタ211n〜215nからなる並列回路の一方がオン状態となれば、データ入出力端子DQからみた出力バッファのインピーダンスは240Ωとなる。
実際の半導体装置においては、このような出力バッファ210が並列に複数個設けられ、使用する出力バッファの数によって出力インピーダンスを選択可能に構成される。つまり、一つの出力バッファのインピーダンスをXとすると、Y個の出力バッファを並列に使用することによって出力インピーダンスをX/Yとすることが可能となる。
図7は、前段回路230の回路図である。
図7に示すように、前段回路230は、5つのOR回路301〜305と、5つのAND回路311〜315によって構成されている。OR回路301〜305には、出力制御回路240からの選択信号240Pが共通に供給されているとともに、キャリブレーション回路100からのインピーダンス制御信号DRZQP1〜DRZQP5がそれぞれ供給されている。一方、AND回路311〜315には、出力制御回路240からの選択信号240Nが共通に供給されているとともに、キャリブレーション回路100からのインピーダンス制御信号DRZQN1〜DRZQN5がそれぞれ供給されている。
出力制御回路240の出力である選択信号240P,240Nは、データ入出力端子DQから出力すべきデータの論理値などに応じて制御される。具体的には、データ入出力端子DQからハイレベルの信号を出力する場合には、選択信号240P,240Nがローレベルに設定され、データ入出力端子DQからローレベルの信号を出力する場合には、選択信号240P,240Nがハイレベルに設定される。また、出力バッファ210を終端抵抗として用いるODT(On Die Termination)機能を使用する場合には、選択信号240Pをローレベルとし、選択信号240Nをハイレベルとする。
OR回路301〜305の出力である動作信号231P〜235P(=230P)と、AND回路311〜315の出力である動作信号231N〜235N(=230N)は、図5に示すように、出力バッファ210に供給される。
以上が半導体装置200の構成である。このような構成により、出力バッファ210は、キャリブレーション回路100にて調整されたインピーダンスと同じインピーダンスにて動作することが可能となる。
図8は、本発明の好ましい実施形態による半導体装置を用いたデータ処理システム300の構成を示すブロック図であり、本実施形態による半導体装置がDRAMである場合を示している。
図8に示すデータ処理システム300は、データプロセッサ320と、本実施形態による半導体装置(DRAM)330が、システムバス310を介して相互に接続された構成を有している。データプロセッサ320としては、例えば、マイクロプロセッサ(MPU)、ディジタルシグナルプロセッサ(DSP)などを含まれるが、これらに限定されない。図8においては簡単のため、システムバス310を介してデータプロセッサ320とDRAM330とが接続されているが、システムバス310を介さずにローカルなバスによってこれらが接続されていても構わない。
また、図8には、簡単のためシステムバス310が1組しか描かれていないが、必要に応じ、コネクタなどを介しシリアルないしパラレルに設けられていても構わない。また、図8に示すメモリシステムデータ処理システムでは、ストレージデバイス340、I/Oデバイス350、ROM360がシステムバス310に接続されているが、これらは必ずしも必須の構成要素ではない。
ストレージデバイス340としては、ハードディスクドライブ、光学ディスクドライブ、フラッシュメモリなどが挙げられる。また、I/Oデバイス350としては、液晶ディスプレイなどのディスプレイデバイスや、キーボード、マウスなどの入力デバイスなどが挙げられる。また、I/Oデバイス350は、入力デバイス及び出力デバイスのいずれか一方のみであっても構わない。さらに、図8に示す各構成要素は、簡単のため1つずつ描かれているが、これに限定されるものではなく、1又は2以上の構成要素が複数個設けられていても構わない。
次に、本発明の好ましい第2の実施形態について説明する。
図9は、本発明の好ましい第2の実施形態によるキャリブレーション回路400の回路図である。
図9に示すように、本実施形態によるキャリブレーション回路400は、図1に示した32tCKサイクルカウンタ162が64tCKサイクルカウンタ410に置き換えられている点、並びに、ZQカウンタ420が追加され、その出力によってアップダウンカウンタ140の動作モードが切り替えられる点において、図1に示したキャリブレーション回路100と相違する。その他の点については、図1に示したキャリブレーション回路100と同一であることから、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
64tCKサイクルカウンタ410は、キャリブレーションコマンドの発行から64クロックが経過したことに応答して終了信号END3を活性化させる回路であり、第2の終了判定回路としての役割を果たす。本実施形態では、キャリブレーションコマンドに応答して実行される一連のキャリブレーション期間が64クロック周期(=64tCK)であり、したがって、64tCKサイクルカウンタ410は、キャリブレーション期間が終了した時点(キャリブレーション開始から64クロック経過時点)で終了信号END3を活性化させる。
一方、ZQカウンタ420は、キャリブレーションコマンドが発行されるたびに反転する一種のフラグであり、アップダウンカウンタ140の動作モードを選択するために用いられる。
図10は、本実施形態におけるレプリカバッファの出力変化の一例を示す模式的な波形図である。図10には、終了信号END1〜END3の発生タイミングも併せて表示してある。
図10に示す例は、図4に示した例と同様、レプリカバッファ110,120,130のインピーダンスが目標値よりも高く、このため、キャリブレーション端子ZQの電位が目標値である基準電位(=VDD/2)よりも低く、接点Aの電位が基準電位よりも高くなっているケースを示している。
1回目のキャリブレーションコマンドが発行される時点においては、ZQカウンタ420は第1の動作モードを選択している。このため、アップダウンカウンタ140は、ラッチ回路141の内容を第1のインピーダンスコードとして取り込む。
そして、第1の実施形態と同様、アップダウンカウンタ140によって第1のインピーダンスコードをカウントアップする。その結果、レプリカバッファ110のインピーダンスは1ステップずつ低下し、キャリブレーション端子ZQの電位も1ステップずつ上昇する。
このような動作を複数サイクル(図10に示す例では6サイクル)実行し、キャリブレーションコマンドの発行から64クロックが経過すると、64tCKサイクルカウンタ410は終了信号END3を活性化させる。これに応答して、ラッチ回路141には現在のインピーダンスコードがラッチされることになる。また、ラッチされたインピーダンスコードはレプリカバッファ120にも反映され、これにより、レプリカバッファ120のインピーダンスは、レプリカバッファ110のインピーダンスと実質的等しくなる。
そして、2回目のキャリブレーションコマンドが発行されると、ZQカウンタ420の内容が反転し、アップダウンカウンタ140は第2の動作モードが選択される。これにより、アップダウンカウンタ140はラッチ回路142の内容を第2のインピーダンスコードとして取り込む。そして、プルアップ側と同様、アップダウンカウンタ140によって第2のインピーダンスコードをカウントアップする。その結果、レプリカバッファ130のインピーダンスは1ステップずつ低下し、接点Aの電位も1ステップずつ上昇する。
このように、本実施形態では、1回のキャリブレーション期間においてプルアップ側のインピーダンス調整とプルダウン側のインピーダンス調整の両方を行うのではなく、いずれか一方のみを交互に実行している。このため、キャリブレーション期間中に、プルダウン側調整からプルダウン側調整への切り替えに要する時間Tsが必要なくなり、よりオーバーヘッドの少ないキャリブレーション動作を実現することが可能となる。
次に、本発明の好ましい第3の実施形態について説明する。
図11は、本発明の好ましい第3の実施形態によるキャリブレーション回路500の回路図である。
図11に示すように、本実施形態によるキャリブレーション回路500は64tCKサイクルカウンタ510が追加されるとともに、EXORゲート171,172がORゲート571,572に置き換えられている。ORゲート572には、64tCKサイクルカウンタ510の出力である終了信号END4が供給されている。また、32tCKサイクルカウンタ162は、ORゲート571の出力が活性化されるとリセットされるよう構成されており、64tCKサイクルカウンタ510は、ORゲート572の出力が活性化されるとリセットされるよう構成されている。その他の点については、図1に示したキャリブレーション回路100と同一であることから、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図12は、本実施形態におけるレプリカバッファの出力変化の一例を示す模式的な波形図である。図12には、終了信号END1〜END4の発生タイミングも併せて表示してある。
図12に示す例は、レプリカバッファ110,120,130のインピーダンスが目標値よりも高く、且つ、レプリカバッファ110,120の方がレプリカバッファ130よりも目標インピーダンスに近いケースを示している。
1回目及び2回目のキャリブレーション動作については、第1の実施形態によるキャリブレーション回路100の動作と同じである。しかしながら、本例では、レプリカバッファ110,120の方がレプリカバッファ130よりも目標インピーダンスに近いことから、2回目のキャリブレーション動作において、レプリカバッファ110,120のインピーダンス調整が完了している。これに対し、レプリカバッファ130のインピーダンスはまだ目標値に到達していない。
このため、3回目のキャリブレーション動作では、32tCKの期間を待たずに、レプリカバッファ110,120のインピーダンスは直ちに調整完了となる。このような場合、本実施形態では32tCKの期間を待たずに、直ちにレプリカバッファ130に制御対象が切り替えられる。このため、3回目のキャリブレーション動作では、レプリカバッファ130のインピーダンス調整が5ステップ実行され、これにより、早期に目標のインピーダンスに到達することができる。
このように、本実施形態では、プルアップ側のインピーダンス調整が完了すると、直ちにプルダウン側のインピーダンス調整を実行していることから、プルアップ側とプルダウン側のインピーダンスに大きなずれが生じている場合であっても、より高速に調整を完了することが可能となる。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
例えば、レプリカバッファ110,120,130を構成するトランジスタのサイズとしては、出力バッファ210を構成するトランジスタのサイズと同一である必要はなく、インピーダンスが実質的に同じである限り、シュリンクしたトランジスタを用いても構わない。
また、上記実施形態では、出力バッファやレプリカバッファを構成する並列回路として、5つのトランジスタからなる並列回路を用いているが、並列接続するトランジスタ数としてはこれに限定されるものではない。
さらに、上記実施形態では、まずプルアップ側のレプリカバッファ110のインピーダンス調整を行い、さらに、レプリカバッファ120のインピーダンスを基準としてプルダウン側のレプリカバッファ130のインピーダンス調整を行っている。しかしながら、本発明においてこの順序は特に限定されず、プルダウン側からインピーダンス調整を行っても構わない。
さらに、上記実施形態では、プルアップ側のレプリカバッファ110については、外部抵抗を基準としてインピーダンス調整を行い、プルダウン側のレプリカバッファ130については、レプリカバッファ120を基準としてインピーダンス調整を行っている。しかしながら、本発明がこれに限定されるものではなく、例えば、プルアップ側及びプルダウン側とも、外部抵抗を基準としてインピーダンス調整を行う方式であっても構わない。
さらに、第1及び第2の実施形態ではEXORゲート171,172を使用し、第3の実施形態ではORゲート571,572を使用しているが、第1及び第2の実施形態においてEXORゲート171,172の代わりにORゲートを用いても構わないし、第3の実施形態においてORゲート571,572の代わりにEXORゲートを用いても構わない。EXORゲートを用いれば、32tCKサイクルカウンタ162などをリセットする動作が不要となることから、制御を簡素化することが可能となる。尚、ORゲートを用いた場合であっても、32tCKサイクルカウンタ162などのリセットは必須ではない。但し、リセット動作を行わない場合、終了信号END3よりも先に終了信号END1が活性化したケースにおいては、ラッチ動作が2回実行されることになるため、2回目のラッチ動作にて誤ったインピーダンスコードがラッチされないよう回路構成する必要がある。
本発明の好ましい第1の実施形態によるキャリブレーション回路100の回路図である。 レプリカバッファ110の回路図である。 レプリカバッファ130の回路図である。 キャリブレーション回路100におけるレプリカバッファの出力変化の一例を示す模式的な波形図である。 キャリブレーション回路100を備える半導体装置200の主要部を示すブロック図である。 出力バッファ210の回路図である。 前段回路230の回路図である。 本発明の好ましい実施形態によるデータ処理システム300の構成を示すブロック図である。 本発明の好ましい第2の実施形態によるキャリブレーション回路400の回路図である。 キャリブレーション回路400におけるレプリカバッファの出力変化の一例を示す模式的な波形図である。 本発明の好ましい第3の実施形態によるキャリブレーション回路500の回路図である。 キャリブレーション回路500におけるレプリカバッファの出力変化の一例を示す模式的な波形図である。
符号の説明
100 キャリブレーション回路
110,120,130 レプリカバッファ
110a,120a,130a レプリカ制御回路
111〜115,131〜135 トランジスタ
119,139 抵抗
140 アップダウンカウンタ
141,142 ラッチ回路
151,152 コンパレータ回路
161 終了判定回路
162 32tCKサイクルカウンタ(第2の終了判定回路)
171,172 EXORゲート
180 スタートコード発生回路
191,192 基準電位生成回路
200 半導体装置
210 出力バッファ
211n〜215n,211p〜215p トランジスタ
218,219 抵抗
220 入力バッファ
230 前段回路
240 出力制御回路
300 データ処理システム
301〜305 OR回路
311〜315 AND回路
310 システムバス
320 データプロセッサ
340 ストレージデバイス
350 デバイス
400,500 キャリブレーション回路
410,510 64tCKサイクルカウンタ(第2の終了判定回路)
420 ZQカウンタ
571,572 ORゲート
R 外部抵抗
ZQ キャリブレーション端子

Claims (7)

  1. 出力バッファを構成するプルアップ回路及びプルダウン回路のインピーダンスを調整するキャリブレーション回路であって、
    前記プルアップ回路及び前記プルダウン回路の一方と実質的に同じ回路構成を有する第1のレプリカバッファと、
    前記プルアップ回路及び前記プルダウン回路の他方と実質的に同じ回路構成を有する第2のレプリカバッファと、
    前記第1及び第2のレプリカバッファのインピーダンスをそれぞれ規定する第1及び第2のインピーダンスコードを変化させるカウンタ回路と、
    前記第1及び第2のインピーダンスコードをそれぞれ保持する第1及び第2のラッチ回路と、
    前記第1のレプリカバッファのインピーダンスが所定のレベルに達したことに応答して前記第1のラッチ回路を活性化させ、前記第2のレプリカバッファのインピーダンスが所定のレベルに達したことに応答して前記第2のラッチ回路を活性化させる第1の終了判定回路と、
    キャリブレーションコマンドの発行から所定の期間が経過したことに応答して、前記第1又は第2のレプリカバッファのインピーダンスが前記所定のレベルに達したか否かに関わらず、前記第1及び第2のラッチ回路の少なくとも一方を活性化させる第2の終了判定回路と、を備えることを特徴とするキャリブレーション回路。
  2. 前記カウンタ回路は、前記第1のインピーダンスコードを変化させる動作モードと、前記第2のインピーダンスコードを変化させる動作モードを有していることを特徴とする請求項1に記載のキャリブレーション回路。
  3. 前記所定の期間は、キャリブレーション期間の実質的に半分であり、
    前記第2の終了判定回路は、前記キャリブレーション動作の開始から前記所定の期間が経過したことに応答して、前記カウンタ回路の前記動作モードを切り替えることを特徴とする請求項2に記載のキャリブレーション回路。
  4. 前記第1の終了判定回路は、前記第1のレプリカバッファのインピーダンスが前記所定のレベルに達したことに応答して、前記キャリブレーションコマンドの発行から前記所定の期間が経過したか否かに関わらず、前記カウンタ回路の前記動作モードを切り替えることを特徴とする請求項3に記載のキャリブレーション回路。
  5. 前記所定の期間は、キャリブレーション期間と実質的に同一であり、
    前記キャリブレーションコマンドが発行されるたびに、前記カウンタ回路の動作モードが切り替えられることを特徴とする請求項2に記載のキャリブレーション回路。
  6. 請求項1乃至5のいずれか一項に記載のキャリブレーション回路と、前記出力バッファとを含む半導体装置。
  7. 請求項6に記載の半導体装置と、データプロセッサと、ROMと、ストレージデバイスと、I/Oデバイスとを備え、これらがシステムバスにより相互に接続されていることを特徴とするデータ処理システム。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7996590B2 (en) * 2004-12-30 2011-08-09 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory module and semiconductor memory system having termination resistor units

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100892642B1 (ko) * 2007-06-26 2009-04-09 주식회사 하이닉스반도체 반도체 집적회로의 드라이버 저항값 조정장치
JP4939327B2 (ja) * 2007-07-10 2012-05-23 エルピーダメモリ株式会社 キャリブレーション回路及びこれを備える半導体装置、並びに、メモリモジュール
KR100863535B1 (ko) * 2007-11-02 2008-10-15 주식회사 하이닉스반도체 온 다이 터미네이션 장치 및 이를 포함하는 반도체메모리장치
JP2009246725A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Renesas Technology Corp インピーダンスの調整が可能な出力バッファを備えた半導体装置
JP2010166299A (ja) * 2009-01-15 2010-07-29 Elpida Memory Inc キャリブレーション回路及びキャリブレーション方法
JP2010171793A (ja) * 2009-01-23 2010-08-05 Elpida Memory Inc 半導体装置
JP5642935B2 (ja) * 2009-02-19 2014-12-17 ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエルPS4 Luxco S.a.r.l. インピーダンス調整回路及びこれを備える半導体装置
US8253440B2 (en) * 2009-08-31 2012-08-28 Intel Corporation Methods and systems to calibrate push-pull drivers
JP2011081893A (ja) * 2009-09-11 2011-04-21 Elpida Memory Inc 半導体装置及びこれを備えるデータ処理システム
KR101138834B1 (ko) * 2010-05-25 2012-05-10 에스케이하이닉스 주식회사 임피던스 코드 생성회로 및 이를 포함하는 반도체 장치, 터미네이션 임피던스 값 설정방법
JP2012049838A (ja) * 2010-08-27 2012-03-08 Elpida Memory Inc 半導体装置およびその特性調整方法
US8760945B2 (en) 2011-03-28 2014-06-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Memory devices, systems and methods employing command/address calibration
DE202012013710U1 (de) * 2011-03-28 2020-01-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Speichereinrichtungen und -systeme unter Verwendung einer Befehls/Adressenkalibrierung
JP2013081079A (ja) * 2011-10-04 2013-05-02 Elpida Memory Inc 半導体装置
JP2013085078A (ja) * 2011-10-07 2013-05-09 Elpida Memory Inc 半導体装置及びこれを備える半導体モジュール
JP2015050691A (ja) * 2013-09-03 2015-03-16 マイクロン テクノロジー, インク. 半導体装置
JP2015154316A (ja) * 2014-02-17 2015-08-24 マイクロン テクノロジー, インク. 半導体装置
KR102529968B1 (ko) * 2016-05-11 2023-05-08 삼성전자주식회사 반도체 메모리 장치의 임피던스 조정 회로, 반도체 메모리 장치 및 반도체 메모리 장치의 동작 방법
KR20220005813A (ko) 2020-07-07 2022-01-14 삼성전자주식회사 캘리브레이션 제어 회로 및 이를 포함하는 메모리 장치
US11621038B2 (en) * 2021-07-21 2023-04-04 Micron Technology, Inc. Driver for non-binary signaling

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005159702A (ja) * 2003-11-26 2005-06-16 Renesas Technology Corp 半導体装置
JP2005198308A (ja) * 2004-01-06 2005-07-21 Samsung Electronics Co Ltd インピーダンスコントロール装置及び方法
JP2007123987A (ja) * 2005-10-25 2007-05-17 Elpida Memory Inc Zqキャリブレーション回路及びこれを備えた半導体装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002152032A (ja) 2000-11-16 2002-05-24 Hitachi Ltd 出力回路および半導体集積回路
KR100422451B1 (ko) * 2002-05-24 2004-03-11 삼성전자주식회사 온-다이 터미네이션 제어방법 및 그에 따른 제어회로
JP3807351B2 (ja) 2002-06-21 2006-08-09 日本電気株式会社 半導体集積回路のインピーダンス制御方法およびインピーダンス制御回路
JP4159553B2 (ja) 2005-01-19 2008-10-01 エルピーダメモリ株式会社 半導体装置の出力回路及びこれを備える半導体装置、並びに、出力回路の特性調整方法
US7221193B1 (en) * 2005-01-20 2007-05-22 Altera Corporation On-chip termination with calibrated driver strength
JP4618600B2 (ja) 2005-10-17 2011-01-26 エルピーダメモリ株式会社 キャリブレーション回路及びこれを備えた半導体装置
KR100681879B1 (ko) * 2006-01-16 2007-02-15 주식회사 하이닉스반도체 온-다이 터미네이션 제어 장치
US7459930B2 (en) * 2006-11-14 2008-12-02 Micron Technology, Inc. Digital calibration circuits, devices and systems including same, and methods of operation
JP2011182378A (ja) * 2010-02-05 2011-09-15 Elpida Memory Inc 半導体装置及びこれを搭載する回路基板

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005159702A (ja) * 2003-11-26 2005-06-16 Renesas Technology Corp 半導体装置
JP2005198308A (ja) * 2004-01-06 2005-07-21 Samsung Electronics Co Ltd インピーダンスコントロール装置及び方法
JP2007123987A (ja) * 2005-10-25 2007-05-17 Elpida Memory Inc Zqキャリブレーション回路及びこれを備えた半導体装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7996590B2 (en) * 2004-12-30 2011-08-09 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory module and semiconductor memory system having termination resistor units

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