JP2009010420A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. フレームと、
   複数の位置合わせマークが表面に設けられた基板を支持する基板テーブルと、
   前記基板テーブルを第１の方向に移動させる駆動装置と、
   前記フレームに結合され、前記第１の方向に垂直な第２の方向に移動可能な複数の位置合わせマーク検出器と、を備えるリソグラフィ機器。
2. 前記位置合わせマーク検出器の１つ又は複数に関連しており、前記フレームに対する位置合わせマーク検出器の位置を求める位置センサをさらに備える請求項１に記載のリソグラフィ機器。
3. 各位置合わせマーク検出器に関連しており、対応する位置合わせマーク検出器を前記第２の方向に移動させる複数の駆動機構と、
   前記位置合わせマークの列の数と該列の前記第２の方向の位置とを含む前記基板の特徴に基づいて、前記複数の位置合わせマーク検出器のうち作動されるべき適切な数を決定し、作動されるべき位置合わせマーク検出器を対応する駆動機構により前記第２の方向の適切な位置に移動させる制御システムと、をさらに備える請求項１または２に記載のリソグラフィ機器。
4. 各位置合わせマーク検出器の前記第２の方向の移動範囲は、検出器を組み合わせることによって前記第２の方向に前記基板の全体をカバーするようになっている請求項１から３のいずれかに記載のリソグラフィ機器。
5. 基板の表面に設けられた複数の位置合わせマークのおおよその位置を決めるステップと、
   （ｉ）フレーム、基板、またはその両方を移動させることによって前記基板に対して相対的に移動可能であるフレーム、及び（ｉｉ）１つ又は複数の投影システム、の少なくとも１つに対して相対的に複数の位置合わせマーク検出器を移動させるステップであって、前記位置合わせマークを検出し得る位置に前記位置合わせマーク検出器を移動させるステップと、を含む方法。
6. 位置合わせマーク検出器を移動させる前記ステップは、
   １つ又は複数の検出器位置センサの出力を監視して、検出器位置フィードバックを提供するステップを含み、前記１つ又は複数の位置センサは、前記フレーム及び前記位置合わせマーク検出器の少なくとも１つに固定されている、請求項５に記載の方法。
7. 複数の位置合わせマーク検出器を有するリソグラフィ装置のためのアライメント方法であって、
   表面の第１の方向に配列されている位置合わせマークの複数の列を有する基板を準備し、
   前記位置合わせマークの列の数と該列の前記第１の方向に垂直な第２の方向の位置とを含む前記基板の特徴に基づいて、前記複数の位置合わせマーク検出器のうち作動されるべき適切な数とそれらの前記第２の方向の適切な位置とを決定し、
   作動されるべきと決定された位置合わせマーク検出器を、決定された前記第２の方向の位置に移動させることを含む方法。