JP4533777B2 - シート体位置検出方法及び装置並びにそれを用いた描画装置 - Google Patents
シート体位置検出方法及び装置並びにそれを用いた描画装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4533777B2 JP4533777B2 JP2005054470A JP2005054470A JP4533777B2 JP 4533777 B2 JP4533777 B2 JP 4533777B2 JP 2005054470 A JP2005054470 A JP 2005054470A JP 2005054470 A JP2005054470 A JP 2005054470A JP 4533777 B2 JP4533777 B2 JP 4533777B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- sheet body
- reading
- movement
- reference part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
前記シート体が装着された前記ステージを移動させ、該ステージの移動位置を検出するステップと、
検出した前記ステージの移動位置と、前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して該基準部位の読取位置に到達したときの前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記ステージの異なる複数の移動位置での前記基準部位を所定の地点から読み取り、前記基準部位の前記各移動位置に対する読取位置を測定するステップと、
測定された前記各読取位置の平均位置を算出するステップと、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出するステップと、
からなり、
前記装着位置を算出するステップでは、前記平均位置と前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出することを特徴とする。
前記ステージの移動位置を検出する移動位置検出手段と、
前記シート体が装着された前記ステージの異なる複数の移動位置での前記基準部位を所定の地点から読み取る読取手段と、
前記各移動位置で読み取った前記基準部位の各読取位置の平均位置を算出する平均位置算出手段と、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出する装着位置算出手段と、
前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して前記各読取位置に到達したときに前記移動位置検出手段が検出する前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データが設定される基準部位位置データメモリと、
前記移動位置検出手段からの前記ステージの移動位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記各移動位置での前記基準部位を読み取るように前記読取手段を制御する読取制御手段と、
を備え、
前記装着位置算出手段は、前記平均位置算出手段が算出した前記平均位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出することを特徴とする。
前記ステージを移動させるステージ移動手段と、
前記ステージの移動位置を検出する移動位置検出手段と、
前記ステージの異なる複数の移動位置における前記シート体の基準部位を所定の地点から読み取る読取手段と、
前記各移動位置で読み取った前記基準部位の各読取位置の平均位置を算出する平均位置算出手段と、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出する装着位置算出手段と、
前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して前記各読取位置に到達したときに前記移動位置検出手段が検出する前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データが設定される基準部位位置データメモリと、
前記移動位置検出手段からの前記ステージの移動位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記各移動位置での前記基準部位を読み取るように前記読取手段を制御する読取制御手段と、
前記装着位置に基づき、前記シート体に描画する描画データの描画位置を補正する描画位置補正手段と、
前記描画位置の補正された前記描画データに基づき、前記ステージとともに移動する前記シート体に描画を行う描画手段と、
を備え、
前記装着位置算出手段は、前記平均位置算出手段が算出した前記平均位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出し、
前記描画位置補正手段は、前記補正データにより前記描画位置及び/又は前記描画方向を補正することを特徴とする。
18…露光ステージ 22a、22b…CCDカメラ
24a〜24j…露光ヘッド 26…スキャナ
64a、64b…ストロボ 68…ステージコントローラ
70…カメラコントローラ 72…露光ヘッドコントローラ
74…位置検出器 76…トリガ信号生成部
78…マーク位置データメモリ 80…ストロボコントローラ
84…画像データメモリ 86…補正データ算出部
88…描画データ補正部 90…描画データメモリ
F…基板
Claims (7)
- ステージに装着されたシート体の基準部位を読み取り、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を検出するシート体位置検出方法において、
前記シート体が装着された前記ステージを移動させ、該ステージの移動位置を検出するステップと、
検出した前記ステージの移動位置と、前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して該基準部位の読取位置に到達したときの前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記ステージの異なる複数の移動位置での前記基準部位を所定の地点から読み取り、前記基準部位の前記各移動位置に対する読取位置を測定するステップと、
測定された前記各読取位置の平均位置を算出するステップと、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出するステップと、
からなり、
前記装着位置を算出するステップでは、前記平均位置と前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出することを特徴とするシート体位置検出方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記各移動位置毎に前記基準部位に照明光を照射して前記基準部位を読み取ることを特徴とするシート体位置検出方法。 - ステージに装着されたシート体の基準部位を読み取り、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を検出するシート体位置検出装置において、
前記ステージの移動位置を検出する移動位置検出手段と、
前記シート体が装着された前記ステージの異なる複数の移動位置での前記基準部位を所定の地点から読み取る読取手段と、
前記各移動位置で読み取った前記基準部位の各読取位置の平均位置を算出する平均位置算出手段と、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出する装着位置算出手段と、
前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して前記各読取位置に到達したときに前記移動位置検出手段が検出する前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データが設定される基準部位位置データメモリと、
前記移動位置検出手段からの前記ステージの移動位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記各移動位置での前記基準部位を読み取るように前記読取手段を制御する読取制御手段と、
を備え、
前記装着位置算出手段は、前記平均位置算出手段が算出した前記平均位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出することを特徴とするシート体位置検出装置。 - 請求項3記載の装置において、
前記読取手段は、前記基準部位の二次元位置情報を取得する二次元撮像素子からなることを特徴とするシート体位置検出装置。 - 請求項4記載の装置において、
前記読取手段は、前記各移動位置毎に前記基準部位に照明光を照射する照明手段を備え、前記二次元撮像素子は、前記照明光が照射された前記基準部位を撮像することを特徴とするシート体位置検出装置。 - ステージに装着されたシート体に対して描画を行う描画装置において、
前記ステージを移動させるステージ移動手段と、
前記ステージの移動位置を検出する移動位置検出手段と、
前記ステージの異なる複数の移動位置における前記シート体の基準部位を所定の地点から読み取る読取手段と、
前記各移動位置で読み取った前記基準部位の各読取位置の平均位置を算出する平均位置算出手段と、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出する装着位置算出手段と、
前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して前記各読取位置に到達したときに前記移動位置検出手段が検出する前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データが設定される基準部位位置データメモリと、
前記移動位置検出手段からの前記ステージの移動位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記各移動位置での前記基準部位を読み取るように前記読取手段を制御する読取制御手段と、
前記装着位置に基づき、前記シート体に描画する描画データの描画位置及び/又は描画方向を補正する描画位置補正手段と、
前記ステージとともに移動する前記シート体に描画を行う描画手段と、
を備え、
前記装着位置算出手段は、前記平均位置算出手段が算出した前記平均位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出し、
前記描画位置補正手段は、前記補正データにより前記描画位置及び/又は前記描画方向を補正することを特徴とする描画装置。 - 請求項6記載の装置において、
前記描画位置補正手段は、前記ステージの位置及び/又は移動方向に対する傾斜角度を補正することで、前記描画データの描画位置及び/又は描画方向を補正することを特徴とする描画装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005054470A JP4533777B2 (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | シート体位置検出方法及び装置並びにそれを用いた描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005054470A JP4533777B2 (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | シート体位置検出方法及び装置並びにそれを用いた描画装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006243004A JP2006243004A (ja) | 2006-09-14 |
JP4533777B2 true JP4533777B2 (ja) | 2010-09-01 |
Family
ID=37049522
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005054470A Expired - Fee Related JP4533777B2 (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | シート体位置検出方法及び装置並びにそれを用いた描画装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4533777B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019005542A1 (en) * | 2017-06-26 | 2019-01-03 | Applied Materials, Inc. | IMAGE ENHANCEMENT FOR MIXING INCOHERENT LIGHTING |
JP6547879B2 (ja) * | 2018-06-27 | 2019-07-24 | 株式会社ニコン | 露光装置、及びデバイス製造方法 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0328909A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-07 | Tokyo Electron Ltd | 移動誤差補正方法 |
US5132723A (en) * | 1991-09-05 | 1992-07-21 | Creo Products, Inc. | Method and apparatus for exposure control in light valves |
JPH04307720A (ja) * | 1991-04-04 | 1992-10-29 | Nikon Corp | 走査露光装置 |
JP2000031015A (ja) * | 1998-07-13 | 2000-01-28 | Nikon Corp | 位置検出方法、位置調整方法、走査露光方法及び走査型露光装置並びにデバイス製造方法 |
JP2000122303A (ja) * | 1998-10-20 | 2000-04-28 | Asahi Optical Co Ltd | 描画装置 |
JP2000227661A (ja) * | 1999-02-05 | 2000-08-15 | Asahi Optical Co Ltd | 走査式描画装置 |
JP2000321025A (ja) * | 1999-05-13 | 2000-11-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理装置の移動誤差検出装置及びその方法 |
JP2001215718A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-08-10 | Nikon Corp | 露光装置及び露光方法 |
JP2002040669A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-06 | Toray Eng Co Ltd | 描画装置 |
JP2004163814A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | 露光装置 |
JP2004272167A (ja) * | 2003-03-12 | 2004-09-30 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成装置、パターン形成方法、基材 |
JP2005032887A (ja) * | 2003-07-10 | 2005-02-03 | Nikon Corp | マーク位置検出方法、マーク位置検出装置、露光方法及び露光装置 |
JP2005300628A (ja) * | 2004-04-07 | 2005-10-27 | Pentax Corp | ローカルアライメント機能を有する露光装置 |
JP2006128693A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Asml Netherlands Bv | 光学的に位置を評価する機器及び方法 |
-
2005
- 2005-02-28 JP JP2005054470A patent/JP4533777B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0328909A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-07 | Tokyo Electron Ltd | 移動誤差補正方法 |
JPH04307720A (ja) * | 1991-04-04 | 1992-10-29 | Nikon Corp | 走査露光装置 |
US5132723A (en) * | 1991-09-05 | 1992-07-21 | Creo Products, Inc. | Method and apparatus for exposure control in light valves |
JP2000031015A (ja) * | 1998-07-13 | 2000-01-28 | Nikon Corp | 位置検出方法、位置調整方法、走査露光方法及び走査型露光装置並びにデバイス製造方法 |
JP2000122303A (ja) * | 1998-10-20 | 2000-04-28 | Asahi Optical Co Ltd | 描画装置 |
JP2000227661A (ja) * | 1999-02-05 | 2000-08-15 | Asahi Optical Co Ltd | 走査式描画装置 |
JP2000321025A (ja) * | 1999-05-13 | 2000-11-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理装置の移動誤差検出装置及びその方法 |
JP2001215718A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-08-10 | Nikon Corp | 露光装置及び露光方法 |
JP2002040669A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-06 | Toray Eng Co Ltd | 描画装置 |
JP2004163814A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | 露光装置 |
JP2004272167A (ja) * | 2003-03-12 | 2004-09-30 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成装置、パターン形成方法、基材 |
JP2005032887A (ja) * | 2003-07-10 | 2005-02-03 | Nikon Corp | マーク位置検出方法、マーク位置検出装置、露光方法及び露光装置 |
JP2005300628A (ja) * | 2004-04-07 | 2005-10-27 | Pentax Corp | ローカルアライメント機能を有する露光装置 |
JP2006128693A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Asml Netherlands Bv | 光学的に位置を評価する機器及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006243004A (ja) | 2006-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4450739B2 (ja) | 露光装置 | |
KR100696968B1 (ko) | 노광 장치 및 방법 | |
JP2008249958A (ja) | 基準位置計測装置及び方法、並びに描画装置 | |
US20050231696A1 (en) | Exposure device | |
US7379152B2 (en) | Exposure apparatus and exposure method | |
KR20070098990A (ko) | 화상 기록 장치 및 화상 기록 방법 | |
JP4778834B2 (ja) | 画像記録方法及び装置 | |
JP4328301B2 (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
CN101027612A (zh) | 图像记录装置和图像记录方法 | |
JP4351694B2 (ja) | アライメントユニット及びこれを用いた画像記録装置 | |
JP2005316461A (ja) | 露光装置の校正方法及び露光方法並びに露光装置 | |
KR20070094926A (ko) | 클램프 장치 및 화상 형성 장치 | |
JP2007010736A (ja) | 画像位置計測装置及び露光装置 | |
JP2007304546A5 (ja) | ||
JP2006284890A (ja) | アライメントセンサの位置校正方法、基準パターン校正方法、露光位置補正方法、校正用パターン及びアライメント装置 | |
US20050254032A1 (en) | Exposure device | |
JP2006308994A (ja) | 露光装置 | |
JP2006259153A (ja) | アラインメント精度評価方法及び装置 | |
JP2006337873A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2008251797A (ja) | 基準位置計測装置及び方法、並びに描画装置 | |
JP4273030B2 (ja) | 露光装置の校正方法及び露光装置 | |
JP4533777B2 (ja) | シート体位置検出方法及び装置並びにそれを用いた描画装置 | |
JP2006337878A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2008242218A (ja) | 描画装置及び描画方法 | |
JP2006337874A (ja) | 露光装置及び露光方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061213 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070702 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100323 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100521 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100608 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100614 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4533777 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |