JP2006284890A - アライメントセンサの位置校正方法、基準パターン校正方法、露光位置補正方法、校正用パターン及びアライメント装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基準スケールの基準パターンにて校正されたアライメントカメラで校正用部材に形成された第1〜第3のマークを撮像する。第1のマークの座標(第1の座標)と第2のマークの座標(第2の座標)から第1の線分を求め、さらに、第1の線分とステージ移動方向と直交する方向(X方向)とのなす角(第1の角度θ1)を求める。前記第1の座標と第3のマークの座標(第3の座標)から第3の線分を求め、さらに、第3の線分とステージ移動方向(Y方向)とのなす角(第2の角度θ2)を求める。そして、位置ずれ(調整角度φ)=(第1の角度±θ1)−(第2の角度±θ2)を求め、この調整角度φが許容範囲を超えていれば、調整角度φだけアライメントカメラの位置を校正する。
【選択図】図15
Description
位置ずれ(調整角度φ)=(第1の角度±θ1)−(第2の角度±θ2)
で求めることができる。
14…ステージ 24…スキャナ
26、26A、26B…アライメントカメラ
28…コントローラ 30…露光ヘッド
70…基準スケール 70A…ビーム位置検出部
70B…カメラ位置検出部 74…検出用スリット
84、85…メモリ 100…アライメントユニット
200…校正用部材 202A〜202D…マーク
204A〜204D…線分 210、212…部材の一部
Claims (29)
- 予め相対位置関係が判明している1以上のパターンを含む校正用パターンを、アライメントセンサで検出する校正用パターン検出ステップと、
前記検出された校正用パターンに基づいて前記アライメントセンサの校正値を求める校正値取得ステップと、
前記アライメントセンサの位置を前記校正値に基づいて校正するセンサ校正ステップとを有することを特徴とするアライメントセンサの位置校正方法。 - 請求項1記載のアライメントセンサの位置校正方法において、
前記取得された校正値が許容範囲にあるか否かを判別し、前記校正値が前記許容範囲にない場合に、前記センサ校正ステップを行う判別ステップをさらに有することを特徴とするアライメントセンサの位置校正方法。 - 請求項1又は2記載のアライメントセンサの位置校正方法において、
ワークを搬送するステージのワーク載置面に、前記予め相対位置関係が判明している1以上のパターンが形成された部材を載置する載置ステップをさらに有することを特徴とするアライメントセンサの位置校正方法。 - 請求項3記載のアライメントセンサの位置校正方法において、
前記校正用パターンは、前記部材に形成された前記1以上のパターンで構成され、互いに予め決められた所定の角度の関係にある2つの線分を特定し、
前記2つの線分は、前記アライメントセンサにおける少なくとも前記ワークの搬送方向と直交する方向に対する位置ずれを校正するために使用されることを特徴とするアライメントセンサの位置校正方法。 - 請求項3記載のアライメントセンサの位置校正方法において、
前記部材における前記校正用パターンは、前記部材に形成された前記1以上のパターンと、前記ステージ上の特定された部位で構成され、互いに予め決められた所定の角度の関係にある2つの線分を特定し、
前記2つの線分は、前記アライメントセンサにおける少なくとも前記ワークの搬送方向と直交する方向に対する位置ずれを校正するために使用されることを特徴とするアライメントセンサの位置校正方法。 - 請求項4又は5記載のアライメントセンサの位置校正方法において、
前記予め決められた所定の角度が直角であることを特徴とするアライメントセンサの位置校正方法。 - 請求項3〜6のいずれか1項に記載のアライメントセンサの位置校正方法において、
前記ワーク載置面に設置された基準スケール上の基準パターンを少なくとも1つのアライメントセンサで検出して、その基準パターンの撮像データに基づいて前記アライメントセンサの位置をデータ的に補正する補正ステップをさらに有し、
前記校正用パターン検出ステップは、前記校正用パターンを、データ的に補正された前記アライメントセンサで検出することを特徴とするアライメントセンサの位置校正方法。 - 請求項7記載のアライメントセンサの位置校正方法において、
前記センサ校正ステップは、データ的に補正された前記アライメントセンサの位置をさらに前記校正値だけデータ的に補正することを特徴とするアライメントセンサの位置校正方法。 - 請求項4〜8のいずれか1項に記載のアライメントセンサの位置校正方法において、
ワークの搬送方向と、前記検出された前記校正用パターンにおける前記2つの線分のうち、一方の線分とのなす角を第1の角度とし、
前記ワークの搬送方向と直交する方向と、前記検出された前記校正用パターンにおける前記2つの線分のうち、他方の線分とのなす角を第2の角度としたとき、
前記校正値は、前記第1の角度と第2の角度の相対角度に基づいて決定されることを特徴とするアライメントセンサの位置校正方法。 - ワークを搬送するステージのワーク載置面に設置された基準スケール上の基準パターンを少なくとも1つのアライメントセンサで検出して、その基準パターンの撮像データに基づいて前記アライメントセンサの位置をデータ的に補正する補正ステップと、
予め相対位置関係が判明している1以上のパターンを含む校正用パターンを、前記補正後の前記アライメントセンサで検出する校正用パターン検出ステップと、
少なくとも前記検出された校正用パターンに基づいて前記基準パターンの校正値を求める校正値取得ステップと、
前記基準スケールを前記校正値だけ傾けて設置し直す基準スケール再設置ステップとを有することを特徴とする基準パターン校正方法。 - 請求項10記載の基準パターン校正方法において、
前記取得された校正値が許容範囲にあるか否かを判別し、前記校正値が前記許容範囲にない場合に、前記基準スケール再設置ステップを行う判別ステップをさらに有することを特徴とする基準パターン校正方法。 - 請求項10又は11記載の基準パターン校正方法において、
ワークを搬送するステージのワーク載置面に、前記予め相対位置関係が判明している1以上のパターンが形成された部材を載置する載置ステップをさらに有することを特徴とする基準パターン校正方法。 - 請求項12記載の基準パターン校正方法において、
前記校正用パターンは、前記部材に形成された前記1以上のパターンで構成され、互いに予め決められた所定の角度の関係にある2つの線分を特定し、
前記2つの線分は、前記アライメントセンサにおける少なくとも前記ワークの搬送方向と直交する方向に対する位置ずれを校正するために使用されることを特徴とする基準パターン校正方法。 - 請求項12記載の基準パターン校正方法において、
前記部材における前記校正用パターンは、前記部材に形成された前記1以上のパターンと、前記ステージ上の特定された部位で構成され、互いに予め決められた所定の角度の関係にある2つの線分を特定し、
前記2つの線分は、前記アライメントセンサにおける少なくとも前記ワークの搬送方向と直交する方向に対する位置ずれを校正するために使用されることを特徴とする基準パターン校正方法。 - 請求項13又は14記載の基準パターン校正方法において、
前記予め決められた所定の角度が直角であることを特徴とする基準パターン校正方法。 - 請求項12〜15のいずれか1項に記載の基準パターン校正方法において、
前記ワーク載置面に設置された基準スケール上の基準パターンを少なくとも1つのアライメントセンサで検出して、その基準パターンの撮像データに基づいて前記アライメントセンサの位置をデータ的に補正する補正ステップをさらに有し、
前記校正用パターン検出ステップは、前記校正用パターンを、データ的に補正された前記アライメントセンサで検出することを特徴とする基準パターン校正方法。 - 請求項13〜16のいずれか1項に記載の基準パターン校正方法において、
ワークの搬送方向と、前記検出された前記校正用パターンにおける前記2つの線分のうち、一方の線分とのなす角を第1の角度とし、
前記ワークの搬送方向と直交する方向と、前記検出された前記校正用パターンにおける前記2つの線分のうち、他方の線分とのなす角を第2の角度としたとき、
前記校正値は、前記第1の角度と第2の角度の相対角度に基づいて決定されることを特徴とする基準パターン校正方法。 - ワークを搬送するステージのワーク載置面に設置された基準スケール上の基準パターンと前記ワークに形成されたアライメントマークの相対位置関係に基づいて前記ワークへの露光位置を補正する露光位置補正方法において、
請求項10〜17のいずれか1項に記載の基準パターン校正方法を使用して前記基準パターンを校正し、
校正された前記基準パターンと前記ワークに形成された前記アライメントマークの相対位置関係に基づいて前記ワークへの露光位置を補正することを特徴とする露光位置補正方法。 - ワークを搬送するステージのワーク載置面に載置される部材に形成された1以上のパターンを含み、少なくともアライメントセンサの位置を校正する校正用パターンであって、
前記部材に形成された前記1以上のパターンで構成され、互いに予め決められた所定の角度の関係にある2つの線分を特定し、
前記2つの線分は、前記アライメントセンサにおける少なくとも前記ワークの搬送方向と直交する方向に対する位置ずれを校正するために使用されることを特徴とする校正用パターン。 - ワークを搬送するステージのワーク載置面に載置される部材に形成された1以上のパターンを含み、少なくともアライメントセンサの位置を校正する校正用パターンであって、
前記部材に形成された前記1以上のパターンと、前記ステージ上の特定された部位で構成され、互いに予め決められた所定の角度の関係にある2つの線分を特定し、
前記2つの線分は、前記アライメントセンサにおける少なくとも前記ワークの搬送方向と直交する方向に対する位置ずれを校正するために使用されることを特徴とする校正用パターン。 - 請求項19又は20記載の校正用パターンにおいて、
前記予め決められた所定の角度が直角であることを特徴とする校正用パターン。 - ワークの搬送するステージのワーク載置面に対するアライメントセンサのずれを校正するためのアライメント装置において、
予め相対位置関係が判明している1以上のパターンを含む校正用パターンを、前記アライメントセンサで検出する校正用パターン検出手段と、
前記検出された校正用パターンに基づいて前記アライメントセンサの校正値を求める校正値取得手段と、
前記アライメントセンサを前記校正値に基づいて校正するセンサ校正手段とを有することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項22記載のアライメント装置において、
前記取得された校正値が許容範囲にあるか否かを判別し、前記校正値が前記許容範囲にない場合に、前記センサ校正手段での処理に制御を移す判別手段をさらに有することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項22又は23記載のアライメント装置において、
前記ワーク載置面に載置され、前記予め相対位置関係が判明している1以上のパターンが形成された部材をさらに有することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項22〜24のいずれか1項に記載のアライメント装置において、
前記校正用パターンは、前記部材に形成された前記1以上のパターンで構成され、互いに予め決められた所定の角度の関係にある2つの線分を特定し、
前記2つの線分は、前記アライメントセンサにおける少なくとも前記ワークの搬送方向と直交する方向に対する位置ずれを校正するために使用されることを特徴とするアライメント装置。 - 請求項22〜25のいずれか1項に記載のアライメント装置において、
前記部材における前記校正用パターンは、前記部材に形成された前記1以上のパターンと、前記ステージ上の特定された部位で構成され、互いに予め決められた所定の角度の関係にある2つの線分を特定し、
前記2つの線分は、前記アライメントセンサにおける少なくとも前記ワークの搬送方向と直交する方向に対する位置ずれを校正するために使用されることを特徴とするアライメント装置。 - 請求項22〜26のいずれか1項に記載のアライメント装置において、
前記ワーク載置面に設置された基準スケール上の基準パターンを少なくとも1つのアライメントセンサで検出して、その基準パターンの撮像データに基づいて前記アライメントセンサの位置をデータ的に補正する補正手段をさらに有し、
前記校正用パターン検出手段は、前記校正用パターンを、データ的に補正された前記アライメントセンサで検出することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項27記載のアライメント装置において、
前記センサ校正手段は、データ的に補正された前記アライメントセンサの位置をさらに前記校正値だけデータ的に補正することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項25〜28のいずれか1項に記載のアライメント装置において、
ワークの搬送方向と、前記検出された前記校正用パターンにおける前記2つの線分のうち、一方の線分とのなす角を第1の角度とし、
前記ワークの搬送方向と直交する方向と、前記検出された前記校正用パターンにおける前記2つの線分のうち、他方の線分とのなす角を第2の角度としたとき、
前記校正値は、前記第1の角度と第2の角度の相対角度に基づいて決定されることを特徴とするアライメント装置。
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