JPH02242259A - 基板露光における見当合わせ方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、基板にプリント配線板用パターンを露光する
に際して、その基板と露光用フィルムとを位置合わせす
るための見当合わせ方法及びその装置に関するものであ
る。

［従来の技術］ 従来の見当合わせ方法は、フィーダ一部がら供給された
基板を先ずプレアライメント部で当て具等を用いてセツ
ティングし、この基板をアライメント部に移行させて基
板の基準マークに合わせてＣＣＤカメラ等をセツティン
グし、その基板の基準マークの位置を正確に検出し記憶
させる。

次に前記基板を位置関係を保持した状態で露光部に移行
させて、第８図に示すように基板ａの端と露光フィルム
貼着用両面接着テープｂの内端との間に間隔ｌを確保す
べくその基板を基にして現物合わせしながら、両面接着
テープｂを露光部の透明板Ｃに貼り付ける。前記間隔！
を保持する理由は、基板ａの縁を露光用フィルムｄの縁
にぴったり合わせると、前記両面接着テープｂの為に段
部が有るので基板ａと露光用フィルムｄとの間に僅かな
隙間が生じて露光ボケの原因になるからである。

両面接着テープｂを貼った後に前記基板ａを外し、アラ
イメント部には露光用フィルムをセットし、この露光用
フィルムの基準マークの位置をＣＣＤカメラの位置に大
体台わせる。ＣＣＤカメラで露光用フィルムの基準マー
クの位置を検出し、先に検知記憶した基板ａのそれと対
比して誤差修正を移動機構によってＸＮ　Ｙ２Ｏ（θは
水平面内での左右の振れ角度）の三方向において行なう
。

この修正済みの露光用フィルムｄを、その位置関係を保
持した状態で露光部へ移行し、先の両面接着テープｂで
貼着して露光用フィルムを固定するようになっている。

［発明が解決しようとする課題］ 前記した従来の見当合わせ方法によると、基板及び露光
用フィルムの位置合わせ工程が多くて作業が繁雑となり
、基板サイズの異なる小ロフトが多数ある場合には、そ
の都度前準備に多大の時間を要し、そのため自動露光機
の効率的な稼働が出来なかった。

本発明は、このような従来の問題点を解決するためにな
され、基板の露光において、前準備での位置合わせを短
時間に出来るようにした見当合わせ方法及びその装置を
提供することを技術的課題としたものである。

［課題を解決するための手段］ この技術的課題を解決するための手段として、本発明は
露光用フィルムの貼着用両面接着テープを貼るための切
欠孔が予め形成された定規板を、露光部の所定位置に合
わせて置き、前記切欠孔を利用して両面接着テープを前
記露光部に貼着し、前記定規板を外した後、上下左右の
縁部に中心マークが形成された露光用フィルムを、縦横
の中心線が十字形に形成されたアライメント台に前記中
心マークを合わせて載置すると共に、前記アライメント
台の下方に設けられたＣＣＤカメラにより正確に位置決
めし、この露光用フィルムを位置関係を保持した状態で
前記露光部に移行して前記両面接着テープで貼着し、前
記アライメント部で位置決めされた基板を、その位置関
係を保持した状態で前記露光部に移行して前記露光用フ
ィルムに載置することを特徴とする基板露光における見
当合わせ方法、及び露光用フィルム貼着用両面接着テー
プを貼るための切欠孔が予め形成されかつ露光部に対す
る位置決め用孔を有する定規板と、縦横の中心線が十字
形に形成されたアライメント台と、このアライメント台
の下方に設けられ前もって基板サイズに合った位置を選
択出来るＣＣＤカメラ移動機構と、上下左右の端部に中
心マークが施されその中心マークを前記十字形の中心線
に合わせて前記アライメント台に載せる露光用フィルム
とを備えた見当合わせ装置を要旨とするものである。

［作　用コ 前記定規板は、露光部のピンに前記孔を嵌めて載置する
と正しく位置決めされ、前記切欠孔の位置にその切欠孔
を通して両面接着テープを露光部に貼着出来るのでその
位置出しが極めて容易になり、前記アライメント部では
十字形の中心線に露光用フィルムの中心マークを合わせ
ればその大体の位置決めが可能であり、かつＣＣＤカメ
ラで正しく位置決めされた露光用フィルムを、前記露光
部に位置関係を保持した状態で移行させて前記両面接着
テープで貼着すれば露光用フィルムのセットが完了し、
この露光用フィルムに対して前記アライメント部で正し
く位置決めされた基板を、その位置関係を保持した状態
で露光部に移行させて露光用フィルムに載せれば位置決
めが完了し、露光することが出来る。

［実施例コ 以下、図示の実施例により本発明を更に詳しく説明する
。

第１図において、１は厚さが０．１〜２ｍｍの合成樹脂
板又はアルミ板等で形成された定規板であり、露光用フ
ィルム２のサイズに対応させて切欠孔１ａが４ｗ所影形
成れ、かつ露光部の透明板に対する位置決め用孔１ｂが
２箇所形成されている。

このようにして形成された定規板１は、第４図に示すよ
うに前記露光部の透明板４の上に形成されたビン４ａに
位置決め用孔１ｂを嵌めて載せると正しく位置決めされ
、この状態で前記切欠孔１ａに両面接着テープ５を落と
し込んで透明板４の上にそれぞれ貼着することが出来る
。この後、定規板１は外され、前記位置決めされた両面
接着テープ５が透明板４上に残される。

前記露光用フィルム２は、第２図に示すようにその上下
左右の縁に中心マークＭ、、Ｍ、がそれぞれ設けられて
いる。

３はアライメント部に設けられるアライメント台であり
、第３図に示すようにその上面に中心線Ｃ１，Ｃ２が十
字形に形成されている。このアライメント台３に前記露
光用フィルム２を載せて正しい位置決めがなされるが、
先ず前記十字形の中心線Ｃ１，Ｃ２に前記中心マークＭ
　ｒ　、　Ｍ　２を合わせて置けば、露光用フィルム２
の大体の位置を容昌に決定することが出来る。その後、
第３図に示すようにアライメント台３の下方にその対角
線方向に沿って一対設けられたＣＣＤカメラ６によって
、露光用フィルム２の正しい位置が読み取られる。

前記ＣＣＤカメラ６は、第５図に示すように前記アライ
メント台３の横、縦方向即ちＸ、Ｙ軸方向に動く移動機
構７により簡単に移動出来るようにしである。前記移動
機構７は、ＣＣＤカメラ６を保持したホルダー７ａがＸ
軸ガイド棒７ｂに沿って摺動自在に嵌合されると共に、
所定の位置にビン孔７ｃを設けたほぼコ字型のブロック
７ｄがＸ軸ガイド棒７ｂに固定され、前記Ｘ軸ガイド棒
７ｂの両端にはスライド片７ｅがそれぞれ取り付けられ
、このスライド片はＹ軸ガイド棒７ｆに摺動自在に嵌合
された構成になっている。

この場合、前記コ字型ブロック７ｄにおけるビン孔７ｃ
は、第６図に示す数種類の基板８の基準マーク孔８ａに
合わせて形成されており、例えば１番大きい基板の時に
は前記ホルダー７ａに形成された位置合わせ用孔７ｇを
、コ字型ブロックの最左端のビン孔７ｃに合わせて上か
らピン７ｈを差し込むとＸ軸方向の位置決めが出来るよ
うにしである。この後、前記スライド片７ｅをＹ軸ガイ
１’ｔｉ７ｆに沿って動かせば、前記ＣＣＤカメラ６を
所定の位置に移動させることが出来る。当然のことなが
ら、前記露光用フィルム２は前記各基板８のサイズに合
わせて形成されている。

前記一対のＣＣＤカメラ６を前記移動機構７によりそれ
ぞれ動かして、前記アライメント台３の上に置かれた露
光フィルム２の位置決め用マーク（図示は省略したが、
前記基板の基準マーク孔に対応させて形成されている）
を検出することによって、露光フィルムの正しい位置が
簡単に読み取られ、かつその位置は制御装置（図示せず
）に記憶される。

位置決めされた露光用フィルム２は、その位置を保持し
てバキューム等の移行手段により前記露光部に移行され
、かつ透明板４の上に置いて前記両面接着テープ５によ
り貼着固定すれば、露光部に対する露光フィルム２のセ
ットが完了する。

この後、従来と同様にフィーダ一部がら基板をプレアラ
イメント部、アライメント部を経て露光部に一枚ずつ供
給することにより露光作業が連続的になされる。即ち、
図示は省略したが、基板８は先ずプレアライメント部で
当て具等によりプリセットされた後にアライメント部に
移行され、ここで前記ＣＣＤカメラ６により基板８の位
置決め用マークが読み取られ、前記露光用フィルム２の
位置決めマークデータと対比し、ＸＮ　７％　θの三方
向に誤差修正して正しく位置決めされた後に、第５図に
示すようにその位置を崩さないようにしてバキューム式
の移行手段９により露光部に移行され、前記露光用フィ
ルム２の上に載置固定され、下方から光線が照射されて
露光されるのである。

露光用フィルムは、前記のように基板のサイズに対応さ
せて種々の大きさのものがあるが、各露光用フィルム専
用の定規板を予め形成しておけば、それらの定規板を適
宜選択使用することにより、露光用フィルムを正しい位
置に貼着すべき両市接着テープの位置を容易に決定出来
、一方露光用フィルムをアライメント部で正しく位置決
めした後、それを露光部に移行して前記両面接着テープ
を利用し貼着すれば速やかにセットすることが可能であ
る。従って、サイズの異なる小ロットの基板が多数存在
するような場合にも、露光の準備作業が簡単に出来、か
つ自動露光機を効率良く使用することが出来る。

［発明の効果コ 以」二説明したように、本発明によれば、露光用フィル
ムをセットするための両面接着テープの位置決め用定規
板を形成し、この定規板を露光部に当てて両面接着テー
プを規定の場所に貼り付け、アライメント部で位置決め
した露光用フィルムをその位置を保持したまま露光部に
移行させて前記両面接着テープで直ちに固定出来るので
、露光用フィルムのセットが極めて簡単に出来、しがも
露光用フィルムは中心マークをアライメント台の十字形
の中心線に合わせて置けば大体の位置出しが容易に出来
、ＣＣＤカメラも移動機構によって能率良く移動が出来
、これにより多数の小ロツト基板を露光するに際して、
段取り作業及び露光作業の効率を著しく高める等の極め
て優れた効果を奏する。

また、本発明は定規板等の装置が極めて簡単であり、従
来の装置に少し手を加えれば直ちに実施出来るので、コ
ストが高騰しない利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に用いる定規板の平面図、第２図は露光
用フィルムの斜視図、第３図はアライメント台の斜視図
、第４図は露光用フィルムをセットする要領を示す説明
図、第５図はＣＣＤカメラの移動機構を示す斜視図、第
６図は数種類の基板を示す平面図、第７図は露光部の概
略断面図、第８図は露光用フィルムと基板の端部同士の
状態図である。 １・・・定規板　　　　　　１ａ・・・切欠孔１ｂ・・
・位置決め用孔　　２・・・露光用フィルム３・・・ア
ライメント台　　４・・・透明板４ａ・・・ビン　　　
　　　５・・・両面接着テープ６・・・ＣＣＤカメラ　
　　７・・・移動機構８・・・基板　　　　　　　９・
・・移行手段特許出願人　　凸版印刷株式会社 ＠２図 ＠１図 ｂ 、１ｂ （外１名） ＠３ｍ 第４図 ｂ ａ 第５図 ＠６！！１

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）露光用フィルムの貼着用両面接着テープを貼るた
   めの切欠孔が予め形成された定規板を、露光部の所定位
   置に合わせて置き、前記切欠孔を利用して両面接着テー
   プを前記露光部に貼着し、前記定規板を外した後、上下
   左右の縁部に中心マークが形成された露光用フィルムを
   、縦横の中心線が十字形に形成されたアライメント台に
   前記中心マークを合わせて載置すると共に、前記アライ
   メント台の下方に設けられたＣＣＤカメラにより正確に
   位置決めし、この露光用フィルムを位置関係を保持した
   状態で前記露光部に移行して前記両面接着テープで貼着
   し、前記アライメント部で位置決めされた基板を、その
   位置関係を保持した状態で前記露光部に移行して前記露
   光用フィルムに載置することを特徴とする基板露光にお
   ける見当合わせ方法。
2. （２）露光用フィルム貼着用両面接着テープを貼るため
   の切欠孔が予め形成されかつ露光部に対する位置決め用
   孔を有する定規板と、縦横の中心線が十字形に形成され
   たアライメント台と、このアライメント台の下方に設け
   られ前もって基板サイズに合った位置を選択出来るＣＣ
   Ｄカメラ移動機構と、上下左右の端部に中心マークが施
   されその中心マークを前記十字形の中心線に合わせて前
   記アライメント台に載せる露光用フィルムとを備えたこ
   とを特徴とする基板露光における見当合わせ装置。