JP2008508682A - トップ−エミッション型oledのための乾燥剤 - Google Patents
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Abstract
Description
a)上面と底面を有する基板を用意し;
b)上記基板の上面の上方に、光を発生させるトップ-エミッション型ELユニットを形成するが、その光が主にその基板を通過することはなく;
c)上記基板の上面の上方に第1の保護カバーを形成し、その基板の底面の下方に第2の保護カバーを形成することにより、それぞれ第1のチェンバーと第2のチェンバーを画定し;
d)上記第2のチェンバーに水分吸収材料を組み合わせ;
e)上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーを連通させることにより、上記第1のチェンバーまたは第2のチェンバーに含まれる水分を上記水分吸収材料によって吸収させる操作を含む方法によって達成される。
Q1とQ2は、独立に、芳香族第三級アミン部分の中から選択され、
Gは、炭素-炭素結合の結合基(例えば、アリーレン基、シクロアルキレン基、アルキレン基など)である。
R1とR2は、それぞれ独立に、水素原子、アリール基、アルキル基のいずれかを表わすか、R1とR2は、合わさって、シクロアルキル基を完成させる原子を表わし;
R3とR4は、それぞれ独立にアリール基を表わし、そのアリール基は、構造式(C):
R5とR6は、独立に、アリール基の中から選択される。一実施態様では、R5とR6のうちの少なくとも一方は、多環式縮合環構造(例えばナフタレン)を含んでいる。
それぞれのAreは、独立に、アリーレン基(例えばフェニレン部分またはアントラセン部分)の中から選択され;
nは1〜4の整数であり;
Ar、R7、R8、R9は、独立に、アリール基の中から選択される。
1,1-ビス(4-ジ-p-トリルアミノフェニル)シクロヘキサン
1,1-ビス(4-ジ-p-トリルアミノフェニル)-4-フェニルシクロヘキサン
N,N,N',N'-テトラフェニル-4,4'"-ジアミノ-1,1':4',1":4",1'"-クアテルフェニル
ビス(4-ジメチルアミノ-2-メチルフェニル)-フェニルメタン
1,4-ビス[2-[4-[N,N-ジ(p-トリル)アミノ]フェニル]ビニル]ベンゼン(BDTAPVB)
N,N,N',N'-テトラ-p-トリル-4,4'-ジアミノビフェニル
N,N,N',N'-テトラフェニル-4,4'-ジアミノビフェニル
N,N,N',N'-テトラ-1-ナフチル-4,4'-ジアミノビフェニル
N,N,N',N'-テトラ-2-ナフチル-4,4'-ジアミノビフェニル
N-フェニルカルバゾール
4,4'-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル(NPB)
4,4'-ビス[N-(1-ナフチル)-N-(2-ナフチル)アミノ]ビフェニル(TNB)
4,4'-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]-p-テルフェニル
4,4'-ビス[N-(2-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
4,4'-ビス[N-(3-アセナフテニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
1,5-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ナフタレン
4,4'-ビス[N-(9-アントリル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
4,4'-ビス[N-(1-アントリル)-N-フェニルアミノ]-p-テルフェニル
4,4'-ビス[N-(2-フェナントリル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
4,4'-ビス[N-(8-フルオランテニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
4,4'-ビス[N-(2-ピレニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
4,4'-ビス[N-(2-ナフタセニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
4,4'-ビス[N-(2-ペリレニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
4,4'-ビス[N-(1-コロネニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
2,6-ビス(ジ-p-トリルアミノ)ナフタレン
2,6-ビス[ジ-(1-ナフチル)アミノ]ナフタレン
2,6-ビス[N-(1-ナフチル)-N-(2-ナフチル)アミノ]ナフタレン
N,N,N',N'-テトラ(2-ナフチル)-4,4"-ジアミノ-p-テルフェニル
4,4'-ビス{N-フェニル-N-[4-(1-ナフチル)-フェニル]アミノ}ビフェニル
2,6-ビス[N,N-ジ(2-ナフチル)アミノ]フルオレン
4,4',4"-トリス[(3-メチルフェニル)フェニルアミノ]トリフェニルアミン(MTDATA)
4,4'-ビス[N-(3-メチルフェニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル(TPD)。
CO-1:アルミニウムトリスオキシン[別名、トリス(8-キノリノラト)アルミニウム(III)]
CO-2:マグネシウムビスオキシン[別名、ビス(8-キノリノラト)マグネシウム(II)]
CO-3:ビス[ベンゾ{f}-8-キノリノラト]亜鉛(II)
CO-4:ビス(2-メチル-8-キノリノラト)アルミニウム(III)-μ-オキソ-ビス(2-メチル-8-キノリノラト)アルミニウム(III)
CO-5:インジウムトリスオキシン[別名、トリス(8-キノリノラト)インジウム]
CO-6:アルミニウムトリス(5-メチルオキシン)[別名、トリス(5-メチル-8-キノリノラト)アルミニウム(III)]
CO-7:リチウムオキシン[別名、(8-キノリノラト)リチウム(I)]
CO-8:ガリウムオキシン[別名、トリス(8-キノリノラト)ガリウム(III)]
CO-9:ジルコニウムオキシン[別名、テトラ(8-キノリノラト)ジルコニウム(IV)]
R1、R2、R3、R4、R5、R6は、各環上にある、以下に示すグループの中から個別に選択した1個以上の置換基を表わす。
グループ1:水素、または1〜24個の炭素原子を有するアルキル;
グループ2:5〜20個の炭素原子を有するアリールまたは置換されたアリール;
グループ3:アントラセニル、ピレニル、ペリレニルいずれかの芳香族縮合環を完成させるのに必要な4〜24個の炭素原子;
グループ4:フリル、チエニル、ピリジル、キノリニル、または他の複素環系の複素芳香族縮合環を完成させるのに必要な、5〜24個の炭素原子を有するヘテロアリールまたは置換されたヘテロアリール;
グループ5:1〜24個の炭素原子を有するアルコキシアミノ、アルキルアミノ、アリールアミノ;
グループ6:フッ素、塩素、臭素、シアノ。
R1〜R8はHである。
R9は、脂肪族炭素環のメンバーを有する縮合環を含まないナフチル基である。ただしR9とR10は同じではなく、アミンとイオウ化合物を含んでいない。R9は、1つ以上の縮合環をさらに備えていて芳香族縮合環系(例えばフェナントリル、ピレニル、フルオランテン、ペリレン)を形成している置換されたナフチル基であるか、1個以上の置換基(例えばフッ素、シアノ基、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アリール基、複素環式オキシ基、カルボキシ基、トリメチルシリル基)で置換されたナフチル基であるか、縮合した2つの環からなる置換されていないナフチル基であることが好ましい。R9は、パラ位が置換された2-ナフチルまたは1-ナフチルか、パラ位が置換されていない2-ナフチルまたは1-ナフチルであることが好ましい。
R10は、脂肪族炭素環のメンバーを有する縮合環を含まないビフェニル基である。R10は、置換されていて芳香族縮合環(例えばナフチル、フェナントリル、ペリレン)を形成しているビフェニル基か、1個以上の置換基(例えばフッ素、シアノ基、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アリール基、複素環式オキシ基、カルボキシ基、トリメチルシリル基)で置換されたビフェニル基か、置換されていないビフェニル基であることが好ましい。R10は、置換されていない4-ビフェニルまたは3-ビフェニルか、縮合環を含まない他のフェニル環で置換されていて三フェニル環系を形成している4-ビフェニルまたは3-ビフェニルか、2-ビフェニルであることが好ましい。特に有用なのは、9-(2-ナフチル)-10-(4-ビフェニル)アントラセンである。
A1-L-A2 (II)
で表わされる。ただし、A1とA2は、それぞれ、置換された、または置換されていないモノフェニルアントリル基、置換された、または置換されていないジフェニルアントリル基のいずれかであり、互いに同じでも異なっていてもよく;Lは、単結合または二価の結合基を表わす。
A3-An-A4 (III)
で表わされる。ただし、Anは、置換された、または置換されていない二価のアントラセン残基であり;A3とA4は、それぞれ、置換された、または置換されていない一価の芳香族縮合環基、置換された、または置換されていない炭素原子が6個以上の非縮合環アリール基のいずれかであり、互いに同じでも異なっていてもよい。発光層で使用するための有用なアントラセン材料の特別な例として以下のものがある。
Zは、O、NR、Sのいずれかであり;
R'は、水素;1〜24個の炭素原子を有するアルキル(例えばプロピル、t-ブチル、ヘプチルなど);5〜20個の炭素原子を有するアリールまたはヘテロ原子で置換されたアリール(例えばフェニル、ナフチル、フリル、チエニル、ピリジル、キノリニル、ならびに他の複素環式系);ハロ(例えばクロロ、フルオロ);芳香族縮合環を完成させるのに必要な原子のいずれかであり;
Lは、アルキル、アリール、置換されたアルキル、置換されたアリールのいずれかを含んでいる結合単位であり、複数のベンズアゾールを互いに共役または非共役に結合させる。
20 基板
25 光
30 ELユニット
40 アノード
50 有機層
60 カソード
70 水分吸収材料
80 ガラス封止ケース
90 封止剤
100 トップ-エミッション型OLEDデバイス
105 光
110 基板の上面
120 基板の下面
130 トップ-エミッション型ELユニット
130a トップ-エミッション型ELユニット
130b トップ-エミッション型ELユニット
130c トップ-エミッション型ELユニット
130d トップ-エミッション型ELユニット
140 第1の保護カバー
140c 第1の保護カバー
140d 第1の保護カバー
150 第1のチェンバー
150c 第1のチェンバー
150d 第1のチェンバー
160 第2の保護カバー
165 上部封止材料
165c 上部封止材料
165d 上部封止材料
170 第2のチェンバー
170c 第2のチェンバー
170d 第2のチェンバー
175 底部封止材料
175c 底部封止材料
175d 底部封止材料
180 水分吸収材料
180c 水分吸収材料
180d 水分吸収材料
190 通路
190a 通路
190b 通路
190c 通路
190d 通路
195 保護層
200 トップ-エミッション型OLEDデバイス
210 保護材料
220 支持部材
230 支持部材
240 通路
250 トップ-エミッション型OLEDデバイス
260 接続チューブ
300 ブロック
310 ブロック
320 ブロック
330 ブロック
340 ブロック
350 ブロック
360 ブロック
370 ブロック
380 ブロック
400 ブロック
410 ブロック
420 ブロック
430 ブロック
440 ブロック
450 ブロック
460 ブロック
470 ブロック
480 ブロック
500 ブロック
510 ブロック
520 ブロック
530 ブロック
540 ブロック
550 ブロック
560 ブロック
570 ブロック
580 ブロック
600 OLEDデバイス
610 基板
620 アノード
630 正孔注入層
640 正孔輸送層
650 発光層
660 電子輸送層
670 カソード
700 複合OLED素子
705 基板
710 切断線
720 第2の保護層
730 基板の上面
740 基板の底面
Claims (72)
- トップ-エミッション型OLEDデバイスの水分汚染を減らす方法であって、
a)上面と底面を有する基板を用意し;
b)上記基板の上面の上方に、光を発生させるトップ-エミッション型ELユニットを形成するが、その光が主にその基板を通過することはなく;
c)上記基板の上面の上方に第1の保護カバーを形成し、その基板の底面の下方に第2の保護カバーを形成することにより、それぞれ第1のチェンバーと第2のチェンバーを画定し;
d)上記第2のチェンバーに水分吸収材料を組み合わせ;
e)上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーを連通させることにより、上記第1のチェンバーまたは第2のチェンバーに含まれる水分を上記水分吸収材料によって吸収させる操作を含む方法。 - 上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーの連通を、上記基板を貫通する通路を形成することによって実現する、請求項1に記載の方法。
- 上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーの連通を、上記基板の少なくとも1つの縁部の少なくとも一部の周辺に通路を設けることによって実現する、請求項1に記載の方法。
- 折り曲げることのできる単一の保護材料が上記第1の保護カバーと上記第2の保護カバーになるとともに、上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーを連通させている、請求項1に記載の方法。
- 上記基板またはその一部を水分が蒸気の形態または液体の形態で通過することができ、そのことによって上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーが連通している、請求項1に記載の方法。
- 接続チューブが上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーを連通させている、請求項1に記載の方法。
- 上記水分吸収材料の選択が、アルカリ金属;アルカリ土類金属;水分と反応する他の金属;アルカリ金属酸化物;アルカリ土類金属酸化物;硫酸塩;金属ハロゲン化物;過塩素酸塩;分子篩;以下の一般式で表わされるタイプの有機金属化合物:
- 上記水分吸収材料を上記第2の保護カバーの上または内部に配置する、請求項7に記載の方法。
- 上記水分吸収材料を上記基板に接して配置する、請求項7に記載の方法。
- 上記基板の上面の上方に第1の保護カバーを形成する前に、上記ELユニットの上に保護層を設ける操作をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 請求項10に記載の保護層が封止領域全体の上方に設けられている封止されたOLEDデバイス。
- 上記保護層が、金属酸化物、金属窒化物、金属オキシ窒化物、ダイヤモンド様炭素、半導体酸化物、半導体窒化物、半導体オキシ窒化物のいずれかを含んでいる、請求項11に記載の封止されたOLEDデバイス。
- 上記保護層が有機化合物を含んでいる、請求項11に記載の封止されたOLEDデバイス。
- 上記保護層が、アルミニウム酸化物、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、オキシ窒化ケイ素のいずれかを含んでいる、請求項12に記載の封止されたOLEDデバイス。
- 上記保護層が、有機材料と無機材料の一方または両方からなる複数の層を含んでいる、請求項11に記載の封止されたOLEDデバイス。
- 上記保護層が、熱による物理的蒸着、スパッタリング蒸着、電子ビーム蒸着、化学蒸着、プラズマ支援化学蒸着、レーザー誘導化学蒸着、原子層蒸着、スピン・コーティング、スクリーン印刷、分散法のいずれかによって設けられる、請求項11に記載の封止されたOLEDデバイス。
- 上記基板が堅固であるか可撓性を持ち、ガラス、プラスチック、金属、セラミック、半導体、金属酸化物、金属窒化物、金属硫化物、半導体酸化物、半導体窒化物、半導体硫化物、炭素、またはこれらの組み合わせを含む、請求項1に記載の方法。
- 上記保護カバーが堅固であるか可撓性を持ち、ガラス、プラスチック、金属、セラミック、半導体、金属酸化物、金属窒化物、金属硫化物、半導体酸化物、半導体窒化物、半導体硫化物、炭素、またはこれらの組み合わせを含む、請求項1に記載の方法。
- 上記第1の保護カバーが、光学的に活性な1つ以上の追加層を含む、請求項1に記載の方法。
- 光学的に活性な1つ以上の上記層がカラー・フィルタ・アレイを含む、請求項19に記載の方法。
- 光学的に活性な1つ以上の上記層が色変更モジュールを含む、請求項19に記載の方法。
- 光学的に活性な1つ以上の上記層が反射防止層を含む、請求項19に記載の方法。
- 光学的に活性な1つ以上の上記層が偏光層を含む、請求項19に記載の方法。
- 光学的に活性な1つ以上の上記層が光抽出層を含む、請求項19に記載の方法。
- 上記保護カバーと上記基板の間にある封止材料または他の密封材料が上記チェンバーの一部を画定している、請求項1に記載の方法。
- 上記封止材料が、有機材料、または有機材料と無機材料の組み合わせである、請求項25に記載の方法。
- 上記有機封止材料の選択が、エポキシ、ポリウレタン、アクリレート、シリコーン、ポリアミド、ポリオレフィン、ポリエステル、ならびにこれらの組み合わせからなるグループの中からなされる、請求項26に記載の方法。
- 上記封止材料の選択が、ガラス、セラミック、金属、半導体、金属酸化物、半導体酸化物、金属ハンダ、ならびにこれらの組み合わせからなるグループの中からなされる、請求項25に記載の方法。
- 上記封止材料が、上記保護カバーと上記基板の間に接合され、その接合ステップが、プレス、溶融、冷却、反応硬化、またはこれらの組み合わせによって実現される、請求項25に記載の方法。
- 上記反応に、熱、照射、2種類以上の成分の混合、周囲にある水分への曝露、周囲にある酸素の除去、またはこれらの組み合わせから生じる反応が含まれる、請求項29に記載の方法。
- 上記第1のカバーと上記第2のカバーの一方または両方が通気穴を備えていて、上記接合ステップの後にその通気穴を通気穴シール材料で封止する、請求項29に記載の方法。
- 上記基板と一方または両方の保護カバーの間に1つ以上のギャップが残るように上記封止材料を配置して過剰なガスをそのギャップを通じて排出させ、そのギャップを上記結合ステップの後に封止する、請求項29に記載の方法。
- 上記基板と一方または両方の保護カバーの間に1つ以上のギャップが残るように上記封止材料を配置し、その封止材料が広がってそのギャップに満たされるまで過剰なガスをそのギャップを通じて排出させる、請求項29に記載の方法。
- 上記結合ステップの間に、上記基板と上記保護カバーと上記封止材料の周囲の初期圧よりも周囲圧を大きくして上記基板と上記保護カバーと上記封止材料の間に区画される空間内の圧力とその上昇した周囲圧の差を小さくすることにより、封止材料の変形を防ぐ、請求項29に記載の方法。
- トップ-エミッション型OLEDデバイスの水分汚染を減らす方法であって、
a)上面と底面を有する基板を用意し;
b)上記基板の上面の上方に、光を発生させる2つ以上のトップ-エミッション型ELユニットを形成するが、その光が主にその基板を通過することはなく;
c)上記基板の上面の上方に1つ以上の第1の保護カバーを形成し、その基板の底面の下方に1つ以上の第2の保護カバーを形成することにより、それぞれ2つ以上の第1のチェンバーと2つ以上の第2のチェンバーを画定し;
d)第2のチェンバーの各々に水分吸収材料を組み合わせ;
e)各ELユニットの上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーを連通させることにより、上記第1のチェンバーまたは第2のチェンバーに含まれる水分を上記水分吸収材料によって吸収させる操作を含む方法。 - 単一の第1の保護カバーを上記基板の上面の上方に形成する、請求項35に記載の方法。
- 2つ以上の第1の保護カバーを上記基板の上面の上方に形成する、請求項35に記載の方法。
- 単一の第2の保護カバーを上記基板の底面の下方に形成する、請求項35に記載の方法。
- 2つ以上の第2の保護カバーを上記基板の底面の下方に形成する、請求項35に記載の方法。
- トップ-エミッション型OLEDデバイスを、初期基板の一部を含む個別のデバイスまたはデバイスのグループに分割するステップをさらに含む、請求項35に記載の方法。
- 上記基板を貫通する通路を形成することにより、上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーを連通させる、請求項35に記載の方法。
- 上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーの連通を、上記基板の少なくとも1つの縁部の少なくとも一部の周辺に通路を設けることによって実現する、請求項35に記載の方法。
- 上記基板を水分が蒸気の形態または液体の形態で通過することができ、そのことによって上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーが連通している、請求項35に記載の方法。
- 接続チューブが上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーを連通させている、請求項35に記載の方法。
- 上記水分吸収材料の選択が、アルカリ金属;アルカリ土類金属;水分と反応する他の金属;アルカリ金属酸化物;アルカリ土類金属酸化物;硫酸塩;金属ハロゲン化物;過塩素酸塩;分子篩;以下の一般式で表わされるタイプの有機金属化合物:
- 上記水分吸収材料を上記第2の保護カバーの上または内部に配置する、請求項45に記載の方法。
- 上記水分吸収材料を上記基板に接して配置する、請求項45に記載の方法。
- 上記基板の上面の上方に第1の保護カバーを形成する前に、上記ELユニットの上に保護層を設ける操作をさらに含む、請求項35に記載の方法。
- 請求項48に記載の保護層が封止領域全体の上方に設けられている封止されたOLEDデバイス。
- 上記保護層が、金属酸化物、金属窒化物、金属オキシ窒化物、ダイヤモンド様炭素、半導体酸化物、半導体窒化物、半導体オキシ窒化物のいずれかを含んでいる、請求項49に記載の封止されたOLEDデバイス。
- 上記保護層が有機化合物を含んでいる、請求項49に記載の封止されたOLEDデバイス。
- 上記保護層が、アルミニウム酸化物、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、オキシ窒化ケイ素のいずれかである、請求項50に記載の封止されたOLEDデバイス。
- 上記保護層が、有機材料と無機材料の一方または両方からなる複数の層を含んでいる、請求項49に記載の封止されたOLEDデバイス。
- 上記保護層が、熱による物理的蒸着、スパッタリング蒸着、電子ビーム蒸着、化学蒸着、プラズマ支援化学蒸着、レーザー誘導化学蒸着、原子層蒸着、スピン・コーティング、スクリーン印刷、分散法のいずれかによって設けられる、請求項49に記載の封止されたOLEDデバイス。
- 上記基板が堅固であるか可撓性を持ち、ガラス、プラスチック、金属、セラミック、半導体、金属酸化物、金属窒化物、金属硫化物、半導体酸化物、半導体窒化物、半導体硫化物、炭素、またはこれらの組み合わせを含む、請求項35に記載の方法。
- 上記保護カバーが堅固であるか可撓性を持ち、ガラス、プラスチック、金属、セラミック、半導体、金属酸化物、金属窒化物、金属硫化物、半導体酸化物、半導体窒化物、半導体硫化物、炭素、またはこれらの組み合わせを含む、請求項35に記載の方法。
- 上記第1の保護カバーが、光学的に活性な1つ以上の追加層を含む、請求項35に記載の方法。
- 光学的に活性な1つ以上の上記層がカラー・フィルタ・アレイを含む、請求項57に記載の方法。
- 光学的に活性な1つ以上の上記層が色変更モジュールを含む、請求項57に記載の方法。
- 光学的に活性な1つ以上の上記層が反射防止層を含む、請求項57に記載の方法。
- 光学的に活性な1つ以上の上記層が偏光層を含む、請求項57に記載の方法。
- 光学的に活性な1つ以上の上記層が光抽出層を含む、請求項57に記載の方法。
- 上記保護カバーと上記基板の間にある封止材料または他の密封材料が上記チェンバーの一部を画定している、請求項35に記載の方法。
- 上記封止材料が、有機材料、または有機材料と無機材料の組み合わせである、請求項63に記載の方法。
- 上記有機封止材料の選択が、エポキシ、ポリウレタン、アクリレート、シリコーン、ポリアミド、ポリオレフィン、ポリエステル、ならびにこれらの組み合わせからなるグループの中からなされる、請求項64に記載の方法。
- 上記封止材料の選択が、ガラス、セラミック、金属、半導体、金属酸化物、半導体酸化物、金属ハンダ、ならびにこれらの組み合わせからなるグループの中からなされる、請求項63に記載の方法。
- 上記封止材料が、上記保護カバーと上記基板の間に接合され、その接合ステップが、プレス、溶融、冷却、反応硬化、またはこれらの組み合わせによって実現される、請求項63に記載の方法。
- 上記反応に、熱、照射、2種類以上の成分の混合、周囲にある水分への曝露、周囲にある酸素の除去、またはこれらの組み合わせから生じる反応が含まれる、請求項67に記載の方法。
- 上記第1のカバーと上記第2のカバーの一方または両方が通気穴を備えていて、上記接合ステップの後にその通気穴を通気穴シール材料で封止する、請求項67に記載の方法。
- 上記基板と一方または両方の保護カバーの間に1つ以上のギャップが残るように上記封止材料を配置し、そのギャップを上記結合ステップの後に封止する、請求項67に記載の方法。
- 上記基板と一方または両方の保護カバーの間に1つ以上のギャップが残るように上記封止材料を配置し、その封止材料が広がってそのギャップに満たされるまで過剰な周囲ガスをそのギャップを通じて排出させる、請求項67に記載の方法。
- 上記結合ステップの間に、上記基板と上記保護カバーと上記封止材料の周囲の初期圧よりも周囲圧を大きくして上記基板と上記保護カバーと上記封止材料の間に画定される空間内の圧力とその上昇した周囲圧の差を小さくすることにより、封止材料の変形を防ぐ、請求項67に記載の方法。
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