JP2016089097A - フィルム状封止材、封止シートおよび電子デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】より優れた水蒸気バリア性を有するフィルム状封止材、封止シートおよび電子デバイスを提供する。【解決手段】水蒸気バリア性樹脂層１２を含む、一層または複数層から成るフィルム状封止材１Ａ，１Ｂであって、前記フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの両面は被着体に対して接着性を示し、温度６０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下での前記フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの端面からの水蒸気浸入速度は、１０μｍ／ｈ以下であることを特徴とするフィルム状封止材１Ａ，１Ｂ。【選択図】図１

Description

本発明は、電子素子等を封止することのできるフィルム状封止材および封止シート、ならびにそれらによって電子素子が封止された電子デバイスに関するものである。

有機電子デバイス、例えば、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子や電子ペーパー等を有する表示装置用モジュール、有機薄膜太陽電池素子を有する太陽電池モジュールなどにおいては、デバイス内部の電子素子に水分や酸素が浸入して劣化するため、水分や酸素の浸入を防止する必要がある。このような防止方法の例として、有機ＥＬ素子では、空間を形成しうるガラス部材を使用して電子素子をカバーする方法がある。

このようなガラス部材と、電子素子と、これらを固定するための基板とを一体化する場合、ガラス部材と基板との接点を接着剤で固定し、これらの間にできる空間に電子素子を設ける方法が存在する。このようにして製造された電子デバイスでは、外部に存在する水分が、固定のための接着剤を透過して内部の空間に浸入するおそれがある。特許文献１および２には、このような内部に浸入した水分を除去するための吸湿剤を含有する物質が開示されている。

具体的には、特許文献１には、物理吸着系乾燥剤と化学吸着系乾燥剤とを特定の比率で含有する樹脂が開示されている（特許文献１の請求項１）。また、樹脂中における２種の乾燥剤の合計の含有率は４０〜８０重量％とできることが開示されている（同請求項２）。この樹脂は、電子デバイスの内部において、電子素子と向き合う位置にシート状に設けられ、電子デバイス内に存在する水分を吸湿する（特許文献１において、特許文献１として引用される特開２００１−２７７３９５号公報の図２）。

特許文献２には、Ａｌ−ＯＲ結合を含む化合物と、硬化性モノマーとを含有する組成物が開示されている。上記化合物は、Ａｌ−ＯＲ結合において加水分解反応を行うことで周囲から水分子を除去するため、吸湿剤として作用する。この組成物は、電子デバイスの内部において、電子素子と向き合う位置にシート状に設けられるか、電子デバイス内部の空間に充填されることで、電子デバイス内に存在する水分を吸湿する（特許文献２の図１および図２）。

また、電子デバイスの内部に水分が浸入することを防止する別の方法として、フィルム状封止材を使用する方法が存在する。この場合、電子デバイスは、例えば、封止用基板、フィルム状封止材、電子素子および基板がこの順に積層された積層体として製造される。この場合、水分が積層体の主面から厚さ方向に浸入しないように封止用基板にはガラス板、ハイガスバリアフィルム、金属箔等が用いられる。しかしながら、積層体の縁の、フィルム状封止材が外部に露出した端面から水分が浸入し、面内方向に移動して電子素子に到達する可能性が存在する。このため、水蒸気バリア性を有する封止材が開発されている。

特開２００６−１１６５０１号公報 特開２０１３−１０８０５７号公報

しかしながら、近年注目されている有機ＥＬ素子を有する表示装置用モジュールや、電子ペーパー等の電子デバイスにおいては、電子素子を水分から守ることに対し、より高いレベルが要求されている。特許文献１および２に開示される物質は、電子デバイス内の空間を乾燥させるためのものであるため、封止シートとしては使用することができない。さらに、特許文献２の物質は、液状の封止剤であるため、液状物が流れ出ないようにデバイスの周囲に流れ防止用のダムを設ける必要があるなど作業性が悪い。また、従来のフィルム状封止材は、主面からの水蒸気の浸入を防ぐという観点で主に開発されており、フィルム状封止材の端面からの水蒸気の浸入を十分に防ぐことはできない。

本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、より優れた水蒸気バリア性を有するフィルム状封止材、封止シートおよび電子デバイスを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、第１に本発明は、水蒸気バリア性樹脂層を含む、一層または複数層から成るフィルム状封止材であって、前記フィルム状封止材の両面は被着体に対して接着性を示し、温度６０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下での前記フィルム状封止材の端面からの水蒸気浸入速度は、１０μｍ／ｈ以下であることを特徴とするフィルム状封止材を提供する（発明１）。

上記発明（発明１）に係るフィルム状封止材では、フィルム状封止材の端面から浸入する水分の移動速度が非常に遅いため、フィルム状封止材の端面からの水蒸気の浸入が抑制され、非常に高い水蒸気バリア性が達成される。

上記発明（発明１）において、前記水蒸気バリア性樹脂層は吸湿剤を含有することが好ましい（発明２）。

上記発明（発明１，２）においては、前記水蒸気バリア性樹脂層の一方の面側に積層され、被着体に対して接着性を示す１つの接着性樹脂層、または前記水蒸気バリア性樹脂層の一方の面側および他方の面側に積層され、被着体に対して接着性を示す２つの接着性樹脂層をさらに含むことが好ましい（発明３）。

上記発明（発明１〜３）において、前記水蒸気バリア性樹脂層の厚さの割合は、前記フィルム状封止材の厚さの５０〜１００％であることが好ましい（発明４）。

上記発明（発明１〜４）において、前記水蒸気バリア性樹脂層は、ゴム系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂およびエポキシ系樹脂から成る群から選択される少なくとも１種の樹脂を含むことが好ましい（発明５）。

上記発明（発明３）において、前記接着性樹脂層は、ゴム系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂およびエポキシ系樹脂から成る群から選択される少なくとも１種の樹脂を含むことが好ましい（発明６）。

上記発明（発明２）において、前記吸湿剤の最大吸湿量は、５０μｍの厚さを有する前記水蒸気バリア性樹脂層が吸湿する水の量で表した場合に１．０ｇ／ｍ^２以上であることが好ましい（発明７）。

上記発明（発明２）において、前記吸湿剤は、メタロキサン結合を含む化合物であることが好ましい（発明８）。

上記発明（発明２）において、前記吸湿剤は、金属酸化物であることが好ましい（発明９）。

上記発明（発明２）において、前記吸湿剤は、水分子と反応して水和物を生成する化合物であることが好ましい（発明１０）。

上記発明（発明１〜１０）において、前記フィルム状封止材のいずれか一方の表面をガラス板に１２０℃で貼り合わせた際の接着力が、１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい（発明１１）。

第２に本発明は、前記フィルム状封止材（発明１〜１１）と、前記フィルム状封止材の片面に積層されたガスバリアフィルムとを備えたことを特徴とする封止シートを提供する（発明１２）。

第３に本発明は、前記フィルム状封止材（発明１〜１１）によって封止されたことを特徴とする電子デバイスを提供する（発明１３）。

第４に本発明は、前記封止シート（発明１２）によって封止されたことを特徴とする電子デバイスを提供する（発明１４）。

本発明に係るフィルム状封止材は、フィルム状封止材の端面からの水蒸気浸入速度が非常に遅いことにより、非常に高い水蒸気バリア性を達成することができる。

本発明の第１の実施形態に係るフィルム状封止材の概略断面図である。 本発明の第２の実施形態に係るフィルム状封止材の概略断面図である。 本発明の一実施形態に係る封止シートの概略断面図である。 本発明の一実施形態に係る電子デバイスの概略断面図である。 本発明の他の実施形態に係る電子デバイスの概略断面図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。
〔フィルム状封止材〕
実施形態に係るフィルム状封止材は、一層から成ってもよいし、複数層から成ってもよい。フィルム状封止材が一層から成る場合、フィルム状封止材は、水蒸気バリア性樹脂層のみから成る。一方、フィルム状封止材が複数層から成る場合、フィルム状封止材は、水蒸気バリア性樹脂層および一以上のその他の層から成る。

複数層から成るフィルム状封止材において、その他の層が一つ存在する場合、水蒸気バリア性樹脂層と一つのその他の層とが直接積層される。一方、その他の層が複数存在する場合、水蒸気バリア性樹脂層および複数のその他の層は種々の順番で積層されてよく、例えば、水蒸気バリア性樹脂層が複数のその他の層の間に積層されてもよい。その他の層の例としては、接着性樹脂層が好ましく挙げられる。

実施形態に係るフィルム状封止材の両面は、被着体に対して接着性を示す。フィルム状封止材が一層から成る場合、すなわち水蒸気バリア性樹脂層のみから成る場合、水蒸気バリア性樹脂層が接着性を有する。一方、フィルム状封止材が複数層から成る場合、フィルム状封止材の最も外側に位置する層が接着性を有する。例えば、フィルム状封止材の一方の面に水蒸気バリア性樹脂層が存在し、他方の面に接着性樹脂層が存在する場合、水蒸気バリア性樹脂層と接着性樹脂層とが接着性を有する。また、フィルム状封止材の両方の面に、２つの接着性樹脂層がそれぞれ存在する場合、２つの接着性樹脂層が接着性を有する。

実施形態に係るフィルム状封止材の両面には、接着性を有する面を保護する等の目的で、剥離シートが積層されていてもよい。この剥離シートは、フィルム状封止材を使用する際に、適宜剥離される。

なお、本明細書における「最も外側に位置する層」とは、フィルム状封止材が封止に供されたときに最も外側に位置する層をいう。したがって、「最も外側に位置する層」に剥離シートは含まれない。

図１および２に、フィルム状封止材の具体的な例を示す。

図１は、第１の実施形態に係るフィルム状封止材１Ａの概略断面図である。図１に示されるように、第１の実施形態に係るフィルム状封止材１Ａは、水蒸気バリア性樹脂層１２を備える。

図２は、第２の実施形態に係るフィルム状封止材１Ｂの概略断面図である。図２に示されるように、第２の実施形態に係るフィルム状封止材１Ｂは、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂと、第１の接着性樹脂層１１Ａと第２の接着性樹脂層１１Ｂとの間に位置する水蒸気バリア性樹脂層１２とを備える。

温度６０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下でのフィルム状封止材１Ａ，１Ｂの端面からの水蒸気浸入速度は、１０μｍ／ｈ以下であり、８μｍ／ｈ以下であることが好ましく、特に５μｍ／ｈ以下であることが好ましい。端面からの水蒸気浸入速度とは、水蒸気がフィルム状封止材１Ａ，１Ｂの端面から浸入し、面内方向に移動する速度をいう。例えば、図４には、基板３１と、基板３１上に形成された電子素子３２と、電子素子３２を封止するフィルム状封止材１Ｂと、フィルム状封止材１Ｂの電子素子３２とは反対側に積層された封止部材３３とを備えた電子デバイス３Ｂが示されており、水蒸気はフィルム状封止材１Ｂの端面１３からその内部に浸入し、水平方向に移動して電子素子３２に到達するが、そのときの単位時間当たりの移動量が水蒸気浸入速度となる。水蒸気浸入速度の測定方法は、後述する試験例に示す通りである。このように、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂ内の端面からの水蒸気浸入速度が非常に遅いことにより、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの端面から水蒸気が浸入したとしても、水分が電子素子に到達しにくく、結果として、非常に高い水蒸気バリア性を達成することができる。

（１）水蒸気バリア性樹脂層１２
（１．１）水蒸気バリア性樹脂層１２を構成する樹脂
水蒸気バリア性樹脂層１２を構成する樹脂は、水蒸気浸入速度を低下させる観点から、水蒸気透過率の低い樹脂であることが好ましい。水蒸気バリア性樹脂層１２を構成する樹脂の例は、ゴム系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、シクロオレフィン系樹脂およびエポキシ系樹脂である。これらの樹脂は１種を単独で、あるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。

水蒸気バリア性樹脂層１２は、接着性を有するものであってもよい。すなわち、水蒸気バリア性樹脂層１２が接着性を有するように、水蒸気バリア性樹脂層１２を構成する樹脂を選択してもよい。特に、第１の実施形態に係るフィルム状封止材１Ａのように接着性樹脂層を含まない場合、または、１つの接着性樹脂層を含む場合、水蒸気バリア性樹脂層１２は、接着性を有することが好ましい。接着性を有する水蒸気バリア性樹脂層１２は、後述するガスバリアフィルムや電子素子に対して良好に接着することができる。

ゴム系樹脂は、高い水蒸気バリア性と高い接着性とを同時に達成できる点で好ましい。ゴム系樹脂としては、例えば、天然ゴム、天然ゴムに（メタ）アクリル酸アルキルエステル、スチレンおよび（メタ）アクリロニトリルから選ばれる１種又は２種以上の単量体をグラフト重合させた変性天然ゴム、ポリイソブチレン系樹脂、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、イソプレンゴム、ハロゲン化ブチルゴム、スチレン−ブタジエン共重合体（ＳＢＲ）、スチレン−イソプレン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエンの共重合体（ニトリルゴム）、メタクリル酸メチル−ブタジエン共重合体、ウレタンゴム、スチレン−１，３−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、エチレン−プロピレン−非共役ジエン三元共重合体等が挙げられる。これらのゴム系化合物は１種を単独で、あるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、ゴム系樹脂としては、ポリイソブチレン系樹脂を含むものが好ましい。

ポリイソブチレン系樹脂は、モノマー成分としてイソブチレンを含む重合体（共重合体の概念を含む）をいい、モノマー成分がイソブチレンのみからなる単独重合体であってもよいし、モノマー成分としてイソブチレンと他のモノマーを重合して得られる共重合体であってもよい。ポリイソブチレン系樹脂は、一部を臭素化又は塩素化したハロゲン化ポリイソブチレン系樹脂であってもよく、一部を水酸基、カルボキシル基等の官能基で置換したものであってもよい。

上記他のモノマーとしては、例えば、イソプレン、ｎ−ブテン、ブタジエン、イソプレン、スチレン等が挙げられる。他のモノマーは単独で又は２種以上を併用して用いてもよい。なお、ポリイソブチレン系樹脂が共重合体である場合は、原料モノマー中、イソブチレンは主成分として最大量のモノマーである。

上記の中でも、ポリイソブチレン系樹脂は、水蒸気バリア性に優れるという点から、モノマー成分がイソブチレンのみからなる単独重合体またはモノマー成分としてイソブチレンとイソプレンとを重合して得られるイソブチレン−イソプレン共重合体であることが好ましい。

水蒸気バリア性樹脂層１２に用いるゴム系樹脂の数平均分子量は、通常１０万〜５００万、好ましくは１０万〜３００万、より好ましくは１０万〜１００万である。

ポリエステル系樹脂とは、多価カルボン酸とポリオールとの重縮合により得られる重合体、又はこれを変性したものである。多価カルボン酸の例としては、テレフタル酸、イソフタル酸、オルソフタル酸、コハク酸、アジピン酸、セバシン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、トリメリット酸等が挙げられる。ポリオールの例としては、エチレングリコール、プロピレングリコール等の脂肪族アルコール、およびポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリエーテルポリオールが挙げられる。これらのポリエステル系樹脂は１種を単独で、あるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。

ポリオレフィン樹脂とは、重合体を構成するモノマー成分として１種または２種以上のオレフィンのみを含む重合体（共重合体の概念を含む）をいう。すなわち、ここでいうポリオレフィン樹脂は、１種のオレフィンの単独重合体、または２種以上のオレフィンの共重合体である。オレフィンとしては、炭素数２〜８のα−オレフィンが好ましく、例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン、イソブチレン、１−ヘキセン、スチレン等が挙げられ、中でもエチレンおよびプロピレンが好ましい。

上記ポリオレフィン樹脂としては、具体的には、直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ，密度：９１０ｋｇ／ｍ^３以上、９１５ｋｇ／ｍ^３未満）、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ，密度：９１０ｋｇ／ｍ^３以上、９１５ｋｇ／ｍ^３未満）、中密度ポリエチレン（ＭＤＰＥ，密度：９１５ｋｇ／ｍ^３以上、９４２ｋｇ／ｍ^３未満）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ，密度：９４２ｋｇ／ｍ^３以上）等のポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）、エチレン−プロピレン共重合体などが挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。上記の中でも、低密度ポリエチレンが好ましく、特に直鎖状低密度ポリエチレンが好ましい。

シクロオレフィン系樹脂とは、重合体を構成するモノマー成分としてシクロオレフィンを含む重合体（共重合体の概念を含む）を主成分とする樹脂をいい、モノマー成分としてシクロオレフィンのみを含む重合体であってもよいし、モノマー成分としてシクロオレフィンおよび他のモノマーを含む重合体（共重合体）であってもよい。上記他のモノマーとしては、本実施形態に係るフィルム状封止材１Ａ，１Ｂの目的を阻害しない限り特に限定されず、例えば、エチレン、プロピレンなど炭素数２以上のαオレフィン、（メタ）アクリル酸エステル等が挙げられる。なお、本明細書において、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸およびメタクリル酸の両方を意味する。他の類似用語も同様である。

上記の中でも、シクロオレフィン系樹脂は、後述する接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂとの密着性に優れ、フィルム状封止材１Ｂの層間剥離を防止できるという点から、モノマー成分としてシクロオレフィンとエチレンとを含む共重合体であることが好ましい。

シクロオレフィン系樹脂は、ガラス転移温度が２０〜１５０℃であるものが好ましく、特に２５〜１３０℃であるものが好ましく、さらには３０〜１１０℃であるものが好ましい。シクロオレフィン系樹脂のガラス転移温度が２０℃以上であると、当該シクロオレフィン系樹脂中におけるモノマー成分としてのシクロオレフィンの含有量が多くなり、水蒸気バリア性を発現し易くなる。また、シクロオレフィン系樹脂のガラス転移温度が１５０℃以下であると、水蒸気バリア性樹脂層１２が電子素子等の封止対象物の段差等に良好に追従し、封止対象物を確実に封止することができる。

シクロオレフィン系樹脂は、親水性基を有さないことが好ましい。親水性基を有すると、水蒸気バリア性が低下するおそれがある。親水性基としては、例えば、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、アミド基、イミド基、スルホン酸基、メルカプト基等が挙げられる。一方、シクロオレフィン系樹脂は、疎水性基を有していてもよい。疎水性基であれば、水蒸気バリア性が低下するおそれはない。疎水性基としては、例えば、アルキル基、アリール基等が挙げられる。

好ましいシクロオレフィン系樹脂としては、下記構造式（ａ）

（式（ａ）中、ｍおよびｎは１以上の整数である。Ｒ^１およびＲ^２は水素原子またはアルキル基を示し、それぞれ同じであってもよいし、異なっていてもよい。Ｒ^１およびＲ^２は、それらが結合して環を形成していてもよい。）
で示されるシクロオレフィン重合体（モノマー成分としてシクロオレフィンとエチレンとを含む共重合体；ＣＯＣ）、下記構造式（ｂ）

（式（ｂ）中、ｍおよびｎは１以上の整数である。Ｒ^１およびＲ^２は水素原子またはアルキル基を示し、それぞれ同じであってもよいし、異なっていてもよい。Ｒ^１およびＲ^２は、それらが結合して環を形成していてもよい。）
で示されるシクロオレフィン重合体（モノマー成分としてシクロオレフィンとエチレンとを含む共重合体；ＣＯＣ）、下記構造式（ｃ）

（式（ｃ）中、ｎは１以上の整数であり、Ｒ^１およびＲ_２は水素原子またはアルキル基を示し、それぞれ同じであってもよいし、異なっていてもよい。Ｒ^１およびＲ^２は、それらが結合して環を形成していてもよい。）
で示されるシクロオレフィン重合体（モノマー成分としてシクロオレフィンのみを含む重合体；ＣＯＰ）、および下記構造式（ｄ）

（式（ｄ）中、ｎは１以上の整数であり、Ｒ^１およびＲ^２は水素原子またはアルキル基を示し、それぞれ同じであってもよいし、異なっていてもよい。Ｒ^１およびＲ^２は、それらが結合して環を形成していてもよい。）
で示されるシクロオレフィン重合体（モノマー成分としてシクロオレフィンのみを含む重合体；ＣＯＰ）が挙げられる。これらのシクロオレフィン重合体は、水蒸気バリア性に非常に優れ、入手も容易である。これらのシクロオレフィン重合体は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。

シクロオレフィン重合体は、市販品を用いることもできる。市販品としては、例えば、ＺＥＯＮＥＸ（登録商標）（日本ゼオン社製，ノルボルネン系モノマーの開環メタセシス重合体水素化ポリマー）、ＴＯＰＡＳ（登録商標）（ポリプラスチックス社製，ノルボルネンとエチレンとのコポリマー）、ＺＥＯＮＯＲ（登録商標）（日本ゼオン社製，ジシクロペンタジエンとテトラシクロペンタドデセンとの開環重合に基づくコポリマー）、アペル（登録商標）（三井化学社製，エチレンとテトラシクロドデセンとのコポリマー）、アートン（登録商標）（ＪＳＲ社製，ジシクロペンタジエンおよびメタクリル酸エステルを原料とする極性基を含む環状オレフィン樹脂）などが挙げられる。

エポキシ系樹脂としては、例えば、１官能性エポキシ化合物、２官能性エポキシ化合物、３官能以上の多官能性エポキシ化合物、エポキシ基を有するポリマーまたはオリゴマー、およびエポキシ基を有するビニルモノマーと他のビニルモノマーなどとの共重合体ポリマーまたはオリゴマーが挙げられる。これらのエポキシ系樹脂は１種を単独で、あるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。

水蒸気バリア性樹脂層１２は、上記樹脂以外に、他の樹脂成分を含有してもよい。他の樹脂成分としては、例えば、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体等のオレフィン系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステルウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、アミド系樹脂、スチレン系樹脂、シラン系樹脂などが挙げられる。

上記樹脂を含む、水蒸気バリア性樹脂層１２から吸湿剤を除いた材料（以下「主材Ｍ」という）の水蒸気透過率は、５０μｍの厚さの主材Ｍから成る層１２にて測定した場合に、１０ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましく、特に８ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましく、さらには６ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましい。なお、本明細書において、水蒸気透過率とは、ある厚さを有する測定対象について、その１ｍ^２の領域を１日の間に透過する水の質量（ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ））として定義される。このときの厚さは、例えば５０μｍとされる。１０ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下という低い水蒸気透過率を有することで、水蒸気バリア性樹脂層１２の端面からの水蒸気浸入速度が低下し、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂはより高い水蒸気バリア性を達成することができる。

なお、主材Ｍの水蒸気透過率は、例えば、吸湿剤を使用せずに層を製造し、その水蒸気透過率を測定することで得ることができる。

（１．２）吸湿剤
水蒸気バリア性樹脂層１２は、上記樹脂以外に吸湿剤を含有することが好ましい。水蒸気バリア性樹脂層１２が吸湿剤を含有することで、水蒸気バリア性樹脂層１２に浸入した水蒸気は吸湿剤に取り込まれるため、水蒸気バリア性樹脂層１２の端面からの水蒸気浸入速度を低下させ易くなり、より高い水蒸気バリア性を達成することができる。吸湿剤は、一般的に、化学系吸湿剤および物理系吸湿剤の２つに大別される。

化学系吸湿剤は、水分子を化学反応の反応物として利用することで、周囲の水分を取り込む吸湿剤である。本実施形態に係るフィルム状封止材１Ａ，１Ｂでは、あらゆる化学系吸湿剤を使用することができるが、金属酸化物、水分子と反応して水和物を生成する化合物、またはメタロキサン結合を含む化合物を使用することが好ましい。これらの化学系吸湿剤は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。

化学系吸湿剤として使用できる金属酸化物の例は、酸化カルシウム、酸化バリウム、酸化マグネシウムおよび酸化ストロンチウムである。これらの金属酸化物は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。この中で、酸化カルシウムは、水分子との間で以下の式（１）の反応を行う。この反応の結果、水分子は、反応生成物である水酸化カルシウム中の水酸基に変換される。酸化カルシウム以外の金属酸化物も、式（１）と同様の反応を行う。

化学系吸湿剤として使用できる、水分子と反応して水和物を生成する化合物の例は、硫酸ナトリウム、硫酸カリウム・アルミニウム、硫酸マグネシウム、硫酸カルシウム、硫酸アルミニウム、炭酸ナトリウム、酢酸ナトリウム、チオ硫酸ナトリウムおよび硫酸銅である。これらの化合物は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。この中で、硫酸マグネシウムは、水分子との間で以下の式（２）の反応を行う。この反応の結果、水分子は、水和物中の水和水に変換される。硫酸マグネシウム以外の化合物も、式（２）と同様の反応を行う。

メタロキサン結合を含む化合物とは、メタロキサン結合、すなわち金属元素と酸素との結合を含む化合物である。そのような化合物の例は、一般式Ｍ（ＯＲ）_ｎ（Ｍは金属元素、Ｒは少なくとも水素、炭素および酸素を含む化合物、ｎは金属元素の酸化数を表す）で表される化合物、および式［Ｍ（ＯＲ）_ｎ’−Ｏ］_ｍ（Ｍは金属元素、Ｒはアルキル基またはアシル基、ｎ’は１以上の整数であって金属元素の酸化数から２を引いた値、ｍは１以上の整数を表す）で表される構造を有する化合物である。また、メタロキサン結合を含む化合物は、一般にメタロキサン化合物またはポリメタロキサン化合物と称される化合物を含む。なお、本明細書において、メタロキサン化合物およびポリメタロキサン化合物の両方を意味する表現として、（ポリ）メタロキサン化合物という語句を使用する場合がある。メタロキサン結合を含む化合物のより具体的な例は、金属アルコキシド、金属アシレートおよび金属キレートである。メタロキサン結合を含む化合物の水と反応する部位は、主にＭ−Ｏ−ＲまたはＭ−Ｏ−Ｍである。これらの化合物は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。

金属アルコキシド（別名：金属アルコレート）は、Ｍ−Ｏ−Ｒの部位において水と反応する化合物の例である。金属アルコキシドの例は、一般式Ｍ（ＯＲ）_ｎにおいてＲがアルキル基である化合物、または式［Ｍ（Ｏ−Ｒ）_ｎ’−Ｏ］_ｍにおいてＲがアルキル基である構造を有する化合物である。金属アルコキシドのより具体的な例は、オルトチタン酸テトラメチル（別名：テトラメトキシチタン（ＩＶ）、チタン（ＩＶ）テトラメトキシド）、アルミニウムエトキシドおよびアルミニウムオキサイドイソプロポキサイドトリマーである。これらの金属アルコキシドは、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。

上記アルミニウムエトキシドは、水分子との間で以下の式（３）の反応を行う。この反応において、水分子は、アルミニウムエトキシドの加水分解に利用され、その結果、水酸化アルミニウムおよびエタノールが生成される。アルミニウムエトキシド以外の化合物も、式（３）と同様の反応を行う。

金属アシレートは、Ｍ−Ｏ−ＲまたはＭ−Ｏ−Ｍの部位において水と反応する化合物の例である。金属アシレートの中でＭ−Ｏ−Ｒの部位において水と反応する化合物の例は、一般式Ｍ（ＯＲ）_ｎにおいてＲがアシル基である化合物である。金属アシレートの中でＭ−Ｏ−Ｍの部位において水と反応する化合物の例は、式［Ｍ（Ｏ−Ｒ）_ｎ’−Ｏ］_ｍにおいてＲがアシル基である構造を有する化合物である。金属アシレートの具体例は、環状アルミニウムオキサイドオクチレートおよび環状アルミニウムオキサイドステアレートである。これらの金属アシレートは、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。環状アルミニウムオキサイドオクチレートは、水分子との間で以下の式（４）の反応を行い、生成物は１種類のみである。環状アルミニウムオキサイドオクチレート以外の化合物も、式（４）と同様の反応を行う。

物理系吸湿剤は、化学反応によらずに周囲の水分を取り込む吸湿剤であり、例えば、吸湿剤の表面に周囲の水分子を吸着させる。本実施形態に係るフィルム状封止材１Ａ，１Ｂでは、あらゆる物理系吸湿剤を使用することができ、例えば、ゼオライト、活性アルミナ、シリカゲルおよび粘土化合物を使用することができる。ゼオライトとしては、モレキュラーシーブを使用することができる。これらの吸湿剤は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。

吸湿剤は、電子素子に対して与える影響が少ないか、影響が無い物が好ましい。特に化学系吸湿剤を使用する場合には、電子素子を腐食させる物質が、吸湿の反応によって生じない吸湿剤を使用することが好ましい。また、吸湿の反応や温度変化によってもガスが発生せず、電子デバイスの膨張を生じさせない吸湿剤を使用することが好ましい。さらに、水蒸気バリア性樹脂層１２の製造の際に、水蒸気バリア性樹脂層１２を構成する樹脂と良好に混和し、加熱といった処理を施しても変性しない吸湿剤を使用することが好ましい。

これらの観点を考慮すると、上述したメタロキサン結合を含む化合物、金属酸化物および水分子と反応して水和物を生成する化合物を使用することが好ましく、メタロキサン結合を含む化合物としては、特にＭ−Ｏ−Ｍの部位において水と反応する化合物を使用することが好ましい。これらの吸湿剤は、吸湿の反応が生じた場合に、比較的安定した生成物が生じ、これが気化してガスを発生させる傾向が少なく、材料となる樹脂と良好に混和し、水蒸気バリア性樹脂層１２の製造過程において変性しにくい。結果として、非常に優れた水蒸気バリア性を示すフィルム状封止材１Ａ，１Ｂを得ることができる。

水蒸気バリア性樹脂層１２中の吸湿剤の含有量は、１〜３５質量％であることが好ましく、特に３〜３０質量％であることが好ましく、さらには５〜２５質量％であることが好ましい。１質量％以上であることにより、水蒸気バリア性樹脂層１２を透過する水分が十分に吸湿され、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの水蒸気バリア性はさらに向上する。また、３５質量％以下であることにより、水蒸気バリア性樹脂層１２を製造する際に、良好に成膜することが可能となる。

吸湿剤の形状は、特に限定されないが、例えば液体、粉末または粒状であってよい。粉末または粒状である場合、吸湿剤の平均粒径は特に限定されないが、例えば０．１〜２０μｍであることが好ましく、特に０．１〜１０μｍであることが好ましく、さらには０．１〜５μｍであることが好ましい。ここで、本明細書における「平均粒径」は、レーザー回折式粒度分布測定装置によって測定して得られる値であるものとする。

吸湿剤の最大吸湿量は、５０μｍの厚さを有する水蒸気バリア性樹脂層１２が吸湿する水の量で表した場合に、１．０ｇ／ｍ^２以上であることが好ましく、特に１．５ｇ／ｍ^２以上であることが好ましく、さらには２．０ｇ／ｍ^２以上であることが好ましい。最大吸湿量が１．０ｇ／ｍ^２以上である吸湿剤を使用することで、水蒸気バリア性樹脂層１２を透過する水分を十分に吸湿することが可能となり、より高い水蒸気バリア性を有するフィルム状封止材１Ａ，１Ｂを得ることができる。

（１．３）その他の成分
水蒸気バリア性樹脂層１２は、上記樹脂および吸湿剤以外に、所望により、粘着付与剤、紫外線吸収剤、紫外線安定剤、帯電防止剤、顔料、難燃剤、可塑剤、滑剤、ブロッキング防止剤、フィラー、分散剤、架橋剤（硬化剤；エポキシ系樹脂等の硬化性樹脂を使用する場合）、シランカップリング剤等の各種添加剤等を含有してもよい。特に、水蒸気バリア性樹脂層１２がゴム系樹脂を含む場合、粘着付与剤を含むことが好ましい。粘着付与剤としては、例えば、ロジン系樹脂、ポリテルペン系樹脂等の天然樹脂、Ｃ５系、Ｃ９系、ジシクロペンタジエン系等の石油樹脂、クマロンインデン樹脂、キシレン樹脂等の合成樹脂などが挙げられる。

（１．４）水蒸気バリア性樹脂層１２の物性等
水蒸気バリア性樹脂層１２の厚さは、５〜３００μｍであることが好ましく、特に１０〜２００μｍであることが好ましく、さらには１５〜１００μｍであることが好ましい。水蒸気バリア性樹脂層１２の厚さを５μｍ以上とすることで、十分な水蒸気バリア性を得ることができる。一方、水蒸気バリア性樹脂層１２の厚さを３００μｍ以下とすることで、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの厚さを薄く維持することができる。なお、水蒸気バリア性樹脂層１２は、単層であってもよく、複数層であってもよい。

また、水蒸気バリア性樹脂層１２の厚さの割合は、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの厚さの５０〜１００％であることが好ましく、特に５５〜１００％であることが好ましく、さらには６０〜１００％であることが好ましい。ここで、水蒸気バリア性樹脂層１２の厚さの割合が１００％であるとは、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂが水蒸気バリア性樹脂層１２のみから成ることを意味する。なお、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの厚さについては後述する。水蒸気バリア性樹脂層１２の厚さの割合が５０％以上であることで、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂは十分な量の吸湿剤を含有することができ、より高い水蒸気バリア性を達成することができる。

（２）接着性樹脂層
第１の接着性樹脂層１１Ａおよび第２の接着性樹脂層１１Ｂは、被着体に対して接着性を示す層であり、本実施形態では、水蒸気バリア性樹脂層１２の片面または両面に任意に設けることができる。水蒸気バリア性樹脂層１２の被着体に対する接着性が低い場合、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂの片方または両方を設けることにより、被着体に対する接着性がより優れたフィルム状封止材１Ｂを実現することができる。第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂは、それぞれ単層であってもよく、複数層であってもよい。

第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを構成する樹脂としては、被着体に対して接着性を示すものであれば特に限定されず、例えば、熱可塑性樹脂、硬化性樹脂などが挙げられ、硬化性樹脂としては、熱硬化性樹脂、エネルギー線硬化型樹脂などが挙げられる。熱可塑性樹脂と硬化性樹脂とは混合して使用することもできる。

熱可塑性樹脂は、熱接着性を有するものであってもよいし、感圧接着性を有するものであってもよい。第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂが熱可塑性樹脂を含むことにより、フィルム状封止材１Ｂを被着体に強固に接着させることができるとともに、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂと水蒸気バリア性樹脂層１２との密着性も向上する。

熱可塑性樹脂としては、例えば、ゴム系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリウレタン系樹脂、ポリエステルウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、アミド系樹脂、スチレン系樹脂、シラン系樹脂等が挙げられる。ポリオレフィン系樹脂は、変性したものであってもよく、例えば酸変性ポリオレフィン系樹脂およびシラン変性ポリオレフィン系樹脂が挙げられる。これらの中でもゴム系樹脂、酸変性ポリオレフィン系樹脂またはシラン変性ポリオレフィン系樹脂が好ましい。熱可塑性樹脂がゴム系樹脂、酸変性ポリオレフィン系樹脂またはシラン変性ポリオレフィン系樹脂であることで、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂは、特にガラス板やガスバリアフィルム等の被着体に対して、より高い接着力を示す。また、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂと、水蒸気バリア性樹脂層１２との密着性にも優れる。なお、上記熱可塑性樹脂は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。

ゴム系樹脂としては、例えば、天然ゴム、天然ゴムに（メタ）アクリル酸アルキルエステル、スチレンおよび（メタ）アクリロニトリルから選ばれる１種又は２種以上の単量体をグラフト重合させた変性天然ゴム、ポリイソブチレン系樹脂、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、イソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体（ＳＢＲ）、スチレン−イソプレン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエンの共重合体（ニトリルゴム）、メタクリル酸メチル−ブタジエン共重合体、ウレタンゴム、スチレン−１，３−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、エチレン−プロピレン−非共役ジエン三元共重合体等が挙げられる。これらのゴム系化合物は１種を単独で、あるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、ゴム系樹脂としては、ポリイソブチレン系樹脂を含むものが好ましい。

ポリイソブチレン系樹脂は、モノマー成分としてイソブチレンを含む重合体（共重合体の概念を含む）をいい、モノマー成分がイソブチレンのみからなる単独重合体であってもよいし、モノマー成分としてイソブチレンと他のモノマーを重合して得られる共重合体であってもよい。ポリイソブチレン系樹脂は、一部を臭素化又は塩素化したハロゲン化ポリイソブチレン系樹脂であってもよく、一部を水酸基、カルボキシル基等の官能基で置換したものであってもよい。

上記他のモノマーとしては、例えば、イソプレン、ｎ−ブテン、ブタジエン、イソプレン、スチレン等が挙げられる。他のモノマーは単独で又は２種以上を併用して用いてもよい。なお、ポリイソブチレン系樹脂が共重合体である場合は、原料モノマー中、イソブチレンは主成分として最大量のモノマーである。

上記の中でも、ポリイソブチレン系樹脂は、水蒸気バリア性に優れるという点から、モノマー成分がイソブチレンのみからなる単独重合体、モノマー成分としてイソブチレンとイソプレンとを重合して得られるイソブチレン−イソプレン共重合体であることが好ましい。

接着性樹脂層に用いるゴム系樹脂の数平均分子量は、通常１０万〜５００万、好ましくは１０万〜３００万、より好ましくは１０万〜１００万である。

ゴム系樹脂は、市販品を用いることもできる。市販品としては、例えば、ＥｘｘｏｎＢｕｔｙｌ（日本ブチル社製）、Ｖｉｓｔａｎｅｘ（Ｅｘｘｏｎ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．製）、Ｈｙｃａｒ（登録商標）（Ｇｏｏｄｒｉｃｈ社製）、Ｏｐｐａｎｏｌ（登録商標）（ＢＡＳＦ社製）、エポール（登録商標）（出光興産社製）等が挙げられる。

ポリオレフィン系樹脂（変性していないポリオレフィン系樹脂）とは、重合体を構成するモノマー成分としてオレフィンを含む重合体（共重合体の概念を含む）をいい、モノマー成分がオレフィンのみからなる重合体であってもよいし、モノマー成分としてオレフィンおよび他のモノマーを含む重合体（共重合体）であってもよい。

上記オレフィンとしては、炭素数２〜８のα−オレフィンが好ましく、例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン、イソブチレン、１−ヘキセン等が挙げられる。中でもエチレンおよびプロピレンが好ましく、特にエチレンが好ましい。上記他のモノマーとしては、本実施形態に係るフィルム状封止材１Ｂの目的を阻害しない限り特に限定されず、例えば、酢酸ビニル、（メタ）アクリル酸エステル等が挙げられる。

上記ポリオレフィン系樹脂としては、具体的には、超低密度ポリエチレン（ＶＬＤＰＥ，密度：８８０ｋｇ／ｍ^３以上、９１０ｋｇ／ｍ^３未満）、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ，密度：９１０ｋｇ／ｍ^３以上、９１５ｋｇ／ｍ^３未満）、中密度ポリエチレン（ＭＤＰＥ，密度：９１５ｋｇ／ｍ^３以上、９４２ｋｇ／ｍ^３未満）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ，密度：９４２ｋｇ／ｍ^３以上）、直鎖状低密度ポリエチレン等のポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）、エチレン−プロピレン共重合体、オレフィン系エラストマー（ＴＰＯ）、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体などが挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。上記の中でも、超低密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン等のポリエチレン樹脂、エチレン−プロピレン共重合体またはオレフィン系エラストマー（ＴＰＯ）が好ましく、特に超低密度ポリエチレンが好ましい。

酸変性ポリオレフィン系樹脂とは、酸でグラフト変性したポリオレフィン系樹脂を意味し、例えば、ポリオレフィン系樹脂に不飽和カルボン酸を反応させ、カルボキシル基を導入（グラフト変性）したものが挙げられる。なお、本明細書において、不飽和カルボン酸とは、カルボン酸無水物の概念を含み、カルボキシル基とは、無水カルボキシル基の概念を含むものである。

上記ポリオレフィン系樹脂に反応させる不飽和カルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、グルタコン酸、テトラヒドロフタル酸、アコニット酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水グルタコン酸、無水シトラコン酸、無水アコニット酸、ノルボルネンジカルボン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物等が挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。上記の中でも、特に接着力に優れる無水マレイン酸が好ましい。

上記酸変性ポリオレフィン系樹脂としては、無水マレイン酸変性ポリオレフィン系樹脂が好ましく、特に無水マレイン酸変性ポリエチレン樹脂が好ましい。

ポリオレフィン系樹脂に反応させる不飽和カルボン酸の量としては、ポリオレフィン系樹脂１００質量部に対して、０．１〜５質量部であることが好ましく、特に０．２〜３質量部であることが好ましく、さらには０．２〜１．０質量部であることが好ましい。反応させる不飽和カルボン酸の量が上記の範囲にあることで、得られる酸変性ポリオレフィン系樹脂は、接着力に優れる。

酸変性ポリオレフィン系樹脂は、ビカット軟化点が９０℃以下であることが好ましく、特に３０〜７０℃であることが好ましく、さらには３０〜６０℃であることが好ましい。ビカット軟化点が上記範囲であると、室温においては接着性が発現しないため、フィルム状封止材１Ｂの取扱性に優れ、また、比較的短時間での熱圧着で接着が可能となるため、有機ＥＬ素子を有する表示装置用モジュールや、電子ペーパー、有機薄膜太陽電池等の電子デバイスを効率よく製造することが出来る。なお、ビカット軟化点は、ＡＳＴＭ Ｄ１５２５に基づいて測定した値とする。

酸変性ポリオレフィン系樹脂は、１９０℃、荷重２０．２Ｎにおけるメルトフローレート（ＭＦＲ）が、０．５〜３０ｇ／１０分であることが好ましく、特に１〜１５ｇ／１０分であることが好ましく、さらには２〜１０ｇ／１０分であることが好ましい。第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを押出成形により形成する場合、ＭＦＲが０．５ｇ／１０分未満であると、押出成形が困難となるおそれがあり、ＭＦＲが３０ｇ／１０分を超えると、押出成形により製膜した際に、厚み精度が低下するおそれがある。なお、本明細書におけるＭＦＲは、ＡＳＴＭＤ１２３８に基づいて測定した値とする。

酸変性ポリオレフィン系樹脂は、市販品を用いることもできる。市販品としては、例えば、アドマー（登録商標）（三井化学社製）、ＢｏｎｄｙＲａｍ（Ｐｏｌｙｒａｍ社製）、ｏｒｅｖａｃ（登録商標）（ＡＲＫＥＭＡ社製）、モディック（登録商標）（三菱化学社製）等が挙げられる。

シラン変性ポリオレフィン系樹脂とは、ポリオレフィン系樹脂に不飽和シラン化合物を反応させることにより、ポリオレフィン系樹脂をグラフト変性したものである。シラン変性ポリオレフィン系樹脂は、特に被着体がガラス板の場合に強固に接着することができる。

シラン変性ポリオレフィン系樹脂のポリオレフィン系樹脂としては、前述の酸変性ポリオレフィン系樹脂で例示したポリオレフィン系樹脂が挙げられる。

シラン変性ポリオレフィン系樹脂は、シラン変性ポリエチレン樹脂およびシラン変性エチレン−酢酸ビニル共重合体が好ましく、特に、シラン変性低密度ポリエチレン、シラン変性超低密度ポリエチレン、シラン変性直鎖状低密度ポリエチレン等のシラン変性ポリエチレン樹脂が好ましい。

上記ポリオレフィン系樹脂に反応させる不飽和シラン化合物としては、ビニルシラン化合物が好ましく、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリプロポキシシラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、ビニルトリブトキシシラン、ビニルトリペンチロキシシラン、ビニルトリフェノキシシラン、ビニルトリベンジルオキシシラン、ビニルトリメチレンジオキシシラン、ビニルトリエチレンジオキシシラン、ビニルプロピオニルオキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリカルボキシシラン等が挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。

ポリオレフィン系樹脂に反応させる不飽和シラン化合物の量としては、ポリオレフィン系樹脂１００質量部に対して、０．１〜１０質量部であることが好ましく、特に０．３〜７質量部であることが好ましく、さらには０．５〜５質量部であることが好ましい。反応させる不飽和シラン化合物の量が上記の範囲にあることで、得られるシラン変性ポリオレフィン系樹脂は、接着力に優れる。

シラン変性ポリオレフィン系樹脂は、１９０℃、荷重２０．２Ｎにおけるメルトフローレート（ＭＦＲ）が、０．５〜３０ｇ／１０分であることが好ましく、特に０．５〜１５ｇ／１０分であることが好ましく、さらには０．５〜１０ｇ／１０分であることが好ましい。第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを押出成形により形成する場合、ＭＦＲが０．５ｇ／１０分未満であると、押出成形が困難となるおそれがあり、ＭＦＲが３０ｇ／１０分を超えると、押出成形により製膜した際に、厚み精度が低下するおそれがある。

シラン変性ポリオレフィン系樹脂は、市販品を用いることもできる。市販品としては、例えば、リンクロン（登録商標）（三菱化学社製）等が挙げられ、中でも、低密度ポリエチレン系のリンクロン、直鎖状低密度ポリエチレン系のリンクロン、超低密度ポリエチレン系のリンクロン、およびエチレン−酢酸ビニル共重合体系のリンクロンを好ましく使用することができる。

また、上記熱可塑性樹脂は、金属カチオンにより分子間を結合させたアイオノマーであってもよい。アイオノマーとしては、例えば、オレフィン系アイオノマー、ウレタン系アイオノマー、スチレン系アイオノマー、フッ素系アイオノマー等が挙げられる。これらの中でも、シクロオレフィン系樹脂を含有する水蒸気バリア性樹脂層１２との密着性に優れるという点で、オレフィン系アイオノマーを用いることが好ましい。オレフィン系アイオノマーとしては、例えば、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−フマル酸共重合体、エチレン−マレイン酸共重合体、エチレン−マレイン酸モノメチル共重合体、エチレン−マレイン酸モノエチル共重合体等のオレフィン系樹脂の分子間を金属イオンで結合したものが挙げられる。金属イオンの金属としては、例えば、ナトリウム、リチウム等のアルカリ金属、亜鉛、マグネシウム、カルシウム等のアルカリ土類金属のような多価金属などが挙げられる。アイオノマーは、１種を単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

熱可塑性樹脂を使用する場合、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂは、熱可塑性樹脂を６０〜１００質量％含有することが好ましく、特に７０〜１００質量％含有することが好ましく、さらには８０〜１００質量％含有することが好ましい。

また、熱可塑性樹脂は、後述する硬化性樹脂とブレンドしてもよい。熱可塑性樹脂と硬化性樹脂とのブレンド質量比は、９９：１〜１：９９であることが好ましく、１０：９０〜９０：１０であることがより好ましく、２０：８０〜８０：２０であることが特に好ましく、さらには３０：７０〜７０：３０であることが好ましい。

硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂、ユリア系樹脂、メラミン系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂およびウレタン系樹脂を使用することができる。これらの硬化性樹脂は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。

エポキシ系樹脂としては、例えば、１官能性エポキシ化合物、２官能性エポキシ化合物、３官能以上の多官能性エポキシ化合物、エポキシ基を有するポリマーまたはオリゴマー、およびエポキシ基を有するビニルモノマーと、他のビニルモノマーなどとの共重合体ポリマーまたはオリゴマーを使用することができる。これらのエポキシ系樹脂は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。

硬化性樹脂を使用する場合、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂは、硬化性樹脂を６０〜１００質量％含有することが好ましく、特に７０〜１００質量％含有することが好ましく、さらには８０〜１００質量％含有することが好ましい。

第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂは、上記樹脂以外に、所望により、例えば粘着付与剤、紫外線吸収剤、紫外線安定剤、帯電防止剤、顔料、難燃剤、可塑剤、滑剤、ブロッキング防止剤、分散剤、フィラー、架橋剤（硬化剤；エポキシ系樹脂等の硬化性樹脂を使用する場合）、シランカップリング剤、吸湿剤等の各種添加剤等を含有してもよい。特に、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂがゴム系樹脂を含む場合、粘着付与剤を含むことが好ましい。粘着付与剤としては、例えば、ロジン系樹脂、ポリテルペン系樹脂等の天然樹脂、Ｃ５系、Ｃ９系、ジシクロペンタジエン系等の石油樹脂、クマロンインデン樹脂、キシレン樹脂等の合成樹脂などが挙げられる。

第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂの水蒸気透過率は、５０μｍの厚さにて測定した場合に３０ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましく、特に２５ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましく、さらには２０ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましい。接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂの水蒸気透過率が３０ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることで、接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂの端面からの水蒸気浸入速度を低下させ易くなり、接着性樹脂層を設ける場合に、水分が接着性樹脂層を移動して電子素子に到達することを防ぐことができ、より高い水蒸気バリア性を有するフィルム状封止材１Ｂを得ることができる。

第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂの厚さ（１層）は、それぞれ１〜１００μｍであることが好ましく、特に３〜８０μｍであることが好ましく、さらには５〜５０μｍであることが好ましい。第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂの厚さが１μｍ以上であることで、十分な接着性が得られる。一方、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂの厚さが１００μｍ以下であることで、フィルム状封止材１Ｂの厚さを薄く維持することができる。

なお、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂの材料、厚さ等は、それぞれ同じであってもよいし、異なっていてもよい。

（３）フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの物性等
フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの厚さは、７〜５００μｍであることが好ましく、特に１５〜４００μｍであることが好ましく、さらには２０〜２００μｍであることが好ましい。フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの厚さが７μｍ以上であることで、十分な水蒸気バリア性と接着性を得ることができる。一方、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの厚さが５００μｍ以下であることで、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの厚さを薄く維持することができ、例えば電子デバイスに使用したときでも、電子デバイスの厚さが厚くなり過ぎることを回避できる。

フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの水蒸気透過率は、５０μｍの厚さのフィルム状封止材１Ａ，１Ｂにて測定した場合に、２０ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましく、特に１５ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましく、さらには１０ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましい。フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの水蒸気透過率が２０ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であると、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの端面からの水蒸気の浸入が効果的にブロックされ、さらにフィルム状封止材１Ａ，１Ｂの主面からの厚さ方向の水蒸気の浸入も抑制されるため、水分が封止対象物に到達することが防止・抑制され、封止対象物が水分の悪影響を受け難くなる。本実施形態に係るフィルム状封止材１Ａ，１Ｂでは、水蒸気バリア性樹脂層が高い水蒸気バリア性を有する主材Ｍを含み、さらに水蒸気バリア性樹脂層が吸湿剤を含有することにより、上記のような水蒸気透過率を達成することができる。

フィルム状封止材１Ａ，１Ｂは、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの最外層のいずれか一方の面を無アルカリガラスに１２０℃で貼り合わせた際の接着力が、１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、特に３Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、さらには５Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。接着力が１Ｎ／２５ｍｍ以上であることで、封止対象物を確実に封止し、ガラス板やガスバリアフィルム等の被着体との間で、浮きや剥がれ等が発生することを防止することができる。なお、接着力の測定方法は、後述する試験例に示す通りである。

（４）フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの製造方法
水蒸気バリア性樹脂層１２（水蒸気バリア性樹脂フィルム）を形成する方法としては、特に限定されず、水蒸気バリア性樹脂層１２を構成する樹脂と吸湿剤との混合物を、溶融押出法、カレンダー法、乾式法、溶液法などによりフィルム化する方法が例示される。溶液法の場合には、水蒸気バリア性樹脂層１２を構成する樹脂および吸湿剤を有機溶剤に溶解した溶液を、公知の塗布方法により塗布し、得られた塗膜を適宜乾燥することで水蒸気バリア性樹脂層１２形成すればよい。

第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂ（第１の接着性樹脂フィルム，第２の接着性樹脂フィルム）を形成する方法としては、特に限定されず、溶融押出法、カレンダー法、乾式法、溶液法などが例示される。溶液法の場合には、上述した樹脂を有機溶剤に溶解した溶液を、公知の塗布方法により塗布し、得られた塗膜を適宜乾燥することで各層を形成すればよい。

第２の実施形態に係る、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを有するフィルム状封止材１Ｂは、常法によって製造することができる。例えば、第１の接着性樹脂層１１Ａと、水蒸気バリア性樹脂層１２と、第２の接着性樹脂層１１Ｂとを、その順で積層されるように共押出成形する方法、第１の接着性樹脂層１１Ａとしての単層のフィルム（第１の接着性樹脂フィルム）および第２の接着性樹脂層１１Ｂとしての単層のフィルム（第２の接着性樹脂フィルム）をそれぞれ用意し、第１の接着性樹脂フィルムに水蒸気バリア性樹脂層１２を形成した後、当該水蒸気バリア性樹脂層１２に第２の接着性樹脂フィルムを積層する方法、水蒸気バリア性樹脂層１２としての単層のフィルム（水蒸気バリア性樹脂フィルム）を用意し、その水蒸気バリア性樹脂フィルムの両面に、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを形成する方法、第１の接着性樹脂フィルムと、水蒸気バリア性樹脂フィルムと、第２の接着性樹脂フィルムとを用意し、それら３枚の樹脂フィルムをその順で重ねて積層する方法などの方法によって、フィルム状封止材１Ｂを製造することができる。また、剥離シート上に、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを形成し、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂ付きの剥離シートをそれぞれ用意し、あらかじめ用意した水蒸気バリア性樹脂フィルムの両面に、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂ付きの剥離シートを積層する方法によって、フィルム状封止材１Ｂを製造することもできる。なお、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂのどちらか一方のみを有するフィルム状封止材１Ｂについても、上記の方法に倣って製造することができる。

第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂ（第１の接着性樹脂フィルム、第２の接着性樹脂フィルム）と水蒸気バリア性樹脂層１２（水蒸気バリア性樹脂フィルム）とを積層する際には、加熱しながら積層してもよい。加熱温度は、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂ（第１の接着性樹脂フィルム，第２の接着性樹脂フィルム）が軟化する温度以上であることが好ましい。

（５）フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの用途
本実施形態に係るフィルム状封止材１Ａ，１Ｂは、水蒸気バリア性に非常に優れるため、種々のものの封止に使用することができ、特に電子デバイスにおける電子素子の封止に好適に使用することができる。具体的には、液晶素子、発光ダイオード（ＬＥＤ素子）、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子等を有する表示装置用モジュール、電子ペーパー、太陽電池モジュールなどが挙げられる。中でも、有機ＥＬ素子を有する表示装置用モジュール（有機ＥＬモジュール）や電子ペーパーにおいては、高い水蒸気バリア性が求められているため、本実施形態に係るフィルム状封止材１Ａ，１Ｂを好適に使用することができる。

〔封止シート〕
図３は、第２の実施形態に係るフィルム状封止材１Ｂを備えた、本実施形態に係る封止シート２の概略断面図である。この封止シート２は、フィルム状封止材１Ｂの他に、フィルム状封止材１Ｂの片面に積層されたガスバリアフィルム２１を備える。なお、本実施形態に係る封止シート２は、図３に示されるものに限らず、第２の実施形態に係るフィルム状封止材１Ｂの代わりに、第１の実施形態に係るフィルム状封止材１Ａを備えたものであってよい。すなわち、図３の封止シート２から、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂが除去されたものであってよい。さらに、本実施形態に係る封止シートは、図３の封止シート２から、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂのいずれか一方が除去されたものであってよい。

ガスバリアフィルム２１は、水蒸気、酸素等のガスを透過させ難い特性を有するフィルムである。封止シート２の適用対象に応じて、ガスバリアフィルム２１は透明である必要がある。ガスバリアフィルム２１としては、基材フィルムとガスバリア層との積層体が好ましい。このようなガスバリアフィルム２１としては、例えば、基材フィルムの片面または両面に、直接またはその他の層を介してガスバリア層を形成したもの、基材フィルムの中間にガスバリア層を設けたものなどを使用することができる。

基材フィルムとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリメタクリル酸メチル等のアクリル系樹脂、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、エチレン酢酸ビニル共重合体、ＡＢＳ樹脂、アイオノマー樹脂などの樹脂からなるフィルム、またはそれらの積層フィルム等が挙げられる。それらの中でも、強度の観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレートなどからなるフィルムが好ましい。基材フィルムは、延伸フィルムであってもよいし、無延伸フィルムであってもよい。また、基材フィルムは、紫外線吸収剤等の各種添加剤を含んだものであってもよい。

基材フィルムの厚さは、１〜５００μｍであることが好ましく、特に５〜３００μｍであることが好ましく、さらには１０〜１００μｍであることが好ましい。

ガスバリア層は、基材フィルムにガスバリア性を付与することを目的として積層される。ガスバリア層の材料としては、ガスバリアフィルム２１のガスバリア性を所望のレベルにすることができるものであれば、特に限定されることはない。ガスバリア層の材料としては、例えば、ポリシラザン化合物、ポリカルボシラン化合物、ポリシラン化合物、ポリオルガノシロキサン化合物、テトラオルガノシラン化合物等のケイ素化合物、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズ等の無機酸化物、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の無機窒化物、酸化窒化ケイ素等の無機酸化窒化物等、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛、スズ等の金属などが挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。

ガスバリア層の厚さは、１ｎｍ〜１０μｍであることが好ましく、１０〜１０００ｎｍであることがより好ましく、２０〜５００ｎｍであることが特に好ましく、５０〜２００ｎｍであることがさらに好ましい。

ガスバリア層は、単層であってもよく、複数層であってもよいが、より高いガスバリア性が得られるという観点から、ガスバリア層は複数層であることが好ましい。

ガスバリア層を形成する方法は、使用する材料に応じて適宜選択すればよい。例えば、上記ガスバリア層の材料を、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、熱ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法等により基材フィルム上に形成する方法、あるいは上記ガスバリア層の材料を有機溶剤に溶解した溶液を、基材フィルムに塗布し、得られた塗膜に対してプラズマイオン注入する方法などが挙げられる。プラズマイオン注入にて注入されるイオンとしては、例えば、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン等の希ガス、フルオロカーボン、水素、窒素、酸素、二酸化炭素、塩素、フッ素、硫黄等のイオン；金、銀、銅、白金、ニッケル、パラジウム、クロム、チタン、モリブデン、ニオブ、タンタル、タングステン、アルミニウム等の金属のイオンなどが挙げられる。

ガスバリアフィルム２１の水蒸気透過率は、４０℃、９０％ＲＨにおいて、０．５ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましく、特に０．１ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましく、さらには０．０５ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）以下であることが好ましい。

封止シート２を製造するには、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂとガスバリアフィルム２１とを重ね合わせて積層すればよい。本実施形態に係るフィルム状封止材１Ａ，１Ｂでは、水蒸気バリア性樹脂層１２自身が接着性を有するか、または、フィルム状封止材１Ｂが接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを有するため、ガスバリアフィルム２１と強固に接着する。したがって、封止シート２を用いて電子デバイス等の封止をした場合に、ガスバリアフィルム２１とフィルム状封止材１Ａ，１Ｂとの間に水蒸気が浸入することを効果的に防止することができる。なお、ガスバリアフィルム２１がその片面にガスバリア層を有する場合、ガスバリア層がフィルム状封止材１Ａ，１Ｂ側となるように、ガスバリアフィルム２１とフィルム状封止材１Ａ，１Ｂとを積層することが好ましい。

フィルム状封止材１Ａ，１Ｂとガスバリアフィルム２１とを積層する際には、加熱しながら積層してもよい。加熱温度は、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの接着性樹脂層１１が軟化する温度以上であることが好ましい。

本実施形態に係る封止シート２は、前述したフィルム状封止材１Ａ，１Ｂの用途と同様の用途に用いることができ、特に、高い水蒸気バリア性が求められる有機ＥＬ素子等を有する表示装置用モジュール、電子ペーパー、太陽電池モジュールなどの電子デバイスにおける電子素子の封止に好適に使用することができる。封止シート２を用いて封止を行う場合、ガスバリアフィルム２１が積層された側とは反対側の面（図３中では第２の接着性樹脂層１１Ｂ）を被着体に貼り合わせることで、封止することができる。

〔電子デバイス〕
本発明の一実施形態に係る電子デバイスは、上述した実施形態に係るフィルム状封止材１Ａ，１Ｂによって封止されている。本実施形態に係る電子デバイス３Ａは、具体的には、図４に示すように、基板３１と、基板３１上に形成された電子素子３２と、電子素子３２を封止するフィルム状封止材１Ｂと、フィルム状封止材１Ｂの電子素子３２とは反対側に積層された封止部材３３とを備える。封止部材３３としては、特に制限はなく、例えばガラス板等が挙げられる。

また、本発明の他の実施形態に係る電子デバイスは、上述した実施形態に係る封止シート２によって封止されている。本実施形態に係る電子デバイス３Ｂは、具体的には、図５に示すように、基板３１と、基板３１上に形成された電子素子３２と、電子素子３２を封止する封止シート２とを備える。なお、封止シート２は、フィルム状封止材１Ｂと、このフィルム状封止材１Ｂの片面に積層されたガスバリアフィルム２１との積層体である。

なお、本実施形態に係る電子デバイスは、図４および５に示されるものに限らず、第２の実施形態に係るフィルム状封止材１Ｂの代わりに、第１の実施形態に係るフィルム状封止材１Ａを備えたものであってよい。すなわち、図４または５の電子デバイス３Ａ，３Ｂから、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂが除去されたものであってよい。さらに、本実施形態に係る電子デバイスは、図４または５の電子デバイス３Ａ，３Ｂから、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂのいずれか一方が除去されたものであってよい。

これらの電子デバイス３Ａ，３Ｂは、例えば、電子素子３２として液晶素子、ＬＥＤ素子、有機ＥＬ素子等を有する表示装置用モジュール、電子素子３２として電気泳動型素子、電子粉粒体型素子、コレステリック液晶素子等を有する電子ペーパー、電子素子３２として太陽電池セルを有する太陽電池モジュールなどであるが、これらに限定されるものではない。また、電子デバイス３Ａ，３Ｂは、トップエミッション型の電子デバイスであってもよいし、ボトムエミッション型の電子デバイスであってもよい。例えば、電子デバイス３Ａ，３Ｂがボトムエミッション型のデバイスである場合には、基板３１は、透明基板であることが好ましい。また、電子デバイス３Ａ，３Ｂがトップエミッション型の電子デバイスである場合には、封止部材３３およびガスバリアフィルム２１は、透明であることが好ましい。

基板３１としては、電子デバイス３Ａ，３Ｂの種類に応じて適宜選択されるが、例えば、ガラス板や基材フィルムが好ましく挙げられる。ガラス板の材料としては、例えば、無アルカリガラス、ソーダライムガラス、鉛ガラス、アルミノケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、バリウムホウケイ酸ガラス、バリウム・ストロンチウム含有ガラス、石英等からなる無機ガラス、ハイブリッドガラス等が挙げられる。基材フィルムとしては、例えば、ガスバリアフィルム２１で例示したものが挙げられる。

基板３１の厚さは、電子デバイス３Ａ，３Ｂの種類に応じて適宜設定される。

電子デバイス３Ａを製造する方法は特に限定されない。例えば、まず常法によって基板３１上に電子素子３２を形成する。その後、当該電子素子３２を覆うようにして、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂを載置し、さらにフィルム状封止材１Ａ，１Ｂの上にガラス板等の封止部材３３を載置し、それらを貼り合わせ、電子素子３２を封止することで電子デバイス３Ａを製造することができる。なお、あらかじめ、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂと封止部材３３とを貼り合わせた積層体を得て、この積層体を電子素子３２と貼り合わせて電子デバイス３Ａを製造してもよい。

一方、電子デバイス３Ｂを製造する方法についても特に限定されない。例えば、基板３１上に形成された電子素子３２を覆うようにして、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂが電子素子３２側となるように封止シート２を載置し、それらを貼り合わせ、電子素子３２を封止することで電子デバイス３Ｂを製造することができる。

封止は、常圧で行ってもよいし、減圧雰囲気で行ってもよく、またはこれらを組み合わせて行ってもよい。また、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂと電子素子３２とを貼り合わせる際には、加熱してもよい。加熱することにより、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂと電子素子３２、基板３１、および封止部材３３またはガスバリアフィルム２１とが強固に接着する。

貼り合わせる時の加熱温度は、通常、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂおよび水蒸気バリア性樹脂層１２が軟化する温度以上であることが好ましい。

本実施形態に係る電子デバイス３Ａ，３Ｂにおいては、電子素子３２が、水蒸気浸入速度が制御された本実施形態に係るフィルム状封止材１Ａ，１Ｂで覆われているため、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂの端面からの水蒸気の浸入が効果的にブロックされて、水分が電子素子３２に到達することが防止・抑制されるため、電子素子３２が水分の悪影響を受け難いものとなっている。また、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂは、水蒸気バリア性樹脂層１２が接着性を有するか、または第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ａを備えているため、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂと基板３１、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂと電子素子３２、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂと封止部材３３、フィルム状封止材１Ａ，１Ｂとガスバリアフィルム２１とは強固に接着し、それらの間で浮きや剥がれ等が発生したり、それらの間に水蒸気が浸入したりすることが防止・抑制されている。

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。

〔実施例１〕
＜フィルム状封止材の作製＞
表１に示す接着性樹脂層および水蒸気バリア性樹脂層を構成する材料を、押出機（東洋精機製作所社製）によって共押出成形し、厚さ５μｍの第１の接着性樹脂層と、厚さ４０μｍの水蒸気バリア性樹脂層と、厚さ５μｍの第２の接着性樹脂層とをその順で積層してなるフィルム状封止材を製造した。

＜封止シートの作製＞
得られたフィルム状封止材と、アルミニウム箔を有するガスバリアフィルム（厚み７μｍのアルミニウム箔の片面に、厚み１２μｍのポリエチレンテレフタレートシートをウレタン系接着剤層で接着した積層フィルム，アジヤアルミ社製）のアルミニウム箔面とを、１２０℃で加熱しながら貼り合わせて、封止シートを得た。

＜ボトムエミッション型の電子デバイスの製造＞
下記の方法により、ガラス基板上に陽極、発光層および陰極をこの順で積層し、電子素子（有機ＥＬ素子）を形成した。

まず、ガラス基板の表面に酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）膜（厚さ：１５０ｎｍ、シート抵抗：３０Ω／□）をスパッタリング法により形成し、次いで、溶媒洗浄およびＵＶ／オゾン処理を行うことで陽極を作製した。

得られた陽極（ＩＴＯ膜）上に、Ｎ，Ｎ’−ビス（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ’−ビス（フェニル）−ベンジデン（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を６０ｎｍ、トリス（８−ヒドロキシ−キノリネート）アルミニウム（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を４０ｎｍ、２，９−ジメチル−４，７−ジフェニル−１，１０−フェナントロリン（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を１０ｎｍ、（８−ヒドロキシ−キノリノレート）リチウム（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を１０ｎｍ、０．１〜０．２ｎｍ／ｓの速度で順次蒸着させ、発光層を形成した。

得られた発光層上に、アルミニウム（Ａｌ）（高純度化学研究所社製）を０．１ｎｍ／ｓの速度で１００ｎｍ蒸着させて陰極を形成し、有機ＥＬ素子を得た。なお、蒸着時の真空度は、全て１×１０^−４Ｐａ以下であった。

次いで、上記封止シートを、窒素雰囲気下で、ホットプレートを用いて１２０℃で３０分間加熱して、封止シート中に含まれる水分を除去した後、そのまま放置して室温まで冷却した。そして、ガラス基板上に形成された有機ＥＬ素子を覆うように、フィルム状封止材が有機ＥＬ素子側になるように封止シートを載置し、封止シートの端部から有機ＥＬ素子までの距離が５ｍｍとなるように調整した。それらを１００℃で加熱しながら貼り合わせて、有機ＥＬ素子を封止し、ボトムエミッション型の電子デバイスを得た。

〔実施例２〕
接着性樹脂層および水蒸気バリア性樹脂層を構成する材料を表１に示すように変更する以外、実施例１と同様にしてフィルム状封止材を製造した。このフィルム状封止材を使用して、実施例１と同様にして封止シートを作製し、ボトムエミッション型の電子デバイスを得た。

〔実施例３〕
表１に示す水蒸気バリア性樹脂層を構成する材料を含む塗液を剥離シート上に塗布し、１００℃で２分間乾燥させ、その上に剥離シートを貼り合わせて、厚さ２０μｍの水蒸気バリア性樹脂層を得て、これをフィルム状封止材とした。このフィルム状封止材を使用して、実施例１と同様にして封止シートを作製し、ボトムエミッション型の電子デバイスを得た。

〔比較例１〜３〕
接着性樹脂層および水蒸気バリア性樹脂層を構成する材料を表１に示すように変更する以外、実施例１と同様にしてフィルム状封止材を製造した。このフィルム状封止材を使用して、実施例１と同様にして封止シートを作製し、ボトムエミッション型の電子デバイスを得た。

〔比較例４〕
水蒸気バリア性樹脂層を構成する材料を表１に示すように変更する以外、実施例３と同様にしてフィルム状封止材を製造した。このフィルム状封止材を使用して、実施例１と同様にして封止シートを作製し、ボトムエミッション型の電子デバイスを得た。

なお、表１に記載の略号等の詳細は以下の通りである。
［接着性樹脂層］
・Ａｄｍｅｒ ＳＦ７３１：無水マレイン酸変性ポリエチレン（三井化学社製，商品名「Ａｄｍｅｒ ＳＦ７３１」，ビカット軟化点４３℃）
［水蒸気バリア性樹脂層］
・ＴＯＰＡＳ９５０６Ｆ−０４：上記構造式（ａ）で示されるシクロオレフィン重合体（ポリプラスチックス社製，商品名「ＴＯＰＡＳ９５０６Ｆ−０４」，ガラス転移温度６５℃）
・Ｅｘｘｏｎ Ｂｕｔｙｌ ３６５：イソブチレン系樹脂（エクソンモービル社製，商品名「Ｅｘｘｏｎ Ｂｕｔｙｌ ３６５」）
・Ａｄｍｅｒ ＳＦ７３１：無水マレイン酸変性ポリエチレン（三井化学社製，商品名「Ａｄｍｅｒ ＳＦ７３１」，ビカット軟化点４３℃）
・酸化カルシウム：酸化カルシウム（近江化学工業社製，商品名「ＣＭＬ＃３５」，平均粒径１５μｍ）
・硫酸マグネシウム：無水硫酸マグネシウム（富田製薬社製，商品名「無水硫酸マグネシウム」，平均粒径１０μｍ）
・環状アルミニウムオリゴマー：金属アシレート化合物（川研ファインケミカル社製，商品名「アルゴマー８００ＡＦ」）

〔試験例１〕（フィルム状封止材の水蒸気透過率の測定）
実施例または比較例で得られたフィルム状封止材の水蒸気透過率を測定した。具体的には、ＬＹＳＳＹ社製の透過率測定機「Ｌ８０−５０００」を用い、４０℃、９０％ＲＨの条件で測定した。測定結果から、以下の計算式を用いて、測定試料の厚さが５０μｍである場合の水蒸気透過率を算出した。結果を表１に示す。
水蒸気透過率（５０μｍ換算）＝水蒸気透過率（実測値）×（実測膜厚／５０）

〔試験例２〕（最大吸湿量の測定）
実施例または比較例で得られたフィルム状封止材の最大吸湿量を測定した。具体的には、７０ｍｍ×７０ｍｍに裁断したフィルム状封止材を７０ｍｍ×７０ｍｍのガラスに１２０℃で熱ラミネートし、測定用サンプルを得た。サンプル作製後、１時間以内に質量（ガラスおよびフィルム状封止材の合計質量）を測定した。測定後、６０℃、９０％ＲＨ環境下に静置し、質量変化がなくなるまで水分を吸湿させ、再び質量を測定し、吸湿後の質量の値から吸湿前の質量の値を差し引くことで水蒸気吸湿量を求めた。測定結果から、以下の計算式を用いて、５０μｍの厚さを有する水蒸気バリア性樹脂層における最大吸湿量（ｇ／ｍ^２）を算出した。結果を表１に示す。
最大吸湿量（５０μｍ換算）＝｛水蒸気吸湿量（実測値）／（０．０７×０．０７）｝×（５０／水蒸気バリア性樹脂層の厚み）

〔試験例３〕（接着力の測定）
実施例または比較例で得られた封止シートについて、一方の剥離シートを剥離して、露出した第１の接着性樹脂層の表面を裏打ち基材としてのポリエチレンテレフタレートシート（厚さ５０μｍ）に貼り合わせ、２５ｍｍ×３００ｍｍの大きさに裁断した。次に、他方の剥離シートを剥離し、露出した第２の接着性樹脂層の表面を被着体としてのガラス板（ソーダライムガラス，日本板硝子社製）と重ね合わせ、１２０℃で加熱しながら貼り合わせて、試験片を得た。

得られた試験片を、貼り合わせ後、２３℃、５０％ＲＨの環境下で２４時間放置した後、同環境下で、引張試験機（オリエンテック社製，テンシロン）を用いて、剥離速度３００ｍｍ／分、剥離角度１８０°の条件で剥離試験を行い、接着力（Ｎ／２５ｍｍ）を測定した。

〔試験例４〕（水蒸気浸入速度の測定）
まず、下記の方法により、ガラス基板上に金属カルシウムを蒸着し、水蒸気浸入速度評価用試験体を形成した。始めに、ガラス基板を溶媒(アセトンおよびイソプロピルアルコール)およびＵＶ／オゾン処理により洗浄した。次いで、ガラス基板上に、金属カルシウム（シグマアルドリッチ社製）を０．１〜０．２ｎｍ／ｓの速度で蒸着させた。蒸着時の真空度は、全て１×１０^−４Ｐａ以下とした。これにより、厚さ１５０ｎｍの金属カルシウムが蒸着されたガラス基板を得た。

次いで、実施例または比較例で得られた封止シートを、窒素雰囲気下で、ホットプレートを用いて１２０℃で３０分間加熱して、封止シート中に含まれる水分を除去した後、そのまま放置して室温まで冷却した。そして、ガラス基板上に形成された金属カルシウムと封止シートのフィルム状封止材の面とが接触するように、封止シートをガラス基板上に載置した。このとき、金属カルシウムの全体を封止シートで覆い、さらに、封止シートの端部から金属カルシウムまでの距離が５ｍｍとなるように調整した。その後、それらを１００℃で加熱しながら貼り合わせて、金属カルシウムを封止シートによって封止し、水蒸気浸入速度評価用試験体を得た。

得られた水蒸気浸入速度評価用試験体を、６０℃、９０％ＲＨの環境下に放置し、金属カルシウムの端部が、浸入してきた水と反応し透明になるまでの時間を計測した。測定結果から、以下の計算式を用いて、水蒸気浸入速度（μｍ／ｈ）を算出した。結果を表１に示す。
水蒸気浸入速度（μｍ／ｈ）＝封止シートの端部から金属カルシウムまでの距離（μｍ）／金属カルシウムの端部が浸入してきた水と反応し透明になるまでの時間（ｈ）

〔試験例５〕（電子デバイスの評価）
実施例または比較例で得られたボトムエミッション型の電子デバイスを、６０℃、９０％ＲＨの環境下で５００時間放置した後、有機ＥＬ素子を起動させ、非発光箇所の面積を測定し、以下の基準で評価した。結果を表１に示す。
Ａ：非発光箇所の面積が初期の発光面積の１０％未満
Ｂ：非発光箇所の面積が初期の発光面積の１０以上

表１から分かるように、実施例で得られたフィルム状封止材は、非常に遅い水蒸気浸入速度を示し、また、低い水蒸気透過率および高い接着力を示した。その結果、実施例で得られたフィルム状封止材によって封止された有機ＥＬ素子は、耐久性に優れ、非発光箇所がほとんど見られず、電子デバイスの性能が良好であった。

一方、比較例１〜４のフィルム状封止材は、速い水蒸気浸入速度を示し、電子デバイス評価において低い評価となった。

本発明に係るフィルム状封止材および封止シートは、例えば有機ＥＬモジュールや電子ペーパーに好適に用いられる。また、本発明に係る電子デバイスは、例えば有機ＥＬモジュールや電子ペーパーとして好適である。

１Ａ，１Ｂ…フィルム状封止材
１１Ａ…第１の接着性樹脂層
１１Ｂ…第２の接着性樹脂層
１２…水蒸気バリア性樹脂層
１３…端面
２…封止シート
２１…ガスバリアフィルム
３Ａ，３Ｂ…電子デバイス
３１…基板
３２…電子素子
３３…封止部材

Claims (14)

1. 水蒸気バリア性樹脂層を含む、一層または複数層から成るフィルム状封止材であって、
   前記フィルム状封止材の両面は被着体に対して接着性を示し、
   温度６０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下での前記フィルム状封止材の端面からの水蒸気浸入速度は、１０μｍ／ｈ以下であることを特徴とするフィルム状封止材。
2. 前記水蒸気バリア性樹脂層は吸湿剤を含有することを特徴とする請求項１に記載のフィルム状封止材。
3. 前記水蒸気バリア性樹脂層の一方の面側に積層され、被着体に対して接着性を示す１つの接着性樹脂層、または
   前記水蒸気バリア性樹脂層の一方の面側および他方の面側に積層され、被着体に対して接着性を示す２つの接着性樹脂層
   をさらに含むことを特徴とする請求項１または２に記載のフィルム状封止材。
4. 前記水蒸気バリア性樹脂層の厚さの割合は、前記フィルム状封止材の厚さの５０〜１００％であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のフィルム状封止材。
5. 前記水蒸気バリア性樹脂層は、ゴム系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂およびエポキシ系樹脂から成る群から選択される少なくとも１種の樹脂を含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のフィルム状封止材。
6. 前記接着性樹脂層は、ゴム系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂およびエポキシ系樹脂から成る群から選択される少なくとも１種の樹脂を含むことを特徴とする請求項３に記載のフィルム状封止材。
7. 前記吸湿剤の最大吸湿量は、５０μｍの厚さを有する前記水蒸気バリア性樹脂層が吸湿する水の量で表した場合に１．０ｇ／ｍ^２以上であることを特徴とする請求項２に記載のフィルム状封止材。
8. 前記吸湿剤は、メタロキサン結合を含む化合物であることを特徴とする請求項２に記載のフィルム状封止材。
9. 前記吸湿剤は、金属酸化物であることを特徴とする請求項２に記載のフィルム状封止材。
10. 前記吸湿剤は、水分子と反応して水和物を生成する化合物であることを特徴とする請求項２に記載のフィルム状封止材。
11. 前記フィルム状封止材のいずれか一方の表面をガラス板に１２０℃で貼り合わせた際の接着力が、１Ｎ／２５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載のフィルム状封止材。
12. 請求項１〜１１のいずれか一項に記載のフィルム状封止材と、
    前記フィルム状封止材の片面に積層されたガスバリアフィルムと
    を備えたことを特徴とする封止シート。
13. 請求項１〜１１のいずれか一項に記載のフィルム状封止材によって封止されたことを特徴とする電子デバイス。
14. 請求項１２に記載の封止シートによって封止されたことを特徴とする電子デバイス。

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