JP2006344903A - 半導体モジュール - Google Patents

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Abstract

【課題】結露の発生を防止する半導体モジュールを提供する。
【解決手段】イメージセンサモジュール2は、ベース6、CCDイメージセンサ8、ガラス板10、透湿部材11とから構成される。ベース6には載置部6aと囲繞部6bとが形成される。CCDイメージセンサ8は載置部6aに固着され、受光面8aは開口を向く。透湿部材11は開口の周囲を囲繞し、接着層20によってガラス板10とベース6とに挟まれる。透湿部材11は水を通さずに水蒸気を透過する性質を有する。CCDイメージセンサ8が熱を帯びることによって水蒸気が発生したとき、収容質12内の水蒸気は透湿部材11を介して外部に放出される。これによってガラス板10に結露が生じることを抑えることができる。
【選択図】 図2

Description

本発明は、半導体を収容した半導体モジュールに関するものである。
デジタルカメラやカメラ付き携帯電話等の撮影装置にはイメージセンサが備えられており、イメージセンサはその受光面に塵や埃が付着しないようにパッケージによって覆われてモジュール化されたイメージセンサモジュールとして装置内に組み込まれる。イメージセンサを覆うパッケージはプラスチック製、金属製、セラミック製などが多種多様であり、近年はコストの低さや加工の容易さからプラスチック製のパッケージが用いられることが多くなっている。
イメージセンサを収容するパッケージには、イメージセンサが収容される開口した収容室が形成されており、収容室内の底部には受光面を開口に向けてイメージセンサが固着される。収容室の開口は光を透過させる透光部材によって覆われ、開口の縁と透光部材とは例えばエポキシ樹脂等の接着剤によって接着される。これによって収容室は密封されて収容室内に塵や埃が侵入しないようにされ、ハイレベルな画像の取得が可能なイメージセンサモジュールが提供されていた。
特開2004−331920号公報
ところで、イメージセンサ等の半導体チップを覆うパッケージはコスト等の面からエポキシ樹脂によって形成されることが多いが、エポキシ樹脂は湿度の高い環境に長時間曝された場合、吸湿し、半導体チップを収容した収容室内に結露が発生してしまうことがあった。このような事情から特許文献1では吸水性が低く、防水性に優れた材料で構成された半導体用パッケージが紹介されている。
しかしながら、防水性に優れた材料で構成されたパッケージ内に半導体チップを収容して封止する際に水蒸気が収容室内に入ってしまった場合、この水蒸気をパッケージ外に排出する方法がなく、例えば、外気の温度が収容室内の温度に比べて低いとき収容室内で結露が発生してしまうことがあった。収容室内で結露が発生してしまうと結露によって発生した水滴によって半導体チップが短絡して壊れてしまうことがあった。また、半導体チップとしてイメージセンサを収容室内に収容している場合では、イメージセンサの受光面等に結露が生じることで画像のクオリティが低下してしまうことがあった。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、半導体チップを収容する収容室内での結露の発生を防止する半導体モジュールを提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明の半導体モジュールは、半導体チップと、半導体チップを収容するパッケージとを有し、パッケージの一部をパッケージ内部と外部との間で水蒸気を透過させる透湿部材で構成したことを特徴とする。
また、パッケージは、半導体チップが取り付けられる凹部が形成された第1部材と、第1部材に取り付けられかつ凹部を囲むように枠状に形成された透湿部材と、透湿部材に取り付けられて第1部材との間に半導体チップを収容する収容室を形成する第2部材と、から構成されることを特徴とする。
また、第2部材は光を透過する透光性材料で構成されており、半導体チップは、光を受ける受光面を有し、この受光面が前記第2部材と対面するように第1部材に配置されるイメージセンサであることを特徴とする。
本発明の半導体モジュールによれば、半導体チップと、半導体チップを収容するパッケージとを有し、パッケージの一部をパッケージ内部と外部との間で水蒸気を透過させる透湿部材で構成したことにより、パッケージ内の水蒸気を外部に放出することができる。これによってパッケージ内で結露が発生することを防ぐことができ、半導体チップの短絡を防ぐことができる。
また、パッケージは、半導体チップが取り付けられる凹部が形成された第1部材と、第1部材に取り付けられかつ凹部を囲むように枠状に形成された透湿部材と、透湿部材に取り付けられて第1部材との間に半導体チップを収容する収容室を形成する第2部材とから構成されることにより、簡便な構成によって水蒸気を外部に放出可能なパッケージを提供することができる。
また、第2部材は光を透過する透光性材料で構成されており、半導体チップは、光を受ける受光面を有し、この受光面が前記第2部材と対面するように第1部材に配置されるイメージセンサであることにより、第2部材や受光面上に結露が発生することを防ぐことができ、ハイクオリティな画像の取得の維持が可能となる。
次に本発明の実施形態について説明する。図1に示すように、半導体モジュールであるイメージセンサモジュール2は、パッケージ3と、半導体チップであるイメージセンサ8とから構成される。パッケージ3は、第1部材であるベース6、第2部材であるガラス板10、透湿部材11等から構成される。ベース6には凹部12が形成され、凹部12はCCDイメージセンサ8が取り付けられる載置部6a及び載置部6aに載置されたCCDイメージセンサ8を囲むように形成された囲繞部6bとから形成される。CCDイメージセンサ8には光を受ける受光面8aが設けられ、この受光面8aはガラス板10と対向する。透湿部材11は、内周が開口6cの大きさに合わせられた枠状に形成され、凹部12を囲むようにベース6に取り付けられる。ガラス板10は透湿部材11に取り付けられてCCDイメージセンサ8の受光面8aと対向する。なお、ベース6は、エポキシ樹脂、もしくはポリイミド樹脂等のプラスチック樹脂またはセラミック等によって形成されている。
図2に示すように、ガラス板10を透過した光はCCDイメージセンサ8の受光面8aに入射する。図示しないが、受光面8aの周囲には、受光面8aが受けた光に応じて生成された電気信号を出力するための電極が複数配列されている。ベース6には配線層18が形成されており、CCDイメージセンサ8の電極と配線層18とがボンディングワイヤ14を介して接続される。配線層18は収容室22の内側から外側まで設けられ、収容室22外の配線層18に信号処理回路に通じるリード線を接続させることで、CCDイメージセンサ8からの出力信号は信号処理回路で処理される。
ガラス板10とベース6との間には透湿部材11が挟められる。透湿部材11は微細な孔が多数設けられた高分子素材によってできており、水は通さずに水蒸気のみを通す性質を有している。透湿部材11の上側と下側には接着層20が設けられ、これによって透湿部材11にベース6とガラス板10とが接着される。ベース6に接着層20を介して透湿部材11が接着され、透湿部材11に接着層22を介してガラス板10が接着されると収容室22が形成される。収容室22内には透湿部材11の内周が面し、透湿部材11の外周は外部に面し、これによって収容室22内の水蒸気を外部に放出できるようになっている。このため、CCDイメージセンサ8やガラス板10に結露が生じることはなく、高品質な画像の取得が維持できる。なお、透湿部材としてはゴアテックス(登録商標)やエントラント(登録商標)などが好ましい。
本発明の作用について説明する。開口6c内にCCDイメージセンサが収容され、CCDイメージセンサ8の電極とベース6の配線層18とがボンディングワイヤ14によって接続された後、透湿部材11を介してガラス板10がベース6に取り付けられる。透湿部材11はゴアテックスでできており、収容室22内と外部との間で水蒸気を透過させる。これにより、例えば、収容室22内の水蒸気量が多いときには透湿部材11を介して外部に水蒸気が放出される。外部の気温が収容室22内の温度よりも低い場合でも結露が発生しにくくなる。
また、上記の実施形態では半導体チップとしてイメージセンサを用いたものを例示したが、パッケージ内に収容される半導体はこれに限らず、トランジスタやサイリスタ、ダイオード等を収容してもよい。これらの半導体チップをパッケージ内に収容することで、半導体チップを保護することができる。
また、上記の実施形態では、透湿部材11の形状は枠状であり、開口6cの周囲に接着層20を介してベース6、及びガラス板10に取り付けられたが、透湿部材の形状はこれに限らない。例えば、収容室にはイメージセンサが載置される載置部、イメージセンサの受光部と対面する透光部、載置部と透光部との間に設けられ、イメージセンサを囲繞する囲繞部とが形成されているが、このうち囲繞部の一部を透湿部材で構成することもできる。囲繞部の一部を透湿部材で構成することでも十分に収容室内の水蒸気を外部に放出することができ、結露の発生を防止することができる。
本発明のイメージセンサ用パッケージ内にCCDイメージセンサを配置したイメージセンサモジュールを分解した分解斜視図である。 イメージセンサモジュールをイメージセンサの受光面と垂直な平面で切断した断面図である。
符号の説明
2 イメージセンサモジュール(半導体モジュール)
6 ベース(第1部材)
6a 載置部
6b 囲繞部
8 CCDイメージセンサ(半導体チップ)
10 ガラス板(第2部材)
11 透湿部材
12 凹部
14 ボンディングワイヤ
20 接着層
22 収容室

Claims (3)

  1. 半導体チップと、
    前記半導体チップを収容するパッケージとを有し、
    前記パッケージの一部をパッケージ内部と外部との間で水蒸気を透過させる透湿部材で構成したことを特徴とする半導体モジュール。
  2. 前記パッケージは、前記半導体チップが取り付けられる凹部が形成された第1部材と、前記第1部材に取り付けられかつ前記凹部を囲む枠状に形成された透湿部材と、前記透湿部材に取り付けられて前記第1部材との間に前記半導体チップを収容する収容室を形成する第2部材と、から構成されることを特徴とする請求項1記載の半導体モジュール。
  3. 前記第2部材は光を透過する透光性材料で構成されており、
    前記半導体チップは、光を受ける受光面を有し、この受光面が前記第2部材と対面するように前記第1部材に配置されるイメージセンサであることを特徴とする請求項2記載の半導体モジュール。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009043893A (ja) * 2007-08-08 2009-02-26 Fujikura Ltd 半導体パッケージ及びその製造方法
JP2021167813A (ja) * 2020-04-09 2021-10-21 伊諾司生技股▲ふん▼有限公司 キャビティを備えるセンサ
WO2023033090A1 (ja) * 2021-08-31 2023-03-09 日東電工株式会社 半導体素子パッケージの製造方法及び半導体素子パッケージ

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2709150A1 (en) * 2012-09-18 2014-03-19 ABB Technology AG Humidity protection of semiconductor modules
CN113053938A (zh) * 2021-04-25 2021-06-29 苏州晶方半导体科技股份有限公司 封装结构和封装方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11176871A (ja) * 1997-10-06 1999-07-02 Toshiba Corp 光電変換装置及びその製造方法
JP2002252293A (ja) * 2001-02-26 2002-09-06 Murata Mfg Co Ltd 電子部品パッケージ構造

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT3295U1 (de) * 1998-11-06 1999-12-27 E & E Elektronik Gmbh Anordnung zur feuchtemessung
US7091605B2 (en) * 2001-09-21 2006-08-15 Eastman Kodak Company Highly moisture-sensitive electronic device element and method for fabrication
US6470594B1 (en) * 2001-09-21 2002-10-29 Eastman Kodak Company Highly moisture-sensitive electronic device element and method for fabrication utilizing vent holes or gaps
US6590157B2 (en) * 2001-09-21 2003-07-08 Eastman Kodak Company Sealing structure for highly moisture-sensitive electronic device element and method for fabrication
US6936131B2 (en) * 2002-01-31 2005-08-30 3M Innovative Properties Company Encapsulation of organic electronic devices using adsorbent loaded adhesives
US6770502B2 (en) * 2002-04-04 2004-08-03 Eastman Kodak Company Method of manufacturing a top-emitting OLED display device with desiccant structures
JP4111865B2 (ja) 2003-05-12 2008-07-02 三井化学株式会社 エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体素子収納用中空パッケージ
US7316756B2 (en) * 2004-07-27 2008-01-08 Eastman Kodak Company Desiccant for top-emitting OLED

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11176871A (ja) * 1997-10-06 1999-07-02 Toshiba Corp 光電変換装置及びその製造方法
JP2002252293A (ja) * 2001-02-26 2002-09-06 Murata Mfg Co Ltd 電子部品パッケージ構造

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009043893A (ja) * 2007-08-08 2009-02-26 Fujikura Ltd 半導体パッケージ及びその製造方法
JP2021167813A (ja) * 2020-04-09 2021-10-21 伊諾司生技股▲ふん▼有限公司 キャビティを備えるセンサ
JP7133061B2 (ja) 2020-04-09 2022-09-07 アイノス インコーポレイテッド キャビティを備えるセンサ
WO2023033090A1 (ja) * 2021-08-31 2023-03-09 日東電工株式会社 半導体素子パッケージの製造方法及び半導体素子パッケージ

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