JP2007123351A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】気密性を向上させたWLCSP実装方式の固体撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像素子3が形成された半導体基板4a上には、撮像素子3を取り囲むように枠形状のスペーサ5が接着剤9によって接合されている。スペーサ5上には、撮像素子3を封止するように、カバーガラス6が接着剤10によって接合されている。スペーサ5と半導体基板4aとの接合部、およびスペーサ5とカバーガラス6との接合部の外周を覆うように、防水性膜11が形成することで、気密性を向上させることができる。防水性膜11は、アルミニウムまたはその合金からなる金属膜とすることが好適である。
【選択図】図2
【解決手段】撮像素子3が形成された半導体基板4a上には、撮像素子3を取り囲むように枠形状のスペーサ5が接着剤9によって接合されている。スペーサ5上には、撮像素子3を封止するように、カバーガラス6が接着剤10によって接合されている。スペーサ5と半導体基板4aとの接合部、およびスペーサ5とカバーガラス6との接合部の外周を覆うように、防水性膜11が形成することで、気密性を向上させることができる。防水性膜11は、アルミニウムまたはその合金からなる金属膜とすることが好適である。
【選択図】図2
Description
本発明は、ウエハレベルチップサイズパッケージ実装方式を用いた固体撮像装置に関する。
近年、携帯機器を中心として小型化が進み、それに伴って回路基板およびその部品の小型化が要求されている。CCDイメージセンサやCMOSイメージセンサなどの固体撮像装置についても同様である。
固体撮像装置を小型化する実装方式の一つとして、チップサイズパッケージ(以下、CSPと称す)実装方式が知られている。CSP実装方式では、半導体ウエハプロセスによって多数の撮像素子が形成されたウエハを分割(以下、ダイシングと称す)し、個片化されたチップを実装基板上に実装して樹脂封止することで、チップと同等か、あるいはチップよりもわずかに大きい程度のサイズで、固体撮像装置を形成することができる。
また、CSP方式よりも更に小型化が可能な実装方式として、半導体ウエハプロセス中に撮像素子の封止まで行い、ウエハをダイシングして個片化することにより気密封止された固体撮像装置を得るウエハレベルチップサイズパッケージ(以下、WLCSPと称す)が知られている(例えば、特許文献1〜3参照)。WLCSP実装方式を用いた固体撮像装置では、チップの上面に、撮像素子を取り囲むようにスペーサが配され、このスペーサの上に、撮像素子を覆うようにカバーガラスが取り付けられている。
特開2002−231921号公報
特開2002−231919号公報
特開2004−296740号公報
上記のような従来のWLCSP実装方式の固体撮像装置では、撮像素子に水が浸入しないように、撮像素子の周囲はスペーサとカバーガラスとで気密(水密の意味も含む)に封止しなければならない。チップ、スペーサ、およびカバーガラスは、高分子材料からなる接着剤で張り合わされている。しかしながら、固体撮像装置の小型化の要請から、これらの張り合わせ領域は小さくなり、十分な気密性が確保できなくなってきている。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであって、気密性を向上させたWLCSP実装方式の固体撮像装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の固体撮像装置は、撮像素子が形成された半導体基板と、この半導体基板上に前記撮像素子を取り囲むように接着剤で接合された枠形状のスペーサと、前記撮像素子を封止するように前記スペーサ上に接着剤で接合された透明板とからなる固体撮像装置において、前記スペーサと前記半導体基板との接合部、および前記スペーサと前記透明板との接合部の外周を覆うように、防水性膜を形成したことを特徴とする。
なお、前記防水性膜は、金属膜であることが好ましい。また、前記金属膜は、アルミニウムまたはその合金からなることが好ましい。
また、前記撮像素子の外部端子は、前記スペーサによって取り囲まれた領域内に形成されており、貫通電極によって前記半導体基板の下面に引き出されていることが好ましい。
さらに、前記撮像素子の外部端子は、前記スペーサによって取り囲まれた領域外に形成されていることも好ましい。
本発明の固体撮像装置によれば、スペーサと半導体基板との接合部、およびスペーサと透明板との接合部の外周を覆うように、防水性膜が設けられているので、気密性を向上させることができる。
図1および図2において、固体撮像装置2は、WLCSP実装方式を用いており、表面に撮像素子3が設けられた矩形状のチップ4と、撮像素子3を取り囲むようにチップ4上に設けられた枠形状のスペーサ5と、このスペーサ5の上に取り付けられて撮像素子3を封止する透明なカバーガラス6とからなる。
チップ4は、矩形の半導体基板4aと、この半導体基板4a上に形成された撮像素子3および外部端子(電極PAD)7とからなる。このチップ4は、ウエハを撮像素子3ごとにダイシングして形成される。半導体基板4aの厚みは、300μm程度である。また、外部端子7は、スペーサ5によって取り囲まれた領域内に形成されており、直下に設けられたAl(アルミニウム)などからなる貫通電極8によって、半導体基板4aの下面に引き出されている。貫通電極8は、固体撮像装置2が組み込まれる電子機器との電気接続に用いられる。
撮像素子3は、例えば、CCDイメージセンサとして構成され、受光素子(フォトダイオード)や垂直・水平転送路の他、カラーフィルタ、マイクロレンズなどを含む。外部端子7は、Alなどを用いて半導体基板4aの上に形成されている。外部端子7と撮像素子3との間は、半導体基板4a上に形成された配線層により接続されている。
スペーサ5は、シリコンなどの無機材料で形成されており、具体的には、塗布もしくは積層材料としてのSiO2(二酸化シリコン)や、紺青やカーボンブラックなどの無機顔料などが好ましい。スペーサ5は、幅寸法が200μm程度、厚みが10〜200μm程度である。スペーサ5と半導体基板4aとの接合は、接着剤9によって行われている。接着剤9としては、エポキシ系やシリコン系の樹脂などの高分子接着剤が好ましい。
カバーガラス6は、ガラス、石英、サファイヤなどで形成された透明板であり、厚みが500μm程度である。スペーサ5とカバーガラス6との接合は、接着剤10によって行われている。接着剤10としては、エポキシ系やシリコン系の樹脂など高分子接着剤が好ましい。
また、スペーサ5と半導体基板4aとの接合部、およびスペーサ5とカバーガラス6との接合部の外周を覆うように、防水性膜11が形成されている。これにより、半導体基板4a、スペーサ5、およびカバーガラス6で囲まれた空間は、気密性が確保されており、該接合部からの水の浸入が防止されている。防水性膜11は、Alまたはその合金からなる金属膜とすることが好ましい。なお、防水性膜11は、SiN(窒化シリコン)膜や樹脂膜などであってもよく、水を通しにくい膜であれば何であってもよい。
図3および図4を用いて、固体撮像装置2の製造方法を説明する。まず、図3(A)に示すように、ウエハ状の半導体基板4aに複数の撮像素子3を半導体プロセスによって形成した後、枠形状のスペーサ5を、各撮像素子3を取り囲むように、接着剤9,10を介して半導体基板4aおよびカバーガラス6の間に接合し、カバーガラス6の上面に保護テープ20を貼り付ける。なお、外部端子7および貫通電極8は、半導体プロセスによって撮像素子3とともに形成され、スペーサ5は撮像素子3とともに外部端子7を取り囲んでいる。このスペーサ5の取り付け方法の詳細は、上記特許文献3に開示されている。
次いで、図3(B)に示すように、カバーガラス6および保護テープ20を、スペーサ5の形状に沿ってダイシングして各撮像素子3ごとに分離し、図3(C)に示すように、CVD(Chemical Vapor Deposition)法やPVD(Physical Vapor Deposition)法によって、Alやその合金からなる金属膜21を上面側全体に積層する。
この後、図4(A)に示すように、金属膜21を介して保護テープ20の上に第2の保護テープ22を貼り付け、図4(B)に示すように、半導体基板4aおよび金属膜21を、スペーサ5の形状に沿ってダイシングし、各撮像素子3ごとに分離する。この段階で、上記固体撮像装置2の構成が完成する。そして、図4(C)に示すように、紫外線(UV光)を上方から照射して、保護テープ20の粘着性を軟化させることにより、完成した固体撮像装置2を保護テープ20から順に取り外す。
なお、上記製造方法では、防水性膜11を金属膜21としているが、SiN膜とする場合にもCVD法によって同様に形成することができる。また、防水性膜11を樹脂膜とする場合には、スピンコート法を用いればよい。
次に、図5および図6は、第2実施形態の固体撮像装置30の構成を示す。上記第1実施形態と異なり、固体撮像装置30では、半導体基板4a上に形成された外部端子(電極PAD)7は、スペーサ5によって取り囲まれた領域外に配置されている。この場合、貫通電極8は不必要であるので設けられていない。なお、この他の構成は上記第1実施形態と同様であるので、上記第1実施形態と同一部分については同一の符号を付し、詳しい説明は省略する。
図7および図8を用いて、固体撮像装置30の製造方法を説明する。まず、図7(A)に示すように、ウエハ状の半導体基板4aに複数の撮像素子3を半導体プロセスによって形成した後、枠形状のスペーサ5を、各撮像素子3を取り囲むように、接着剤9,10を介して半導体基板4aおよびカバーガラス6の間に接合し、カバーガラス6の上面に保護テープ31を貼り付ける。なお、外部端子7は、半導体プロセスによって撮像素子3とともに形成され、外部端子7は、スペーサ5の外側に位置している。
次いで、図7(B)に示すように、カバーガラス6および保護テープ31を、スペーサ5の形状に沿ってダイシングして各撮像素子3ごとに分離し、各外部端子7を水溶性レジスト32で覆う。この上面側全体に、図7(C)に示すように、CVD法やPVD法によって、Alやその合金からなる金属膜33を積層する。
この後、図8(A)に示すように、金属膜33を介して保護テープ31の上に第2の保護テープ34を貼り付け、図8(B)に示すように、半導体基板4aおよび金属膜33を、スペーサ5の形状に沿ってダイシングし、各撮像素子3ごとに分離する。なお、このとき、ダイシング時の水流で水溶性レジスト32が溶けるとともに、その上の金属膜33も除去される。この段階で、上記固体撮像装置30の構成が完成する。そして、図8(C)に示すように、紫外線(UV光)を上方から照射して、保護テープ31の粘着性を軟化させることにより、完成した固体撮像装置30を保護テープ31から順に取り外す。
なお、上記製造方法では、防水性膜11を金属膜33としているが、SiN膜とする場合にもCVD法によって同様に形成することができる。また、防水性膜11を樹脂膜とする場合には、スピンコート法を用いればよい。
2 固体撮像装置
3 撮像素子
4 チップ
4a 半導体基板
5 スペーサ
6 カバーガラス
7 外部端子
8 貫通電極
9,10 接着剤
11 防水性膜
20,22 テープ
21 金属膜
30 固体撮像装置
31,34 テープ
32 水溶性レジスト
33 金属膜
3 撮像素子
4 チップ
4a 半導体基板
5 スペーサ
6 カバーガラス
7 外部端子
8 貫通電極
9,10 接着剤
11 防水性膜
20,22 テープ
21 金属膜
30 固体撮像装置
31,34 テープ
32 水溶性レジスト
33 金属膜
Claims (5)
- 撮像素子が形成された半導体基板と、この半導体基板上に前記撮像素子を取り囲むように接着剤で接合された枠形状のスペーサと、前記撮像素子を封止するように前記スペーサ上に接着剤で接合された透明板とからなる固体撮像装置において、
前記スペーサと前記半導体基板との接合部、および前記スペーサと前記透明板との接合部の外周を覆うように、防水性膜を形成したことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記防水性膜は、金属膜であることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
- 前記金属膜は、アルミニウムまたはその合金からなることを特徴とする請求項2記載の固体撮像装置。
- 前記撮像素子の外部端子は、前記スペーサによって取り囲まれた領域内に形成されており、貫通電極によって前記半導体基板の下面に引き出されていることを特徴とする請求項1ないし3いずれか記載の固体撮像装置。
- 前記撮像素子の外部端子は、前記スペーサによって取り囲まれた領域外に形成されていることを特徴とする請求項1ないし3いずれか記載の固体撮像装置。
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