JP2009016405A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
撮像面Sを有する固体撮像素子10と、撮像面Sの全面を覆うガラスカバー40と、撮像面Sとガラスカバー40の間に形成された、ガラスカバー40を固体撮像素子10に接着する透明な接着剤膜30とを備える。撮像面Sの全面が接着剤膜30によって覆われていて、撮像面Sとガラスカバー40の間にはキャビティは存在しない。撮像面Sを基準とする接着剤膜30の厚さは、30μm〜100μmの範囲に設定されている。撮像面S上にマイクロレンズアレイ18が形成されている場合は、接着剤膜30の屈折率を1.4以下とするのが好ましい。
【選択図】 図1
Description
撮像面を有する固体撮像素子と、
前記撮像面の全面を覆う透明カバーと、
前記撮像面と前記透明カバーの間に形成された、前記透明カバーを前記固体撮像素子に接着する透明な接着剤膜とを備え、
前記撮像面の全面が前記接着剤膜によって覆われていて、前記撮像面と前記透明カバーの間にはキャビティが存在せず、
前記撮像面を基準とする前記接着剤膜の厚さが30μm〜100μmの範囲に設定されていることを特徴とするものである。
撮像面を有する固体撮像素子と、
前記撮像面上にその全面を覆うように形成された透明なSOG(Spin-On-Glass)材料膜と、
前記撮像面上に形成され且つ前記SOG材料膜中に埋め込まれたマイクロレンズアレイと、
前記撮像面の全面を覆う透明カバーと、
前記SOG材料膜と前記透明カバーの間に形成された、前記透明カバーを前記SOG材料膜に接着する透明な接着剤膜とを備え、
前記撮像面の全面が前記SOG材料と前記接着剤膜によって覆われていて、前記撮像面と前記透明カバーの間にはキャビティが存在せず、
前記SOG材料の表面を基準とする前記接着剤膜の厚さが30μm〜100μmの範囲に設定されていることを特徴とするものである。
図1は、本発明の第1実施形態に係る固体撮像装置1の概略構成を示す要部断面図である。
この固体撮像装置1は、図1に示すように、透明なガラスカバー40を含むチップサイズパッケージ(CSP)中にチップ状の固体撮像素子10を封止して構成されている。この固体撮像装置1は、固体撮像素子10の表面にある撮像面Sとガラスカバー40との間にキャビティを有していない。
次に、図2〜図10を参照しながら、上記構成を持つ固体撮像装置1の製造方法について説明する。
図11は、本発明の第2実施形態に係る固体撮像装置1Aの概略構成を示す断面図である。
上述した第1および第2の実施形態は本発明を具体化した例を示すものである。したがって、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を外れることなく種々の変形が可能であることは言うまでもない。
2 撮像装置部
10 固体撮像素子
11 シリコン基板
11A シリコンウェハー
12、13 層間絶縁膜
14 貫通孔
15 表面電極
16a、16b SiO2膜
17 マイクロカラーフィルタ
18 マイクロレンズアレイ
18a マイクロレンズ
19 配線膜
20 外部電極
30 接着剤膜
30a 接着剤の塗膜
31 SOG材料膜
40 ガラスカバー
40A ガラス板
51、52 マスク
53 スクライブライン
S 撮像面
t1 接着剤膜の厚さ
t1’ 接着剤の塗膜の厚さ
t2 SOG材料膜の厚さ
Claims (7)
- 撮像面を有する固体撮像素子と、
前記撮像面の全面を覆う透明カバーと、
前記撮像面と前記透明カバーの間に形成された、前記透明カバーを前記固体撮像素子に接着する透明な接着剤膜とを備え、
前記撮像面の全面が前記接着剤膜によって覆われていて、前記撮像面と前記透明カバーの間にはキャビティが存在せず、
前記撮像面を基準とする前記接着剤膜の厚さが30μm〜100μmの範囲に設定されていることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記撮像面上に形成され且つ前記接着剤膜中に埋め込まれたマイクロレンズアレイが形成されており、前記接着剤膜の屈折率が1.4以下とされている請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記接着剤膜が、紫外光硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、または紫外光硬化・熱硬化併用型接着剤を硬化させて形成した膜である請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 撮像面を有する固体撮像素子と、
前記撮像面上にその全面を覆うように形成された透明なSOG(Spin-On-Glass)材料膜と、
前記撮像面上に形成され且つ前記SOG材料膜中に埋め込まれたマイクロレンズアレイと、
前記撮像面の全面を覆う透明カバーと、
前記SOG材料膜と前記透明カバーの間に形成された、前記透明カバーを前記SOG材料膜に接着する透明な接着剤膜とを備え、
前記撮像面の全面が前記SOG材料膜と前記接着剤膜によって覆われていて、前記撮像面と前記透明カバーの間にはキャビティが存在せず、
前記SOG材料の表面を基準とする前記接着剤膜の厚さが30μm〜100μmの範囲に設定されていることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記SOG材料膜の屈折率が1.4以下とされている請求項4に記載の固体撮像装置。
- 前記SOG材料膜の厚さが0.3μm〜2.5μmの範囲に設定されている請求項4または5に記載の固体撮像装置。
- 前記SOG材料膜が、紫外光硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、または紫外光硬化・熱硬化併用型接着剤を硬化させて形成した膜である請求項4〜6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
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