JP5342838B2 - カメラモジュール及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図2は半導体ウエハ101の概略平面図である。図2に示すように、6インチもしくは8インチの半導体ウエハ101の表面に、半導体プロセスによりマトリクス状にセンサ部111の複数すなわちアレイが形成される。図3は1つのカメラモジュールとなるべき半導体ウエハ101のセンサ部の部分の概略部分拡大断面図である。
上記半導体ウエハと同じサイズ、6インチもしくは8インチの300〜500μm厚のガラスウエハ(ガラス平板4)を準備する。図4はかかるガラスウエハ4の概略平面図である。以下の工程で、半導体ウエハのマトリクス状センサ部アレイと一致するように、ガラスウエハにレンズ部の複数からなるアレイを形成し、さらに、IRカットフィルタ、レンズ部周りの固定部をも形成して、バックグラインド用固定部付きの透光性光学ウエハを作製する。
次に、図8に示すように、センサ部111を有する半導体ウエハ101にレンズの焦点を固定するためのスペーサ部151を接着剤を用いて接合する。スペーサ部151は半導体ウエハの第1主面上のセンサ部の受光部11の各々を囲むような所定の位置にダイシング領域として配置される。スペーサ部151は、フランジバックを規定する所定厚のスペーサ9とその両面の接着剤層91からなる。接着剤の材料としては耐熱性のある、たとえばベンゾシクロブテン(Benzocyclobutene:BCB)、ポリイミドなどの感光性ポリマー材料が使用でき、紫外線硬化型或いは熱硬化型が用いられる。図9に示すように、半導体ウエハのダイシング領域の格子状のスペーサ部151に囲まれた受光部11がガラスウエハのレンズ部の各々に対応する。
次に、図11に示すように、ガラスウエハ4と一体となった半導体ウエハ101の裏面を研削して、バックグラインド用のシートBGSに固定部131を下にして透光性光学ウエハを貼り付け、たとえば600〜700μm厚のウエハを50〜100μm厚の所定厚にまでバックグラインドし、ウエハの第2主面を平坦化する。レンズ部121より高い固定部131により、レンズ部121がシートから空間を隔てて保護されるとともに、バックグラインド工程及び以降の工程でのバックグラインド用のシートBGSとの接着安定性が向上する。
ガラスウエハ4と一体となった半導体ウエハ101の第2主面に貫通電極、外部配線及び外部端子を形成する。概要は、貫通穴を深堀エッチングを用いて設け、Cuメッキなどにより配線を引きだし電極パッドを形成するのである。
図17に示すように、ガラスウエハ4と一体となった半導体ウエハ101を、所定のダイシングブレード52により、固定部131(スペーサ部151)の中央に沿って厚さ方向に個別のカメラモジュールに分割する。ガラスウエハ4及びウエハの貼着体のガラスウエハ4側にダイシングテープ200を貼着してダイシング装置に装着し、実行する。
ダイシング加工後、個別のカメラモジュールに遮光用のカバーをかぶせ、固定部とカバーを樹脂などの接着剤を用いて固定する。図1に示すように、センサチップ10、スペーサ部151レンズチップ40側面全体及びレンズ部周り固定部131に黒色などの遮光性樹脂からなるカバー5を設け、側面からの光の進入を防ぐことで、カメラモジュールができる。先のダイシング工程において一時期に固定部131、レンズチップ40及びスペーサ部151を切断しているので、それらの側面が共通な外部平坦面で形成できることにより、カバー樹脂との接合が良好に達成できる。
ここでは、透光性光学ウエハ作製工程以外、実施例1と同様に実行する。実施例2の透光性光学ウエハ作製工程では、まず、図19に示すように、6インチもしくは8インチのガラスウエハ(ガラス平板4)上にIRカットフィルタ241を成膜し、IRカットフィルタ241上にレンズ開口を画定するクロムなどからなるマスク膜MFを蒸着する。ここでは、IRカットフィルタ241は誘電体多層膜によって形成され、成膜時に発生する応力を引っ張り応力となるように膜の材料、成膜方法を選ぶ。
ここでは、透光性光学ウエハ作製工程において、IRカットフィルタを設けず、さらに固定部を型による成型をせずに、予め所定形状で形成された固定部131を接着剤層91Bでガラス平板4に接着した以外、実施例1及び2と同様にカメラモジュール製造を実行している。図21は本発明による実施例3のカメラモジュールを示す断面図である。実施例3でも、ガラス平板4の上面に凸レンズ部121より高い固定部131を接着剤層91Bで固着してある。ガラス平板4上の凸レンズ部121より高い固定部131をガラス平板4に固着することにより、ウエハ状態を含むガラス平板を取り扱う際に、固定部131を吸着等で保持することができる。
ここでは、透光性光学ウエハ作製工程において、固定部131Bが接着剤層よりもレンズ部121側に張り出して形成され、さらに、絞りマスク膜MFを固定部131Bとガラス平板4の間ではなく、固定部131Bの上面に形成したこと以外、実施例3と同様にカメラモジュール製造を実行している。図22は本発明の実施例4のカメラモジュールを示す断面図である。これは、上記実施例と同様にガラス平板4の上面に、凸レンズ部121より高くかつレンズ部121に迫るように面積を拡張した固定部131Bを接着剤層91Bで固着してある。さらに、面積拡張固定部131Bには絞りマスク膜MFが蒸着または貼り合せられている。これにより、ガラス平板4上の凸レンズ部121より高い面積拡張固定部131Bをガラス平板4に固着することによりウエハ状態を含むガラス平板を取り扱う際に面積拡張固定部131Bを吸着等で保持することができる。さらに、面積拡張固定部131B及びマスク膜MFは絞り機能も発揮できる。
ここでは、透光性光学ウエハ作製工程において、不透明な固定部131Cが接着剤層よりもレンズ部121側に張り出して形成され、さらに、固定部131Cのレンズ部121側に切頭円錐体の傾斜面を形成したこと以外、実施例3と同様にカメラモジュール製造を実行している。図23は本発明の実施例5のカメラモジュールを示す断面図である。固定部131Cは光の透過を防止する黒など暗色樹脂などの材質からなり、かつ、ガラス平板4上の凸レンズ部121より高くかつレンズ部121に迫るように上面面積を拡張した固定部131Cを接着剤層91Bで固着してある。ガラス平板4上の凸レンズ部121より高い不透明な固定部131Cをガラス平板4に固着することによって、ウエハ状態を含むガラス平板を取り扱う際に固定部131Cを吸着等で保持することができる。さらに、上面面積を拡張した光遮断固定部131C自体は絞りマスク膜機能も発揮できる。
ここでは、透光性光学ウエハ作製工程において、スペーサ固定部20(上記固定部に相当)とガラス平板部4Bとが同一材料で一体的に構成された透光性光学ウエハを用いた以外、上記実施例と同様にカメラモジュール製造を実行している。図24は実施例6のカメラモジュールを示す断面図である。かかる透光性光学ウエハは、ガラス平板を加工することによってガラス平板部4B上の凸レンズ部121より高いスペーサ固定部20を形成したものである。さらに、レンズ部121に対応するレンズ開口を画定する絞りマスク膜MFがスペーサ固定部20上に設けられている。
6 貫通電極
7 外部端子
8 金属パッド
10 センサチップ
11 受光部
14、16 絶縁膜
15 内部配線、外部配線
52 ダイシングブレード
62 開口
91 接着層
100 カメラモジュール
101 半導体ウエハ
111 センサ部
121 レンズ部
131 固定部
141 IRカットフィルタ
151 スペーサ部
200 ダイシングテープ
241 IRカットフィルタ
Claims (30)
- 各々が光電変換素子の受光部を含む複数のセンサ部のアレイを有する半導体ウエハに対して、前記センサ部の各々の周囲にてスペーサ部を介して固着されかつ、空間を隔てて前記センサ部にそれぞれ対向する複数のレンズ部のアレイを有する透光性光学ウエハからなる貼着体を形成する工程と、
前記貼着体を前記スペーサ部にて切断して、各々がスペーサにて接合されたセンサチップ及びレンズチップからなるカメラモジュールの複数に個片化する工程と、を含むカメラモジュールの製造方法であって、
前記透光性光学ウエハ上であって前記スペーサ部とは反対側に設けられた前記透光性光学ウエハの前記レンズ部の周囲に前記レンズ部の凸形状の頂点よりも高い固定部を形成する工程と、
前記固定部を介して前記貼着体を保持して前記半導体ウエハを研磨して背面を画定する工程と、を含むことを特徴とするカメラモジュールの製造方法。 - 前記センサ部に電気的に接続されかつ前記貼着体の前記半導体ウエハを貫通して背面に露出する貫通電極を形成する工程を含むことを特徴とする請求項1に記載のカメラモジュールの製造方法。
- 前記半導体ウエハの背面にて前記貫通電極に電気的に接続される外部配線を形成する工程を含むことを特徴とする請求項2に記載のカメラモジュールの製造方法。
- 前記透光性光学ウエハの前記レンズ部において一定の波長帯の光のみを透過するフィルタが成膜され、前記固定部の応力と前記フィルタの応力とが相殺されるように前記固定部の材料が選択されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1記載のカメラモジュールの製造方法。
- 前記固定部が樹脂からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1記載のカメラモジュールの製造方法。
- 前記透光性光学ウエハがガラス平板と前記ガラス平板主面に接合されたレンズ部とからなり、前記レンズ部が樹脂からなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1記載のカメラモジュールの製造方法。
- 前記固定部と前記レンズ部とが同一材料で構成されていることを特徴とする請求項5〜6のいずれか1記載のカメラモジュールの製造方法。
- 前記フィルタは前記透光性光学ウエハ上であって前記スペーサ部が形成されている側に配置されたことを特徴とする請求項4〜7のいずれか1記載のカメラモジュールの製造方法。
- 前記フィルタは前記透光性光学ウエハ上であって前記固定部が形成されている側に配置されたことを特徴とする請求項4〜7のいずれか1記載のカメラモジュールの製造方法。
- 前記レンズ部に対応するレンズ開口を画定するマスク膜を形成する工程を含むことを特徴とする請求項8〜9のいずれか1記載のカメラモジュールの製造方法。
- 光電変換素子の受光部を含むセンサ部を有するセンサチップと、
前記センサチップに対して前記センサ部の周囲にてスペーサ部を介して固着されかつ空間を隔てて前記センサ部に対向するレンズ部を有するレンズチップと、からなり、
前記スペーサ部の反対側の前記レンズ部の周囲のレンズチップ部分に形成されかつ前記レンズ部の凸形状の頂点よりも高い高さを有する固定部を有すること、
前記固定部、前記レンズチップ及び前記スペーサ部の側面が共通な外部平坦面であること、
前記レンズ部を露出させつつ前記固定部と前記外部平坦面とを覆うカバーを備えたこと、並びに、
前記レンズチップに一定の波長帯の光のみを透過するフィルタが一様に成膜され、前記固定部は、前記固定部の応力と前記フィルタの応力とを相殺する材料からなること、を特徴とするカメラモジュール。 - 前記センサ部に電気的に接続されかつ前記センサチップを貫通して露出する貫通電極を備えたことを特徴とする請求項11に記載のカメラモジュール。
- 前記貫通電極に電気的に接続された外部配線を備えたことを特徴とする請求項12に記載のカメラモジュール。
- 前記固定部が樹脂からなることを特徴とする請求項11〜13のいずれか1記載のカメラモジュール。
- 前記レンズチップがガラス平板と前記ガラス平板主面に接合されたレンズ部とからなり、前記レンズ部が樹脂からなることを特徴とする請求項11〜14のいずれか1記載のカメラモジュール。
- 前記固定部と前記レンズ部とが同一材料で構成されていることを特徴とする請求項14〜15のいずれか1記載のカメラモジュール。
- 前記フィルタは前記固定部の反対側の主面に配置されたことを特徴とする請求項11〜16のいずれか1記載のカメラモジュール。
- 前記フィルタは前記固定部の同一側の主面に配置されたことを特徴とする請求項11〜16のいずれか1記載のカメラモジュール。
- 前記レンズ部に対応するレンズ開口を画定するマスク膜を含むことを特徴とする請求項17〜18のいずれか1記載のカメラモジュール。
- 前記固定部と前記レンズチップの間に接着剤層が配置されていることを特徴とする請求項14〜15のいずれか1記載のカメラモジュール。
- 前記固定部は前記接着剤層よりも前記レンズ部側に張り出していることを特徴とする請求項20記載のカメラモジュール。
- 前記レンズ部に対応するレンズ開口を画定する絞りマスク膜が前記固定部上又は前記固定部と前記レンズチップの間に設けられていることを特徴とする請求項20又は21記載のカメラモジュール。
- 前記固定部は光の透過を防止する材質からなることを特徴とする請求項21記載のカメラモジュール。
- 前記固定部と前記ガラス平板とが同一材料で一体的に構成されていることを特徴とする請求項14〜15のいずれか1記載のカメラモジュール。
- 前記レンズ部に対応するレンズ開口を画定する絞りマスク膜が前記固定部上に設けられていることを特徴とする請求項24記載のカメラモジュール。
- ガラス平板と前記ガラス平板主面に接合された複数のレンズ部のアレイとからなる透光性光学ウエハであって、
前記ガラス平板主面の前記レンズ部の周囲に形成された前記レンズ部の凸形状の頂点よりも高い固定部と、前記ガラス平板主面に亘って形成された一定の波長帯の光のみを透過するフィルタと、を備え、
前記固定部は、記固定部の応力と前記フィルタの応力とを相殺する樹脂材料からなることを特徴とする透光性光学ウエハ。 - 前記固定部と前記レンズ部とが同一材料で構成されていることを特徴とする請求項26に記載の透光性光学ウエハ。
- 前記フィルタは前記固定部の反対側の主面に配置されたことを特徴とする請求項26〜27のいずれか1記載の透光性光学ウエハ。
- 前記フィルタは前記固定部の同一側の主面に配置されたことを特徴とする請求項26〜27のいずれか1記載の透光性光学ウエハ。
- 前記レンズ部に対応するレンズ開口を画定するマスク膜を含むことを特徴とする請求項26〜29のいずれか1記載の透光性光学ウエハ。
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