JP2008260927A5 - - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 2
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004018 acid anhydride group Chemical group 0.000 description 1
- 238000012644 addition polymerization Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- -1 diamine compound Chemical class 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000010574 gas phase reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008070954A JP5136139B2 (ja) | 2007-03-20 | 2008-03-19 | 樹脂ブラックマトリクス用黒色樹脂組成物、樹脂ブラックマトリクス、カラーフィルターおよび液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007072396 | 2007-03-20 | ||
| JP2007072396 | 2007-03-20 | ||
| JP2008070954A JP5136139B2 (ja) | 2007-03-20 | 2008-03-19 | 樹脂ブラックマトリクス用黒色樹脂組成物、樹脂ブラックマトリクス、カラーフィルターおよび液晶表示装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008260927A JP2008260927A (ja) | 2008-10-30 |
| JP2008260927A5 true JP2008260927A5 (enExample) | 2010-05-13 |
| JP5136139B2 JP5136139B2 (ja) | 2013-02-06 |
Family
ID=39830597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008070954A Active JP5136139B2 (ja) | 2007-03-20 | 2008-03-19 | 樹脂ブラックマトリクス用黒色樹脂組成物、樹脂ブラックマトリクス、カラーフィルターおよび液晶表示装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8329068B2 (enExample) |
| EP (1) | EP2135900A4 (enExample) |
| JP (1) | JP5136139B2 (enExample) |
| KR (1) | KR101485436B1 (enExample) |
| CN (1) | CN101636452B (enExample) |
| TW (1) | TWI425042B (enExample) |
| WO (1) | WO2008123097A1 (enExample) |
Families Citing this family (51)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5441352B2 (ja) * | 2008-04-25 | 2014-03-12 | 富士フイルム株式会社 | 重合性組成物、遮光性カラーフィルタ、および固体撮像素子 |
| JP5099094B2 (ja) * | 2008-09-18 | 2012-12-12 | 東レ株式会社 | 黒色樹脂組成物、樹脂ブラックマトリクス、カラーフィルターおよび液晶表示装置 |
| JP5153667B2 (ja) * | 2009-01-22 | 2013-02-27 | 富士フイルム株式会社 | 分散組成物の製造方法、遮光性カラーフィルタ用感光性樹脂組成物の製造方法、及び遮光性カラーフィルタの製造方法 |
| JP4853534B2 (ja) * | 2009-03-13 | 2012-01-11 | 富士ゼロックス株式会社 | ポリアミック酸組成物、ポリイミド無端ベルト、定着装置および画像形成装置 |
| JP5153698B2 (ja) * | 2009-03-19 | 2013-02-27 | 富士フイルム株式会社 | 分散組成物の製造方法、遮光性カラーフィルタ用感光性樹脂組成物の製造方法、及び遮光性カラーフィルタの製造方法 |
| TWI483999B (zh) * | 2009-06-15 | 2015-05-11 | Toray Industries | 黑色複合微粒子、黑色樹脂組成物、彩色濾光片基板及液晶顯示裝置 |
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| US20130141380A1 (en) * | 2011-05-18 | 2013-06-06 | Wintek Corporation | Touch-sensitive device and touch-sensitive display device |
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| JP5596588B2 (ja) * | 2010-11-08 | 2014-09-24 | 日東電工株式会社 | 紫外線硬化型光学樹脂接着剤組成物 |
| SG193935A1 (en) * | 2011-03-25 | 2013-11-29 | Toray Industries | Black resin composition, resin black matrix substrate, and touch panel |
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| KR102603923B1 (ko) | 2019-03-29 | 2023-11-20 | 후지필름 가부시키가이샤 | 감광성 수지 조성물, 경화막, 인덕터, 안테나 |
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| JPWO2022065183A1 (enExample) | 2020-09-24 | 2022-03-31 | ||
| WO2022065006A1 (ja) | 2020-09-28 | 2022-03-31 | 富士フイルム株式会社 | 積層体の製造方法、アンテナインパッケージの製造方法、積層体及び組成物 |
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| JPWO2022202394A1 (enExample) | 2021-03-22 | 2022-09-29 | ||
| WO2022210175A1 (ja) | 2021-03-29 | 2022-10-06 | 富士フイルム株式会社 | 黒色感光性組成物、黒色感光性組成物の製造方法、硬化膜、カラーフィルタ、遮光膜、光学素子、固体撮像素子、ヘッドライトユニット |
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| JPS6111140A (ja) | 1984-06-26 | 1986-01-18 | High Frequency Heattreat Co Ltd | 高純度セラミツクス超微粒子の製造方法 |
| JPH0670165B2 (ja) | 1985-06-05 | 1994-09-07 | 東レ株式会社 | ポリエステル組成物 |
| JPH0768043B2 (ja) | 1986-09-25 | 1995-07-26 | 高周波熱錬株式会社 | 窒化アルミニウム超微粒子の製造方法 |
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| JP2004292672A (ja) | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Mikuni Color Ltd | カーボンブラック分散液 |
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| SI1851349T1 (sl) * | 2005-01-27 | 2010-08-31 | Peruke Proprietary Ltd | Postopek pridobivanja titana |
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| CN1888957B (zh) * | 2005-06-29 | 2011-04-06 | 奇美电子股份有限公司 | 液晶显示器的彩色滤光片 |
-
2008
- 2008-03-19 EP EP08722463A patent/EP2135900A4/en not_active Withdrawn
- 2008-03-19 US US12/532,136 patent/US8329068B2/en active Active
- 2008-03-19 CN CN2008800085002A patent/CN101636452B/zh active Active
- 2008-03-19 JP JP2008070954A patent/JP5136139B2/ja active Active
- 2008-03-19 WO PCT/JP2008/055076 patent/WO2008123097A1/ja not_active Ceased
- 2008-03-19 KR KR1020097013604A patent/KR101485436B1/ko active Active
- 2008-03-20 TW TW097109768A patent/TWI425042B/zh active
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