JP2008087883A - 基板取出装置およびその方法 - Google Patents

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101891069A (zh) * 2009-05-20 2010-11-24 株式会社理光 片材供送设备及图像形成设备
JP2011124481A (ja) * 2009-12-14 2011-06-23 Mimasu Semiconductor Industry Co Ltd 液中ウェーハ単離方法及び液中ウェーハ単離装置
CN104192600A (zh) * 2014-08-27 2014-12-10 杭州中亚机械股份有限公司 一种片材搬运装置
TWI612310B (zh) * 2016-12-28 2018-01-21 致茂電子股份有限公司 吸附式測試裝置
CN108726217A (zh) * 2017-04-21 2018-11-02 东莞市迈高自动化机械有限公司 一种吸胶片机构
CN109809217A (zh) * 2019-03-20 2019-05-28 深圳精智达技术股份有限公司 柔性面板分料装置及方法
JP2019167208A (ja) * 2018-03-23 2019-10-03 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 合紙除去装置および合紙除去方法

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101012139B1 (ko) * 2008-12-31 2011-02-07 (주)제이티 비전검사장치
CN102001522B (zh) * 2010-09-22 2015-11-25 霍秀荣 吸附式板材提取机构
CN103359534A (zh) * 2013-06-25 2013-10-23 吴雄喜 负压吸附式展纸机
KR102052667B1 (ko) * 2015-10-27 2019-12-05 히라따기꼬오 가부시키가이샤 이송 유닛, 이동 탑재 장치 및 이동 탑재 방법
WO2017177393A1 (en) * 2016-04-13 2017-10-19 Abb Schweiz Ag Gripper, de-palletizing system, searching method, gripping method and de-palletizing method
CN106494898A (zh) * 2016-12-21 2017-03-15 东莞市超业精密设备有限公司 一种用于传送片材的取料装置及提取片材的方法
TWI613449B (zh) * 2016-12-30 2018-02-01 致茂電子股份有限公司 吸附式測試裝置
CN106743822A (zh) * 2017-01-23 2017-05-31 营口经济技术开发区明成实业有限公司 叠摞面料粘连分开装置
CN107285046B (zh) * 2017-08-14 2023-04-18 上海瑞源印刷设备有限公司 印铁机铁板磁性垂直升降装置
JP7118030B2 (ja) * 2019-05-21 2022-08-15 三菱電機株式会社 真空チャックおよび半導体装置の製造方法
CN111532822A (zh) * 2020-04-10 2020-08-14 苏州杰锐思智能科技股份有限公司 一种兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置
CN112850242B (zh) * 2021-01-26 2022-07-08 元源新材料有限公司 一种对成叠码放玻纤布进行单张分离的装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01140353U (zh) * 1988-03-18 1989-09-26
JPH031142U (zh) * 1989-05-25 1991-01-08
JPH0379286U (zh) * 1989-11-24 1991-08-13
JPH05139555A (ja) * 1991-11-19 1993-06-08 Fuji Seisakusho:Kk 多数枚の板材積層体の板材剥離方法と、その補助装置
JP2000177865A (ja) * 1998-12-14 2000-06-27 Canon Inc シート供給装置と該装置を備えた画像形成装置
JP2001002259A (ja) * 1999-06-25 2001-01-09 Dainippon Ink & Chem Inc 板状物体の引き離し方法および板状物体の搬送装置
JP2002145470A (ja) * 2000-11-13 2002-05-22 Konica Corp 用紙搬送装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01140353U (zh) * 1988-03-18 1989-09-26
JPH031142U (zh) * 1989-05-25 1991-01-08
JPH0379286U (zh) * 1989-11-24 1991-08-13
JPH05139555A (ja) * 1991-11-19 1993-06-08 Fuji Seisakusho:Kk 多数枚の板材積層体の板材剥離方法と、その補助装置
JP2000177865A (ja) * 1998-12-14 2000-06-27 Canon Inc シート供給装置と該装置を備えた画像形成装置
JP2001002259A (ja) * 1999-06-25 2001-01-09 Dainippon Ink & Chem Inc 板状物体の引き離し方法および板状物体の搬送装置
JP2002145470A (ja) * 2000-11-13 2002-05-22 Konica Corp 用紙搬送装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101891069A (zh) * 2009-05-20 2010-11-24 株式会社理光 片材供送设备及图像形成设备
JP2011124481A (ja) * 2009-12-14 2011-06-23 Mimasu Semiconductor Industry Co Ltd 液中ウェーハ単離方法及び液中ウェーハ単離装置
CN104192600A (zh) * 2014-08-27 2014-12-10 杭州中亚机械股份有限公司 一种片材搬运装置
TWI612310B (zh) * 2016-12-28 2018-01-21 致茂電子股份有限公司 吸附式測試裝置
CN108726217A (zh) * 2017-04-21 2018-11-02 东莞市迈高自动化机械有限公司 一种吸胶片机构
CN108726217B (zh) * 2017-04-21 2023-12-12 东莞市迈高自动化机械有限公司 一种吸胶片机构
JP2019167208A (ja) * 2018-03-23 2019-10-03 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 合紙除去装置および合紙除去方法
JP7078321B2 (ja) 2018-03-23 2022-05-31 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 合紙除去装置および合紙除去方法
CN109809217A (zh) * 2019-03-20 2019-05-28 深圳精智达技术股份有限公司 柔性面板分料装置及方法

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CN201099552Y (zh) 2008-08-13
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