JP2008086000A - 撮像装置、その駆動方法及び放射線撮像システム - Google Patents

Abstract

【課題】装置構成を複雑化することなく簡易な構成で、撮像画像に生じる極めて目立ち易いラインノイズの低減を図る。
【解決手段】画素１１が行列状に複数配設された検出部１０と、検出部１０の行方向における複数の画素１１から電気信号を並列に転送するための駆動回路部２０と、検出部１０の第１群に属する列の画素の電気信号をサンプルホールドするための第１のサンプルホールド回路（ＳＨ１、ＳＨ３及びＳＨ５）と、検出部１０の第２群に属する列の画素の電気信号をサンプルホールドするための第２のサンプルホールド回路（ＳＨ２、ＳＨ４及びＳＨ６）とを含み、各画素１１から電気信号を並列に読み出すための読み出し回路部３０と、第１のサンプルホールド回路と第２のサンプルホールド回路とが異なるタイミングでサンプルホールドするように、読み出し回路部３０を制御する制御部４０を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、医療用の診断や工業用の非破壊検査等に用いて好適な撮像装置、その駆動方法及び放射線撮像システムに関する。なお、本明細書では、放射線として、電磁波やＸ線、α線、β線、γ線なども含まれるものとする。

近年、Ｘ線レントゲン撮影などの静止画撮影と、透視撮影やアンギオ撮影などの動画撮影が１つの装置で撮影可能なフラットパネルディテクタ（ＦＰＤ）が提案されてきている。動画撮影の場合、静止画撮影と違って、高いフレームレートを確保しなければならない。また、撮影の部位と目的にもよるが、一般に心臓血管撮影の場合、３０ＦＰＳのフレームレートが必要といわれている。そのため動画撮影においては、例えば、複数行及び／又は複数列の画素を複数個同時に読み出す画素加算を行いながら、Ｓ／Ｎを向上させ、更にフレームレート高めている。

特開２００３−１６３３４３号公報 特開２００４−７５５１号公報 米国特許第６７３４４１４号明細書

Ｘ線撮像装置における撮影、特に動画撮影の場合、患者へ長時間に亘ってＸ線を照射する必要があり、患者へのＸ線被曝の低減が課題として挙げられる。すなわち、１フレームあたりのＸ線照射量を減らすこと、つまり、Ｘ線撮像装置のノイズの低減が課題として挙げられる。

ノイズには、一般に、放射線検出素子のダーク電流に関連するショットノイズや、スイッチ素子のサーマルノイズ、読み出し回路部を構成するオペアンプのノイズといった、いわゆる回路雑音による成分がある。また、放射線検出素子の電源或いは読み出し回路部の電源などから信号配線（読み出し配線）を伝わってくるノイズや、外部ノイズ源から空間を伝わって信号配線（読み出し配線）に混入する成分がある。

前者のノイズ発生現象は、画素単位では独立な事象であって、画像においては点状のいわゆる粒状性に関与するノイズとなり、これを「ランダムノイズ」と称する。一方、後者のノイズ発生現象は、それぞれの画素に影響を及ぼし、画素単位において独立な事象ではない。これは、特に、信号配線（読み出し配線）などに共通して作用するノイズとして画質に影響を及ぼす。特に、行方向の複数の画素からの信号を列方向の各信号配線（読み出し配線）に同時に読み出すように駆動させる動作を行う場合、当該駆動に特有な横スジ状（行方向のスジ状）のアーチファクトをもたらす。これを「ラインノイズ」と称する。

一般に、Ｍ行Ｎ列の画素を具備する放射線撮像装置のランダムノイズＮｒは、それぞれの画素に含まれるノイズ発生が独立な事象であれば、Ｍ×Ｎ個の暗時画素データの標準偏差で表される。しかしながら、放射線検出部の放射線検出素子やスイッチ素子に起因する特有の固定パターンノイズがあるため、１回の暗時画素データの標準偏差では算出できない。通常、暗時画素データを２回取得し、それぞれの減算処理を施したデータの標準偏差を算出し、（√２）で割り算すればランダムノイズＮｒが算出される。

一方、ラインノイズＮｌは、各行単位で平均値を算出したＭ個のデータに対して標準偏差を算出する。読み出し回路部や画素に特有の固定パターンノイズがあった場合、同様に（√２）で割り算すればよい。ラインノイズＮｌは、横スジ状の特徴的なアーチファクトであって、ランダムノイズＮｒに比べて画像品位を著しく損なう恐れがある。

ラインノイズＮｌの標準偏差値が、Ｎｌ≦Ｎｒ／１０であれば、ラインノイズＮｌが画像上に目立ちにくくなり、例えば、特許文献１には、このラインノイズＮｌ≦Ｎｒ／１０とする旨が記載されている。なお、このラインノイズＮｌの低減は、非常に困難を極める。

このラインノイズの要因となるノイズ源は、放射線検出素子にバイアスを与えるためのセンサバイアス源が挙げられる。センサバイアス源が何らかの原因で変動すると、これがセンサバイアス源と読み出し配線との間に結合している放射線検出部の容量を介して読み出し配線のノイズとなる。通常、放射線検出部内部では、センサバイアス源が各読み出し配線に対して容量結合されており、センサバイアス源の変動は、各読み出し配線にノイズとして混入する。更に、各画素からの信号は、サンプルホールド用の容量素子Ｃｎにサンプルホールドされるが、センサバイアス源の変動によるノイズ成分もサンプルホールドのタイミングを指示する制御信号に同期して各画素からの信号と同様にサンプルホールドされることになる。

また、ラインノイズの要因となるノイズ源として、読み出し回路部に接続される電源が挙げられる。一般に読み出し回路部に設けられているオペアンプには、電源電圧除去比（ＰＳＲＲ）なる指標がある。読み出し回路部を動作させるための動作電圧を与える電源や読み出し回路部のオペアンプに基準電圧をあたえるための電源が何らか原因で変動した場合、オペアンプＡｎの出力線が変動する。この変動によるノイズ成分も、サンプルホールドのタイミングを指示する制御信号に同期して、サンプルホールドされることになる。すなわち、放射線検出部の電源や読み出し回路部の電源が変動すれば、サンプルホールドのタイミングを指示する制御信号に同期して、その変動分の一部がサンプルホールドされることになる。

特許文献１では、放射線検出部とその放射線検出部の電源との間に、また、読み出し回路部とその読み出し回路部の電源との間に低域通過フィルタを設けて電源から放射線検出部または読み出し回路部にノイズ成分が混入することを低減することが開示されている。

また、ラインノイズの要因となるノイズ源として、放射線撮像装置の外部にある外来ノイズ源が挙げられる。外来ノイズ源は、例えば、放射線発生装置の高圧電源や、車のイグニッションコイル、自然現象の落雷、近隣のモーター駆動、病院隣室にあるＭＲＩやＣＴ装置の稼動などが考えられる。この外来ノイズ源からの外来ノイズは、空間を伝わって読み出し配線やＧＮＤラインに伝達され、サンプルホールドのタイミングを指示する制御信号のタイミング等で容量素子に画素からの信号と同時にサンプルホールドされる。

これらの外来ノイズは、アンプから出力される出力信号（Ｖｏｕｔ）にラインノイズとして重畳している。これらは、横スジ状（行方向のスジ状）のラインノイズとなり、画像品位を大きく低下させる。特に、動画撮影においては、放射線量（Ｘ線量）が少ないため、ラインノイズは目立ちやすくなるという問題がある。

特許文献２には、メモリ回路に記憶された２次元エリアセンサの撮影出力からラインノイズの有無を検知するラインノイズ検知手段を設け、当該ラインノイズの出力量を演算し、撮影出力からラインノイズを除去する補正を行う撮像装置が開示されている。

特許文献２の場合、ラインノイズの出力を行出力の平均から算出しているが、特に４０ｃｍ×４０ｃｍの大面積からなる放射線検出部を有する装置の場合、行単位に発生するラインノイズはシェーディングを持っている可能性もある。そして、この場合、補正すべきラインノイズ量として正しい補正値を示さない可能性がある。そして、それらを加味した演算手法を用いた場合、演算処理が長時間かかったりすると、リアルタイムな補正処理が困難となる問題も出てくる。また、複雑なアルゴリズムでは、装置開発の負荷が多大となりコストも高くなるという欠点もある。

特許文献３には、ゲート配線を行単位の画素に接続するのではなく、ランダムに接続する撮像装置が開示されている。この特許文献３では、結線の原理上、横スジ状のラインノイズにはならない。しかしながら、出力される信号電荷は規則正しくなく、後段の処理回路で信号の並べ替えが必要となり、処理が煩雑となる。また、ゲート配線の結線が複雑化するために、製造上の歩留まりの低下が懸念され、しいてはコストアップを誘発する問題が考えられる。

すなわち、従来のＦＰＤ方式の撮像装置においては、装置構成を複雑化することなく簡易な構成で、撮像画像に生じる極めて目立ち易いラインノイズを低減させることが困難であった。

本発明は上述の問題点にかんがみてなされたものであり、装置構成を複雑化することなく簡易な構成で、撮像画像に生じる極めて目立ち易いラインノイズの低減を実現する撮像装置、その駆動方法及び放射線撮像システムを提供することを目的とする。

本発明の撮像装置は、入射した放射線または光を電荷に変換する変換素子と前記電荷に応じた電気信号を転送するスイッチ素子とを含む画素が行列状に複数配設された検出部と、前記検出部の行方向における複数の画素の前記スイッチ素子を動作させて当該複数の画素から前記電気信号を並列に転送するための駆動回路部と、前記検出部の第１群に属する列の画素の電気信号をサンプルホールドするための第１のサンプルホールド回路と、前記第１群と異なる第２群に属する列の画素の電気信号をサンプルホールドするための第２のサンプルホールド回路とを含み、前記電気信号を並列に読み出すための読み出し回路部と、前記読み出し回路部を制御する制御部とを有し、前記制御部は、前記第１のサンプルホールド回路と前記第２のサンプルホールド回路とが異なるタイミングでサンプルホールドするように、前記読み出し回路部を制御する。

本発明の放射線撮像システムは、前記撮像装置と、前記検出部に前記放射線を出射する放射線発生装置とを有する。

本発明の撮像装置の駆動方法は、入射した放射線または光を電荷に変換する変換素子と前記電荷に応じた電気信号を転送するスイッチ素子とを含む画素が行列状に複数配設された検出部と、前記検出部の行方向における複数の画素の前記スイッチ素子を動作させて当該複数の画素から前記電気信号を並列に転送するための駆動回路部と、前記電気信号を並列に読み出すための読み出し回路部とを備える撮像装置の駆動方法であって、前記読み出し回路部には、前記検出部の第１群に属する列の画素の電気信号をサンプルホールドするための第１のサンプルホールド回路と、前記第１群と異なる第２群に属する列の画素の電気信号をサンプルホールドするための第２のサンプルホールド回路とが含まれており、前記第１のサンプルホールド回路のサンプルホールドするタイミングと前記第２のサンプルホールド回路のサンプルホールドするタイミングとを異なるタイミングとする。

本発明によれば、装置構成を複雑化することなく簡易な構成で、撮像画像に生じる極めて目立ち易いラインノイズの低減を図ることが可能となる。

以下、本発明の諸実施形態について、添付図面を用いて詳しく説明する。
なお、以下に示す本発明に係る撮像装置の実施形態においては、放射線として、Ｘ線を用いた例を示すが、電磁波や、α線、β線、γ線などの他の放射線を適用することも可能である。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る放射線撮像装置（Ｘ線撮像装置）の概略構成図である。
本実施形態の放射線撮像装置は、放射線検出部１０と、駆動回路部２０と、読み出し回路部３０と、制御部４０を有して構成されている。放射線検出部１０は、入射した放射線を検出する。駆動回路部２０は、放射線検出部１０の各画素１１を駆動させる。読み出し回路部３０は、各画素１１から電荷（電気信号）を読み出す。制御部４０は、駆動回路部２０及び読み出し回路部３０の動作を制御する。

放射線検出部１０には、画素１１が２次元行列状に複数配設されており、図１には説明の簡単化のために、６×６（６チャネル）の計３６個の画素１１を記載しているが、実際には、更に多くの画素を具備する多チャネルで構成されている。例えば、医療用で人体胸部を撮影するためには、放射線検出部１０を、４０ｃｍ×４０ｃｍの受光面積で、２００μｍピッチ程度又はそれ以下の解像度が求められる。４０ｃｍ×４０ｃｍの受光領域で、２００μｍピッチの場合、その画素数は、２０００×２０００＝４００００００画素となる。この場合、読み出し配線の本数は２０００本となり、放射線検出部１０における画素の電荷は、いくつかの読み出し回路部に分割して読み出される。通常、読み出し回路部のチャネル数は、例えば、６４チャネル、１２８チャネル、或いは２５６チャネルであり、製造上の歩留まりや製造工数によって選定される。

図１において、Ｓ１−１〜Ｓ６−６は入射した放射線を電荷に変換する放射線検出素子（変換素子）であり、この放射線検出素子Ｓ１−１〜Ｓ６−６は、センサバイアス源１２によってバイアスされる。Ｔ１−１〜Ｔ６−６は各放射線検出素子Ｓ１−１〜Ｓ６−６の電荷に応じた電気信号を読み出し回路部３０に転送するスイッチ素子であり、例えば、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：Ｔｈｉｎ−Ｆｉｌｍ−Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）で形成されている。また、Ｇ１〜Ｇ６はスイッチ素子Ｔ１−１〜Ｔ６−６を駆動するための駆動用のゲート配線（駆動配線）であり、行方向の複数の画素のスイッチ素子に共通に接続するようにそれぞれ配置されている。Ｍ１〜Ｍ６はスイッチ素子Ｔ１−１〜Ｔ６−６を介して放射線検出素子Ｓ１−１〜Ｓ６−６の電荷に応じた電気信号を読み出すための読み出し配線で、列方向の複数の画素のスイッチ素子に共通に接続するようにそれぞれ配置されている。

放射線検出素子Ｓ１−１〜Ｓ６−６の形態としては、いわゆる直接変換型と間接変換型とがある。直接変換型の放射線検出素子としては、例えば、アモルファスセレン、ヨウ化鉛、ヨウ化水銀、テルル化カドミウム、ガリウムヒ素、ガリウム燐又は硫化亜鉛を主材料として形成され、入射した放射線（Ｘ線）を当該主材料で直接電気信号に変換するものである。一方、間接変換型の放射線検出素子は、入射した放射線（Ｘ線）を可視光に変換する蛍光体（波長変換体）と、当該蛍光体で変換された可視光を電荷（電気信号）に変換する光電変換素子を具備して構成される。間接変換型の放射線検出素子の場合、蛍光体は、光電変換素子と実質上密着した位置に配置される。蛍光体としては、例えば、Ｇｄ₂Ｏ₂Ｓ、Ｇｄ₂Ｏ₃又はＣｓＩを主材料として形成される。また、光電変換素子としては、例えば、アモルファスシリコンを主材料として形成される。上述した直接変換型及び間接変換型のどちらにおいても、大面積で薄い放射線検出部１０とすることができるため、ＦＰＤを実現でき、撮影から画像を取得するまでの時間を非常に短いものとすることが可能となる。なお、本実施形態では、入射した放射線に基づく画像を撮像する放射線撮像装置の例を示すが、本発明に係る撮像装置においては、これに限定されるものではない。例えば上述の蛍光体を設けずに変換素子として上述の光電変換素子を用いれば、入射した光に基づく画像を撮像する撮像装置となる。

スイッチ素子Ｔ１−１〜Ｔ６−６は、行方向のゲート配線Ｇ１〜Ｇ６を介して、駆動回路部２０により駆動される。また、読み出し配線Ｍ１〜Ｍ６は、読み出し回路部３０に接続されており、各放射線検出素子Ｓ１−１〜Ｓ６−６の電気信号は、読み出し配線Ｍ１〜Ｍ６を介して読み出し回路部３０によって読み出される。画素１１は、１つの放射線検出素子、１つのスイッチ素子、１つのセンサバイアス源１２を有して構成されている。

Ａ１〜Ａ６はオペアンプであり、それぞれ容量素子ＣＦ１〜ＣＦ６を図１に示すように構成することにより、それぞれ、積分器ＳＢ１〜ＳＢ６として機能する。ＳＷ１〜ＳＷ６は、各容量素子ＣＦ１〜ＣＦ６の積分電荷をリセットするためのリセット手段であるスイッチであり、ＲＣ制御信号によってリセットされる。

Ｃ１〜Ｃ６は、各オペアンプＡ１〜Ａ６の電気信号をサンプルホールドするための容量素子であり、各スイッチＳｎ１〜Ｓｎ６をオン／オフすることによりサンプルホールドされる。スイッチＳｎ１と容量素子Ｃ１で読み出し配線Ｍ１に応じたサンプルホールド回路ＳＨ１が構成され、スイッチＳｎ２と容量素子Ｃ２で読み出し配線Ｍ２に応じたサンプルホールド回路ＳＨ２が構成される。同様に、スイッチＳｎ３と容量素子Ｃ３で読み出し配線Ｍ３に応じたサンプルホールド回路ＳＨ３が構成され、スイッチＳｎ４と容量素子Ｃ４で読み出し配線Ｍ４に応じたサンプルホールド回路ＳＨ４が構成される。また、スイッチＳｎ５と容量素子Ｃ５で読み出し配線Ｍ５に応じたサンプルホールド回路ＳＨ５が構成され、スイッチＳｎ６と容量素子Ｃ６で読み出し配線Ｍ６に応じたサンプルホールド回路ＳＨ６が構成される。これらのサンプルホールド回路が読み出し配線分集合してサンプルホールド回路部を構成している。本実施形態では、スイッチＳｎ１〜Ｓｎ６のうち、スイッチＳｎ１、Ｓｎ３及びＳｎ５は、制御部４０によるＳＭＰＬ１制御信号によってオン／オフされる。また、スイッチＳｎ１〜Ｓｎ６のうち、スイッチＳｎ２、Ｓｎ４及びＳｎ６は、制御部４０によるＳＭＰＬ２制御信号によってオン／オフされる。

本実施形態においては、サンプルホールド回路ＳＨ１、ＳＨ３及びＳｎ５が、放射線検出部１０の第１群に属する列（具体的には、奇数列）の画素の電気信号をサンプルホールドするための第１のサンプルホールド回路に相当する。また、サンプルホールド回路ＳＨ２、ＳＨ４及びＳｎ６が、放射線検出部１０の第２群に属する列（具体的には、偶数列）の画素の電気信号をサンプルホールドするための第２のサンプルホールド回路に相当する。また、本実施形態においては、奇数列の読み出し配線Ｍ１、Ｍ３及びＭ５が、放射線検出部１０の第１群に属する列の画素に列ごとに共通して設けられた第１の読み出し配線群に相当する。また、偶数列の読み出し配線Ｍ２、Ｍ４及びＭ６が、放射線検出部１０の第２群に属する列の画素に列ごとに共通して設けられた第２の読み出し配線群に相当する。

Ｂ１〜Ｂ６は、容量素子Ｃ１〜Ｃ６の信号の電位を正しく伝達するバッファアンプである。また、バッファアンプＢ１〜Ｂ６の出力は、シフトレジスタ３１からの信号が各スイッチＳｒ１〜Ｓｒ６に印加されることによって、バッファアンプＢ１〜Ｂ６の並列信号が直列信号に変換されてアンプ３２を介して出力される。すなわち、アンプ３２は、第１のサンプルホールド回路（ＳＨ１、ＳＨ３及びＳｎ５）にサンプルホールドされた電気信号と第２のサンプルホールド回路（ＳＨ２、ＳＨ４及びＳｎ６）にサンプルホールドされた電気信号とを時系列的に出力する出力手段に相当する。

本実施形態の特徴となるところは、奇数チャンネル（奇数列の読み出し配線Ｍ１、Ｍ３及びＭ５）と偶数チャンネル（偶数列の読み出し配線Ｍ２、Ｍ４及びＭ６）とを、それぞれ、ＳＭＰＬ１制御信号、ＳＭＰＬ２制御信号により独立に制御している点である。つまり、時間的にずらして制御できるところにある。

次に、駆動回路部２０の内部構成について説明する。
図２は、図１に示す駆動回路部２０の詳細な内部構成の一例を示す概略図である。
駆動回路部２０は、複数のＤフリップフロップ２１と、複数のアンド素子２２と、レベルシフト回路２３を具備しており、各構成部を図２に示すように構成することにより、駆動回路部２０が構成される。

駆動回路部２０は、制御部４０からのＯＥ、ＳＩＮ及びＳｃｌｋという３つの制御信号によって制御される。一般に、Ｄフリップフロップ２１及びアンド素子２２は、ディジタル回路であって、その入出力電圧は、各構成部を作製するプロセス工程に関連する。一般に、Ｈｉ論理の入出力電圧は５Ｖ系であったが、昨今の低消費電力化の要望とプロセス技術の進歩もあって、３．３Ｖ系或いはそれ以下の電圧で動作するデバイスもリリースされてきている。しかしながら、一般に、放射線検出部１０のスイッチ素子は、例えば、アモルファスシリコンを主材料として形成されており、その駆動電圧は、現在のアモルファスシリコンからなるＴＦＴを製造するプロセス技術では、５Ｖ以上であることが望ましい。従って、レベルシフト回路２３を設けて、アモルファスシリコンからなるＴＦＴの特性に整合した駆動電圧に変換する。

図３〜図５は、図２に示す駆動回路部２０の動作の一例を示すタイミングチャートである。図３は、Ｓｃｌｋ制御信号により、レベルシフト回路２３において、ゲート配線Ｇ１〜Ｇ６の出力を１段ずつシフトしていく場合について示している。

また、図４は、Ｓｃｌｋ制御信号により、レベルシフト回路２３において、ゲート配線Ｇ１及びＧ２を同時に駆動し、次に、ゲート配線Ｇ３及びＧ４を同時に駆動し、続いて、ゲート配線Ｇ５及びＧ６を同時に駆動させる場合について示している。この図４に示す動作の意図するところは、図１に示す各画素の信号電荷を行方向に２画素加算して読み出す際の動作が行われることであり、この場合の画素ピッチは２倍に粗くなり、また、駆動時間は２分の１に短縮される。

また、図５は、Ｓｃｌｋ制御信号により、レベルシフト回路２３において、ゲート配線Ｇ１〜Ｇ３を同時に駆動し、次に、ゲート配線Ｇ４〜Ｇ６を同時に駆動させる場合について示している。この動作の意図するところは、図１に示す各画素の信号電荷を行方向に３画素加算して読み出す際の動作が行われることであり、この場合の画素ピッチは３倍に粗くなり、また、駆動時間は３分の１に短縮される。

次に、第１の実施形態に係る放射線撮像装置の動作について説明する。
図６は、第１の実施形態に係る放射線撮像装置の動作の一例を示すタイミングチャートである。

先ずは、放射線検出部１０における１行目の画素に係る動作について説明する。
１行目の放射線検出素子Ｓ１−１〜Ｓ６−１で光電変換された信号電荷は、駆動回路部２０からゲート配線Ｇ１への駆動信号によって１行目のスイッチ素子Ｔ１−１〜Ｔ６−１がオンし、読み出し配線Ｍ１〜Ｍ６を経由して読み出し回路部３０に入力される。具体的に、１行目の放射線検出素子Ｓ１−１〜Ｓ６−１で光電変換された信号電荷は、オペアンプＡ１〜Ａ６にそれぞれ入力される（転送動作）。

結果として、各オペアンプＡ１〜Ａ６に入力された信号電荷は、各容量素子ＣＦ１〜ＣＦ６に蓄積される。その後、制御部４０からＳＭＰＬ１制御信号とＳＭＰＬ２制御信号とが、各々異なるタイミング期間で入力され、サンプルホールド用の容量素子Ｃ１〜Ｃ６にそれぞれ一括転送される。続いて、シフトレジスタ３１から各スイッチＳｒ１〜Ｓｒ６を次々にオンさせる信号を受けると、各容量素子Ｃ１〜Ｃ６の信号における並列データが時系列化した直列データに並べ替えられてアンプ３２から１行分のアナログ信号が出力される（直列変換動作）。

次に、放射線検出部１０における２行目の画素に係る動作について説明する。
図１に示す構成では、１行目の画素に係る信号電荷がＳＭＰＬ１制御信号及びＳＭＰＬ２制御信号によって容量素子Ｃ１〜Ｃ６にサンプルホールドされた後は、２行目の画素に係る信号電荷の転送動作が可能となる。すなわち、ＲＣ制御信号によって容量素子ＣＦ１〜ＣＦ６をリセットし、その後、ゲート配線Ｇ２の駆動による転送動作が行われ、更に、上述した直列変換動作が行われる。以下、３行目以降の画素の動作についても、同様の動作を繰り返して行う。つまり、図１に示す構成では、サンプルホールド回路があるために、ｎ行目の転送動作とｎ＋１行目の直列変換動作を同時に行うことができる。

本実施形態では、ＳＭＰＬ１制御信号とＳＭＰＬ２制御信号は、制御部４０から供給され、それぞれ独立に、奇数チャンネル（奇数列の読み出し配線Ｍ１、Ｍ３及びＭ５）と偶数チャンネル（偶数列の読み出し配線Ｍ２、Ｍ４及びＭ６）を制御する。すなわち、本実施形態では、奇数チャンネルと偶数チャンネルとのサンプルホールドのタイミングをずらすことによって、奇数チャンネルに重畳するノイズと偶数チャンネルに重畳するノイズとが異なったノイズ量となるようにしている。

このように、サンプルホールドを行うタイミングをずらすことによって、奇数チャンネルと偶数チャンネルのサンプルホールド動作が独立事象となる。これにより、外来ノイズや電源ノイズの周波数領域が、サンプルホールドのパルス幅から１ラインの動作時間程度の周波数領域であれば、奇数チャンネルと偶数チャンネルにそれぞれ重畳するノイズ量が異なる。このため、ラインノイズの影響度が緩和されてラインノイズの無い良好な画像になる。反面、１ラインの動作時間に比べて、充分に長い時間領域（低周波数）の外来ノイズや電源ノイズについては、奇数チャンネルと偶数チャンネルに重畳するノイズの分離度が小さく、画像の画質向上効果は小さい。

本実施形態では、外来ノイズや電源ノイズが一般的には交流現象的に伝達されるため、画像として白側への作用と黒側への作用が奇数チャンネルと偶数チャンネルとでランダム重畳することにより、横スジ状のアーチファクト（ラインノイズ）が低減される。

一般に、Ｍ行Ｎ列の画素を具備する放射線撮像装置のランダムノイズＮｒは、上述したように、それぞれの画素に含まれるノイズ発生が独立な事象であれば、Ｍ×Ｎ個の暗時画素データの標準偏差で表される。しかしながら、放射線検出部１０の放射線検出素子やスイッチ素子に起因する特有の固定パターンノイズがあるため、１回の暗時画素データの標準偏差では算出できない。通常、暗時画素データを２回取得し、それぞれの減算処理を施したデータの標準偏差を算出し、（√２）で割り算すればランダムノイズＮｒが算出される。

一方、ラインノイズＮｌは、上述したように、各行単位で平均値を算出したＭ個のデータに対して標準偏差を算出する。読み出し回路部や画素に特有の固定パターンノイズがあった場合、同様に（√２）で割り算すればよい。ランダムノイズＮｒとラインノイズＮｌは原因が異なり、画像品位においては、ランダムノイズＮｒよりもラインノイズＮｌの方が敏感である。ラインノイズＮｌは、サンプルホールド動作やリセット動作がライン単位（行）単位で行われることに起因する。経験上、Ｎｌ≦Ｎｒ／１０であれば、ラインノイズＮｌが画像上に目立ちにくくなり、問題にならない。

本実施形態では、奇数チャンネルだけのラインノイズ量そのものは軽減せず、また、偶数チャンネルだけのラインノイズ量そのものも軽減しない。もし、それぞれが独立であれば、行単位で計算した場合のラインノイズは、Ｎｌ／（√２）になる。

本実施形態によれば、装置構成を複雑化することなく簡易な構成で、撮像画像に生じる極めて目立ち易いラインノイズの低減を図ることが可能となる。

なお、本実施形態において、図６では、サンプルホールド信号であるＳＭＰＬ１制御信号とＳＭＰＬ２制御信号の入力のタイミング関係は、各行単位で同一となっている。この点につき、例えば、行毎に、ＳＭＰＬ１制御信号とＳＭＰＬ２制御信号との入力のタイミング関係を変更する形態でもよい。つまり、本実施形態では、所定の読み出し配線に応じたサンプルホールド回路と、当該所定の読み出し配線と異なる読み出し配線に応じたサンプルホールド回路とが、異なるタイミングでサンプルホールドするように、制御信号がそれぞれに与えられていればよい。それはサンプルホールドの開始のタイミングでも、サンプルホールドの終了のタイミングでも異なっていればよい。

また、図６では、駆動回路部２０からゲート配線Ｇ１〜Ｇ６に対して１本ずつ駆動信号を入力して読み出すものであったが、ゲート配線Ｇ１〜Ｇ６に対してｎ（ｎ≧２）本毎に同時に駆動信号を入力するようにしてもよい。この場合、当該ｎ本の駆動配線に接続された各画素が同時に駆動し、読み出し回路部３０では、各読み出し配線につき、ｎ個の画素における電荷（電気信号）を加算して読み出すことになる。

また、本実施形態では、サンプルホールド信号を奇数チャンネルと偶数チャンネルの２系統に分けて入力するものであったが、以下に示す態様であってもよい。

第１の態様としては、Ｎを自然数とし、読み出し配線の（３Ｎ）列と、（３Ｎ−１）列と、（３Ｎ−２）列の３系統に対して、制御部４０から各々の駆動タイミングが異なるサンプルホールド信号を入力するようにする。これにより、ラインノイズの低減効果をより高めることができる。

第２の態様としては、Ｎを自然数とし、読み出し配線の（４Ｎ）列、（４Ｎ−１）列、（４Ｎ−２）列、及び（４Ｎ−３）列の４系統に対して、制御部４０から各々の駆動タイミングが異なるサンプルホールド信号を入力するようにする。これにより、ラインノイズの低減効果を更に高めることができる。

また、第３の態様としては、シフトレジスタ３１とスイッチＳｒ１〜Ｓｒ６によって構成されたアナログマルチプレクサを複数設けて、アナログマルチプレクサ毎に制御部４０から各々の駆動タイミングが異なるサンプルホールド信号を入力するようにする。これにより、ラインノイズの低減効果をより高めることができる。

つまり、本発明では、複数の読み出し配線が複数の読み出し配線群に分けられている。そして、所定の読み出し配線群に応じたサンプルホールド回路と、当該所定の読み出し配線と異なる読み出し配線群に応じたサンプルホールド回路とが、異なるタイミングでサンプルホールドするように読み出し回路部３０を制御する制御信号を与えればよい。

但し、制御部４０から入力する各制御信号の制御配線を多数設けて、ラインノイズを分散させる方が画質への効果は高いが、当該制御配線を闇雲に設けることは、読み出し回路部３０の面積を増加させ、歩留まりを低下させることにもつながる。そして、これは、制御部４０による制御も複雑になるため、装置としてのコストが高くなる恐れがある。よって、以上の点を考慮すると、実質上、４系統までが妥当であると考えられる。

（第２の実施形態）
以下に、本発明の第２の実施形態について説明する。
図７は、第２の実施形態に係る放射線撮像装置（Ｘ線撮像装置）の概略構成図である。
ここで、図７において、図１に示す第１の実施形態に係る放射線撮像装置と同様の構成については、同様の符号を付しており、その機能については第１の実施形態で説明したものと同様であるため、その詳細な説明は省略する。

第２の実施形態では、第１の実施形態に対して、読み出し回路部２３０の構成が異なる。すなわち、第２の実施形態では、奇数チャンネルと偶数チャンネルとを、それぞれＳＭＰＬ１及びＳＭＰＬ２の制御信号で独立に制御する第１の実施形態に加えて、更に、それぞれＲＣ１及びＲＣ２の制御信号により独立に制御するようにする。つまり、リセットを行う際に、制御部４０から読み出し回路部２３０の奇数チャンネルに対してＲＣ１制御信号を入力し、偶数チャンネルに対してＲＣ２制御信号を入力する。

このように、リセットを行うタイミングをずらすことによって、奇数チャンネルと偶数チャンネルのリセット動作が独立事象となる。これにより、外来ノイズや電源ノイズの周波数領域が、リセットのパルス幅から１ラインの動作時間程度の周波数領域であれば、リセットの際に奇数チャンネルと偶数チャンネルにそれぞれ重畳するノイズ量が異なる。このため、ラインノイズの影響度が緩和されてラインノイズの無い良好な画像になる。本実施形態では、外来ノイズや電源ノイズが一般的には交流現象的に伝達されるため、画像として白側への作用と黒側への作用が奇数チャンネルと偶数チャンネルとでランダム重畳することにより、横スジ状のアーチファクト（ラインノイズ）が低減される。

本実施形態においては、積分器ＳＢ１、ＳＢ３及びＳＢ５が、第１の読み出し配線群（Ｍ１、Ｍ３及びＭ５）における各読み出し配線と第１のサンプルホールド回路（ＳＨ１、ＳＨ３及びＳＨ５）との間に設けられた第１の積分器に相当する。また、積分器ＳＢ２、ＳＢ４及びＳＢ６が、第２の読み出し配線群（Ｍ２、Ｍ４及びＭ６）における各読み出し配線と第２のサンプルホールド回路（ＳＨ２、ＳＨ４及びＳＨ６）との間に設けられた第２の積分器に相当する。また、本実施形態においては、スイッチＳＷ１、ＳＷ３及びＳＷ５が、第１の積分器（積分器ＳＢ１、ＳＢ３及びＳＢ５）における容量素子（ＣＦ１、ＣＦ３及びＣＦ５）をリセットするための第１のリセット手段に相当する。また、スイッチＳＷ２、ＳＷ４及びＳＷ６が、第２の積分器（積分器ＳＢ２、ＳＢ４及びＳＢ６）における容量素子（ＣＦ２、ＣＦ４及びＣＦ６）をリセットするための第２のリセット手段に相当する。

次に、第２の実施形態に係る放射線撮像装置の動作について説明する。
図８は、第２の実施形態に係る放射線撮像装置の動作の一例を示すタイミングチャートである。図８には、外来ノイズが混入した例を示している。

上述したように、ＲＣ１制御信号とＲＣ２制御信号は、ＳＭＰＬ１制御信号とＳＭＰＬ２制御信号と同様、その動作をさせるためのタイミングを制御する制御部４０から供給されて、それぞれ独立に制御される。本実施形態では、サンプルホールドのタイミング及びリセットのタイミングをずらすことによって、奇数チャンネルに重畳するノイズと偶数チャンネルに重畳するノイズとを異なったノイズ量にして、ラインノイズの低減を図り、画質向上を実現する。

図８のタイミングチャートでは、外来ノイズが、３行目のＳＭＰＬ１及びＳＭＰＬ２のサンプルホールド信号が出力されている期間と、６行目のＲＣ１及びＲＣ２のリセット信号が出力されている期間に発生している。そして、それぞれ、出力信号Ｖｏｕｔにラインノイズとして重畳している。

図７に示すように、ＳＭＰＬ１制御信号とＳＭＰＬ２制御信号とに基づいて読み出し回路部２３０を駆動させているため、図８に示す３行目の出力信号には、奇数チャンネルと偶数チャンネルとで異なった量のラインノイズが重畳している。また、ＲＣ１制御信号とＲＣ２制御信号とに基づいて読み出し回路部２３０を駆動させているため、６行目の出力信号には、奇数チャンネルと偶数チャンネルとで異なった量のラインノイズが重畳している。図８では、信号成分も含めた形でタイミングチャートを記載しているため、ラインノイズを破線で示している。

放射線検出部１０の電源や読み出し回路部２３０の電源の変動によるノイズ源や、空間を伝わってくるノイズ源によって発生するラインノイズは、ＲＣ１及びＲＣ２によるリセットやＳＭＰＬ１及びＳＭＰＬ２によるサンプルホ−ルドとは独立な事象である。そして、このラインノイズが白側になるか黒側になるかはわからない。本実施形態の特筆すべき点は、奇数チャンネルと偶数チャンネルとのサンプルホールド動作及びリセット動作の両方を分離して独立に動作させて、確率論的に、画像品位の向上を図るということである。

本実施形態では、奇数チャンネルと偶数チャンネルとのリセット動作及びサンプルホールド動作を時間的に異なったタイミングで動作させている。これにより、本実施形態によれば、奇数チャンネルと偶数チャンネルのそれぞれに重畳するノイズが、第１の実施形態に比べて更に分散される確率が増加するため、撮像画像に生じる極めて目立ち易いラインノイズの更なる低減を図ることが可能となる。

なお、本実施形態において、図８では、サンプルホールド信号であるＳＭＰＬ１制御信号とＳＭＰＬ２制御信号の入力のタイミング関係、並びに、リセット信号であるＲＣ１制御信号とＲＣ２制御信号の入力のタイミング関係は、各行単位で同一となっている。この点につき、例えば、行毎に、ＳＭＰＬ１制御信号とＳＭＰＬ２制御信号との入力のタイミング関係、並びに、ＲＣ１制御信号とＲＣ２制御信号との入力のタイミング関係を変更する形態であってもよい。つまり、本発明では、所定の読み出し配線に応じたリセット手段と、当該所定の読み出し配線と異なる読み出し配線に応じたリセット手段とが、異なるタイミングでリセットするように、制御信号がそれぞれに与えられていればよい。それはリセットの開始のタイミングでも、リセットの終了のタイミングでも異なっていればよい。

また、図８では、駆動回路部２０からゲート配線Ｇ１〜Ｇ６に対して１本ずつ駆動信号を入力して読み出すものであったが、ゲート配線Ｇ１〜Ｇ６に対してｎ（ｎ≧２）本毎に同時に駆動信号を入力するようにしてもよい。この場合、当該ｎ本の駆動配線に接続された各画素が同時に駆動し、読み出し回路部２３０では、各読み出し配線につき、ｎ個の画素における電荷（電気信号）を加算して読み出すことになる。

また、本実施形態では、サンプルホールド信号及びリセット信号を奇数チャンネルと偶数チャンネルの２系統に分けて入力するものであったが、以下に示す態様であってもよい。

第１の態様としては、Ｎを自然数とし、読み出し配線の（３Ｎ）列と、（３Ｎ−１）列と、（３Ｎ−２）列の３系統に対して、制御部４０から各々の駆動タイミングが異なるサンプルホールド信号及びリセット信号を入力するようにする。これにより、ラインノイズの低減効果をより高めることができる。

第２の態様としては、Ｎを自然数とし、読み出し配線の（４Ｎ）列と、（４Ｎ−１）列と、（４Ｎ−２）列、（４Ｎ−３）列の４系統に対して、制御部４０から各々の駆動タイミングが異なるサンプルホールド信号及びリセット信号を入力するようにする。これにより、ラインノイズの低減効果を更に高めることができる。

また、第３の態様としては、シフトレジスタ３１とスイッチＳｒ１〜Ｓｒ６によって構成されたアナログマルチプレクサを複数設けるようにする。そして、アナログマルチプレクサ毎に制御部４０から各々の駆動タイミングが異なるサンプルホールド信号及びリセット信号を入力するようにする。これにより、ラインノイズの低減効果をより高めることができる。

つまり、本発明では、複数の読み出し配線が複数の読み出し配線群に分けられている。そして、所定の読み出し配線群に応じたリセット手段と、当該所定の読み出し配線と異なる読み出し配線群に応じたリセット手段とが、異なるタイミングでリセットするように読み出し回路部２３０を制御する制御信号を与えればよい。

但し、制御部４０から入力する各制御信号の制御配線を多数設けて、ラインノイズを分散させる方が画質への効果が高いが、当該制御配線を闇雲に設けることは、読み出し回路部２３０の面積を増加させ、歩留まりを低下させることにもつながる。そして、これは、制御部４０による制御も複雑になるため、装置としてのコストが高くなる恐れがある。よって、以上の点を考慮すると、実質上、４系統までが妥当であると考えられる。

なお、本実施形態においては、リセット動作及びサンプルホールド動作を時間的に異なったタイミングで動作させている形態を説明したが、リセット動作だけを時間的に異なったタイミングで動作させても、ラインノイズを低減させる効果は十分得られる。つまり、リセットの際に混入するノイズ成分を分散させることだけでも、ラインノイズの低減効果は十分期待できる。

（第３の実施形態）
以下に、本発明の第３の実施形態について説明する。
図９は、第３の実施形態に係る放射線撮像装置（Ｘ線撮像装置）の概略構成図である。
ここで、図９において、図１に示す第１の実施形態に係る放射線撮像装置と同様の構成については、同様の符号を付しており、その機能については第１の実施形態で説明したものと同様であるため、その詳細な説明は省略する。

第３の実施形態では、第１及び第２の実施形態に対して、読み出し回路部３３０の構成が異なる。すなわち、第３の実施形態では、図７に示す第２の実施形態に対して、サンプルホールド信号及びリセット信号の入力を１つとし、読み出し回路部３３０内に設けられたディレイ回路部３３及び３４を用いて、奇数チャンネルと偶数チャンネルの２系統に分けている。このようにすれば、制御部４０からのサンプルホールド信号（ＳＭＰＬ制御信号）及びリセット信号（ＲＣ制御信号）は１種類でよく、当該装置の制御が簡単になる。

図１０は、図９に示すディレイ回路部３３及び３４の詳細な内部構成の一例を示す概略図である。
ディレイ回路部３３は、抵抗３３１と、容量素子３３２と、バッファ３３３を有して構成されおり、同様に、ディレイ回路部３４は、抵抗３４１と、容量素子３４２と、バッファ３４３を有して構成されている。

制御部４０から入力されたＳＭＰＬ制御信号は、抵抗３３１と容量素子３３２とで形成される１次のＬＰＦの通過後に、ディジタルバッファ３３３で矩形波状に整形されて、第２の実施形態におけるＳＭＰＬ２制御信号となる。また、制御部４０から入力されたＳＭＰＬ制御信号は、そのまま何も処理されずに、第２の実施形態におけるＳＭＰＬ１制御信号となる。一方、制御部４０から入力されたＲＣ制御信号は、抵抗３４１と容量素子３４２とで形成される１次のＬＰＦの通過後に、ディジタルバッファ３４３で矩形波状に整形されて、第２の実施形態におけるＲＣ２制御信号となる。また、制御部４０から入力されたＲＣ制御信号は、そのまま何も処理されずに、第２の実施形態におけるＲＣ１制御信号となる。

図１１は、ディレイ回路部３３及び３４により取得されたサンプルホールド信号（ＳＭＰＬ１、ＳＭＰＬ２）及びリセット信号（ＲＣ１、ＲＣ２）のタイミングチャートである。本実施形態の場合には、図１１に示すように、ディレイ回路部３３及び３４により、ＳＭＰＬ１制御信号及びＲＣ１制御信号に対して、それぞれＳＭＰＬ２制御信号及びＲＣ２制御信号が、立ち上がり、立ち下がりともに遅延するものとなる。

このように、ディレイ回路部３３及び３４を設けることにより、制御部４０から入力するサンプルホールド信号（ＳＭＰＬ制御信号）及びリセット信号（ＲＣ制御信号）がそれぞれ１種類であっても、図８に示す第２の実施形態における動作が実現できる。

（第４の実施形態）
以下に、本発明の第４の実施形態について説明する。
第４の実施形態では、上述した第１〜第３の実施形態に係る放射線撮像装置を含む放射線撮像システムの形態である。すなわち、第４の実施形態に係る放射線撮像システムは、第１の実施形態乃至第３の実施形態のいずれかの放射線撮像装置と、当該放射線撮像装置の放射線検出部１０に対して放射線（Ｘ線）を出射する放射線発生装置とを少なくとも有して構成される。

前述した各実施形態に係る放射線撮像装置を構成する図１、７及び９の各手段、並びに放射線撮像装置の駆動方法を示した図３〜６、８及び１１の各ステップは、コンピュータのＲＡＭやＲＯＭなどに記憶されたプログラムが動作することによって実現できる。このプログラム及び当該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体は本発明に含まれる。

具体的に、前記プログラムは、例えばＣＤ−ＲＯＭのような記憶媒体に記録し、或いは各種伝送媒体を介し、コンピュータに提供される。前記プログラムを記録する記憶媒体としては、ＣＤ−ＲＯＭ以外に、フレキシブルディスク、ハードディスク、磁気テープ、光磁気ディスク、不揮発性メモリカード等を用いることができる。他方、前記プログラムの伝送媒体としては、プログラム情報を搬送波として伝搬させて供給するためのコンピュータネットワーク（ＬＡＮ、インターネットの等のＷＡＮ、無線通信ネットワーク等）システムにおける通信媒体を用いることができる。また、この際の通信媒体としては、光ファイバ等の有線回線や無線回線などが挙げられる。

また、本発明は、コンピュータが供給されたプログラムを実行することにより各実施形態に係る放射線撮像装置の機能が実現される態様に限られない。そのプログラムがコンピュータにおいて稼働しているＯＳ（オペレーティングシステム）或いは他のアプリケーションソフト等と共同して各実施形態に係る放射線撮像装置の機能が実現される場合も、かかるプログラムは本発明に含まれる。また、供給されたプログラムの処理の全て、或いは一部がコンピュータの機能拡張ボードや機能拡張ユニットにより行われて各実施形態に係る放射線撮像装置の機能が実現される場合も、かかるプログラムは本発明に含まれる。

本発明は、医療用の診断や工業用の非破壊検査等に用いて好適な撮像装置、放射線撮像装置、それらの駆動方法及び放射線撮像システムに好適に用いられ得る。

第１の実施形態に係る放射線撮像装置（Ｘ線撮像装置）の概略構成図である。 図１に示す駆動回路部の詳細な内部構成の一例を示す概略図である。 図２に示す駆動回路部の動作の一例を示すタイミングチャートである。 図２に示す駆動回路部の動作の一例を示すタイミングチャートである。 図２に示す駆動回路部の動作の一例を示すタイミングチャートである。 第１の実施形態に係る放射線撮像装置の動作の一例を示すタイミングチャートである。 第２の実施形態に係る放射線撮像装置（Ｘ線撮像装置）の概略構成図である。 第２の実施形態に係る放射線撮像装置の動作の一例を示すタイミングチャートである。 第３実施形態に係る放射線撮像装置（Ｘ線撮像装置）の概略構成図である。 図９に示すディレイ回路部の詳細な内部構成の一例を示す概略図である。 ディレイ回路部により取得されたサンプルホールド信号（ＳＭＰＬ１、ＳＭＰＬ２）及びリセット信号（ＲＣ１、ＲＣ２）のタイミングチャートである。

符号の説明

１０ 放射線検出部
１１ 画素
１２ センサバイアス源
２０ 駆動回路部
２１ Ｄフリップフロップ
２２ アンド素子
２３ レベルシフト回路
３０、２３０、３３０ 読み出し回路部
３１ シフトレジスタ
３２ アンプ
３３、３４ ディレイ回路部
３３１、３４１ 抵抗
３３２、３４２ 容量素子
３３３、３４３ バッファ
４０ 制御部
Ｓ１−１〜Ｓ６−６ 放射線検出素子
Ｔ１−１〜Ｔ６−６ スイッチ素子
Ｇ１〜Ｇ６ ゲート配線（駆動配線）
Ｍ１〜Ｍ６ 読み出し配線
Ａ１〜Ａ６ オペアンプ
Ｂ１〜Ｂ６ オペアンプ（バッファアンプ）
ＣＦ１〜ＣＦ６ 容量素子
Ｃ１〜Ｃ６ サンプルホールド用の容量素子
ＳＨ１〜ＳＨ６ サンプルホールド回路
ＳＢ１〜ＳＢ６ 積分器
ＳＷ１〜ＳＷ６ リセット用のスイッチ（リセット手段）
Ｓｎ１〜Ｓｎ６ サンプルホールド用のスイッチ
Ｓｒ１〜Ｓｒ６ 直列変換用（アナログマルチプレクサ）のスイッチ

Claims (10)

1. 入射した放射線または光を電荷に変換する変換素子と前記電荷に応じた電気信号を転送するスイッチ素子とを含む画素が行列状に複数配設された検出部と、
   前記検出部の行方向における複数の画素の前記スイッチ素子を動作させて当該複数の画素から前記電気信号を並列に転送するための駆動回路部と、
   前記検出部の第１群に属する列の画素の電気信号をサンプルホールドするための第１のサンプルホールド回路と、前記第１群と異なる第２群に属する列の画素の電気信号をサンプルホールドするための第２のサンプルホールド回路とを含み、前記電気信号を並列に読み出すための読み出し回路部と、
   前記読み出し回路部を制御する制御部と
   を有し、
   前記制御部は、前記第１のサンプルホールド回路と前記第２のサンプルホールド回路とが異なるタイミングでサンプルホールドするように、前記読み出し回路部を制御することを特徴とする撮像装置。
2. 前記制御部は、第１のサンプルホールド回路と前記第２のサンプルホールド回路とが異なるタイミングでサンプルホールドの開始と終了の少なくとも一方を行うように、前記読み出し回路部を制御することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
3. 前記検出部の行方向における複数の画素から前記電気信号を並列に前記読み出し回路部に転送するための複数の読み出し配線を更に有し、
   前記第１のサンプルホールド回路は、前記複数の読み出し配線のうち、前記第１群に属する列の画素に列ごとに共通して設けられた第１の読み出し配線群に応じて構成され、
   前記第２のサンプルホールド回路は、前記複数の読み出し配線のうち、前記第２群に属する列の画素に列ごとに共通して設けられた第２の読み出し配線群に応じて構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の撮像装置。
4. 前記第１の読み出し配線群は、前記複数の読み出し配線における奇数列の群であり、前記第２の読み出し配線群は、前記複数の読み出し配線における偶数列の群であることを特徴とする請求項３に記載の撮像装置。
5. 前記読み出し回路部は、
   前記第１の読み出し配線群における読み出し配線と前記第１のサンプルホールド回路との間に設けられた第１の積分器と、
   前記第２の読み出し配線群における読み出し配線と前記第２のサンプルホールド回路との間に設けられた第２の積分器と、
   前記第１の積分器における容量をリセットするための第１のリセット手段と、
   前記第２の積分器における容量をリセットするための第２のリセット手段と
   を更に含み、
   前記制御部は、第１のリセット手段と前記第２のリセット手段とが異なるタイミングでリセットするように、前記読み出し回路部を制御することを特徴とする請求項３又は４に記載の撮像装置。
6. 前記読み出し回路部は、前記第１のサンプルホールド回路にサンプルホールドされた電気信号と前記第２のサンプルホールド回路にサンプルホールドされた電気信号とを時系列的に出力する出力手段を更に含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の撮像装置。
7. 前記変換素子は、放射線が入射された場合、放射線を光に変換する蛍光体と、前記蛍光体により変換された光を前記電気信号に変換する光電変換素子とを具備することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の撮像装置。
8. 前記光電変換素子は、アモルファスシリコンを主材料とするものであることを特徴とする請求項７に記載の撮像装置。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の撮像装置と、
   前記検出部に前記放射線を出射する放射線発生装置と
   を有することを特徴とする放射線撮像システム。
10. 入射した放射線または光を電荷に変換する変換素子と前記電荷に応じた電気信号を転送するスイッチ素子とを含む画素が行列状に複数配設された検出部と、前記検出部の行方向における複数の画素の前記スイッチ素子を動作させて当該複数の画素から前記電気信号を並列に転送するための駆動回路部と、前記電気信号を並列に読み出すための読み出し回路部とを備える撮像装置の駆動方法であって、
    前記読み出し回路部には、前記検出部の第１群に属する列の画素の電気信号をサンプルホールドするための第１のサンプルホールド回路と、前記第１群と異なる第２群に属する列の画素の電気信号をサンプルホールドするための第２のサンプルホールド回路とが含まれており、
    前記第１のサンプルホールド回路のサンプルホールドするタイミングと前記第２のサンプルホールド回路のサンプルホールドするタイミングとを異なるタイミングとすることを特徴とする撮像装置の駆動方法。

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