JP2007505444A - 多孔質材料から電極を製造する方法、その方法により得られる電極及び対応する電気化学系 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の目的は、多孔質材料から電極を製造する方法、特に、合金の調製を含む電極を製造する方法、及びその方法の実行中に電極を炭素で少なくとも部分的に被覆する方法を提供することにある。
最近開発されたポリマー電解質を基材とする発電機は、アノードシートとして、金属リチウム、時にはナトリウム、又は他のアルカリ金属を使用している。アルカリ金属は、可鍛性であり、特許CA−A−2,099,526及びCA−A−2,099,524で言及されているように、薄膜の形態で用いることができる。
− mAh/グラム単位での高容量;
− mAh/リットル単位での高容量;
− 良好なサイクル容量;
− 低率自己放電;及び
− 良好な環境耐性
のうちの少なくとも1つを有する新しい電極材料に関するニーズがあった。
図1−4は、LixSiy合金の形成を伴う本発明にしたがう方法によってケイ素中へリチウムを挿入するためのメカニズムを示している図である。
1− フォトレジストの薄膜層を堆積させる工程;
2− マスクを配置し、そしてUV光を通過させて所望のゾーンを架橋させる工程;
3− 化学的ストリッピングによって非架橋ゾーンを溶解させる工程;
4− (マイクロバッテリーのアノードを形成する)ストリップされていないフォトレジストを炭化する工程;
5− 電解質を導入し、次いでカソードを導入する工程;
6− ストリップされたゾーンでの作業を中断して、マイクロバッテリーを提供する工程。
物理化学的性能ならびに機械的性能に関して非常に興味深い特性を示す電気化学系のための電極の製造を可能にする、多孔質材料から電気化学系のための電極を製造する方法。
提案される技術は、電気化学回路中にマイクロバッテリーを直接に製造できる。
本発明の第一の目的は、多孔質材料から電気化学系のための電極を製造する方法である。好ましくは、使用される多孔質材料は、以下で言及する水銀法によって測定した場合に、1〜99%の多孔度(両端値を含む)を有する。更に有利には、多孔質材料の多孔度は20〜80%(両端値を含む)である。
− NH4Fを10〜60%;
− メタノールを5〜20%;及び
− H2Oを75%〜20%
含む。
− 1μWhを超える電気化学容量;
− 500を超える、好ましくは100を超えるサイクル容量;
− 5%未満、好ましくは4%未満、更に好ましくは3%未満の自己放電率;及び
− 周囲条件下で行われる貯蔵試験によって測定した場合に、3年を超える、好ましくは5年を超える寿命
のうちの少なくとも1つを有するバッテリーから成る。
本発明は、マイクロバッテリーにおける多孔質材料の使用に関する。更に詳しくは、本発明は、多孔質ホスト金属、例えばケイ素を含有する負極を含む電気化学的発電機に関する。ホストシート金属は、後に負極を構成させることが意図されており、また、前記ホストシート金属は、横方向の膨張を吸収する特性、及びホスト金属とアルカリ金属との間で合金を形成している間に起こる多孔質金属平面でのあらゆる変化を実質的に防止する特性を有する。
本発明にしたがう多孔質ケイ素を製造する方法の枠組み内では、NH4Fの混合物を有利に用いて、不純物として存在するSi及びSiO2を溶かす。
絶縁層を有する従来の「ウェーハ」搬送ケイ素を、微小電極用の支持体として用いることができる。この革新的なアプローチによると、フォトレジストを炭化し、そして、フォトレジストを導電性にする熱処理(通常は、1時間、不活性雰囲気下、600〜1100℃の温度で)によって、炭素電極が、標準的なフォトレジストから形成される。
第二のアプローチは、フォトマスクの使用を必要としない方法である。実際、「経路」を有する狭いレーザービームのみが使用され、経路は、特定の「経路」軌道にしたがって移動するように制御される。コンピューター制御によってフォトレジスト表面上におけるレーザービームの移動を制御することによって、チャネルを含む多種多様な微小電極デバイスを製造できる。レーザー蒸気の出力強度は、フォトレジストを炭素へと転化させずに且つフォトレジストの蒸発を防止するように調整され、また、その調整により、レーザーアブレーションによる炭素の損失も最少化される。次の工程では、レーザー蒸気に曝露されていない特定部分の反応しなかったフォトレジストを溶かし、シリコンウェーハ上に炭化微小電極だけを残す。レーザービームの照射は、フォトレジストポリマーを炭素に転化させることができる。同様に、熱分解によって得られた結果と同じ結果が、ラマンスペクトルを用いることによって得られる。
Claims (43)
- 多孔質材料から電気化学系のための電極を製造する方法。
- 水銀法で測定した場合に、多孔質材料の多孔度が1〜99%(両端値を含む)である、請求項1記載の電極を製造する方法。
- 多孔質材料の多孔度が20〜80%(両端値を含む)である、請求項2記載の電極を製造する方法。
- 多孔質材料における平均気孔径が、1ナノメートル〜1マイクロメートル(両端値を含む)である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の電極を製造する方法。
- 気孔径が10〜250ナノメートル(両端値を含む)である、請求項4記載の電極を製造する方法。
- 気孔の分散が実質的に均一であり、好ましくは、d50が100〜150ナノメートルであるような分散である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の電極を製造する方法。
- 気孔が多孔質材料の表面に配置され、かつ該多孔質材料全体に広がり;好ましくは、該該気孔は1マイクロメートル〜3ミリメートルの深さを有し、該多孔質材料は2マイクロメートル〜3.5ミリメートルの厚さを有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の電極を製造する方法。
- 気孔が多孔質材料の全体に完全には広がっていない、請求項7記載の電極を製造する方法。
- 多孔質材料がアルカリ金属と合金を形成できる、請求項1〜8のいずれか1項に記載の電極を製造する方法。
- 多孔質材料が、多孔質形態であるケイ素、スズ、アルミニウム、銀、金、白金及びそれらの材料の少なくとも2種の混合物から成る群より選択される、請求項1〜9のいずれか1項に記載の電極を製造する方法。
- 合金の製造が、化学的及び/又は電気化学的な手段によって行われる、請求項9又は10記載の電極を製造する方法。
- 電極を形成するために使用される材料の空隙率が、アルカリ金属との合金の形成中に発生する体積膨張を多孔質材料の空隙が吸収できるような空隙率である、請求項11記載の電極を製造する方法。
- 多孔質材料が多孔質ケイ素である、請求項1〜12のいずれか1項にしたがってアノードである電極を製造する方法。
- アノードが、少なくとも1種の多孔質ケイ素供給源と、Li、Na、Ca及びそれらの金属のうちの少なくとも2種の混合物からなる群から選択される少なくとも1種のアルカリ金属とから合金を形成させることによって得られる、請求項13記載のアノードを製造する方法。
- アノードが多孔質ケイ素を基材とし、水銀ポロシメータ法にしたがって測定される多孔度が5〜95体積%(両端値を含む)である、請求項14記載のアノードを製造する方法。
- 多孔度が約75体積%である、請求項15記載のアノードを製造する方法。
- 多孔質材料として使用される多孔質ケイ素が、シリコンウェーハ、シリコンペレット、シリコンフィルム及びそれらの少なくとも2種の混合物から成る群より選択されるケイ素供給源から得られる、請求項14〜16のいずれか1項に記載のアノードを製造する方法。
- 多孔質材料として使用される多孔質ケイ素がケイ素単結晶から得られる、請求項14〜17のいずれか1項に記載のアノードを製造する方法。
- 多孔質ケイ素が、少なくとも1種の塩を含む浴中における電気化学的処理により、ケイ素供給源から得られ、その際、該塩は、好ましくはNHXFY(式中、Xは4又は5であり、Yは1又は2である)から成る群より選択され、更に好ましくはNH4Fである、請求項13〜18のいずれか1項に記載のアノードを製造する方法。
- ケイ素供給源を処理するために使用される浴が、少なくとも1種の塩を含む溶液であって、該溶液が、好ましくはH2SO4、NH4F及びH2Oと、好ましくはアルコール又はケトンである少なくとも1種の非水性溶媒との混合物であり、該非水性溶媒(一種又は複数種)が、好ましくはメタノール、エタノール及びアセトン、及びそれらの溶媒のうちの少なくとも2種の混合物から成る群より選択される、請求項19記載のアノードを製造する方法。
- 浴が、体積基準で:
− 10〜60%のNH4F;
− 5〜20%のメタノール;及び
− 75〜20%のH2SO4
を含有する、請求項20記載のアノードを製造する方法。 - 多孔質ケイ素を基材とする合金が、SixLiy(式中、xは1〜5であり、yは5〜21である)の形態である、請求項14〜21のいずれか1項に記載のアノードを製造する方法。
- xが約4であり、yが約21である、請求項22記載のアノードを製造する方法。
- 形成される合金がSixLiyタイプであり、また、該合金が、40〜100℃の温度、好ましくは約80℃の温度で、シート又はウェーハの形態でケイ素供給源をリチウム及び/又は金属リチウムと接触させることによる電気化学的手段によって得られる、請求項19〜23のいずれか1項に記載のアノードを製造する方法。
- ケイ素供給源と金属リチウムとの接触時間が1〜12時間であり、好ましくは約3時間である、請求項24記載のアノードを製造する方法。
- 請求項1〜25のいずれか1項に記載の方法を実行することによって得られるアノード。
- 多孔質材料、好ましくは多孔質ケイ素を少なくとも60重量%、好ましくは少なくとも40重量%含有することを特徴とするアノード。
- 炭素で少なくとも部分的に被覆されている、請求項27記載のアノード。
- 実質的にクラックが無い、請求項27又は28記載のアノード。
- 請求項26〜29のいずれか1項に記載の少なくとも1つのアノード、少なくとも1つのカソード及び少なくとも1つの電解質を含む電気化学系。
- 電解質が、液体、ゲル又はポリマーのタイプである、請求項30記載のバッテリー形態の電気化学系。
- カソードが、LiCoO2、LiFePO4、LiNiO2、LiNi0.5Mn0.5O2、LiNi0.33Mn0.33O2のタイプであり、また、該カソードが、好ましくは、1〜5ボルトのタイプである、請求項31記載の電気化学系。
- 再充電可能なタイプ、好ましくはリチウムイオンタイプである、請求項32記載のバッテリー。
- 以下の電気化学的特性:すなわち
1μWhを超える電気化学容量;
500サイクルを超える、好ましくは1000を超えるサイクル容量;
5%未満、好ましくは4%未満、更に好ましくは3%未満の自己放電率;及び
周囲条件下で行われる貯蔵試験によって測定した場合に、3年を超える、好ましくは5年を超える寿命
のうちの少なくとも一つを有し、好ましくは1mm2〜10cm2の寸法を有する、マイクロバッテリー形態の請求項33記載のバッテリー。 - 電気化学系における請求項26〜29のいずれか1項に記載のアノードの使用。
- リチウムマイクロバッテリー用の負極としての請求項33記載の使用。
- 多孔質ケイ素を基材とする電極を製造する方法であって、該電極を、ポリマー層の熱分解により炭素で少なくとも部分的に被覆し、該ポリマー層は、好ましくは、Si3N4のような多孔質ケイ素の好ましくは絶縁性である支持体上に薄層として塗布されており、該ポリマーの熱分解を、好ましくは、600〜1100℃の温度で、好ましくは30分〜3時間行う、前記方法。
- 多孔質ケイ素を基材とする電極を製造する方法であって、該電極を、ポリマー層のレーザー熱分解により炭素で少なくとも部分的に被覆し、該ポリマー層は、好ましくは、ケイ素(絶縁性)支持体上に薄層として塗布されており、該レーザービームは、好ましくは10〜100ミリワットの強度を有し、また、好ましくは1秒〜1分の間、好ましくは該ケイ素支持体から0.5マイクロメートル〜1ミリメートルの距離に配置される、前記方法。
- ケイ素支持体が、ケイ素単結晶から成り、100ミクロン〜3ミリメートルの厚さを有する、請求項37又は38記載の方法。
- 請求項36〜39のいずれか1項に記載の方法を実行することによって得られる電極。
- 請求項40記載の電極を少なくとも1つ含む電気化学系。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載の電極を製造する方法であって、該電極が、カソード材料の1つのターゲットから製造されるカソードであり、該ターゲットは、LiCoO2、LiMn2O4、LiMn1/3Ni1/3Co1/3O2、LiMn1/2Ni1/2O2、LiMPO4(式中、M=Fe,Co,Ni,Mn)及びそれらの材料のうちの少なくとも2種の混合物から成る群より選択され、該ターゲット材料は好ましくはプレスされ、該ターゲット上にレーザーを20mW〜2Wの範囲で変化できる容量で施用して、該カソードを構成する多孔質材料を生成し、その後に、該多孔質材料をレーザーによりターゲットからスリップし、多孔質Si/炭素/電解質半電池上に堆積させる、前記方法。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載の電極を製造する方法であって、該電極は、カソード粉末と、キャリヤー溶液(好ましくはトルエン、ヘプタン又はそれらの少なくとも2種の混合物である)との混合物から調製されるペースト形態の化合物から製造されるカソードであり;該ペースト状溶液を、支持体(好ましくはケイ素)から100μmのところに配置された支持プレート(好ましくはガラス製)上に塗布し;紫外線レーザービームを支持プレートを介して施用し、そして該カソードを、熱分解により該支持体上に投影する、前記方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CA2,432,397 | 2003-06-25 | ||
CA002432397A CA2432397A1 (fr) | 2003-06-25 | 2003-06-25 | Procede de preparation d'electrode a partir d'un silicium poreux, electrode ainsi obtenue et systeme electrochimique contenant au moins une telle electrode |
PCT/CA2004/000956 WO2004114437A2 (fr) | 2003-06-25 | 2004-06-25 | Procede de preparation d'electrode a partir d'un materiau poreux, electrode ainsi obtenue et systeme electrochimique correspondant |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012093067A Division JP5514248B2 (ja) | 2003-06-25 | 2012-04-16 | 多孔質材料から電極を製造する方法、その方法により得られる電極及び対応する電気化学系 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007505444A true JP2007505444A (ja) | 2007-03-08 |
JP2007505444A5 JP2007505444A5 (ja) | 2011-03-24 |
JP5342746B2 JP5342746B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=33520295
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006515613A Expired - Lifetime JP5342746B2 (ja) | 2003-06-25 | 2004-06-25 | 多孔質材料から電極を製造する方法、その方法により得られる電極及び対応する電気化学系 |
JP2012093067A Expired - Lifetime JP5514248B2 (ja) | 2003-06-25 | 2012-04-16 | 多孔質材料から電極を製造する方法、その方法により得られる電極及び対応する電気化学系 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012093067A Expired - Lifetime JP5514248B2 (ja) | 2003-06-25 | 2012-04-16 | 多孔質材料から電極を製造する方法、その方法により得られる電極及び対応する電気化学系 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US8048561B2 (ja) |
EP (2) | EP2475032B1 (ja) |
JP (2) | JP5342746B2 (ja) |
CA (3) | CA2432397A1 (ja) |
ES (1) | ES2693619T3 (ja) |
WO (1) | WO2004114437A2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006278076A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 非水電解質二次電池 |
JP2010170901A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Kobelco Kaken:Kk | 負極活物質、これを用いた二次電池およびキャパシタ |
KR20160142654A (ko) * | 2015-06-03 | 2016-12-13 | 삼성전자주식회사 | 이차 전지 구조/시스템과 그 제조방법 및 동작방법 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0601318D0 (en) * | 2006-01-23 | 2006-03-01 | Imp Innovations Ltd | Method of etching a silicon-based material |
JP2007273182A (ja) | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Sony Corp | 集電体、負極及び電池 |
FR2910721B1 (fr) * | 2006-12-21 | 2009-03-27 | Commissariat Energie Atomique | Ensemble collecteur de courant-electrode avec des cavites d'expansion pour accumulateur au lithium sous forme de films minces. |
US8740873B2 (en) * | 2007-03-15 | 2014-06-03 | Hologic, Inc. | Soft body catheter with low friction lumen |
US9882241B2 (en) | 2008-08-01 | 2018-01-30 | Seeo, Inc. | High capacity cathode |
US9054372B2 (en) | 2008-08-01 | 2015-06-09 | Seeo, Inc. | High capacity anodes |
US9017882B2 (en) | 2008-11-07 | 2015-04-28 | Seeo, Inc. | Electrodes with solid polymer electrolytes and reduced porosity |
WO2010054272A1 (en) | 2008-11-07 | 2010-05-14 | Seeo, Inc | Method of forming an electrode assembly |
JP5515307B2 (ja) * | 2009-02-03 | 2014-06-11 | ソニー株式会社 | 薄膜固体リチウムイオン二次電池 |
EP2228854B1 (en) * | 2009-03-12 | 2014-03-05 | Belenos Clean Power Holding AG | Nitride and carbide anode materials |
EP2237346B1 (en) * | 2009-04-01 | 2017-08-09 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Electrically conductive nanocomposite material comprising sacrificial nanoparticles and open porous nanocomposites produced thereof |
TW201106523A (en) * | 2009-06-23 | 2011-02-16 | A123 Systems Inc | Battery electrodes and methods of manufacture related applications |
KR20120093895A (ko) * | 2009-10-30 | 2012-08-23 | 락히드 마틴 코오포레이션 | 구조화된 실리콘 배터리 애노드들 |
US9142833B2 (en) | 2010-06-07 | 2015-09-22 | The Regents Of The University Of California | Lithium ion batteries based on nanoporous silicon |
US9966598B2 (en) | 2014-09-30 | 2018-05-08 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | High capacity prelithiation reagents and lithium-rich anode materials |
CN104701205B (zh) * | 2015-02-13 | 2017-11-17 | 武汉理工大学 | 基于单根纳米线电极材料的原位表征性能测试方法 |
DE102015212202A1 (de) * | 2015-06-30 | 2017-01-05 | Robert Bosch Gmbh | Siliciummonolith-Graphit-Anode für eine Lithium-Zelle |
KR102591512B1 (ko) | 2016-09-30 | 2023-10-23 | 삼성전자주식회사 | 음극 활물질 및 이를 채용한 리튬 이차 전지, 및 상기 음극 활물질의 제조방법 |
US11233288B2 (en) | 2018-07-11 | 2022-01-25 | International Business Machines Corporation | Silicon substrate containing integrated porous silicon electrodes for energy storage devices |
US20200388825A1 (en) * | 2019-06-10 | 2020-12-10 | GM Global Technology Operations LLC | Pre-cycled silicon electrode |
US11342625B2 (en) * | 2019-11-04 | 2022-05-24 | Xnrgi, Inc. | Method of fabricating and method of using porous wafer battery |
WO2021237199A1 (en) * | 2020-05-22 | 2021-11-25 | Fastcap Systems Corporation | Si-containing composite anode for energy storage devices |
CN111883823B (zh) * | 2020-06-10 | 2021-10-26 | 华南理工大学 | 一种复合聚合物固态电解质材料及其制备方法和应用 |
CN113839005A (zh) * | 2020-06-24 | 2021-12-24 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 固态电池用凝胶复合正极及其制备方法 |
CN113948682A (zh) * | 2020-07-16 | 2022-01-18 | 中国石油化工股份有限公司 | 硅铁碳复合负极材料及其制法以及采用它的锂离子电池 |
CN113314357A (zh) * | 2021-05-24 | 2021-08-27 | 北京理工大学 | 一种双脉冲飞秒激光沉积超高频率响应超级电容的方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10275617A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-10-13 | Dow Corning Corp | リチウムイオン電池用電極材料の形成 |
JP2000011994A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-14 | Kao Corp | 非水系二次電池用正極 |
JP2000090922A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-31 | Sumitomo Metal Ind Ltd | リチウム二次電池とその負極材料及び該材料の製造方法 |
JP2000149937A (ja) * | 1998-09-08 | 2000-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非水電解質二次電池用負極材料とその製造方法 |
JP2001143687A (ja) * | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Kao Corp | 非水系二次電池用正極 |
JP2002056843A (ja) * | 2000-08-09 | 2002-02-22 | Sumitomo Metal Ind Ltd | リチウム二次電池用負極材料とその製造方法 |
JP2002100345A (ja) * | 2001-08-03 | 2002-04-05 | Kao Corp | 非水系二次電池用正極の製造方法 |
JP2002319407A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-10-31 | Sanyo Electric Co Ltd | リチウム二次電池用電極及びリチウム二次電池 |
JP2002319408A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-10-31 | Sanyo Electric Co Ltd | リチウム二次電池用電極及びリチウム二次電池 |
JP2002367602A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非水電解質二次電池 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2829094C2 (de) * | 1978-07-03 | 1980-07-17 | Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt | Herstellung eines porösen Aluminiumgerüstes für die negative Elektrode eines galvanischen Lithium-Aluminium-Metallsulfidelementes |
US4330601A (en) | 1979-10-01 | 1982-05-18 | Duracell International Inc. | Rechargeable nonaqueous silver alloy anode cell |
US4489143A (en) | 1984-01-20 | 1984-12-18 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Lithium aluminum/iron sulfide battery having lithium aluminum and silicon as negative electrode |
CA1222543A (fr) | 1984-04-11 | 1987-06-02 | Hydro-Quebec | Anodes denses d'alliages de lithium pour batteries tout solide |
US4590840A (en) | 1984-11-09 | 1986-05-27 | Federal Cartridge Corporation | Flash hole closure for primer battery cups |
EP0563625A3 (en) | 1992-04-03 | 1994-05-25 | Ibm | Immersion scanning system for fabricating porous silicon films and devices |
CA2099524C (fr) | 1993-07-02 | 1999-05-18 | Patrick Bouchard | Procede de laminage de film de lithium mince par decollement controle |
CA2099526C (fr) | 1993-07-02 | 2005-06-21 | Hydro-Quebec | Additifs pour lubrifiants utilises dans le laminage de feuillards de lithium en films minces |
US5684067A (en) * | 1996-01-24 | 1997-11-04 | Morton International, Inc. | Low gloss polyester coating powder compositions |
US5575035A (en) * | 1996-01-24 | 1996-11-19 | Northrop Grumman Corporation | Environmentally sound and safe apparatus for removing coatings |
JP2948205B1 (ja) | 1998-05-25 | 1999-09-13 | 花王株式会社 | 二次電池用負極の製造方法 |
SE514286C2 (sv) * | 1998-07-23 | 2001-02-05 | Mib Marketing Ab | Displayskydd och förfarande för tillverkning av detsamma |
KR100609862B1 (ko) * | 1998-12-03 | 2006-08-09 | 카오 코퍼레이션 | 리튬 2차 전지 및 그의 제조방법 |
JP3510175B2 (ja) | 1999-05-25 | 2004-03-22 | 花王株式会社 | 二次電池用負極の製造方法 |
JP2002175837A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-21 | Nisshinbo Ind Inc | 高分子ゲル電解質及び二次電池並びに電気二重層キャパシタ |
US6811916B2 (en) | 2001-05-15 | 2004-11-02 | Neah Power Systems, Inc. | Fuel cell electrode pair assemblies and related methods |
US6841221B2 (en) * | 2002-02-20 | 2005-01-11 | Congoleum Corporation | Heat activated coating texture |
JP3985143B2 (ja) * | 2002-03-11 | 2007-10-03 | 株式会社ジーエス・ユアサコーポレーション | 電極材料およびそれを用いたリチウム電池 |
JP3827642B2 (ja) * | 2003-01-06 | 2006-09-27 | 三星エスディアイ株式会社 | リチウム二次電池用負極活物質及びその製造方法並びにリチウム二次電池 |
US20040214085A1 (en) * | 2003-01-06 | 2004-10-28 | Kyou-Yoon Sheem | Negative active material for rechargeable lithium battery, method of preparing same, and rechargeable lithium battery |
EP1596460B1 (en) | 2003-01-14 | 2012-08-29 | Mamoru Baba | Light-detectable solid thin-film secondary battery |
JP3989389B2 (ja) | 2003-03-14 | 2007-10-10 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 固体薄膜二次電池を内蔵する半導体装置 |
-
2003
- 2003-06-25 CA CA002432397A patent/CA2432397A1/fr not_active Abandoned
-
2004
- 2004-06-25 US US10/561,845 patent/US8048561B2/en active Active
- 2004-06-25 EP EP12157204.4A patent/EP2475032B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 2004-06-25 CA CA2528847A patent/CA2528847C/fr not_active Expired - Lifetime
- 2004-06-25 ES ES12157204.4T patent/ES2693619T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2004-06-25 JP JP2006515613A patent/JP5342746B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2004-06-25 WO PCT/CA2004/000956 patent/WO2004114437A2/fr active Application Filing
- 2004-06-25 EP EP04737895A patent/EP1649530A2/fr not_active Withdrawn
- 2004-06-25 CA CA2848580A patent/CA2848580C/fr not_active Expired - Lifetime
-
2011
- 2011-09-23 US US13/243,448 patent/US8828103B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2012
- 2012-04-16 JP JP2012093067A patent/JP5514248B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2014
- 2014-09-08 US US14/479,815 patent/US9768441B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10275617A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-10-13 | Dow Corning Corp | リチウムイオン電池用電極材料の形成 |
JP2000011994A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-14 | Kao Corp | 非水系二次電池用正極 |
JP2000149937A (ja) * | 1998-09-08 | 2000-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非水電解質二次電池用負極材料とその製造方法 |
JP2000090922A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-31 | Sumitomo Metal Ind Ltd | リチウム二次電池とその負極材料及び該材料の製造方法 |
JP2001143687A (ja) * | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Kao Corp | 非水系二次電池用正極 |
JP2002056843A (ja) * | 2000-08-09 | 2002-02-22 | Sumitomo Metal Ind Ltd | リチウム二次電池用負極材料とその製造方法 |
JP2002319407A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-10-31 | Sanyo Electric Co Ltd | リチウム二次電池用電極及びリチウム二次電池 |
JP2002319408A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-10-31 | Sanyo Electric Co Ltd | リチウム二次電池用電極及びリチウム二次電池 |
JP2002367602A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非水電解質二次電池 |
JP2002100345A (ja) * | 2001-08-03 | 2002-04-05 | Kao Corp | 非水系二次電池用正極の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006278076A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 非水電解質二次電池 |
JP2010170901A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Kobelco Kaken:Kk | 負極活物質、これを用いた二次電池およびキャパシタ |
KR20160142654A (ko) * | 2015-06-03 | 2016-12-13 | 삼성전자주식회사 | 이차 전지 구조/시스템과 그 제조방법 및 동작방법 |
KR102496474B1 (ko) | 2015-06-03 | 2023-02-06 | 삼성전자주식회사 | 이차 전지 구조/시스템과 그 제조방법 및 동작방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2432397A1 (fr) | 2004-12-25 |
EP2475032A2 (fr) | 2012-07-11 |
US20120017429A1 (en) | 2012-01-26 |
CA2848580A1 (fr) | 2004-12-29 |
US8048561B2 (en) | 2011-11-01 |
EP2475032A3 (fr) | 2013-11-06 |
WO2004114437A3 (fr) | 2006-02-09 |
WO2004114437A2 (fr) | 2004-12-29 |
US20070154805A1 (en) | 2007-07-05 |
CA2848580C (fr) | 2017-07-04 |
ES2693619T3 (es) | 2018-12-13 |
JP2012199241A (ja) | 2012-10-18 |
CA2528847A1 (fr) | 2004-12-29 |
CA2528847C (fr) | 2014-07-29 |
EP2475032B1 (fr) | 2018-08-01 |
JP5342746B2 (ja) | 2013-11-13 |
EP1649530A2 (fr) | 2006-04-26 |
JP5514248B2 (ja) | 2014-06-04 |
US9768441B2 (en) | 2017-09-19 |
US8828103B2 (en) | 2014-09-09 |
US20140374265A1 (en) | 2014-12-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100914 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101214 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101221 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110114 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110121 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20110128 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111216 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120416 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120515 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20120727 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121107 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121113 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121207 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121213 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130107 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130115 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130524 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130625 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130812 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5342746 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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