JP2002319407A - リチウム二次電池用電極及びリチウム二次電池 - Google Patents

リチウム二次電池用電極及びリチウム二次電池

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JP2002319407A
JP2002319407A JP2001124508A JP2001124508A JP2002319407A JP 2002319407 A JP2002319407 A JP 2002319407A JP 2001124508 A JP2001124508 A JP 2001124508A JP 2001124508 A JP2001124508 A JP 2001124508A JP 2002319407 A JP2002319407 A JP 2002319407A
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electrode
secondary battery
lithium secondary
thin film
metal foil
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JP2001124508A
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Toyoki Fujiwara
豊樹 藤原
Takashi Okamoto
崇 岡本
Hiroyuki Fujimoto
洋行 藤本
Masahiro Iyori
将博 井寄
Maruo Jinno
丸男 神野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気化学的または化学的にリチウムを吸蔵・
放出可能な活物質薄膜を、集電体上に堆積して形成した
リチウム二次電池用電極において、集電体と活物質薄膜
との密着性を改善し、充放電サイクル特性を向上させ
る。 【解決手段】 電気化学的または化学的にリチウムを吸
蔵・放出可能な活物質薄膜を、集電体上に堆積して形成
したリチウム二次電池用電極において、金属箔表面にク
ロメート処理を施すことによりクロム含有層を形成した
金属箔を集電体として用いることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リチウム二次電池
用電極及びこれを用いたリチウム二次電池に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】近年、リチウム二次電池の開発が盛んに
行われている。リチウム二次電池は、用いられる電極活
物質により、充放電電圧、充放電サイクル寿命特性、保
存特性などの電池特性が大きく左右される。
【0003】負極活物質としてリチウムを用いると、重
量当り及び体積当りともに高いエネルギー密度の電池を
構成することができるが、充電時にリチウムがデンドラ
イト状に析出し、内部短絡を引き起こすという問題があ
った(Solid State Ionics,113-115, p57(1998))。
【0004】これに対し、充電の際に電気化学的にリチ
ウムと合金化するアルミニウム、シリコン、錫などを負
極活物質として用いるリチウム二次電池が報告されてい
る(特開平10−255768号公報)。
【0005】しかしながら、合金化することによりリチ
ウムを吸蔵するこれらの活物質は、リチウムを吸蔵・放
出することにより体積が膨張及び収縮するため、充放電
に伴い活物質が微粉化したり、活物質が集電体から剥離
する。このため、良好な充放電サイクル特性を得ること
ができないという問題があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本出願人は、CVD法
やスパッタリング法により、銅箔などの集電体の上に、
非晶質シリコン薄膜や微結晶シリコン薄膜を堆積して形
成したリチウム二次電池用電極は、活物質薄膜が集電体
に密着しているため、良好な充放電サイクル特性を示す
ことを見出している(特願2000−321201
号)。
【0007】しかしながら、このようなリチウム二次電
池用電極においては、用いる集電体によって、集電体と
活物質薄膜との密着状態が良好でない場合があった。本
発明の目的は、活物質薄膜が集電体上に堆積して形成さ
れたリチウム二次電池用電極において、集電体と活物質
薄膜とが良好な密着性を示し、充放電サイクル特性に優
れたリチウム二次電池用電極及びこれを用いたリチウム
二次電池を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するため、活物質薄膜との密着性が良好でない集
電体について検討した結果、活物質薄膜との密着性が良
好でない集電体の表面には、ベンゾトリアゾールに代表
されるアゾール系誘導体を用いて防錆処理がなされてお
り、このような防錆処理が良好な密着性の得られない原
因であることを見出した。
【0009】すなわち、本発明のリチウム二次電池用電
極は、電気化学的または化学的にリチウムを吸蔵・放出
可能な活物質薄膜を、集電体上に堆積して形成したリチ
ウム二次電池用電極であり、集電体が、クロム含有層に
よって表面を防錆処理した金属箔であることを特徴とし
ている。
【0010】本発明では、クロム含有層によって表面を
防錆処理した金属箔を集電体として用いているので、活
物質薄膜と集電体とが良好な密着性を示す。本発明にお
けるクロム含有層は、好ましくはクロメート処理により
金属箔表面に形成された層である。クロメート処理は、
例えば、JIS Z 0103に規定されている「クロ
ム酸または二クロム酸塩を主成分とする溶液で金属を処
理して防錆被膜を作る表面処理方法」により行われる処
理である。この処理により形成される防錆被膜は、例え
ば、クロムを含む金属層、銅クロム合金などからなるク
ロム合金層、及び酸化クロム層からなる被膜である。
【0011】本発明において、クロム含有層の厚みは、
特に限定されるものではないが、0.05〜3μm程度
であることが好ましい。厚みが0.05μm未満である
と処理ムラが大きくなったり、防錆力が低下したりする
場合がある。また、3μmを超えると、電池用電極とし
ての導電性及び電池容量の観点から実用的でなくなる場
合がある。
【0012】本発明における集電体は、金属箔の表面に
防錆処理によりクロム含有層を形成した金属箔である
が、金属箔に亜鉛めっきまたは亜鉛合金めっきを施した
後、クロメート処理がなされていることが好ましい。亜
鉛めっきまたは亜鉛合金めっきを施すことにより、金属
箔とクロメート処理層との間の密着性をより高めること
ができる。亜鉛めっきまたは亜鉛合金めっきの層の厚み
は、特に限定されるものではないが、通常0.01〜1
μm程度が好ましい。0.01μm未満であると、金属
箔とクロメート処理層の密着性を高めるという効果が十
分に得られない場合があり、1μmを超えると、電池用
電極としての導電性及び電池容量の観点から実用的でな
くなる場合がある。
【0013】上記亜鉛合金めっきは、ニッケル、コバル
ト、銅、及び錫から選ばれる少なくとも1種の金属と亜
鉛との合金のめっきであることが好ましい。具体的に
は、亜鉛−銅、亜鉛−ニッケル、亜鉛−コバルト、亜鉛
−ニッケル−銅、亜鉛−ニッケル−コバルト、亜鉛−銅
−錫などの合金めっきが挙げられる。
【0014】本発明においては、金属箔に対してクロメ
ート処理を施した後、シランカップリング剤の塗布によ
る表面処理がなされていることが好ましい。このような
シランカップリング剤の塗布による表面処理を行うこと
により、集電体と活物質薄膜との密着性をさらに良好に
することができるとともに、クロメート処理による防錆
効果をさらに高めることができる。シランカップリング
剤としては、シランカップリング剤として一般的に知ら
れているものを用いることができ、例えば、一般式R−
SiX3(Xはアルコキシ基やハロゲンなどの加水分解
性の置換基、Rは有機質と反応し易いビニル基、エポキ
シ基、アミノ基などの官能基を有する置換基である。)
で表される化合物を用いることができる。
【0015】また、本発明の他の局面においては、シラ
ンカップリング剤の塗布による表面処理がなされた金属
箔を集電体として用いてもよい。この場合、クロメート
処理を施さずに、金属箔の表面に直接シランカップリン
グ剤の塗布による表面処理を行ったものを用いてもよ
い。この場合、シランカップリング剤を塗布しないもの
に比べ、活物質薄膜と集電体との密着性を高めることが
でき、良好な充放電サイクル特性を得ることができる。
【0016】本発明において集電体に用いる金属箔は、
リチウム二次電池用電極として用いることができる金属
箔であれば特に限定されるものではないが、例えば、
銅、銅合金、ニッケル、ニッケル合金、鉄、鉄合金、ス
テンレス、モリブデン、タンタル及びタングステンから
選ばれる少なくとも1種の金属箔が挙げられる。このよ
うな金属箔の表面は、銅または銅合金で被覆されていて
もよい。このような銅または銅合金は、例えば、めっき
法、CVD法、スパッタリング法、蒸着法、または溶射
法により形成することができる。
【0017】また、金属箔の表面は粗面化処理されてい
ることが好ましい。粗面化処理の方法としては、めっき
法、エッチング法、電解法、スパッタリング法、蒸着
法、溶射法、または研磨法などが挙げられる。めっき
法、スパッタリング法、蒸着法、及び溶射法は、金属箔
の表面に凹凸を有する金属層を堆積させることにより、
金属箔表面を粗面化する方法である。エッチング法、電
解法、及び研磨法は、金属箔表面を粗すことにより粗面
化する方法である。エッチング法による粗面化として
は、物理的エッチングや化学的エッチングによる方法で
挙げられる。電解法としては、電解エッチング法などが
挙げられる。研磨法による粗面化としては、サンドペー
パーによる研磨やブラスト法による研磨などが挙げられ
る。
【0018】本発明における金属箔は、上述のように表
面に凹凸が形成された金属箔であることが好ましい。こ
のような観点から、金属箔は、電解法によって形成され
た金属箔であることが好ましい。従って、金属箔として
銅箔を用いる場合には、電解銅箔であることが好まし
い。また、ニッケル箔などの金属箔の上に、電解法によ
り銅を析出させ表面を粗面化した金属箔も好ましく用い
られる。
【0019】本発明における集電体は、上述のようにク
ロム含有層によって表面を防錆処理した金属箔である
が、集電体はその表面が粗面化されていることが好まし
い。このように表面が粗面化された集電体は、表面が粗
面化された金属箔を用いることにより製造することがで
きる。集電体の表面粗さRaは、0.01〜1μmであ
ることが好ましい。このような表面粗さRaを有する集
電体を用いることにより、集電体と活物質薄膜との密着
性をさらに高めることができる。表面粗さRaは、日本
工業規格(JIS B 0601−1994)に定めら
れており、例えば表面粗さ計により測定することができ
る。
【0020】なお、本発明において、集電体の両面上に
活物質薄膜を形成する場合には、集電体の両面の表面粗
さRaが0.01〜1μmであることが好ましい。上記
の表面粗さRaを有する集電体の上に活物質薄膜を形成
させることにより、集電体表面に形成されている凹凸に
対応した凹凸を活物質薄膜の表面にも形成することがで
きる。活物質薄膜の表面に凹凸を形成することにより、
活物質薄膜表面の凹凸の谷部と、集電体表面の凹凸の谷
部を結ぶ厚み方向の領域に切れ目が形成され易くなる。
このような切れ目は、活物質薄膜の膨張及び収縮により
形成することができ、通常は初回以降の充放電により形
成される。このような厚み方向の切れ目が形成されるこ
とにより、活物質薄膜がこの切れ目によって柱状に分離
される。活物質薄膜を柱状に分離することにより、柱状
部分の周囲に空隙が形成され、この空隙によって充放電
サイクルに伴う活物質薄膜の膨張収縮の変化を吸収する
ことができる。従って、充放電サイクルに伴う薄膜の膨
張収縮による応力を緩和することができ、活物質薄膜が
微粉化したり、活物質薄膜が集電体から剥離するのを抑
制することができ、優れた充放電サイクル特性を得るこ
とができる。
【0021】また、本発明においては、活物質薄膜に金
属箔の成分が拡散していることが好ましい。活物質薄膜
に金属箔の成分が拡散することにより、集電体と活物質
薄膜との密着性を高めることができる。金属箔の成分と
して、リチウムと合金化しない銅などの元素が拡散して
いる場合、拡散領域においてリチウムとの合金化が抑制
されるため、充放電反応に伴う薄膜の膨張・収縮を抑制
することができ、活物質薄膜の集電体からの剥離を生じ
させるような応力の発生を抑制することができる。
【0022】本発明における活物質薄膜は、リチウムを
吸蔵・放出する薄膜であり、リチウムを合金化すること
により吸蔵する活物質であることが好ましい。このよう
な活物質材料としては、シリコン、ゲルマニウム、錫、
鉛、亜鉛、マグネシウム、ナトリウム、アルミニウム、
カリウム、インジウムなどが挙げられる。これらの中で
も、シリコン、ゲルマニウム、及び錫がその高い理論容
量から好ましく用いられる。従って、本発明において用
いる活物質薄膜は、シリコン、ゲルマニウム、または錫
を主成分とする薄膜であることが好ましく、特に好まし
くはシリコン薄膜である。
【0023】また、本発明においては、活物質薄膜は、
非晶質薄膜または微結晶薄膜であることが好ましい。従
って、非晶質シリコン薄膜または微結晶シリコン薄膜で
あることが特に好ましい。
【0024】本発明において、活物質薄膜は、CVD
法、スパッタリング法、蒸着法、溶射法、またはめっき
法により形成することができる。このような方法の中で
も、CVD法及びスパッタリング法により形成すること
が好ましい。
【0025】本発明における活物質薄膜には、予めリチ
ウムが吸蔵または添加されていてもよい。リチウムは、
活物質薄膜を形成する際に添加してもよい。すなわち、
リチウムを含有する活物質薄膜を形成することにより、
活物質薄膜にリチウムを添加してもよい。また、活物質
薄膜を形成した後に、活物質薄膜にリチウムを吸蔵また
は添加させてもよい。活物質薄膜にリチウムを吸蔵また
は添加させる方法としては、電気化学的にリチウムを吸
蔵または添加させる方法が挙げられる。
【0026】本発明のリチウム二次電池は、上記本発明
のリチウム二次電池用電極からなる負極と、リチウムを
吸蔵・放出する物質を活物質に用いた正極と、非水電解
質とを備えることを特徴としている。
【0027】本発明のリチウム二次電池において用いる
非水電解質は、溶媒に溶質を溶解した電解質である。非
水電解質の溶媒としては、リチウム二次電池に使用され
る溶媒であれば特に限定されないが、例えば、エチレン
カーボネート、プロピレンカーボネート、ブチレンカー
ボネート、ビニレンカーボネートなどの環状カーボネー
トや、ジメチルカーボネート、ジエチルカーボネート、
メチルエチルカーボネートなどの鎖状カーボネートが挙
げられる。好ましくは、環状カーボネートと鎖状カーボ
ネートとの混合溶媒が用いられる。また、上記環状カー
ボネートと、1,2−ジメトキシエタン、1,2−ジエ
トキシエタンなどのエーテル系溶媒や、γ−ブチロラク
トン、スルホラン、酢酸メチル等の鎖状エステル等との
混合溶媒を用いてもよい。
【0028】非水電解質の溶質としては、リチウム二次
電池に用いられる溶質であれば特に限定されるものでは
なく、例えば、LiPF6、LiBF4、LiCF3
3、LiN(CF3SO22、LiN(C25
22、LiN(CF3SO2)(C49SO2)、LiC
(CF3SO23、LiC(C25SO23、LiAs
6、LiClO4、Li210Cl10、Li212Cl12
などが挙げられる。特に、LiXFy(式中、XはP、
As、Sb、B、Bi、Al、Ga、またはInであ
り、XがP、AsまたはSbのときyは6であり、Xが
B、Bi、Al、Ga、またはInのときyは4であ
る。)と、リチウムペルフルオロアルキルスルホン酸イ
ミドLiN(Cm2m+1SO2)(Cn2n+1SO2)(式
中、m及びnはそれぞれ独立して1〜4の整数であ
る。)またはリチウムペルフルオロアルキルスルホン酸
メチドLiC(Cp2p+1SO2)(Cq2q+1SO2)(Cr
2r+1SO2)(式中、p、q及びrはそれぞれ独立し
て1〜4の整数である。)との混合溶質が好ましく用い
られる。これらの中でも、LiPF6とLiN(C25
SO22との混合溶質が特に好ましく用いられる。
【0029】また、非水電解質として、ポリエチレンオ
キシド、ポリアクリロニトリル、ポリフッ化ビニリデン
などのポリマー電解質に電解液を含浸したゲル状ポリマ
ー電解質や、LiI、Li3Nなどの無機固体電解質を
用いてもよい。
【0030】本発明のリチウム二次電池の電解質は、イ
オン導電性を発現させる溶質としてのLi化合物とこれ
を溶解・保持する溶媒が電池の充電時や放電時あるいは
保存時の電圧で分解しない限り、制約なく用いることが
できる。
【0031】また、正極に用いる正極活物質としては、
LiCoO2、LiNiO2、LiMn24、LiMnO
2、LiCo0.5Ni0.52、LiNi0.7Co0.2Mn
0.12などのリチウム含有遷移金属酸化物や、MnO2
などのリチウムを含有していない金属酸化物が例示され
る。また、この他にも、リチウムを電気化学的に挿入・
脱離する物質であれば、制限なく用いることができる。
【0032】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例に基づいて
さらに詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら
限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲に
おいて適宜変更して実施することが可能なものである。
【0033】〔集電体の準備〕集電体a1として、電解
銅箔の表面上に亜鉛−銅合金めっき処理を施した後、そ
の上にクロメート処理を施し、さらにその上にシランカ
ップリング剤を塗布して表面処理したものを準備した。
図2及び図3は、この集電体a1を、ESCA分析によ
り、表面から厚み方向に分析した結果を示す。図2
(a)は、C(炭素)及びSi(シリコン)の集電体表
面における厚み方向の存在比(原子%)を示しており、
図2(b)は、Cr(クロム)の厚み方向の存在比を示
している。また、図3(c)は、Zn(亜鉛)の集電体
表面における厚み方向の存在比を示しており、図3
(d)は、Cu(銅)及びO(酸素)の集電体表面にお
ける厚み方向の存在比を示している。
【0034】図2及び図3から明らかなように、集電体
の表面にはC、Si及びOが多く存在しており、表面に
シランカップリング剤による層が形成されていることが
わかる。また、表面から内部に向かうにつれCrが多く
なり、さらに深い部分にまでZnが存在している。この
ことから、シランカップリング剤による表面層の下にク
ロメート処理によるクロム含有層が存在しており、その
下に亜鉛−銅合金めっきによる層が存在していることが
わかる。従って、図1に示すように、集電体a1は、電
解銅箔1の上に、亜鉛−銅めっき層2を有し、その上に
クロメート処理層3を有し、その上にシランカップリン
グ剤処理層4を有している。
【0035】集電体a2として、上記と同様の電解銅箔
の上にクロメート処理を施したものを準備した。また、
集電体a3として、上記と同様の電解銅箔の上にクロメ
ート処理を施し、さらにその上にシランカップリング剤
を塗布して表面処理したものを準備した。また、集電体
a4として、上記と同様の電解銅箔の上にシランカップ
リング剤を塗布し表面処理したものを準備した。
【0036】比較の集電体b1として、上記と同様の電
解銅箔の上にベンゾトリアゾール(有機防錆処理剤)を
塗布したものを準備した。また、比較の集電体b2とし
て、上記と同様の電解銅箔の上にアミノトリアゾール
(有機防錆処理剤)を塗布したものを準備した。
【0037】上記各集電体について表面粗さRaを測定
したところ、集電体a1は0.54μmであり、集電体
a2は0.53μmであり、集電体a3は0.51μm
であり、集電体a4は0.52μmであり、集電体b1
は0.51μmであり、集電体b2は0.51μmであ
った。
【0038】〔作用極の作製〕上記の集電体a1〜a4
及び集電体b1〜b2の上に、RFスパッタリング法に
より負極活物質となるシリコン薄膜を形成した。スパッ
タリングの条件は、スパッタガス:アルゴン(Ar)、
スパッタガス流量:100sccm、基板温度:室温
(加熱なし)、反応圧力:0.133Pa(1.0×1
-3Torr)、高周波電力:200Wとした。シリコ
ン薄膜は、その厚みが約7μmとなるまで堆積させた。
【0039】得られたシリコン薄膜について、ラマン分
光分析を行ったところ、480cm -1近傍のピークは検
出されたが、520cm-1近傍のピークは検出されなか
った。このことから、得られたシリコン薄膜は非晶質シ
リコン薄膜であることがわかる。
【0040】シリコン薄膜を集電体とともに2cm×2
cmの大きさに切り出し、ニッケルリード線を取り付け
た後、110℃で2時間真空下で乾燥して、作用極A1
(集電体a1)、作用極A2(集電体a2)、作用極A
3(集電体a3)、作用極A4(集電体a4)、作用極
B1(集電体b1)、及び作用極B2(集電体b2)を
得た。
【0041】〔ビーカーセルの作製〕上記の作用極を用
い、アルゴンガス雰囲気下のグローブボックス中で、図
4に示すような三電極式ビーカーセルを作製した。図4
に示すように、ビーカーセルは、容器11内に入れられ
た電解液中に、対極13、作用極14、及び参照極15
を浸漬することにより構成されている。電解液12とし
ては、エチレンカーボネートとジエチルカーボネートを
体積比3:7の割合で混合した溶媒に対し、LiPF6
を1モル/リットル溶解した電解液を用いた。対極13
及び参照極15としてはリチウム金属を用いた。
【0042】〔充放電サイクル特性の評価〕上記のよう
にして作製したビーカーセルを、25℃にて4mAの定
電流で、作用極の電位が0V(vs.Li/Li+)に
達するまで充電した後、4mAの定電流で、作用極の電
位が2V(vs.Li/Li+)に達するまで放電し、
単位面積当りの1サイクル目の放電容量及び10サイク
ル目の放電容量を測定し、以下の式により容量維持率を
算出した。評価結果を表1に示す。
【0043】容量維持率(%)=10サイクル目の放電
容量÷1サイクル目の放電容量×100
【0044】
【表1】
【0045】表1に示す結果から明らかなように、電解
銅箔の上にクロメート処理を施した集電体a1〜a3を
用いた作用極A1〜A3は、電解銅箔の上に有機防錆処
理剤を処理した集電体b1及びb2を用いた作用極B1
及びB2に比べ、良好な充放電サイクル特性を示してい
る。また、電解銅箔の上にシランカップリング剤を表面
処理した集電体a4を用いた作用極A4も、作用極B1
及びB2に比べ、良好な充放電サイクル特性を示してい
る。
【0046】以上のように、本発明に従う集電体を用い
ることにより、集電体と活物質薄膜との密着性が良好に
なり、良好な充放電サイクル特性が得られることがわか
る。
【0047】
【発明の効果】本発明によれば、集電体と活物質薄膜と
が良好な密着性を示し、充放電サイクル特性に優れたリ
チウム二次電池用電極とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従う実施例において用いた集電体を模
式的に示す断面図。
【図2】本発明に従う実施例において用いた集電体の厚
み方向におけるESCA分析による元素の濃度分布を示
す図。
【図3】本発明に従う実施例において用いた集電体の厚
み方向におけるESCA分析による元素の濃度分布を示
す図。
【図4】三電極式ビーカーセルを示す概略構成図。
【符号の説明】
11…容器 12…電解液 13…対極 14…作用極 15…参照極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤本 洋行 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 井寄 将博 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 神野 丸男 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 Fターム(参考) 5H017 AA03 AS02 BB08 BB14 BB16 CC01 DD01 EE01 EE04 HH03 5H029 AJ05 AK02 AK03 AL12 AM00 AM03 AM04 AM05 AM07 AM12 AM16 BJ12 BJ13 CJ12 CJ22 CJ24 CJ25 DJ07 DJ17 DJ18 EJ01 EJ11 HJ04 HJ12 5H050 AA07 BA16 CA05 CA08 CA09 CB12 DA03 DA06 DA07 DA09 EA29 FA02 FA15 FA18 FA19 FA20 GA12 GA22 GA24 GA25 HA04 HA12

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気化学的または化学的にリチウムを吸
    蔵・放出可能な活物質薄膜を、集電体上に堆積して形成
    したリチウム二次電池用電極であって、 前記集電体が、クロム含有層によって表面を防錆処理し
    た金属箔であることを特徴とするリチウム二次電池用電
    極。
  2. 【請求項2】 前記クロム含有層が、クロメート処理に
    より前記金属箔表面に形成された層であることを特徴と
    する請求項1に記載のリチウム二次電池用電極。
  3. 【請求項3】 前記金属箔に亜鉛めっきまたは亜鉛合金
    めっきを施した後、前記クロメート処理がなされている
    ことを特徴とする請求項2に記載のリチウム二次電池用
    電極。
  4. 【請求項4】 前記亜鉛合金めっきが、ニッケル、コバ
    ルト、銅、及び錫から選ばれる少なくとも1種の金属と
    亜鉛との合金めっきであることを特徴とする請求項3に
    記載のリチウム二次電池用電極。
  5. 【請求項5】 前記クロメート処理を施した後、シラン
    カップリング剤の塗布による表面処理がなされているこ
    とを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載のリ
    チウム二次電池用電極。
  6. 【請求項6】 電気化学的または化学的にリチウムを吸
    蔵・放出可能な活物質薄膜を、集電体上に堆積して形成
    したリチウム二次電池用電極であって、 前記集電体が、シランカップリング剤の塗布による表面
    処理がなされた金属箔であることを特徴とするリチウム
    二次電池用電極。
  7. 【請求項7】 前記金属箔が、銅、銅合金、ニッケル、
    ニッケル合金、鉄、鉄合金、ステンレス、モリブデン、
    タンタル及びタングステンから選ばれる少なくとも1種
    からなることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項
    に記載のリチウム二次電池用電極。
  8. 【請求項8】 前記金属箔の表面が、銅または銅合金で
    被覆されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれ
    か1項に記載のリチウム二次電池用電極。
  9. 【請求項9】 前記金属箔表面を被覆する銅または銅合
    金が、めっき法、CVD法、スパッタリング法、蒸着
    法、または溶射法により形成されていることを特徴とす
    る請求項8に記載のリチウム二次電池用電極。
  10. 【請求項10】 前記金属箔表面が、めっき法、エッチ
    ング法、電解法、スパッタリング法、蒸着法、溶射法、
    または研磨法によって粗面化されていることを特徴とす
    る請求項1〜9のいずれか1項に記載のリチウム二次電
    池用電極。
  11. 【請求項11】 前記金属箔が電解法によって形成され
    た金属箔であることを特徴とする請求項1〜10のいず
    れか1項に記載のリチウム二次電池用電極。
  12. 【請求項12】 前記金属箔が電解銅箔であることを特
    徴とする請求項11に記載のリチウム二次電池用電極。
  13. 【請求項13】 前記集電体の表面粗さRaが0.01
    〜1μmであることを特徴とする請求項1〜12のいず
    れか1項に記載のリチウム二次電池用電極。
  14. 【請求項14】 前記活物質薄膜が、CVD法、スパッ
    タリング法、蒸着法、溶射法、またはめっき法により形
    成されていることを特徴とする請求項1〜13のいずれ
    か1項に記載のリチウム二次電池用電極。
  15. 【請求項15】 前記活物質薄膜が、シリコン、ゲルマ
    ニウム、及び錫から選ばれる少なくとも1種を主成分と
    して含むことを特徴とする請求項1〜14のいずれか1
    項に記載のリチウム二次電池用電極。
  16. 【請求項16】 前記活物質薄膜が、微結晶シリコン薄
    膜または非晶質シリコン薄膜であることを特徴とする請
    求項1〜15のいずれか1項に記載のリチウム二次電池
    用電極。
  17. 【請求項17】 前記活物質薄膜に前記金属箔の成分が
    拡散していることを特徴とする請求項1〜16のいずれ
    か1項に記載のリチウム二次電池用電極。
  18. 【請求項18】 前記活物質薄膜がその厚み方向に形成
    された切れ目によって柱状に分離されており、かつ該柱
    状部分の底部が前記集電体と密着していることを特徴と
    する請求項1〜17のいずれか1項に記載のリチウム二
    次電池用電極。
  19. 【請求項19】 請求項1〜18のいずれか1項に記載
    の電極からなる負極と、リチウムを吸蔵・放出する物質
    を活物質に用いた正極と、非水電解質とを備えることを
    特徴とするリチウム二次電池。
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