JP2002319408A

JP2002319408A - リチウム二次電池用電極及びリチウム二次電池

Info

Publication number: JP2002319408A
Application number: JP2001124509A
Authority: JP
Inventors: Takashi Okamoto; 崇岡本; Hiroyuki Fujimoto; 洋行藤本; Toyoki Fujiwara; 豊樹藤原; Masahiro Iyori; 将博井寄; Maruo Jinno; 丸男神野
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 2001-04-23
Filing date: 2001-04-23
Publication date: 2002-10-31

Abstract

(57)【要約】【課題】電気化学的または化学的にリチウムを吸蔵・
放出可能な活物質薄膜を、集電体上に堆積して形成した
リチウム二次電池用電極において、充放電サイクル特性
を向上させる。【解決手段】電気化学的または化学的にリチウムを吸
蔵・放出可能な活物質薄膜を、集電体上に堆積して形成
したリチウム二次電池用電極において、金属箔１の表面
に粒粉状銅２を形成するめっき処理を施した後、該粒粉
状銅２による凹凸形状を損なわないように該粒粉状銅２
を緻密なめっき銅層３で被覆するめっき処理を行って得
られる金属箔を、集電体として用いることを特徴として
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、リチウム二次電池
用電極及びこれを用いたリチウム二次電池に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】近年、リチウム二次電池の開発が盛んに
行われている。リチウム二次電池は、用いられる電極活
物質により、充放電電圧、充放電サイクル寿命特性、保
存特性などの電池特性が大きく左右される。

【０００３】負極活物質としてリチウムを用いると、重
量当り及び体積当りともに高いエネルギー密度の電池を
構成することができるが、充電時にリチウムがデンドラ
イト状に析出し、内部短絡を引き起こすという問題があ
った（Solid State Ionics,113-115, p57(1998)）。

【０００４】これに対し、充電の際に電気化学的にリチ
ウムと合金化するアルミニウム、シリコン、錫などを負
極活物質として用いるリチウム二次電池が報告されてい
る（特開平１０−２５５７６８号公報）。

【０００５】しかしながら、合金化することによりリチ
ウムを吸蔵するこれらの活物質は、リチウムを吸蔵・放
出することにより体積が膨張及び収縮するため、充放電
に伴い活物質が微粉化したり、活物質が集電体から剥離
する。このため、良好な充放電サイクル特性を得ること
ができないという問題があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本出願人は、ＣＶＤ法
やスパッタリング法により、銅箔などの集電体の上に、
非晶質シリコン薄膜や微結晶シリコン薄膜を堆積して形
成したリチウム二次電池用電極は、活物質薄膜が集電体
に密着しているため、良好な充放電サイクル特性を示す
ことを見出している（特願２０００−３２１２０１
号）。

【０００７】このようなリチウム二次電池用電極におい
ては、集電体の表面に凹凸が形成されていることが好ま
しく、集電体表面の形状が充放電サイクル特性に大きな
影響を与えることがわかっている。

【０００８】本発明の目的は、活物質薄膜が集電体上に
堆積して形成されたリチウム二次電池用電極において、
充放電サイクル特性に優れたリチウム二次電池用電極及
びこれを用いたリチウム二次電池を提供することにあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のリチウム二次電
池用電極は、電気化学的または化学的にリチウムを吸蔵
・放出可能な活物質薄膜を、集電体上に堆積して形成し
たリチウム二次電池用電極であり、金属箔の表面に粒粉
状銅を形成するめっき処理を施した後、該粒粉状銅によ
る凹凸形状を損なわないように該粒粉状銅を緻密なめっ
き銅層で被覆するめっき処理を行って得られる金属箔
を、集電体として用いたことを特徴としている。

【００１０】本発明においては、金属箔の表面に対し、
粒粉状銅を形成する、いわゆるやけめっきを施した後、
粒粉状銅を緻密なめっき銅層で被覆する、いわゆる被せ
めっきを施している。このやけめっき及び被せめっき
は、プリント回路用銅箔の表面を粗面化する方法として
知られている方法であり、例えば、特公昭５３−３９３
７６号公報に開示されている。やけめっきは、限界電流
密度近傍の電流により、粒粉状銅を析出させるめっきで
あり、被せめっきは、限界電流密度程度またはそれ以下
の電流により粒状ではない緻密なめっき銅層を粒粉状銅
を被覆するように析出させるめっきである。

【００１１】図１は、やけめっき及び被せめっきにより
形成されるめっき膜を説明するための模式的断面図であ
る。図１に示すように、金属箔１の上に、やけめっきに
より、粒粉状銅２が形成される。次に、この粒粉状銅２
を被覆するように、被せめっきによりめっき銅層３が形
成される。このようなやけめっき及び被せめっきによ
り、大きな凹凸を金属箔１の表面に形成することができ
る。

【００１２】以上のようなやけめっき処理及び被せめっ
き処理により表面を粗面化した集電体の表面粗さＲｙ
は、１μｍ以上であることが好ましい。表面粗さＲｙ
は、日本工業規格（ＪＩＳＢ０６０１−２００１）
に定められており、例えば表面粗さ計により測定するこ
とができる。表面粗さＲｙの上限値は、特に制限される
ものではないが、やけめっき及び被せめっきにより形成
される表面粗さＲｙとしては、１３μｍ程度以下、また
は８μｍ程度以下であると考えられる。従って、本発明
における集電体の表面粗さＲｙの好ましい範囲は、１〜
１３μｍであり、さらに好ましくは１〜８μｍである。

【００１３】本発明においては、上記めっき処理によっ
て形成された集電体表面の成分が活物質薄膜に拡散して
いることが好ましい。集電体の表面は、粒粉状銅及びめ
っき銅層で形成されているので、集電体表面の成分は、
具体的には銅である。集電体表面の成分である銅が活物
質薄膜に拡散することにより、集電体と活物質薄膜の密
着性を高めることができる。また、銅はリチウムと合金
化しない元素であるので、このような銅が活物質薄膜中
に拡散することにより、拡散領域においてリチウムとの
合金化が抑制される。このため、充放電反応に伴う活物
質薄膜の膨張・収縮を抑制することができ、活物質薄膜
の集電体からの剥離を生じさせるような応力の発生を抑
制することができる。従って、このような観点からも、
集電体と活物質薄膜との密着性を高めることができる。

【００１４】本発明においては、活物質薄膜がその厚み
方向に形成された切れ目によって柱状に分離されてお
り、かつ該柱状部分の底部が集電体と密着していること
が好ましい。厚み方向の切れ目が形成され、活物質薄膜
が柱状に分離されることにより、柱状部分の周囲には空
隙が形成される。充放電サイクルに伴う活物質薄膜の体
積の膨張収縮の変化は、この柱状部分の周囲の空隙で吸
収することができる。従って、充放電サイクルに伴う薄
膜の膨張収縮による応力を緩和することができるので、
活物質薄膜が微粉化したり、活物質薄膜が集電体から剥
離するのを抑制することができ、優れた充放電サイクル
特性を得ることができる。

【００１５】上記のような活物質薄膜における厚み方向
の切れ目は、表面に凹凸が形成された集電体の上に、活
物質薄膜を形成させることにより形成させることができ
る。すなわち、表面に凹凸を有する集電体の上に活物質
薄膜を形成させることにより、集電体表面に形成されて
いる凹凸に対応した凹凸を活物質薄膜の表面にも形成す
ることができる。活物質薄膜の表面に凹凸を形成するこ
とにより、活物質薄膜表面の凹凸の谷部と、集電体表面
の凹凸の谷部を結ぶ厚み方向の領域に切れ目が形成され
易くなる。このような切れ目は、活物質薄膜の膨張及び
収縮により形成することができ、通常は初回以降の充放
電により形成される。このような厚み方向の切れ目が形
成されることにより、上述のように、活物質薄膜を柱状
に分離することができる。

【００１６】本発明において集電体に用いる金属箔は、
リチウム二次電池用電極として用いることができる金属
箔であれば特に限定されるものではないが、例えば、
銅、銅合金、ニッケル、ニッケル合金、鉄、鉄合金、ス
テンレス、モリブデン、タンタル及びタングステンから
選ばれる少なくとも１種の金属箔が挙げられる。このよ
うな金属箔の表面は、銅または銅合金で被覆されていて
もよい。このような銅または銅合金は、例えば、めっき
法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、蒸着法、または溶射
法により形成することができる。めっき法によりこのよ
うな銅または銅合金を形成する場合、粒粉状銅を形成す
るやけめっきの前のめっき処理となる。従って、本発明
においては、やけめっき処理及び被せめっき処理以外
に、金属箔に対しめっき処理がなされてもよい。

【００１７】なお、本発明において集電体の両面に活物
質薄膜を形成する場合には、金属箔の両面に、上記やけ
めっき処理及び被せめっき処理を行うことが好ましい。
本発明における活物質薄膜は、リチウムを吸蔵・放出す
る薄膜であり、リチウムを合金化することにより吸蔵す
る活物質であることが好ましい。このような活物質材料
としては、シリコン、ゲルマニウム、錫、鉛、亜鉛、マ
グネシウム、ナトリウム、アルミニウム、カリウム、イ
ンジウムなどが挙げられる。これらの中でも、シリコ
ン、ゲルマニウム、及び錫がその高い理論容量から好ま
しく用いられる。従って、本発明において用いる活物質
薄膜は、シリコン、ゲルマニウム、または錫を主成分と
する薄膜であることが好ましく、特に好ましくはシリコ
ン薄膜である。

【００１８】また、本発明において、活物質薄膜は、非
結晶材料から形成されていることが好ましく、非晶質薄
膜または微結晶薄膜であることが好ましい。従って、非
晶質シリコン薄膜または微結晶シリコン薄膜であること
が特に好ましい。

【００１９】本発明において、活物質薄膜は、ＣＶＤ
法、スパッタリング法、蒸着法、溶射法、またはめっき
法により形成することができる。このような方法の中で
も、ＣＶＤ法及びスパッタリング法により形成すること
が好ましい。

【００２０】本発明における活物質薄膜には、予めリチ
ウムが吸蔵または添加されていてもよい。リチウムは、
活物質薄膜を形成する際に添加してもよい。すなわち、
リチウムを含有する活物質薄膜を形成することにより、
活物質薄膜にリチウムを添加してもよい。また、活物質
薄膜を形成した後に、活物質薄膜にリチウムを吸蔵また
は添加させてもよい。活物質薄膜にリチウムを吸蔵また
は添加させる方法としては、電気化学的にリチウムを吸
蔵または添加させる方法が挙げられる。

【００２１】本発明のリチウム二次電池は、上記本発明
のリチウム二次電池用電極からなる負極と、リチウムを
吸蔵・放出する物質を活物質に用いた正極と、非水電解
質とを備えることを特徴としている。

【００２２】本発明のリチウム二次電池において用いる
非水電解質は、溶媒に溶質を溶解した電解質である。非
水電解質の溶媒としては、リチウム二次電池に使用され
る溶媒であれば特に限定されないが、例えば、エチレン
カーボネート、プロピレンカーボネート、ブチレンカー
ボネート、ビニレンカーボネートなどの環状カーボネー
トや、ジメチルカーボネート、ジエチルカーボネート、
メチルエチルカーボネートなどの鎖状カーボネートが挙
げられる。好ましくは、環状カーボネートと鎖状カーボ
ネートとの混合溶媒が用いられる。また、上記環状カー
ボネートと、１，２−ジメトキシエタン、１，２−ジエ
トキシエタンなどのエーテル系溶媒や、γ−ブチロラク
トン、スルホラン、酢酸メチル等の鎖状エステル等との
混合溶媒を用いてもよい。

【００２３】非水電解質の溶質としては、リチウム二次
電池に用いられる溶質であれば特に限定されるものでは
なく、例えば、ＬｉＰＦ₆、ＬｉＢＦ₄、ＬｉＣＦ₃Ｓ
Ｏ₃、ＬｉＮ（ＣＦ₃ＳＯ₂）₂、ＬｉＮ（Ｃ₂Ｆ₅Ｓ
Ｏ₂）₂、ＬｉＮ（ＣＦ₃ＳＯ₂)(Ｃ₄Ｆ₉ＳＯ₂）、ＬｉＣ
（ＣＦ₃ＳＯ₂）₃、ＬｉＣ（Ｃ₂Ｆ₅ＳＯ₂）₃、ＬｉＡｓ
Ｆ₆、ＬｉＣｌＯ₄、Ｌｉ₂Ｂ₁₀Ｃｌ₁₀、Ｌｉ₂Ｂ₁₂Ｃｌ₁₂
などが挙げられる。特に、ＬｉＸＦy（式中、ＸはＰ、
Ａｓ、Ｓｂ、Ｂ、Ｂｉ、Ａｌ、Ｇａ、またはＩｎであ
り、ＸがＰ、ＡｓまたはＳｂのときｙは６であり、Ｘが
Ｂ、Ｂｉ、Ａｌ、Ｇａ、またはＩｎのときｙは４であ
る。）と、リチウムペルフルオロアルキルスルホン酸イ
ミドＬｉＮ（Ｃ_mＦ_2m+1ＳＯ₂)(Ｃ_nＦ_2n+1ＳＯ₂）（式
中、ｍ及びｎはそれぞれ独立して１〜４の整数であ
る。）またはリチウムペルフルオロアルキルスルホン酸
メチドＬｉＣ（Ｃ_pＦ_2p+1ＳＯ₂)(Ｃ_qＦ_2q+1ＳＯ₂)(Ｃ_r
Ｆ_2r+1ＳＯ₂）（式中、ｐ、ｑ及びｒはそれぞれ独立し
て１〜４の整数である。）との混合溶質が好ましく用い
られる。これらの中でも、ＬｉＰＦ₆とＬｉＮ（Ｃ₂Ｆ₅
ＳＯ₂）₂との混合溶質が特に好ましく用いられる。

【００２４】また、非水電解質として、ポリエチレンオ
キシド、ポリアクリロニトリル、ポリフッ化ビニリデン
などのポリマー電解質に電解液を含浸したゲル状ポリマ
ー電解質や、ＬｉＩ、Ｌｉ₃Ｎなどの無機固体電解質を
用いてもよい。

【００２５】本発明のリチウム二次電池の電解質は、イ
オン導電性を発現させる溶質としてのＬｉ化合物とこれ
を溶解・保持する溶媒が電池の充電時や放電時あるいは
保存時の電圧で分解しない限り、制約なく用いることが
できる。

【００２６】また、正極に用いる正極活物質としては、
ＬｉＣｏＯ₂、ＬｉＮｉＯ₂、ＬｉＭｎ₂Ｏ₄、ＬｉＭｎＯ
₂、ＬｉＣｏ_0.5Ｎｉ_0.5Ｏ₂、ＬｉＮｉ_0.7Ｃｏ_0.2Ｍｎ
_0.1Ｏ₂などのリチウム含有遷移金属酸化物や、ＭｎＯ₂
などのリチウムを含有していない金属酸化物が例示され
る。また、この他にも、リチウムを電気化学的に挿入・
脱離する物質であれば、制限なく用いることができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例に基づいて
さらに詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら
限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲に
おいて適宜変更して実施することが可能なものである。

【００２８】〔集電体の作製〕（集電体ａ１）圧延銅箔（厚み１８μｍ）に対して、市
販の硫酸銅めっき液を用いて、やけめっき処理を施した
後、被せめっき処理を施して集電体ａ１を作製した。や
けめっきの条件としては、硫酸：硫酸銅＝２０：７（重
量比）の組成のめっき液を用い、３Ａ／ｄｍ²の電流密
度で３分間めっきした。やけめっき処理した後、水洗
し、被せめっき処理を施した。被せめっき処理の条件
は、硫酸：硫酸銅＝１：４（重量比）の組成のめっき液
を用い、３Ａ／ｄｍ²の電流密度で１５秒間めっき処理
した。

【００２９】（集電体ａ２）やけめっき処理の時間を３
分間から２分間に変更する以外は、上記集電体ａ１と同
様にして、集電体ａ２を作製した。

【００３０】（集電体ａ３）やけめっき処理の時間を３
分間から４分間に変更する以外は、上記集電体ａ１と同
様にして、集電体ａ３を作製した。

【００３１】（集電体ｂ１）集電体ａ１の作製におい
て、やけめっき処理のみを行い、被せめっきを行わない
以外は、集電体ａ１と同様にして、集電体ｂ１を作製し
た。

【００３２】（集電体ｂ２）集電体ａ２の作製におい
て、やけめっき処理のみを行い、被せめっきを行わない
以外は、集電体ａ２と同様にして、集電体ｂ２を作製し
た。

【００３３】（集電体ｂ３）集電体ａ３の作製におい
て、やけめっき処理のみを行い、被せめっきを行わない
以外は、集電体ａ３と同様にして、集電体ｂ３を作製し
た。

【００３４】（集電体ｃ１）やけめっき処理及び被せめ
っき処理を行わず、基体である圧延銅箔（厚み１８μ
ｍ）をそのまま用い、集電体ｃ１とした。

【００３５】上記の各集電体について表面粗さＲｙを測
定し、測定結果を表１に示した。〔作用極の作製〕上記の集電体ａ１〜ａ３、集電体ｂ１
〜ｂ３、及び集電体ｃ１の上に、ＲＦスパッタリング法
により負極活物質となるシリコン薄膜を形成した。スパ
ッタリングの条件は、スパッタガス：アルゴン（Ａ
ｒ）、スパッタガス流量：１００ｓｃｃｍ、基板温度：
室温（加熱なし）、反応圧力：０．１３３Ｐａ（１．０
×１０ ^-3Ｔｏｒｒ）、高周波電力：２００Ｗとした。シ
リコン薄膜は、その厚みが約５μｍとなるまで堆積させ
た。

【００３６】得られたシリコン薄膜について、ラマン分
光分析を行ったところ、４８０ｃｍ ^-1近傍のピークは検
出されたが、５２０ｃｍ^-1近傍のピークは検出されなか
った。このことから、得られたシリコン薄膜は非晶質シ
リコン薄膜であることがわかる。

【００３７】シリコン薄膜を集電体とともに２ｃｍ×２
ｃｍの大きさに切り出し、ニッケルリード線を取り付け
た後、１１０℃で２時間真空下に乾燥して、各作用極を
作製した。集電体ａ１〜ａ３を用いたものを作用極Ａ１
〜Ａ３とし、集電体ｂ１〜ｂ３を用いたものを作用極Ｂ
１〜Ｂ３とし、集電体ｃ１を用いたものを作用極Ｃ１と
した。

【００３８】〔ビーカーセルの作製〕上記の作用極を用
い、アルゴンガス雰囲気下のグローブボックス中で、図
２に示すような三電極式ビーカーセルを作製した。図２
に示すように、ビーカーセルは、容器１１内に入れられ
た電解液中に、対極１３、作用極１４、及び参照極１５
を浸漬することにより構成されている。電解液１２とし
ては、エチレンカーボネートとジエチルカーボネートを
体積比３：７の割合で混合した溶媒に対し、ＬｉＰＦ₆
を１モル／リットル溶解した電解液を用いた。対極１３
及び参照極１５としてはリチウム金属を用いた。

【００３９】〔充放電サイクル特性の評価〕上記のよう
にして作製したビーカーセルを、２５℃にて４ｍＡの定
電流で、作用極の電位が０Ｖ（ｖｓ．Ｌｉ／Ｌｉ⁺）に
達するまで充電した後、４ｍＡの定電流で、作用極の電
位が２Ｖ（ｖｓ．Ｌｉ／Ｌｉ⁺）に達するまで放電し、
単位面積当りの１サイクル目の放電容量及び１０サイク
ル目の放電容量を測定し、以下の式により容量維持率を
算出した。評価結果を表１に示す。

【００４０】容量維持率（％）＝１０サイクル目の放電
容量÷１サイクル目の放電容量×１００

【００４１】

【表１】

【００４２】表１に示す結果から明らかなように、本発
明に従いやけめっき処理を施した後、さらに被せめっき
を施した集電体ａ１〜ａ３を用いた作用極Ａ１〜Ａ３
は、やけめっきのみを施した集電体ｂ１〜ｂ３を用いた
作用極Ｂ１〜Ｂ３に比べ、高い容量維持率を示してお
り、充放電サイクル特性に優れていることがわかる。ま
た、めっき処理を施していない圧延銅箔を集電体ｃ１と
して用いた作用極Ｃ１に比べ、著しく高い容量維持率を
示していることがわかる。

【００４３】

【発明の効果】本発明によれば、リチウムを吸蔵・放出
可能な活物質薄膜を集電体上に堆積して形成したリチウ
ム二次電池用電極において、充放電サイクル特性を大幅
に改善することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のリチウム二次電池用電極を模式的に示
す断面図。

【図２】本発明に従う実施例において作製した三電極式
ビーカーセルを示す概略構成図。

【符号の説明】

１１…容器１２…電解液１３…対極１４…作用極１５…参照極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者藤原豊樹大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号三洋電機株式会社内 (72)発明者井寄将博大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号三洋電機株式会社内 (72)発明者神野丸男大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号三洋電機株式会社内Ｆターム(参考） 5H017 AA03 AS02 BB14 BB16 CC01 DD01 DD03 EE01 EE04 HH03 HH05 5H029 AJ05 AK02 AK03 AL12 BJ13 CJ04 CJ12 CJ24 CJ25 DJ07 DJ14 DJ17 DJ18 EJ01 HJ04 HJ12 5H050 AA07 BA16 CA05 CA08 CA09 CB12 DA04 DA06 DA07 DA09 EA04 FA04 FA15 FA18 FA19 FA20 GA04 GA12 GA24 GA25 HA04 HA12

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電気化学的または化学的にリチウムを吸
蔵・放出可能な活物質薄膜を、集電体上に堆積して形成
したリチウム二次電池用電極であって、金属箔の表面に粒粉状銅を形成するめっき処理を施した
後、該粒粉状銅による凹凸形状を損なわないように該粒
粉状銅を緻密なめっき銅層で被覆するめっき処理を行っ
て得られる金属箔を、前記集電体として用いたことを特
徴とするリチウム二次電池用電極。
【請求項２】前記集電体の表面粗さＲｙが１μｍ以上
であることを特徴とする請求項１に記載のリチウム二次
電池用電極。
【請求項３】前記活物質薄膜に前記めっき処理によっ
て形成された集電体表面の成分が拡散していることを特
徴とする請求項１または２に記載のリチウム二次電池用
電極。
【請求項４】前記活物質薄膜がその厚み方向に形成さ
れた切れ目によって柱状に分離されており、かつ該柱状
部分の底部が前記集電体と密着していることを特徴とす
る請求項１〜３のいずれか１項に記載のリチウム二次電
池用電極。
【請求項５】前記金属箔が、銅、銅合金、ニッケル、
ニッケル合金、鉄、鉄合金、ステンレス、モリブデン、
タンタル及びタングステンから選ばれる少なくとも１種
からなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項
に記載のリチウム二次電池用電極。
【請求項６】前記金属箔の表面が、銅または銅合金で
被覆されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれ
か１項に記載のリチウム二次電池用電極。
【請求項７】前記金属箔表面を被覆する銅または銅合
金が、めっき法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、蒸着
法、または溶射法により形成されていることを特徴とす
る請求項６に記載のリチウム二次電池用電極。
【請求項８】前記活物質薄膜が、ＣＶＤ法、スパッタ
リング法、蒸着法、溶射法、またはめっき法により形成
されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１
項に記載のリチウム二次電池用電極。
【請求項９】前記活物質薄膜が、非結晶材料からなる
ことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の
リチウム二次電池用電極。
【請求項１０】前記活物質薄膜が、シリコン、ゲルマ
ニウム、及び錫から選ばれる少なくとも１種を主成分と
して含むことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項
に記載のリチウム二次電池用電極。
【請求項１１】前記活物質薄膜が、微結晶シリコン薄
膜または非晶質シリコン薄膜であることを特徴とする請
求項１〜１０のいずれか１項に記載のリチウム二次電池
用電極。
【請求項１２】請求項１〜１１のいずれか１項に記載
の電極からなる負極と、リチウムを吸蔵・放出する物質
を活物質に用いた正極と、非水電解質とを備えることを
特徴とするリチウム二次電池。