JP2007261087A - グラファイト複合フィルム - Google Patents
グラファイト複合フィルム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007261087A JP2007261087A JP2006089252A JP2006089252A JP2007261087A JP 2007261087 A JP2007261087 A JP 2007261087A JP 2006089252 A JP2006089252 A JP 2006089252A JP 2006089252 A JP2006089252 A JP 2006089252A JP 2007261087 A JP2007261087 A JP 2007261087A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- graphite
- container
- layer
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】グラファイトフィルムの少なくとも片面に、粘着層、絶縁層、導電層のいずれかの層が形成されているグラファイト複合フィルムであって、
(1)該グラファイトフィルムの密度が1.3g/cm3以上
(2)粘着層、絶縁層、導電層のいずれかの層の厚みが50μm以下
(3)粘着層がポリイミド、ポリエチレンテレフタレート等の基材を含む材料
であることを特徴とする。
【選択図】 なし
Description
(1)粘着層、絶縁層、導電層のいずれかの層と複合化した状態でもグラファイトが本来有する優れた熱拡散性を発現することが可能になり
(2)グラファイトの取り扱い時・使用時に傷が入りにくく、フィルムに折れ曲がる力が加わった場合にグラファイトが破損しにくい十分な強度を持ち、
(3)温度変化に対する寸法安定性に優れた
グラファイト複合フィルムを提供するものである。
粘着層、絶縁層、導電層のいずれかの層が形成されているグラファイト複合フィルムであって、該グラファイトフィルムの密度が1.3g/cm3以上であることを特徴とするグラファイト複合フィルムを内容とする。
カッターナイフおよび/または剃刀を用いて該グラファイトフィルムを割断して生成される断面において、「表面層の断面模様と表面層以外の断面模様が、少なくとも異なる部分を含むグラファイトフィルム」であって、「該表面層の断面模様の一部が、1μm未満の厚みの略長方形が略平行に積層した結果形成される短辺5μm以上の略長方形の形状」を有するグラファイトフィルムであることを特徴とするグラファイト複合フィルムであることが好ましい。
(1)グラファイトフィルムの密度が1.3g/cm3以上
(2)粘着層、絶縁層、導電層のいずれかの層の厚みが50μm以下
であることを特徴とする。その結果、
(1)本発明のグラファイト複合フィルムにおいて、グラファイトフィルムの密度が1.3g/cm3以上であるために、グラファイトは硬く、複合フィルムとして使用した場合、グラファイトの取り扱い時・使用時に傷が入りにくい。その結果、グラファイトの十分な熱拡散性を発現することが可能になる。
(2)本発明のグラファイト複合フィルムにおいて、粘着層の厚みが35μm以下、絶縁層の厚みが35μm以下、導電層の厚みが50μm以下であると、グラファイトの優れた熱拡散性を損なうことがない。また、フィルムに折れ曲がる力が加わった場合、粘着層、絶縁層、導電層の厚みが小さいと、曲げる力が少なくてすみ、グラファイト層に余分な力が加わらず、グラファイトが破損しにくくなる。また、グラファイトフィルムの厚みが薄い場合には、取り扱い時に傷が入りやすいが、粘着層には基材が含まれていると、フィルム全体にコシがで、取り扱い性が改善される。
本発明のグラファイトフィルムは、天然黒鉛や人造黒鉛等の黒鉛粉末をシート化して得られるグラファイトフィルム、高分子フィルムを熱処理して得られるグラファイトフィルムが挙げられる。グラファイトフィルムは、面方向に高い熱伝導性を有し、面方向の熱伝導性と厚み方向の熱伝導性に大きな異方性があり、電子機器・精密機器などのようにスポットで熱が高くなる電子部材において、有効に熱を拡散することできる。
本発明の製造方法で作製されるグラファイトフィルムの厚みの具体的レベルは、95μm以下、好ましくは75μm以下、さらに好ましくは50μm以下である。また用いる原料高分子フィルムの厚みは、250μm以下、好ましくは180μm以下、さらに好ましくは130μm以下である。省スペース化が期待される電子機器においては、グラファイトフィルムの厚みが95μmよりも厚くなると、取り付けスペースを確保することが困難になる。一般に、厚みが薄くなると、強度に劣るものとなる。しかし、本発明のグラファイトは、厚みが薄くても十分強度を有し、作業性・取り扱い性に優れ、安定した取り付けが可能となり、熱輸送量が向上し、従来よりも優れた放熱性を発現することが可能となる。
本明細書中でいう厚みのばらつきとは、例えば、フィルムの任意の数点の厚みを測定した場合に、その際の最大値と最小値の差をいう。以下の明細書中で「厚みのばらつき」の記載は、これを意味するものである。
本発明のグラファイトフィルムの面方向の熱拡散率は、7.5×10-4m2/s以上、好ましくは9.0×10-4m2/s以上、さらに好ましくは10.0×10-4m2/s以上であると良い。7.5×10-4m2/s以上になると、熱伝導性が高いために、発熱機器から熱を逃がしやすくなり、発熱機器の温度上昇を抑えることが可能となる。一方、7.5×10-4m2/s未満になると、熱伝導性が悪いために、発熱機器から熱を逃がすことができなくなり、発熱機器の温度上昇を抑えることができなくなる。
本発明のグラファイトフィルムの熱抵抗測定装置によって測定される接触式厚み方向の熱伝導率が1.4W/m・K以下であることを特徴とする。
本発明のグラファイトフィルムのレーザーフラッシュ法によって測定される厚み方向の熱拡散率は、8mm2/s以下であると好ましい。
本発明のグラファイトフィルムの線膨張係数は、0ppm以下であることを特徴とする。本発明で述べる線膨張係数は、熱機械分析装置(TMA)により測定されるグラファイトフィルムの面方向の線膨張係数をいう。本発明のグラファイトフィルムは、線膨張係数が0ppm以下であることから、温度上昇に対してグラファイトフィルムの面方向は縮み、厚み方向が膨張していると考えられる。これは、本発明のグラファイトフィルムが面方向にグラファイト層が非常に発達しており、結晶性に優れているためである。
黒鉛の線膨張係数は0.9ppmであり、銅は16ppm、シリコンは4ppmであるために、天然黒鉛を用いた場合では、大きな銅の線膨張係数を十分に相殺することができずに、熱履歴が多くなると各層が剥離もしくは破壊してしまう場合がある。
本発明のグラファイトフィルムの引張弾性率は、1GPa以上であることを特徴とする。
これは、引張弾性率が1GPa未満では、フィルム強度が弱く取り扱い時に破損しやすいためである。
本発明のグラファイトフィルムの線膨張係数は、0ppm以下、引張弾性率が1GPa以上であることを特徴である。本発明のグラファイトフィルムは、上記<線膨張係数が0ppm以下であることを特徴とするグラファイトフィルム>および<引張弾性率が1GPa以上であることを特徴とするグラファイトフィルム>で記述した理由により、温度変化に対する寸法安定性に優れ、十分なフィルム強度を持つグラファイトフィルムを達成するものである。
本発明のグラファイトフィルムは、内部に、最短径0.1〜50μmの不定形形状の模様を有する、グラファイトフィルムである。
本発明のグラファイトフィルムは、表面層の断面模様と表面層以外の断面模様とが、少なくとも異なる部分を有する、グラファイトフィルムである。
(1)グラファイト結晶子が面方向に発達し、これらがフィルム表面形状に平行に積層した高密度なグラファイト層の断面模様。
(2)グラファイト結晶子が面方向に発達し、これらが積層しているが、フィルム表面形状に平行ではなく、うねった状態で存在している高密度のグラファイト層の断面模様。
(3)グラファイト結晶子が面方向に発達しているが、これらは積層しておらず、フィルム表面形状に平行に存在している低密度な空気層に富んだグラファイト層の断面模様。
(4)グラファイト結晶子が面方向に発達しているが、これらは積層しておらず、またフィルム表面形状に平行ではなく、うねった状態で存在している低密度な空気層に富んだグラファイト層の断面模様。
(5)グラファイト結晶子が発達しておらず、燐片状のグラファイト層の断面模様。
(6)上記(1)〜(5)以外の断面模様。
本発明のグラファイトフィルムは、表面層の断面模様と表面層以外の断面模様とが、少なくとも異なる部分を有している。
((1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6))で示される断面模様は、
上記<断面模様について>項目中での括弧内数字
((1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6))で示される断面模様を意味している。
表面層に高密度にグラファイト層が積層した(1)(2)の断面模様が存在し、表面層以外には空気層を含んだグラファイト層である(3)(4)の断面模様が存在することが好ましい。
表面層に(1)の断面模様であって、表面層以外に(3)の断面模様の組み合わせである。
表面層に(1)の断面模様で、表面層以外に(4)の断面模様の組み合わせ、
次に好ましくは
表面層に(2)の断面模様で表面層以外に(3)の断面模様の組み合わせ、
次に好ましくは、
表面層に(2)の断面模様で表面層以外に(4)の断面模様の組み合わせである。
本発明では、断面模様の一部として観測される層状の構造を、あえて略長方形で、表現したものである。従い、実際の層状の構造が、略長方形で囲まれた閉じた空間で有る必要は無い。層状の構造が半無限に拡がっているような場合であっても、略長方形という視点で切り出して、層状の構造を表現するものである。
グラファイトフィルムの断面を出す・断面を形成するには、カッターナイフおよび/または剃刀で割断、ミクロトームで切削、樹脂に埋包した状態のグラファイトフィルムをミクロトームで切削すればよいが、表面層の断面模様と表面層以外の断面模様が観察できれば、これらだけに限定されることはない。
本発明で用いることができる高分子フィルムは、特に限定はされないが、ポリイミド(PI)、ポリアミド(PA)、ポリオキサジアゾール(POD)、ポリベンゾオキサゾール(PBO)、ポリベンゾビスオキサザール(PBBO)、ポリチアゾール(PT)、ポリベンゾチアゾール(PBT)、ポリベンゾビスチアゾール(PBBT)、ポリパラフェニレンビニレン(PPV)、ポリベンゾイミダゾール(PBI)、ポリベンゾビスイミダゾール(PBBI)が挙げられ、これらのうちから選ばれる少なくとも1種を含む耐熱芳香族性高分子フィルムであることが、最終的に得られるグラファイトの熱伝導性が大きくなることから好ましい。これらのフィルムは、公知の製造方法で製造すればよい。この中でもポリイミドは、原料モノマーを種々選択することによって様々な構造および特性を有するものを得ることができるために好ましい。また、ポリイミドフィルムは、他の有機材料を原料とする高分子フィルムよりもフィルムの炭化、黒鉛化が進行しやすいため、結晶性、熱伝導性に優れたグラファイトとなりやすい。
本発明で用いられる炭素化した高分子フィルムとしては、出発物質である高分子フィルムを減圧下もしくは不活性ガス中で予備加熱処理して得られる。この予備加熱は通常1000℃程度の温度で行い、例えば10℃/分の速度で昇温した場合には1000℃の温度領域で30分程度の温度保持を行うことが望ましい。
ポリイミドフィルムは、他の有機材料を原料とする原料フィルムよりもフィルムの炭化、黒鉛化が進行しやすいため、フィルムの電気伝導度が低温で均一に高くなりやすく、かつ電気伝導度そのものも高くなりやすい。その結果、後述の電圧を印加し直接通電可能な容器内に、該原料フィルムを保持し、該容器に電圧を印加し通電しながらグラファイト化する場合には、フィルム部分に炭素化の進行に伴って均一に電流が流れ、表面及び内部での均一な発熱が起こり、厚みが薄い場合に加え、厚い場合においても熱伝導性の高いグラファイトとなる。また、出来上がるグラファイトの結晶性が優れ、耐熱性にも優れたものとなるため、電界が集中し局所的な加熱が生じたとしても破損することなく、品質の高いグラファイトとなる。
本発明の高分子フィルムにおける分子の面内配向性に関連する複屈折Δnが、フィルム面内のどの方向に関しても0.08以上、好ましくは0.10以上、さらに好ましくは0.12以上、最も好ましくは0.14である。複屈折0.08以上であると、フィルムの炭化(炭素化)、黒鉛化が進行しやすくなる。その結果、グラファイトの結晶配向性がよくなり、熱伝導性が顕著に改善される。また、黒鉛化温度が低温でも十分高い熱伝導性のグラファイトフィルムとなり、厚みが厚くても、高い熱伝導性を有するグラファイトフィルムとなる。また、炭化が進行しやすいため、炭化中の昇温速度を速く、熱処理時間を短くしても、品質の優れたグラファイトとなる。また、黒鉛化が進行しやすいため、最高温度を下げて熱処理時間を短くしても品質の優れたグラファイトとなる。またさらに、後述の金属と接触させて熱処理した場合には、従来技術では改善の余地があった表面硬度、密度、表面の密着性が改善される。またさらに、複屈折が高くなるほど、フィルムの炭化(炭素化)、黒鉛化が進行しやすいため、後述のフィルムの電気伝導度が高くなりやすい。その結果、電圧を印加し直接通電可能な容器内に、該原料フィルムを保持し、該容器に電圧を印加し通電しながらグラファイト化する工程では、フィルム部分に炭素化の進行に応じた電気抵抗の変化に応じて均一に電流が流れ、また炭素化の進行に伴いフィルムに流れる電流量が増え、表面及び内部での均一な発熱が起こるため、均一な黒鉛化が進行しやすくなる。またフィルム面内で均一に電気伝導度が高くなるため、フィルム内で部分的な電界集中を起すことなく、局所的な発熱が起こらず、結果として表面及び内部で均一な黒鉛化が進行する。また、低温で炭化(炭素化)及び黒鉛化が進行するために、低温の熱処理中からフィルムの電気伝導度が高くなり、表面及び内部での均一な発熱が起こり、均一な黒鉛化が進行しやすくなる。また、厚みが薄い場合に加え、厚い場合においても熱伝導性の高いグラファイトとなる。また、複屈折が高くなるほど、結晶性に優れ、耐熱性にも優れたものとなるため、電界が集中し局所的な加熱が生じたとしても破損することなく、品質の高いグラファイトフィルムとなる。
ここでいう複屈折とは、フィルム面内の任意方向の屈折率と厚み方向の屈折率との差を意味し、フィルム面内の任意方向Xの複屈折Δnxは次式(数式1)で与えられる。
また、本発明に用いられるグラファイトの原料となるポリイミドフィルムは、100〜200℃の範囲において2.5×10-5/℃未満の平均線膨張係数を有しているとよい。線膨張係数が2.5×10-5/℃未満であれば、熱処理中の伸びが小さく、スムースに黒鉛化が進行し、脆くなく、種々の特性に優れたグラファイトを得ることができる。このようなポリイミドフィルムを原料に用いることで、グラファイトへの転化が2400℃から始まり、2700℃で十分結晶性の高いグラファイトに転化が生じ得る。なお、その線膨張係数は、2.0×10-5/℃以下であることがより好ましい。
<ポリイミドフィルムの作製方法>
本発明で用いられるポリイミドフィルムは、ポリイミド前駆体であるポリアミド酸の有機溶液をイミド化促進剤と混合した後、エンドレスベルトまたはステンレスドラムなどの支持体上に流延し、それを乾燥および焼成してイミド化させることにより製造され得る。
本発明の高分子フィルムのグラファイト化は、2000℃以上の温度で熱処理して行う。
本発明の熱処理では、容器に高分子フィルムを固定して行われてもよい。本発明のような2000℃の温度領域まで加熱されるような用途では、取り扱いの容易さや、工業的な入手の容易さ等を勘案すると、黒鉛製の容器が、特に好ましい。ここでいう黒鉛とは、上記の温度領域まで加熱することができる限りにおいて、黒鉛を主に含むような材料までを含む広い概念であるが、例えば、等方性黒鉛、押出製黒鉛、が挙げられ、電気伝導性、熱伝導性に優れ、均質性にも優れる等方性黒鉛が、繰り返し用いる場合には好ましい。容器の形状は、特に制約を受けず、単純な平板などの形状でよい。また容器は円筒状で、高分子フィルムを容器に巻きつける方法でも良い。容器の形状は、高分子フィルムを接触させることができる限りにおいて、特に制約を受けない。
高分子フィルムのグラファイト化機構について説明する。
高分子フィルムのグラファイト化は上述の通り、炭素化と黒鉛化の2段階を経由しておこり、熱処理により炭素化した後、さらに高温で熱処理することでグラファイト構造に転化させられる。この過程では炭素−炭素結合の開裂と再結合が起きなければならない。グラファイト化をできる限り起こしやすくするためには、その開裂と再結合が最小のエネルギーで起こるようにする必要がある。出発原料フィルム(例えば、上記に列記した高分子フィルム、特にポリイミドフィルム)の分子配向は炭素化フィルム中の炭素原子の配列に影響を与え、その分子配向はグラファイト化の際に炭素−炭素結合の開裂と再結合化のエネルギーを少なくする効果を生じ得る。したがって、高度な分子配向が生じやすくなるように分子設計を行うことによって、比較的低温でのグラファイト化が可能になる。この分子配向の効果は、フィルム面に平行な二次元的分子配向とすることによって一層顕著になる。
本発明の金属を含む物質と接触させる方法としては、熱処理中に<<1>>固体状、<<2>>液体状、<<3>>気体状の金属を含む物質と接触させることが挙げられる。
金属を含む物質としては、金属単体、の化合物(酸化物、窒化物、ハロゲン化物、フッ化物、塩化物、臭化物、ヨウ化物等が挙げられるが、これに限定されるものではない)、金属塩等が挙げられる。原料フィルムに直接接触させる場合には、金属を含む物質が溶媒に溶けることよい。というのは、塗布という簡単な方法で、原料フィルムの表面に均一に金属を含む物質を接触させることが出来るからである。金属の種類としては、IUPAC(国際純正・応用化学連合)無機化学命名法改訂版(1989年)による族番号4族、5族、6族、7族、8族、9族、10族、11族、12族、13族、リチウム、ベリリウム、ナトリウム、マグネシウム、カリウム、カルシウム、バリウム、アルミニウム、ホウ素、シリコン、ゲルマニウム、セレン、錫、鉛、ビスマス、が挙げられる。中でも、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、テクネチウム、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、銀、カドミウム、ハフニウム、タンタル、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、白金、金、水銀、リチウム、ベリリウム、マグネシウム、カリウム、カルシウム、バリウム、アルミニウム、ホウ素、シリコン、ゲルマニウムが良く、さらに好ましくは、チタン、バナジウム、鉄、コバルト、ニッケルである。特に好ましくは、鉄、コバルトである。これらは、熱拡散率、表面硬度、表面の接着性、外観に優れるために好ましい。
従来の原料フィルムの熱処理によるグラファイト化では、熱処理により熱伝導性に優れたグラファイトを得ることは可能であるものの、表面硬度、表面の接着性、外観においてはまだ改善の余地が有る、グラファイトフィルムになる。特に原料フィルムの厚みが厚くなるほど、この傾向は顕著になると考えられる。この理由について説明する。
しかし、本発明の金属を含む物質を接触させるグラファイト化では、従来困難であった表面硬度、表面の密着性、外観を兼ね備えた熱伝導性の高いグラファイトを得ることができた。さらに、原料に面配向の高い高分子フィルムを用い、この原料を金属と接触させて熱処理をおこなえば、従来の技術では改善の余地のあった表面からの黒鉛剥がれという問題を改善するだけにとどまらず、熱伝導性にも優れ、表面硬度、密度、表面の密着性に優れたグラファイトを得ることが可能となる。面配向の高い高分子フィルムと、金属と接触させて熱処理することとを組み合わせることで、従来の技術では予見できない効果が得られた。この金属の影響について説明する。
本発明の通電しながらグラファイト化する工程は、原料フィルムによって、大きく下記の3つに分類できる。
(その1)「炭素化した高分子フィルム」を保持し、または、
(その2)「高分子フィルム」を予備加熱処理することで「炭素化した高分子フィルム」を得た後、その「炭素化した高分子フィルム」を保持し、または、
(その3)絶縁体である「高分子フィルム」を保持し、
該容器に電圧を印加し通電しながら、グラファイト化する工程を含むことを特徴とする。
本発明において、電圧を印加し通電する方法としては、交流電圧および/又は直流電圧を印加し、通電することをいう。
電圧を印加し直接通電可能な容器(例えば黒鉛製容器)内に、原料フィルムを保持する方法とは、例えば、原料フィルムを金属板やグラファイト板で挟んだ上で、金属板やグラファイト板の自重以外には特には加圧しない状態で容器壁や容器底に接するように保持する方法が有るが、必ずしもこれらの方法だけに制約を受けるものではない。
本発明のグラファイトフィルムの通電加熱によるグラファイト化方法は、高分子フィルムおよび/または炭素化した高分子フィルムからなる原料フィルムを後述する「電圧を印加し直接通電可能な容器」(A)内に保持し、さらに該容器(A)を通電可能な容器(B)内に保持し、全体に通電しながらグラファイト化する工程を含むことを特徴とする。
まず、本発明の通電によるグラファイト化方法について述べる。容器(A)を容器(B)内に保持しないような場合、すなわち、容器を2つ使用せず1つの容器を使用して高分子フィルムまたは炭素化した高分子フィルムの直接通電によるグラファイトの製造方法では、原料フィルムを1つの直接通電可能な容器内に保持して、該容器一つ一つの外部周辺にカーボン粉末で充填し、全体に通電してグラファイトフィルムを作製する。この場合、多数の該容器をそれぞれカーボン粉末で覆って通電し、グラファイトフィルムを作製した場合には、カーボン粉末の充填密度や該容器自身それぞれの電気抵抗の差に起因して、作製したグラファイトフィルムの品質が、原料フィルムを保持した容器によって、品質に差が生じる場合があった。
本発明の原料フィルムのグラファイト化プロセス、特に、通電方法について説明する。
本発明において、電圧を印加し通電する方法としては、交流電圧および/又は直流電圧を印加し、通電することをいう。
本発明では、通電方向と該原料フィルムの位置関係は、原料フィルムへの通電方向を示す直線と、原料フィルムの法線との、成す角度が0度より大きく180度未満であればよい。ここでいう、成す角度とは、通電における正極から負極への通電方向を直線で表した場合の、原料フィルムの面方向に対する法線との成す角度を意味する。
本発明の、電圧を印加し直接通電可能な容器とは、例えば、タングステン製、モリブデン製、黒鉛製の容器である。容器の形状は、特に制約を受けず、単純な平板などの形状でよい。また容器は円筒状で、原料フィルムを容器に巻きつける方法でも良い。容器の形状は、原料フィルムを保持できる限りにおいて、特に制約を受けないが、作製の容易さ、工業的入手の容易さという観点から、例えば、直方体や立方体の形状をしており、ブロック状、蓋などが有る弁当箱状などの形状が、好ましい。
本発明のような2500℃の温度領域まで通電によって加熱されるような用途では、取り扱いの容易さや、工業的な入手の容易さ等を勘案すると、使用される容器(A)や容器(B)としては、黒鉛製の容器が、特に好ましい。ここでいう黒鉛とは、上記の温度領域まで加熱することができる限りにおいて、黒鉛を主に含むような材料までを含む広い概念であるが、例えば、等方性黒鉛、押出製黒鉛、が挙げられ、電気伝導性、熱伝導性に優れ、均質性にも優れる等方性黒鉛が、電流を流しまた繰り返し用いる場合には好ましい。
本発明では、該容器(B)は特に形状の限定はないが、円筒であることが好ましい。これは、通電時に、円筒であるほうが、角筒であるよりも、電圧の偏りが生じにくいため、該容器(A)の全体にわたって均一な通電加熱に有利であるためである。容器(А)については特には形状の制限はないが、工業的な入手の容易さ等を勘案すると立方体、直方体などの角筒、もしくは円筒の形状で、操作上の利便性から蓋つきのものが良い。
また、製造工程の初期において原料フィルムが絶縁体であるとよい。というのは、炭化処理を通電加熱によって行われると、均一な炭化が起こり、その結果、黒鉛化中にフィルム内で部分的な電界集中を起すことなく、局所的な発熱が起こらず、表面及び内部で均一な黒鉛化が進行する。その結果として、熱伝導性の優れたグラファイトフィルムを得ることができる。
本発明において用いられるカーボン粉末は、下記に説明するカーボン粒子や、黒鉛粒子であってもよい。
本発明において用いられる黒鉛粒子は、本発明のような2500℃の温度領域まで(通電によって)加熱される。ここでいう黒鉛粒子の素材である黒鉛とは、上記の温度領域まで加熱することができる限りにおいて、黒鉛を主に含むような材料までを含む広い概念であるが、例えば、グラファイトクロスを粉砕したもの、等方性黒鉛を粉砕したもの、押出製黒鉛を粉砕したもの、カーボンブラック、等が挙げられる。黒鉛粒子の粒子形状、粒子径、粒子径分布などは、特に制限されるものではない。
本発明において用いられるカーボン粒子は、本発明のような2500℃の温度領域まで(通電によって)加熱される。
また、原料フィルムと金属を含む物質とを接触させた状態(金属、金属を含むカーボン粉末、金属を含むカーボン容器が存在する)に通電がなされると、原料フィルムに加え、金属も加熱され、拡散が起こりやすくなり、原料フィルムと均一に相互作用をおこし、フィルム全体で均一なグラファイト化が進行する。さらに、金属に通電されると、金属の反応性が高まり、原料フィルムとの反応が促進されたために、各特性に優れたグラファイトフィルムが得られたと推定する。また、通電中は、フィルムが容器および/またはカーボン粉末で覆われているために、十分金属の効果が発揮しやすくなり好ましい。
本発明のグラファイトフィルムは、熱拡散性、放熱性、固定性、取り扱い性、絶縁性を改善するために、少なくとも片面および/または両面に粘着層、絶縁層、導電層などを形成すると良い。
粘着層の材料としては、アクリル系粘着材、シリコーン系粘着材等が挙げられ、これら材料は、耐熱性に優れ、発熱部品や放熱部品と複合化して使用した場合にも、十分な長期信頼性が得られる。また、取り付け位置の間違いや使用後の修理において、一度取り付けたグラファイト複合フィルムを取り外さなければならない場合がある。アクリル系粘着材、シリコーン系粘着材は、繰り返し使用や長期信頼性に優れるため、このような再利用性、再剥離性にも優れる。
絶縁層の材料としては、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、エポキシ等が挙げられ、これら材料は、耐熱性に優れ、発熱部品や放熱部品と複合化して使用した場合にも、十分な長期信頼性が得られる。
導電層の材料としては、銅、アルミニウム等が挙げられ、これら材料は、耐熱性に優れ、発熱部品や放熱部品と複合化して使用した場合にも、十分な長期信頼性が得られる。
前記グラファイト複合フィルムの面方向の熱伝導率は、600W/m・K以上、好ましくは800W/m・K以上、さらに好ましくは900W/m・K以上である。600W/m・K未満であると、省スペースの電子機器で使用する場合、熱量を十分逃がすことが困難となる。
本発明のグラファイトフィルムは、熱伝導性、温度に対する寸法安定性、フィルム強度、電気伝導性が高いために、例えば、サーバー、サーバー用パソコン、デスクトップパソコン等の電子機器、ノートパソコン、電子辞書、PDA、携帯電話、ポータブル音楽プレイヤー等の携帯電子機器、液晶ディスプレイ(バックライトを含む)、プラズマディスプレイ、LED、有機EL、無機EL、液晶プロジェクタ、時計等の表示機器、インクジェットプリンタ(インクヘッド)、電子写真装置(現像装置、定着装置、ヒートローラ、ヒートベルト)等の画像形成装置、半導体素子、半導体パッケージ、半導体封止ケース、半導体ダイボンディング、CPU、メモリ、パワートランジスタ、パワートランジスタケース等の半導体関連部品、リジッド配線板、フレキシブル配線板、セラミック配線板、ビルドアップ配線板、多層基板等の配線基板(以上左記の配線板とは、プリント配線板なども含む)、真空処理装置、半導体製造装置、表示機器製造装置等の製造装置、断熱材、真空断熱材、輻射断熱材等の断熱装置、DVD(光ピックアップ、レーザー発生装置、レーザー受光装置)、ハードディスクドライブ等のデータ記録機器、カメラ、ビデオカメラ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、顕微鏡、CCD等の画像記録装置、充電装置、リチウムイオン電池、燃料電池等のバッテリー機器等の放熱材料、放熱部品、冷却部品、温度調節部品、電磁シールド部品として好適である。
4,4’−オキシジアニリンの1当量を溶解したDMF(ジメチルフォルムアミド)溶液に、ビロメリット酸二無水物の1当量を溶解してポリアミド酸溶液(18.5wt%)を得た。
厚さ75μmのポリイミドフィルムAを黒鉛板に挟み、電気炉を用いて窒素雰囲気下で、1000℃まで昇温された後、1000℃で1時間熱処理して炭化処理(炭素化処理)が行われた。この炭素化フィルムを炭素化フィルムAとする。
厚さ175μmのポリイミドフィルムAを黒鉛板に挟み、電気炉を用いて窒素雰囲気下で、1000℃まで昇温された後、1000℃で1時間熱処理して炭化処理(炭素化処理)が行われた。この炭素化フィルムを炭素化フィルムBとする。
炭素化処理により得られた炭素化フィルムA(400cm2(縦200mm×横200mm)、を、縦270mm×横270mm×厚み3mmの板状の平滑なグラファイトで上下から挟み、図8に示す縦300mm×横300mm×厚み60mmの直接通電可能な黒鉛容器(容器(A))内に、保持した。
炭素化処理により得られた炭素化フィルムBに硝酸鉄の10wt%メタノール溶液を塗布した後、黒鉛板に挟み、黒鉛容器(容器(A))にセットした以外はグラファイトフィルムAと同様にしてグラファイトフィルム2が作製された。
グラファイトフィルムCは、一般に入手可能な松下電器産業(株)製のPGSグラファイトシート「EYGS182310」である。
グラファイトフィルム4は、一般に入手可能なジャパンマテックス(株)製の膨張黒鉛ガスケットM/#8100ClaasBである。
グラファイトフィルムの密度は、グラファイトフィルムの重量(g)をグラファイトフィルムの縦、横、厚みの積で算出した体積(cm3)の割り算により算出された。なお、グラファイトフィルムの厚みは、任意の10点で測定した平均値を使用した。密度が高いほど、グラファイト化が顕著であることを意味している。
グラファイトフィルムおよびグラファイト複合フィルム(粘着層、絶縁層、導電層)の面方向の熱拡散率は、光交流法による熱拡散率測定装置(アルバック理工(株)社から入手可能な「LaserPit」)を用いて、グラファイトフィルムを4×40mmのサンプル形状に切り取り、20℃の雰囲気下、10Hzにおいて測定された。グラファイト化の進行状況は、フィルム面方向の熱拡散率を測定することによって判定され、熱拡散率が高いほど、グラファイト化が顕著であることを意味している
(グラファイトフィルムの線膨張係数の測定)
グラファイトフィルム単体の面方向の線膨張係数の測定には、(株)島津製作所製の熱機械分析装置TMA―50を用いた。測定は、サンプルを3×20mm長にカットし、引張モードにおいて、窒素雰囲気下、初期加重10g、昇温速度10℃/分で、グラファイトフィルム単体では室温〜400℃まで昇温させた。表1中にはその代表値として、100℃〜200℃における平均線膨張係数を算出し、記載している。
グラファイトフィルム単体および複合体の引張強度、引張弾性率の測定には、(株)東洋精機製作所製のストログラフVES1Dを用い、ASTM−D−882に準拠して測定を行った。測定は、チャック間距離100mm、引張速度50mm/分、室温下で行い、3回測定した際の平均値を使用した。
グラファイトフィルムのレーザーフラッシュ法による厚み方向の熱拡散率および熱伝導率測定には、JIS R1611−1997に準拠した京都電子工業(株)製のLFA−502を用いた。グラファイトフィルムを直径10mmにカットし、このフィルム両面を黒化処理した後、室温でレーザーフラッシュ法による厚み方向の熱拡散率測定を行った。また、グラファイトフィルムの熱容量を熱容量が既知である参照標準物質Moとの比較から算出した。これら測定したグラファイトフィルムの厚み方向の熱拡散率、密度、熱容量から厚み方向の熱伝導率を算出した。
表1中の熱抵抗測定装置による接触式厚み方向の熱抵抗および熱伝導率測定は、(株)日立製作所 I―Engineeringにて実施された。グラファイトフィルムを10mm角にカットした。これをシリコンチップ(0.525mm厚)の鏡面間で挟み、加熱軸および冷却軸との間にオイルを塗布し、サンプル温度50℃、20Nの一定加重モードの条件で(株)日立製作所製の樹脂材料熱抵抗測定装置を用い、フィルムの厚み方向の熱抵抗を測定した。熱抵抗の値は、3回測定した際の平均値を使用した。また、得られた熱抵抗の値より、厚み方向の熱伝導率を算出した。
グラファイトフィルムを、縦20mm×横10mmの短冊状の大きさにカッターナイフで切り取った。さらにこのフィルムの一端に面方向に剃刀で微小な切り目を入れ、その切り目の反対側から力を加え、フィルムを割断させることで、グラファイトフィルムの断面を出し、SEMによるフィルムの断面の観察をおこなった。
グラファイトフィルムの任意の20点の厚みを、ハイデンハイン(株)製のMT1201、ND221Bを用いて測定した。測定した20点の厚みについて、その最大値と最小値の差を算出し、厚みのばらつきとした。厚みのばらつきの値が小さいほうが、グラファイトフィルムの表面平坦性に優れていることを意味する。
グラファイトフィルムの表面粗さRaは、JISB0601に準拠して得られる値である。具体的には、表面粗さ 測定器SE3500((株)小坂研究所製)を使用し、表面粗さRaを測定した。グラファイトフィルムの表面粗さRaはグラファイトフィルムを長さ100mm×巾3mmのサイズに切り取り、カットオフ0.8mmおよび送り速度2mm/sとしてチャートを描かせ、基準長さLの部分を抜き取り、その抜き取り部分の中心線をX軸、縦方向をY軸として、粗さ 曲線をY=f(X)で表したとき、次の式で得られた値をμmで表したものである。
グラファイトフィルムA、グラファイトフィルムB、グラファイトフィルムC、グラファイトフィルムDの断面SEM像を図13、図14、図15、図16に示す。
グラファイトフィルムAとアクリル系両面テープA(日東電工(株)No.5601:アクリル系4μm/PET2μm/アクリル系4μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面にアクリル系粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムAとアクリル系両面テープB(寺岡製作所(株)707:アクリル系13μm/PET4μm/アクリル系13μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面にアクリル系粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムBとアクリル系両面テープB(寺岡製作所(株)707:アクリル系13μm/PET4μm/アクリル系13μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面にアクリル系粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムAとPET(ポリエチレンテレフタレート)テープA(寺岡製作所(株)631S:PET12μm/アクリル系18μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面にPET絶縁層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムAとポリイミドテープB(寺岡製作所(株)650S:PI12μm/アクリル系23μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面にPI絶縁層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムAとPET(ポリエチレンテレフタレート)テープA(寺岡製作所(株)631S:PET12μm/アクリル系18μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面にPET絶縁層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。つぎに、この複合フィルムとアクリル系両面テープB(寺岡製作所(株)707:アクリル系13μm/PET4μm/アクリル系13μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面にPET絶縁層、片面にアクリル系粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムAとアルミテープ(アルミニウム25μm/アクリル系10μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面にアルミ導電層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムAと銅テープ(銅18μm/アクリル系10μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面に銅導電層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムAの両面に銅テープ(銅18μm/アクリル系10μm)をラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの両面に銅導電層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムAと銅テープ(銅18μm/アクリル系10μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面に銅導電層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。つぎに、この複合フィルムとアクリル系両面テープB(寺岡製作所(株)707:アクリル系13μm/PET4μm/アクリル系13μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面に銅導電層、片面にアクリル系粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムBとPET(ポリエチレンテレフタレート)テープA(寺岡製作所(株)631S:PET12μm/アクリル系18μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面にPET絶縁層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムBと銅テープ(銅18μm/アクリル系10μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面に銅導電層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
比較例1は、一般に入手可能な松下電器産業(株)製のPGSグラファイトシート「EYGC091210C」(グラファイトシートの片面に厚み10μmのアクリル粘着材が点状に塗布された製品)である。
グラファイトフィルムCとアクリル粘着フィルム(アクリル系50μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面にアクリル粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイトフィルムCとPET(ポリエチレンテレフタレート)テープB(寺岡製作所(株)631S:PET25μm/アクリル系25μm)とをラミネーターで貼り合せ、グラファイトフィルムの片面にPET絶縁層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。
グラファイト複合フィルムの傷つきにくさは、(1)取り扱い時、(2)カシメ時、(3)リワーク時の外観を目視で確認した。
グラファイト複合フィルムを発熱部品・放熱部品に取り付ける場合、使用形状に応じてカットする必要がある。また、粘着層が形成された複合フィルムについては剥離ライナーをはがす際に、粘着材の密着性が強いと、グラファイトに皺が入ったり、傷が入ったりする。これら取り扱い後の外観を目視により観察し、グラファイト複合フィルムに目視で確認できる傷があるものを「×」、少し傷が確認されるものを「△」、傷の入っていないものを「○」とした。
グラファイト複合フィルムを発熱部品・放熱部品と強固に固定する場合には、発熱部品と放熱部品の間にグラファイト複合フィルムを挟み、発熱部品と放熱部品をネジで固定し、グラファイト複合フィルムを締め付けるようにして機械的に固定する。また、粘着層が形成されていた複合フィルムについては、剥離ライナーを剥がして粘着材を介して固定した後、ネジで固定する。これら一連の固定をおこなった後、再びネジを緩め、放熱部品を外した後に外観を観察する事で、グラファイト複合フィルムの傷つきにくさを目視で確認した。グラファイト複合フィルムに目視で確認できる傷があるものを「×」、少し傷が確認されるものを「△」、傷の入っていないものを「○」とした。
一度、発熱部品・放熱部品に取り付けたグラファイト複合フィルムを、貼る位置を間違った場合や修理をおこなうために、一旦取り除き、その後再び取り付けるといったリワーク性が要求される。
2 くさび形シート
3 くさび形シートの幅
4 ナトリウム光
5 干渉縞
11 原料フィルムを保持するための、平滑な通電可能な平板
12 容器(A)
13 原料フィルムを保持した容器(A)
21 円筒の容器(B)
22 蓋
31 容器(A)と容器(B)の間に充填された、カーボン粒子
32 容器(B)の外部周辺に充填された、カーボン粒子
6 グラファイトフィルム(カッターナイフで短冊状に切り取ったもの)
7 剃刀刃
8 割断時に、グラファイトフィルムに軽く力をかける方向
9 割断時に、剃刀刃がグラファイトフィルムに対して相対的に進む方向
Claims (20)
- 高分子フィルムを2000℃以上の温度で熱処理して得られるグラファイトフィルムの少なくとも片面に、
粘着層、絶縁層、導電層のいずれかの層が形成されているグラファイト複合フィルムであって、該グラファイトフィルムの密度が1.3g/cm3以上であることを特徴とするグラファイト複合フィルム。 - 前記グラファイトフィルムの厚みが、95μm以下であることを特徴とする請求項1記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記グラファイトフィルムの厚みが、75μm以下であることを特徴とする請求項1記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記グラファイトフィルムの面方向の熱拡散率が、7.5×10-4m2/s以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記粘着層、絶縁層、粘着層のいずれかの層の厚みが、50μm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記粘着層の厚みが、35μm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記粘着層の厚みが、15μm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記粘着層が、アクリル系粘着材及び/又はシリコーン系粘着材を含む材料であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記粘着層が、基材を含むことを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記基材が、ポリイミド及び/又はポリエチレンテレフタレートを含むことを特徴とする請求項9に記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記基材の厚みが、6μm以下であることを特徴とする請求項9、10のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記絶縁層の厚みが、35μm以下であることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記絶縁層が、ポリイミド及び/又はポリエチレンテレフタレートを含むことを特徴とする請求項12に記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記導電層が、銅及び/又はアルミニウムを含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記粘着層、絶縁層、粘着層のいずれかの層の厚みが、10μm以上であることを特徴とする請求項1〜14のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記グラファイトフィルムが、
カッターナイフおよび/または剃刀を用いて該グラファイトフィルムを割断して生成される断面において、「表面層の断面模様と表面層以外の断面模様が、少なくとも異なる部分を含むグラファイトフィルム」であって、「該表面層の断面模様の一部が、1μm未満の厚みの略長方形が略平行に積層した結果形成される短辺5μm以上の略長方形の形状」を有するグラファイトフィルムであることを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。 - 前記グラファイトフィルムが、内部に、最短径0.1〜50μmの不定形形状の模様が観察されるグラファイトフィルムであることを特徴とする請求項1〜16のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記グラファイトフィルムが、電圧を印加し直接通電可能な容器内に、高分子フィルムおよび/または炭素化した高分子フィルムからなる原料フィルムを保持し、該容器に電圧を印加し通電しながらグラファイト化することによって得られたグラファイトフィルムであることを特徴とする請求項1〜17のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記高分子フィルムが、ポリイミド、ポリアミド、ポリオキサジアゾール、ポリベンゾチアゾール、ポリベンゾビスチアゾール、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾビスオキサゾール、ポリパラフェニレンビニレン、ポリベンゾイミダゾール、ポリベンゾビスイミダゾール、およびポリチアゾールからなる群から選択される少なくとも一種類以上の高分子からなることを特徴とする請求項1〜18のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
- 前記グラファイト複合フィルムの面方向の熱伝導率が、600W/m・K以上であることを特徴とする請求項1〜19のいずれかに記載のグラファイト複合フィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006089252A JP4856457B2 (ja) | 2006-03-28 | 2006-03-28 | グラファイト複合フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006089252A JP4856457B2 (ja) | 2006-03-28 | 2006-03-28 | グラファイト複合フィルム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007261087A true JP2007261087A (ja) | 2007-10-11 |
JP4856457B2 JP4856457B2 (ja) | 2012-01-18 |
Family
ID=38634555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006089252A Active JP4856457B2 (ja) | 2006-03-28 | 2006-03-28 | グラファイト複合フィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4856457B2 (ja) |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008149920A1 (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-11 | Kaneka Corporation | グラファイト複合フィルム |
JP2009117656A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Kitagawa Ind Co Ltd | 熱伝導材及びその製造方法 |
JP2009280433A (ja) * | 2008-05-21 | 2009-12-03 | Kaneka Corp | グラファイト複合フィルム |
JP2009292694A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Kaneka Corp | グラファイトフィルムの製造方法 |
JP2010001191A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Kaneka Corp | グラファイト複合フィルム |
JP2010120818A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Kaneka Corp | グラファイト複合フィルム |
JP2010254979A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-11-11 | Dic Corp | 放熱シート用粘着テープ及び放熱シート |
JP2011105531A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Kaneka Corp | グラファイトフィルムおよびグラファイト複合フィルム |
WO2011102107A1 (ja) * | 2010-02-22 | 2011-08-25 | 株式会社カネカ | グラファイトフィルムの製造方法及び巻き替え方法、並びにグラファイト複合フィルム及びグラファイト抜き加工品の製造方法 |
JP2012052099A (ja) * | 2010-08-05 | 2012-03-15 | Nitto Denko Corp | 接着テープ |
JP2013149946A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | G & Cs Co Ltd | バックライトアセンブリー及びそれを含む表示装置 |
JP2013189013A (ja) * | 2013-03-28 | 2013-09-26 | Kaneka Corp | グラファイト複合フィルム |
JP2013203965A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Dic Corp | 着色粘着テープおよびグラファイト複合シート |
JP2013224258A (ja) * | 2013-06-07 | 2013-10-31 | Kaneka Corp | グラファイト複合フィルムの製造方法 |
WO2013168296A1 (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-14 | グラフェンプラットフォーム株式会社 | グラフェン膜を備える部材を成形する製造方法、グラフェン膜を備える成形部材、グラフェン膜を備える部材を成形する製造装置及びグラフェン積層体 |
JP2014009291A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Dic Corp | 両面粘着テープ、電磁波シールド材及び熱伝導材 |
KR101465419B1 (ko) * | 2012-12-17 | 2014-12-01 | (주)우주일렉트로닉스 | 흑연 시트의 제조 방법 |
WO2015151613A1 (ja) * | 2014-03-31 | 2015-10-08 | デクセリアルズ株式会社 | 熱拡散シート |
JP2016025068A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-02-08 | 株式会社カネカ | 配線材料、配線材料の製造方法、および配線材料を用いた配線板の製造方法 |
WO2016159238A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | デクセリアルズ株式会社 | 熱拡散シート |
JP2017168225A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | 藤森工業株式会社 | 加熱放熱シート及び加熱放熱システム |
JP2018060862A (ja) * | 2016-10-03 | 2018-04-12 | 大同特殊鋼株式会社 | 薄膜状の電磁波吸収体、ギガヘルツ帯電磁波デカップリングシートおよびそれらの製造方法 |
KR101940421B1 (ko) * | 2017-12-01 | 2019-01-18 | 김종수 | 휴대용 플렉서블 발광다이오드 조명장치 및 그의 제조방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105086924B (zh) * | 2015-08-10 | 2017-06-30 | 东莞市新星有机硅科技有限公司 | 一种导电型有机硅灌封胶的制备方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001079977A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合体及びその製造方法 |
JP2001144237A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイトシート積層熱伝導体 |
JP2002319653A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイトシートおよびそれを用いた放熱部品 |
JP2003238910A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-27 | Three M Innovative Properties Co | 加熱剥離型熱硬化性粘着剤フィルム |
JP2004017504A (ja) * | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 絶縁材付グラファイトフィルム |
WO2005023713A1 (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-17 | Kaneka Corporation | フィルム状グラファイトとその製造方法 |
WO2005123582A1 (ja) * | 2004-06-16 | 2005-12-29 | Kaneka Corporation | グラファイトフィルムの製造方法、およびその方法で製造されたグラファイトフィルム |
-
2006
- 2006-03-28 JP JP2006089252A patent/JP4856457B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001079977A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合体及びその製造方法 |
JP2001144237A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイトシート積層熱伝導体 |
JP2002319653A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイトシートおよびそれを用いた放熱部品 |
JP2003238910A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-27 | Three M Innovative Properties Co | 加熱剥離型熱硬化性粘着剤フィルム |
JP2004017504A (ja) * | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 絶縁材付グラファイトフィルム |
WO2005023713A1 (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-17 | Kaneka Corporation | フィルム状グラファイトとその製造方法 |
WO2005123582A1 (ja) * | 2004-06-16 | 2005-12-29 | Kaneka Corporation | グラファイトフィルムの製造方法、およびその方法で製造されたグラファイトフィルム |
Cited By (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008149920A1 (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-11 | Kaneka Corporation | グラファイト複合フィルム |
JP2009117656A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Kitagawa Ind Co Ltd | 熱伝導材及びその製造方法 |
JP2009280433A (ja) * | 2008-05-21 | 2009-12-03 | Kaneka Corp | グラファイト複合フィルム |
JP2009292694A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Kaneka Corp | グラファイトフィルムの製造方法 |
JP2010001191A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Kaneka Corp | グラファイト複合フィルム |
JP2010120818A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Kaneka Corp | グラファイト複合フィルム |
JP2010254979A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-11-11 | Dic Corp | 放熱シート用粘着テープ及び放熱シート |
JP2011105531A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Kaneka Corp | グラファイトフィルムおよびグラファイト複合フィルム |
JP5048166B2 (ja) * | 2010-02-22 | 2012-10-17 | 株式会社カネカ | グラファイトフィルムの製造方法及び巻き替え方法、並びにグラファイト複合フィルム及びグラファイト抜き加工品の製造方法 |
WO2011102107A1 (ja) * | 2010-02-22 | 2011-08-25 | 株式会社カネカ | グラファイトフィルムの製造方法及び巻き替え方法、並びにグラファイト複合フィルム及びグラファイト抜き加工品の製造方法 |
US9249024B2 (en) | 2010-02-22 | 2016-02-02 | Kaneka Corporation | Method for producing graphite film, method for rewinding same, and method for producing graphite composite film and graphite die-cutting product |
CN102811947A (zh) * | 2010-02-22 | 2012-12-05 | 株式会社钟化 | 石墨膜的制造方法及重卷方法、石墨复合膜及石墨冲裁加工品的制造方法 |
JP2013006763A (ja) * | 2010-02-22 | 2013-01-10 | Kaneka Corp | グラファイト複合フィルムの製造方法 |
US9682542B2 (en) | 2010-02-22 | 2017-06-20 | Kaneka Corporation | Method for producing graphite film, method for rewinding same, and method for producing graphite composite film and graphite die-cutting product |
JP2012052099A (ja) * | 2010-08-05 | 2012-03-15 | Nitto Denko Corp | 接着テープ |
JP2013149946A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | G & Cs Co Ltd | バックライトアセンブリー及びそれを含む表示装置 |
JP2013203965A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Dic Corp | 着色粘着テープおよびグラファイト複合シート |
WO2013168296A1 (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-14 | グラフェンプラットフォーム株式会社 | グラフェン膜を備える部材を成形する製造方法、グラフェン膜を備える成形部材、グラフェン膜を備える部材を成形する製造装置及びグラフェン積層体 |
JP2014009291A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Dic Corp | 両面粘着テープ、電磁波シールド材及び熱伝導材 |
KR101465419B1 (ko) * | 2012-12-17 | 2014-12-01 | (주)우주일렉트로닉스 | 흑연 시트의 제조 방법 |
JP2013189013A (ja) * | 2013-03-28 | 2013-09-26 | Kaneka Corp | グラファイト複合フィルム |
JP2013224258A (ja) * | 2013-06-07 | 2013-10-31 | Kaneka Corp | グラファイト複合フィルムの製造方法 |
WO2015151613A1 (ja) * | 2014-03-31 | 2015-10-08 | デクセリアルズ株式会社 | 熱拡散シート |
CN106463486B (zh) * | 2014-03-31 | 2019-05-03 | 迪睿合株式会社 | 热扩散片 |
US10121724B2 (en) | 2014-03-31 | 2018-11-06 | Dexerials Corporation | Heat diffusion sheet |
TWI637854B (zh) * | 2014-03-31 | 2018-10-11 | 日商迪睿合股份有限公司 | Thermal diffusion sheet |
CN106463486A (zh) * | 2014-03-31 | 2017-02-22 | 迪睿合株式会社 | 热扩散片 |
JP2015201639A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-12 | デクセリアルズ株式会社 | 熱拡散シート |
JP2016025068A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-02-08 | 株式会社カネカ | 配線材料、配線材料の製造方法、および配線材料を用いた配線板の製造方法 |
KR20170125012A (ko) * | 2015-03-31 | 2017-11-13 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 열확산 시트 |
CN107409480A (zh) * | 2015-03-31 | 2017-11-28 | 迪睿合株式会社 | 热扩散片 |
JP2016195252A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | デクセリアルズ株式会社 | 熱拡散シート |
WO2016159238A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | デクセリアルズ株式会社 | 熱拡散シート |
KR101982953B1 (ko) | 2015-03-31 | 2019-05-27 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 열확산 시트 |
CN107409480B (zh) * | 2015-03-31 | 2019-10-18 | 迪睿合株式会社 | 热扩散片 |
JP2017168225A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | 藤森工業株式会社 | 加熱放熱シート及び加熱放熱システム |
JP2021048136A (ja) * | 2016-03-14 | 2021-03-25 | 藤森工業株式会社 | 加熱放熱システム |
JP7191923B2 (ja) | 2016-03-14 | 2022-12-19 | 藤森工業株式会社 | 加熱放熱システム |
JP2018060862A (ja) * | 2016-10-03 | 2018-04-12 | 大同特殊鋼株式会社 | 薄膜状の電磁波吸収体、ギガヘルツ帯電磁波デカップリングシートおよびそれらの製造方法 |
KR101940421B1 (ko) * | 2017-12-01 | 2019-01-18 | 김종수 | 휴대용 플렉서블 발광다이오드 조명장치 및 그의 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4856457B2 (ja) | 2012-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4856457B2 (ja) | グラファイト複合フィルム | |
JP4977424B2 (ja) | グラファイト複合フィルム | |
JP5732117B2 (ja) | グラファイトフィルムの製造方法 | |
JP5019751B2 (ja) | グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの製造方法 | |
JP5069860B2 (ja) | グラファイトフィルム | |
JP4617396B2 (ja) | グラファイトフィルム及びグラファイト複合フィルム | |
JP4659827B2 (ja) | グラファイトフィルムの製造方法 | |
JP5438882B2 (ja) | 折り曲げ特性に優れたグラファイトフィルム | |
JP5695114B2 (ja) | グラファイトフィルムの製造方法 | |
JP4959960B2 (ja) | グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの製造方法 | |
JP2008078380A (ja) | 放熱シート | |
JP5330021B2 (ja) | グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの製造方法 | |
JP5305556B2 (ja) | グラファイトフィルムおよびその製造方法 | |
JP5830500B2 (ja) | グラファイトフィルムの製造方法 | |
JP5268284B2 (ja) | グラファイトフィルムの製造方法およびその製造方法により作製されたグラファイトフィルム | |
JP5121396B2 (ja) | グラファイトフィルムおよびその製造方法 | |
JP5036149B2 (ja) | グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの製造方法 | |
JP5306410B2 (ja) | グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの製造方法 | |
JP2007109743A (ja) | 発光ダイオード | |
JP2012136427A (ja) | 折り曲げ特性に優れたグラファイトフィルム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110315 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110516 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110516 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110519 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110520 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111025 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111028 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141104 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4856457 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141104 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |