JP2007103917A - 固体素子デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】低融点ガラスとして板状のZnO系ガラスを素子搭載基板3に平行となるようにセットし、高粘度状態でホットプレス加工することで、結晶成長温度に対し充分に低い加工が可能になり、封止加工性が向上する。また、低融点ガラスが素子搭載基板3の表面に平行移動して面状に密着してガラス封止部4を形成する際に素子搭載基板3との間に空気層5が設けられることから、コンタクト層25との界面に達した光を空気層5との屈折率差に基づいて反射する作用が大になり、素子搭載基板3に達することによる反射吸収損失を低減できる。
【選択図】図1
Description
基板と、
前記基板にフリップチップ実装され、コンタクト電極を実装面に有する固体素子と、
前記基板上で前記固体素子を封止し、前記基板と同等の熱膨張率の無機封止材料を含む無機封止部と、
前記基板と前記固体素子の前記コンタクト電極との間に配され、前記無機封止材料より小さい屈折率の小屈折率媒体と、を備えることを特徴とする固体素子デバイス。
前記小屈折率媒体は、気体層を含むことが好ましい。
前記小屈折率媒体は、誘電体層を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の固体素子デバイス。
前記小屈折率媒体は、SiO2を含むことが好ましい。
前記誘電体層は、前記固体素子が発する光を散乱反射する材料を含むことが好ましい。
前記コンタクト電極は、前記無機封止部と非接触であることが好ましい。
前記基板は、前記固体素子と電気的に接続される回路パターンを有し、該回路パターンに前記基板と前記固体素子の間への前記無機封止材料の進入を抑制するための突出部が形成されることが好ましい。
前記コンタクト電極は、前記固体素子の本体と同等の熱膨張率を有することが好ましい。
前記コンタクト電極は、透明導電性材料からなることが好ましい。
前記コンタクト電極は、酸化物であることが好ましい。
前記固体素子の実装面と、前記基板の素子実装面との距離が15μm以下であることが好ましい。
コンタクト電極より小なるサイズのパッド電極を有し、フリップ実装される固体素子と、
前記固体素子の実装面と略同一面化するように接合される素子実装面を有して電力の受供給を行う電力受供給部と、
前記電力受供給部と同等の熱膨張率を有して前記固体素子を封止するとともに前記固体素子と前記電力受供給部との間に空気層を形成する無機封止材料からなる無機封止部とを有することを特徴とする固体素子デバイスが提供される。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す縦断面図である。
この固体素子デバイス1は、固体素子としてIII族窒化物系化合物半導体からなるフリップチップ型のLED素子2と、LED素子2を搭載するとともに外部から供給される電力を導電部を介してLED素子2に供給する電力受供給部としての素子搭載基板3と、LED素子2の搭載された素子搭載基板3を封止する無機封止部としてのガラス封止部4とを有し、LED素子2と素子搭載基板3との間の中空部には空気層5が形成されている。気体層としての空気層5は、LED素子2と素子搭載基板3の間の接合部を除くほぼ全ての領域に形成される。尚、気体層の気体は任意であり、空気、窒素、アルゴン等が例示される。
以下、第1の実施の形態の固体素子デバイス1の製造方法について説明する。素子搭載基板3については、予め回路パターン32、ビアパターン34、および外部配線パターン35が形成されたウエハー状ものを用いるものとする。
上記した第1の実施の形態によると、以下の効果が得られる。
ここで、高粘度状態とはいえ、ホットプレス加工によるガラスへの加圧により、通常行われる直径100μm、高さ25μm程度のバンプボンディングによるフリップ実装では、中空部が生じるもののコンタクト層25の部位まで低融点ガラスがLED素子2の底面へ進入する。しかし、バンプボンディングを省いてLED素子2の実装面と素子搭載基板3の素子実装面とを近接させ略同一面化することができることから、ガラス封止時にLED素子2の底面におけるコンタクト層25の部位まで低融点ガラスが進入せずに広い空気層5を形成することができる。
さらに、コンタクト電極としてのコンタクト層25をRh電極としてもよい。Rh電極とすると、光透過性がないことから素子搭載基板3での光損失の向上効果はないものの、電極剥離に対する効果はある。Rhは熱膨張率8×10−6/℃であり、ITOと略同等の熱膨張率であるが、テープによる電極の剥がし試験ではITO電極と比較して接合強度が小さく、さらにAuパッド電極による熱膨張収縮によって剥離が生じやすい。この対策として、電極での熱応力を軽減するため、Auパッド電極をRh電極全体でなく、素子搭載基板3との接合箇所のみに形成し、さらに、素子搭載基板3からの熱応力も軽減するため、LED素子2と素子搭載基板3の熱膨張率を略同一とし、これらに加え、ガラスがRh電極と接しないようにすることでガラスによる電極への応力をなくし、この結果、安定に電極剥離が生じないものとできる。ここで、ITO電極では素子搭載基板3として熱膨張率をLED素子2の1.8倍としたものや、ガラスがITO電極に接するものでも、電極剥離は観察されていないが、Rh電極では剥離の発生率や程度への影響が生じることがサンプルによる実験にて観察されている。
図4は、第2の実施の形態に係るLED素子を示し、(a)は電極形成面を示す底面図、(b)はLED素子の縦断面図である。なお、以下の説明において、第1の実施の形態と同一又は同様の機能を有する部分に同一の符号を付している。
このLED素子2は、第1の実施の形態のLED素子2で説明したものと同様の電極構造を有し、素子サイズを250μm角で形成するとともにコンタクト層25およびn−GaN層22の表面にSiO2(屈折率n=1.4)からなるパッシベーション膜40を設けた構成を有する。
上記した第2の実施の形態によると、第1の実施の形態の好ましい効果に加えて素子サイズが小型化しても発光面積を著しく低下させることがない。また、素子サイズに対しコンタクト層25の割合を広く確保できるので、電流密度の均一化が図れ、発光むらの少ないLED素子2とできる。また、パッシベーション膜40を設けることで、ITOとSiO2の屈折率差による界面反射、SiO2と気体層としての空気層(図示せず)との屈折率差による界面反射によって、素子搭載基板3側への光出射を抑えることができる。尚、ガラス封止のLED素子2においては、水分によるLED素子2の腐食対策が不要であることから、パッシベーション膜40は主として光学的な目的で設けられている。ここで、光学膜のSiO2層は透明膜に限らず、多結晶化した状態の白色の散乱反射膜であってもよい。また、光学膜は、SiO2に限らず、他の誘電体材料からなるものであってもよい。ここで、金属では熱膨張率が大きいものであることに加え、正反射率が高いため、凹凸表面に膜形成する多重反射によって光吸収が大きくなるので、光学膜には適していない。
図5は、第3の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す縦断面図であり、図6は固体素子デバイスに搭載されるLED素子の電極形成面を示す底面図である。
この固体素子デバイス1は、第2の実施の形態で説明したパッシベーション膜40によってコンタクト層25を覆われたLED素子2をガラス封止した構成を有し、LED素子2のn側電極は素子中央部に設けられている。また、コンタクト層25にNi層26Bを介して電気的に接続されるパッド電極26Aは、発光エリアの外側に小サイズで設けられている。
上記した第3の実施の形態によると、第2の実施の形態の好ましい効果に加えてn側電極27を素子中央部に配置したことにより、同一サイズのLED素子において、第1および第2の実施の形態と比較し、p−n電極間を短くできる。あるいは、相似比2倍のサイズのLED素子2としても、p−n電極間距離を同等とすることができるため、通電電流を大にした際のエピタキシャル層抵抗損失を低く抑えることができる。また、発光に伴う発熱はn側電極27側に発生するが、熱分散の均一化が図れるとともに放熱性を促進できる。そのため、n側電極27の接続される回路パターン32は、放熱性に応じた適切なサイズで形成されることが好ましい。
図8は、第4の実施の形態に係る固体素子デバイスの縦断面図である。
この固体素子デバイス101は、III族窒化物系化合物半導体を有するフリップチップ型の固体素子としてのLED素子102と、LED素子102を搭載するとともに外部から供給される電力を導電部を介してLED素子102に供給する電力受供給部としての素子搭載基板103と、LED素子102が搭載された素子搭載基板103を封止する無機封止材料としてのガラス封止部104とを有し、LED素子102と素子搭載基板103との間には中空部105が形成されている。中空部105は、LED素子102と素子搭載基板103の間の接合部を除くほぼ全ての領域に形成される。
以下、第4の実施の形態の固体素子デバイス101の製造方法について説明する。素子搭載基板103については、第1層103A及び第2層103Bのグリーンシートを焼結し、この焼結体に回路パターン132、ビアパターン134、および外部配線パターン135が形成されたウエハー状のものを用いる。
上記した第4の実施の形態によると、以下の効果が得られる。
図12は、第5の実施の形態に係るものであって、素子搭載基板へ実装した際のガラス封止部の形成状態を示すLED素子の底面説明図である。
図12に示すように、このLED素子302においても、p側パッド電極326とn側電極327が対角状に配置されている。図12に示すように、このLED素子302は、コンタクト電極325がp−GaN層の表面を覆うよう形成されるとともに、パッシベーション膜340がコンタクト電極325及びn−GaN層の表面を覆うよう形成されている。
上記した第5の実施の形態によると、小径のAuバンプ328を用いたことにより、気体層305の形成領域を大きくすることができ、素子搭載基板への光入射の抑制効果を大きくすることができる。
図13及び図14は第6の実施の形態を示すものであって、図13はLED素子の底面図、図14は素子搭載基板の一部縦断面図である。
図13に示すように、LED素子402は平面視にて長尺な長方形に形成されており、p側パッド電極426とn側電極427とが、両短辺に沿うよう対辺状に配置される。すなわち、p側パッド電極426及びn側電極427は、線状に形成され、略矩形状の発光領域を介して対向配置されている。p側パッド電極426とn側電極427は、ともに平面視にて短辺に沿って延びる矩形状を呈している。
図14に示すように、素子搭載基板403の実装面には、LED素子の電極形状に応じてパターン形成されたNi層430と、Ni層430の表面を覆う薄膜状のAu層431と、を含む回路パターン432が形成されている。Au層431には、他部に比してLED素子側へ突出した突出部431Aが形成される。突出部431Aは、素子搭載基板403とLED素子402の間へのガラスの進入を抑制するために形成される。本実施形態においては、突出部431Aは、突出量が5μmであり、平面視にて矩形状に形成される。そして、突出部431Aが、p側パッド電極426の中央部の接触領域426Bと接触する(図13参照)。n側電極427についても、同様に、中央部の接触領域427Bに突出部431Aが接触する。本実施形態においては、Auバンプは設けられていない。図13に示すように、ガラス封止部104の中空部105は、平面視にて、短辺を各突出部431Aに内接させた長方形状に形成される。
以上の構成によれば、LED素子と素子搭載基板403の間へのガラスの進入を突出部431Aにより抑制することができる。
また、突出部431Aが矩形状に形成されていることから、突出部431AがLED素子の電極と面接触することにより、2点での接合であってもLED素子の姿勢を安定させて実装することができる。
さらに、回路パターン432のAu層431を用いて突出部431Aを形成していることから、バンプを形成する必要がなく、バンプの形成工程を省略することができる。
図16及び図17は第7の実施の形態を示し、図16は固体素子デバイスの上面図、図17は図16のA−A断面図である。
この固体素子デバイス601は、フリップチップ型の複数のGaN系のLED素子102と、平面視にて正方形状に形成され複数のLED素子102をマウントする多層構造の素子搭載基板603と、を有している。また、固体素子デバイス601は、素子搭載基板603の両面及び層内に、それぞれタングステン(W)層136を含む回路パターン632、ビアパターン634及び外部配線パターン635を有している。尚、回路パターン632及び外部配線パターン635には、さらにニッケル(Ni)及び金(Au)のめっきが施されて、Ni層130及びAu層131が形成される。また、素子搭載基板603の実装面と反対側の面には、各LED素子102にて生じた熱を外部へ放散する放熱パターン636が形成されている。放熱パターン636は、外部配線パターン635と同工程にて形成され、W層136を有している。また、固体素子デバイス601は、各LED素子102を封止するとともに素子搭載基板603と接着されるB2O3−SiO2−Li2O−Na2O−ZnO−Nb2O5系の低融点ガラスからなるガラス封止部604を有している。
上記した第7の実施形態によれば、複数個のLED素子102を密集させて実装する構成であっても、LED素子102およびガラス封止部604の熱膨張率が同等であるので、クラックを生じることなく信頼性に優れる固体素子デバイス601が得られる。また、ガラス封止部604と素子搭載基板603についても同等の熱膨張率で形成されることにより、ガラス接着強度に優れる。
2 LED素子
3 素子搭載基板
4 ガラス封止部
5 空気層
20 サファイア基板
21 AlNバッファ層
22 n−GaN層
23 MQW層
24 p−GaN層
25 コンタクト層
25A 表面
26 p側電極
26A パッド電極
26B Ni層
27 n側電極
30 Ni層
31 Au層
32 回路パターン
33 ビアホール
34 ビアパターン
35 外部配線パターン
40 パッシベーション膜
101 固体素子デバイス
102 LED素子
103 素子搭載基板
103A 第1層
103B 第2層
103C 段状部
104 ガラス封止部
105 中空部
120 サファイア基板
121 AlNバッファ層
122 n−GaN層
123 MQW層
124 p−GaN層
125 コンタクト電極
126 p側パッド電極
127 n側電極
128 Auバンプ
130 Ni層
131 Au層
132 回路パターン
133 ビアホール
134 ビアパターン
135 外部配線パターン
136 W層
140 パッシベーション膜
151 Al層
152 Ni層
153 Au層
202 LED素子
225 p側コンタクト電極
226 p側パッド電極
226A 延在部
227 n側電極
240 パッシベーション膜
270 Al層
271 Ni層
272 Au層
302 LED素子
325 コンタクト電極
326 p側パッド電極
326A 延在部
327 n側電極
328 Auバンプ
340 パッシベーション膜
402 LED素子
403 素子搭載基板
426 p側パッド電極
426B 接触領域
427 n側電極
427B 接触領域
430 Ni層
431 Au層
431A 突出部
432 回路パターン
502 LED素子
526 p側パッド電極
526A 延在部
526B 接触領域
527 n側電極
527A 延在部
527B 接触領域
601 固体素子デバイス
603 素子搭載基板
632 回路パターン
634 ビアパターン
635 外部配線パターン
636 放熱パターン
Claims (20)
- コンタクト電極より小なるサイズのパッド電極を有し、フリップ実装される固体素子と、
前記固体素子の実装面と略同一面化するように接合される素子実装面を有して電力の受供給を行う電力受供給部と、
前記電力受供給部と同等の熱膨張率を有して前記固体素子を封止するとともに前記固体素子と前記電力受供給部との間に空気層を形成する無機封止材料からなる無機封止部とを有することを特徴とする固体素子デバイス。 - 発光領域に対応したコンタクト電極と前記コンタクト電極より小なるサイズのパッド電極とを有し、フリップ実装される固体素子と、
前記固体素子の実装面と略同一面化するように接合される素子実装面を有して電力の受供給を行う電力受供給部と、
前記電力受供給部と同等の熱膨張率を有して前記固体素子を封止するとともに前記固体素子と前記電力受供給部との間に中空部を形成する無機封止材料からなる無機封止部とを有することを特徴とする固体素子デバイス。 - 前記コンタクト電極は、前記無機封止部と非接触であることを特徴とする請求項1または2に記載の固体素子デバイス。
- 前記固体素子の実装面と、前記基板の素子実装面との距離が15μm以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の固体素子デバイス。
- 前記電力受供給部は、前記固体素子と電気的に接続される回路パターンを有し、該回路パターンに前記電力受供給部と前記固体素子の間への前記無機封止材料の進入を抑制するための突出部が形成されることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の固体素子デバイス。
- 前記コンタクト電極は、前記固体素子の成長基板と同等の熱膨張率を有することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の固体素子デバイス。
- 前記コンタクト電極は、透明導電性材料からなる請求項1から6のいずれか1項に記載の固体素子デバイス。
- 前記透明導電性材料は、酸化物であることを特徴とする請求項7に記載の固体素子デバイス。
- 前記透明導電性材料は、ITO(Indium Tin Oxide)である請求項8に記載の固体素子デバイス。
- 前記固体素子の前記コンタクト電極の前記電力受供給部側に形成され、前記無機封止材料より小さい屈折率の小屈折率膜を有することを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の固体素子デバイス。
- 発光領域に対応した透明導電性材料のコンタクト電極と前記コンタクト電極より小なるサイズのパッド電極とを有し、フリップ実装される固体素子と、
前記固体素子への電力の受供給を行う電力受供給部と、
前記電力受供給部と同等の熱膨張率を有して前記固体素子を封止する無機封止材料からなる無機封止部と、
前記固体素子の前記コンタクト電極の前記電力受供給部側に形成され、前記無機封止材料より小さい屈折率の小屈折率膜と、を有することを特徴とする固体素子デバイス。 - 前記固体素子の前記小屈折率膜と前記電力受供給部との間に形成された中空部を有することを特徴とする請求項11に記載の固体素子デバイス。
- 前記小屈折率膜は、誘電体層を含むことを特徴とする請求項10から12のいずれか1項に記載の固体素子デバイス。
- 前記誘電体層は、前記固体素子が発する光を散乱反射する材料を含むことを特徴とする請求項13に記載の固体素子デバイス。
- 前記誘電体層は、SiO2層を含むことを特徴とする請求項13または14に記載の固体素子デバイス。
- 前記透明導電性材料は、酸化物であることを特徴とする請求項11から15のいずれか1項に記載の固体素子デバイス。
- 前記透明導電性材料は、ITO(Indium Tin Oxide)である請求項16に記載の固体素子デバイス。
- 前記固体素子は、線状に形成された第1および第2の電極を略矩形状の発光領域を介して対向配置した請求項1から17のいずれか1項に記載の固体素子デバイス。
- 前記固体素子は、略矩形状に設けられる発光領域の中央に設けられる第1の電極と、前記発光領域の周辺に設けられる第2の電極とを有する請求項1から17のいずれか1項に記載の固体素子デバイス。
- 前記無機封止部は、蛍光体を含む請求項1から19のいずれか1項に記載の固体素子デバイス。
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