JP2007093686A - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
層間絶縁膜のピンホールや欠陥に起因する電極間の短絡不良を防止して、高信頼性を有する液晶表示装置を提供する。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる液晶表示装置は、TFTアレイ基板101と、TFTアレイ基板101に対向配置されるカラーフィルタ基板102と、両基板を貼り合わせるシールパターン40とを備え、カラーフィルタ基板102は、対向電極42を有し、TFTアレイ基板101は、ゲート配線4と、ゲート配線4上に形成されるゲート絶縁膜6と、ゲート配線4とゲート絶縁膜6を介して交差配置されるソース配線11と、ソース配線11上に2層で形成される層間絶縁膜14、18と、シールパターン40の下に設けられ、当該シールパターン40により対向電極42と導通される共通電極配線37とを有し、シールパターン40は、ソース配線11と層間絶縁膜14、18を介して重畳するものである。
【選択図】 図34
Description
本発明の実施の形態1に係る液晶表示装置用TFTアレイ基板の平面図を図1に、同じくその断面図を図2に示す。尚、図2の断面図は、図1におけるX−X'部の断面に加え、ゲート端子とソース端子部の断面構造を示している。
まず、ガラス基板などの透明絶縁性基板1上に第1の金属薄膜を成膜したのちに、第1回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)により前記第1の金属薄膜をパターニングして図2、図3及び図4の如く、少なくともゲート電極2、保持容量共通電極3、ゲート配線4及びゲート端子5を形成する。これらの第1の金属薄膜としては、電気的比抵抗値の低いAl(アルミニウム)又はMo(モリブデン)や、これらを主成分とする合金を用いることが好ましい。
次に、図2、図5及び図6の如く、第1の絶縁膜(ゲート絶縁膜)6と、シリコン等からなる半導体膜7と、不純物原子を添加したシリコン等からなるオーミックコンタクト膜8とを順次成膜した後に、第2回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)で、導体膜(半導体能動膜)7とオーミックコンタクト膜8とをパターン形成する。この際、半導体能動膜7及びオーミックコンタクト膜8の形状は、薄膜トランジスタ(TFT)を形成する領域を含むとともに、後述の第3の工程で形成されるソース電極9及びソース配線11のパターンを包括するように、大きくかつ連続した形状に設定される。
次に、第2の金属薄膜を成膜した後に、第3回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)によりパターニングし、図2、図7及び図8の如く、ソース電極9、ドレイン電極10(画素ドレイン)、ソース配線11及びソース端子12を形成する。
次に、図2、図9及び図10の如く、第2の絶縁膜の下層として第1の層間絶縁膜14を成膜した後に、第4回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)によりパターニングし、少なくとも第1の金属薄膜としてのゲート端子5の表面まで貫通するコンタクトホール15と、第2の金属薄膜のうちソース端子12の表面まで貫通するコンタクトホール16と、ドレイン電極10の表面まで貫通するコンタクトホール17とを同時に形成する。
次に、再度(D)の第4の工程と同様の工程を第5の工程として繰り返す。即ち、図2、図11及び図12の如く、第2の絶縁膜の上層として、第2の層間絶縁膜18を成膜した後に、第5回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)によりパターニングし、第4の工程(D)と同様にゲート端子5用のコンタクトホール19、ソース端子12用のコンタクトホール20、及びドレイン電極(画素ドレイン)10用のコンタクトホール21を形成する。
最後に、図2、図13及び図14の如く、透明導電性薄膜を成膜したのちに、第6回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)により、この透明導電性薄膜を用いて、コンタクトホール17、21を介して下層のドレイン電極10と電気的に接続される画素電極22と、コンタクトホール15、19を介して下層のゲート端子5と電気的に接続されるゲート端子パッド23と、コンタクトホール16、20を介して下層のソース端子12と電気的に接続されるソース端子パッド24とをそれぞれパターン形成し、この実施の形態1に係る液晶表示装置用TFTアレイ基板が完成する。
本発明の実施の形態2に係る液晶表示装置用TFTアレイ基板の平面図を図17に、同じくその断面図を図18にそれぞれ示す。図18の断面図は、図17におけるX−X'部の断面に加え、ゲート端子部とソース端子部の断面構造を示している。尚、この実施の形態2では、上述した実施の形態1と同様の機能を有する要素については同一符号を付している。
まず、ガラス基板などの透明絶縁性基板1上に第1の金属薄膜を成膜した後、第1回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)により第1の金属薄膜をパターニングし、18、図19及び図20の如く、少なくともゲート電極2、保持容量共通電極3、ゲー
ト配線4を形成する。
次に、図18、図21及び図22の如く、第1の絶縁膜(ゲート絶縁膜)6と、シリコン等からなる半導体能動膜7と、不純物原子を添加したシリコン等からなるオーミックコンタクト膜8とを順次成膜した後に、第2回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)で、半導体能動膜7とオーミックコンタクト膜8とをパターン形成する。この際、半導体能動膜7とオーミックコンタクト膜8は、薄膜トランジスタ(TFT)を形成する領域を含み、かつこのTFTを形成する領域から延在するとともに後述の第3の工程で形成されるソース配線11のパターンに包括されるように連続した形状になるようにパターン形成される。
次に、図18、図23及び図24の如く、第2の金属薄膜を成膜した後に、第3回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)によりパターニングしてソース電極9、ドレイン電極10、ソース配線11及び保持容量コンタクト膜28を形成する。第2の金属薄膜としては、電気的比抵抗値が低いこと、オーミックコンタクト膜8との良好なコンタクト特性をもつこと、及びこのあとのプロセスで形成される画素電極35とのコンタクト特性に優れる等の利点を有する材料を用いることが好ましい。このような特性をもつ材料として例えばモリブデン(Mo)を基としてこれにニオブ(Nb)やタングステン(W)等を添加した合金を選ぶことが可能である。
次に、図18、図25及び図26の如く、第2の絶縁膜の下層として第1の層間絶縁膜29をCVD法を用いて成膜した後に、第4回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)によりパターニングして、少なくとも前記第1の金属薄膜の保持容量共通電極3の表面まで貫通するコンタクトホール31と、前記第2の金属薄膜のうち保持容量コンタクト膜28の表面まで貫通するコンタクトホール30とドレイン電極10の表面まで貫通するコンタクトホール17とを同時に形成する。
次に、第5の工程として、再度第4の工程(D)と同様の工程を繰り返す。即ち、図18、図27及び図28の如く、第2の絶縁膜の上層として第2の層間絶縁膜32として成膜した後に、第5回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)によりパターニングして、第4の工程(D)と同様にして、保持容量共通電極3用コンタクトホール34、保持容量コンタクト膜28用コンタクトホール33、及びドレイン電極10(画素ドレイン)用コンタクトホール21を形成する。
最後に、図18、図29及び図30の如く、透明導電性薄膜を成膜した後に、第6回目のフォトリソグラフィプロセス(写真製版工程)により、この透明導電性薄膜を用いて画素電極35及び対向電極36をパターン形成する。
本発明の実施の形態3にかかる液晶表示装置用の液晶パネルについて、図31−図34を参照して説明する。図31は、本実施の形態にかかる液晶表示パネルに用いられるTFTアレイ基板101の平面図である。図32は、図31に示すTFTアレイ基板101を用いた液晶表示パネルを示す平面図である。図33は図32におけるX−X'断面図であり、図34は図32におけるY−Y'断面図である。ここで、図31は、例えば、上述した実施の形態1の工程を用いて作成された液晶表示装置用のTFTアレイ基板101を示すものであり、実施の形態1と同じ要素については、同一符号を付している。また、図32においては、説明のため、TFTアレイ基板101に対向する対向基板であるカラーフィルタ基板102の図示を省略している。
2 ゲート電極
3 保持容量共通電極
4 ゲート配線
5 ゲート端子
6 ゲート絶縁膜
7 半導体能動膜
8 オーミックコンタクト膜
9 ソース電極
10 ドレイン電極
11 ソース配線
12 ソース端子
13 チャネル部
14、18、29、32 層間絶縁膜
15、16、17、19、20、21、30、32、33、34 コンタクトホール
20、21、33、34 コンタクトホール
22 画素電極
23 ゲート端子パッド
24 ソース端子パッド
25、26 ピンホール欠陥
28 保持容量コンタクト膜
31、34 コンタクトホール
35 画素電極
36 対向電極
37 共通電極配線
38 共通電極パッド
39 コンタクトホール
40 シールパターン
41 液晶注入口
42 対向電極
101 TFTアレイ基板
102 カラーフィルタ基板
Claims (8)
- TFTがアレイ状に形成されたTFTアレイ基板と、
前記TFTアレイ基板に対向配置される対向基板と、
前記TFTアレイ基板と前記対向基板とを貼り合わせるシールパターンとを備える液晶表示装置であって、
前記対向基板は、対向電極を有し、
前記TFTアレイ基板は、第1の導電層と、
前記第1の導電層上に形成される第1の絶縁膜と、
前記第1の導電層と前記第1の絶縁膜を介して交差配置される第2の導電層と、
前記第2の導電層上に2層以上で形成される第2の絶縁膜と、
前記シールパターンの下に設けられ、当該シールパターンにより前記対向電極と導通される共通電極配線とを有し、
前記シールパターンは、前記第2の導電層と前記第2の絶縁膜を介して重畳する液晶表示装置。 - 前記TFTアレイ基板は、前記第2の絶縁膜上に設けられる第3の導電層を有し、
前記第2の導電層と前記第3の導電層との間の前記第2の絶縁膜は2層以上で形成される請求項1に記載の液晶表示装置。 - 前記第2の絶縁膜のコンタクトホールにおいて、
2層以上の第2の絶縁膜の上層の開口部が、下層の開口部よりも大きく形成され、
前記第2の絶縁膜の断面形状が階段状又は順テーパ状になっている請求項1又は2に記載の液晶表示装置。 - 2層以上で形成された前記第2の絶縁膜の上層の層厚が、下層の層厚よりも薄くなっている請求項1、2又は3に記載の液晶表示装置。
- 基板上に第1の導電層を形成し、
前記基板上に共通電極配線を形成し、
前記第1の導電層上に、第1の絶縁膜を形成し、
前記第2の絶縁膜上に第2の導電層を形成し、
前記第2の導電層上に、2層以上の第2の絶縁膜を形成して、TFTアレイ基板を製造し、
前記TFTアレイ基板に対向電極を有する対向基板を対向配置して、
前記TFTアレイ基板と前記対向基板とを、前記第2の電極と前記第2の絶縁膜を介して重畳するように配設されたシールパターンによって貼り合せ、
前記シールパターンが前記共通電極配線と重畳する領域において、前記シールパターンを介して、前記対向電極と前記共通電極配線とを導通させる液晶表示装置の製造方法。 - 前記第2の絶縁膜上に第3の導電層を形成し、
前記第2の導電層と前記第3の導電層との間の前記第2の絶縁膜を2層以上で形成する請求項5に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 2層以上で形成された前記第2の絶縁膜の上層に、下層に形成された開口部よりも大きい開口部を形成して、前記第2の絶縁膜にコンタクトホールを形成し、
前記コンタクトホール上に前記シールパターンを設けて前記共通電極配線と前記対向電極とを導通させる請求項5又は6に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 2層以上で形成された前記第2の絶縁膜のうち下層の絶縁膜を形成し、前記下層の絶縁膜よりも膜厚が薄い上層の絶縁膜を形成する請求項5、6又は7に記載の液晶表示装置の製造方法。
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US11/526,768 US7816693B2 (en) | 2005-09-27 | 2006-09-26 | Thin film transistor in which an interlayer insulating film comprises two distinct layers of insulating material |
CNB200610139957XA CN100451793C (zh) | 2005-09-27 | 2006-09-27 | 显示装置及其制造方法 |
US12/887,865 US8039852B2 (en) | 2005-09-27 | 2010-09-22 | Thin film transistor for a liquid crystal device in which a sealing pattern is electrically connected to a common electrode wiring |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013047095A1 (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-04 | 株式会社神戸製鋼所 | 表示装置用配線構造 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008129709A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | 液晶表示装置 |
KR101035627B1 (ko) * | 2010-01-21 | 2011-05-19 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
JP5621283B2 (ja) * | 2010-03-12 | 2014-11-12 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
KR101791578B1 (ko) * | 2011-02-17 | 2017-10-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치 |
KR101875774B1 (ko) * | 2011-08-10 | 2018-07-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광표시장치 및 그 제조 방법 |
TWI463628B (zh) | 2012-02-03 | 2014-12-01 | E Ink Holdings Inc | 顯示器面板電路結構 |
CN102664194B (zh) * | 2012-04-10 | 2015-01-07 | 深超光电(深圳)有限公司 | 薄膜晶体管 |
JP6230253B2 (ja) * | 2013-04-03 | 2017-11-15 | 三菱電機株式会社 | Tftアレイ基板およびその製造方法 |
US20150179666A1 (en) * | 2013-12-25 | 2015-06-25 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Wiring structure of array substrate |
TWI532154B (zh) | 2014-02-25 | 2016-05-01 | 群創光電股份有限公司 | 顯示面板及顯示裝置 |
CN104865761B (zh) * | 2014-02-25 | 2018-06-08 | 群创光电股份有限公司 | 显示面板及显示装置 |
WO2016006530A1 (ja) * | 2014-07-11 | 2016-01-14 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法、ならびに液晶表示装置 |
CN104966719A (zh) * | 2015-06-29 | 2015-10-07 | 武汉华星光电技术有限公司 | 显示面板、薄膜晶体管阵列基板及其制作方法 |
KR102439308B1 (ko) * | 2015-10-06 | 2022-09-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 |
KR102173434B1 (ko) | 2017-12-19 | 2020-11-03 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
CN109061955A (zh) * | 2018-09-13 | 2018-12-21 | 重庆惠科金渝光电科技有限公司 | 显示面板及其制造方法 |
KR102555412B1 (ko) * | 2018-12-14 | 2023-07-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001005033A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-12 | Nec Corp | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP2001228485A (ja) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Nec Corp | 液晶表示パネル及びその製造方法 |
JP2002214637A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-07-31 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法、並びに投射型表示装置 |
JP2004226654A (ja) * | 2003-01-22 | 2004-08-12 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 液晶表示装置 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63131569A (ja) | 1986-11-20 | 1988-06-03 | Fuji Xerox Co Ltd | 半導体装置 |
JPH08254712A (ja) | 1995-03-17 | 1996-10-01 | Hitachi Ltd | 液晶表示素子 |
JPH09325358A (ja) | 1996-06-04 | 1997-12-16 | Sharp Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPH1062810A (ja) | 1996-08-19 | 1998-03-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JPH10282515A (ja) | 1997-04-08 | 1998-10-23 | Sanyo Electric Co Ltd | 液晶表示装置 |
US5953094A (en) * | 1997-04-04 | 1999-09-14 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Liquid crystal display device |
KR100320007B1 (ko) * | 1998-03-13 | 2002-01-10 | 니시무로 타이죠 | 표시장치용 어레이기판의 제조방법 |
JP2000029066A (ja) | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Toshiba Corp | 表示装置用アレイ基板、及びその製造方法 |
JP2000199915A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネル |
TW498553B (en) * | 1999-03-11 | 2002-08-11 | Seiko Epson Corp | Active matrix substrate, electro-optical apparatus and method for producing active matrix substrate |
JP2001249345A (ja) | 2000-03-02 | 2001-09-14 | Victor Co Of Japan Ltd | 液晶表示装置及びその製造方法 |
US6583829B2 (en) * | 2000-03-06 | 2003-06-24 | Hitachi, Ltd. | Liquid crystal display having an opening in each pixel electrode corresponding to each storage line |
US6838696B2 (en) * | 2000-03-15 | 2005-01-04 | Advanced Display Inc. | Liquid crystal display |
KR100685946B1 (ko) * | 2001-03-02 | 2007-02-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 디스플레이 패널 및 그 제조방법 |
JP4202253B2 (ja) * | 2001-09-26 | 2008-12-24 | シチズンホールディングス株式会社 | 液晶シャッタ装置 |
JP3957277B2 (ja) * | 2002-04-15 | 2007-08-15 | 株式会社アドバンスト・ディスプレイ | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP2003307748A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Advanced Display Inc | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP4199501B2 (ja) * | 2002-09-13 | 2008-12-17 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
CN1272664C (zh) | 2003-12-03 | 2006-08-30 | 吉林北方彩晶数码电子有限公司 | 薄膜晶体管液晶显示器制造方法 |
JP2006126255A (ja) | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Mitsubishi Electric Corp | 電気光学装置、液晶表示装置及びそれらの製造方法 |
JP2006236839A (ja) | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Mitsubishi Electric Corp | 有機電界発光型表示装置 |
JP2006276287A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Nec Corp | 表示装置 |
JP5007246B2 (ja) | 2008-01-31 | 2012-08-22 | 三菱電機株式会社 | 有機電界発光型表示装置及びその製造方法 |
-
2005
- 2005-09-27 JP JP2005279398A patent/JP2007093686A/ja active Pending
-
2006
- 2006-09-01 TW TW095132351A patent/TW200720803A/zh unknown
- 2006-09-26 US US11/526,768 patent/US7816693B2/en active Active
- 2006-09-27 CN CNB200610139957XA patent/CN100451793C/zh active Active
-
2010
- 2010-09-22 US US12/887,865 patent/US8039852B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001005033A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-12 | Nec Corp | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP2001228485A (ja) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Nec Corp | 液晶表示パネル及びその製造方法 |
JP2002214637A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-07-31 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法、並びに投射型表示装置 |
JP2004226654A (ja) * | 2003-01-22 | 2004-08-12 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 液晶表示装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013047095A1 (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-04 | 株式会社神戸製鋼所 | 表示装置用配線構造 |
JP2013084907A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-05-09 | Kobe Steel Ltd | 表示装置用配線構造 |
US10365520B2 (en) | 2011-09-28 | 2019-07-30 | Kobe Steel, Ltd. | Wiring structure for display device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200720803A (en) | 2007-06-01 |
CN1940688A (zh) | 2007-04-04 |
US20070069211A1 (en) | 2007-03-29 |
US20110012121A1 (en) | 2011-01-20 |
US8039852B2 (en) | 2011-10-18 |
CN100451793C (zh) | 2009-01-14 |
US7816693B2 (en) | 2010-10-19 |
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