JP2005285821A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 カーボンナノチューブの成長モードを制御してカーボンナノチューブからなる配線部を形成する半導体装置の製造方法および半導体装置を提供する。
【解決手段】 基板11上にMo、V、NbおよびWの高融点金属およびTiのうちいずれかの金属またはその金属酸化物からなる成長モード制御層12、15と、触媒層13を順次形成し、熱CVD法により加熱してアセチレンガス等の炭素を含有するプロセスガスを供給する。成長モード制御層12をスパッタ法により形成する際の酸素雰囲気中の酸素濃度を0.1vol%未満とすることにより根元成長モード、0.1vol%以上とすることで先端成長モードでカーボンナノチューブ14を形成する。また、成長モードを制御すると共に新規な選択的形成方法によるビアやコンタクト等の配線や貫通電極を備えた半導体装置の製造方法および半導体装置を開示する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、カーボンナノチューブを配線層や貫通電極に備えた半導体装置およびその製造方法に関する。
カーボンナノチューブのエレクトロニクス応用の一例として、大規模集積回路(LSI)の配線への適用が挙げられる。カーボンナノチューブは、その直径がおおよそ数nmから十nmの範囲であり、長さは数μmに及ぶ。かかる形状異方性に起因する一次元的電子的性質から、断線することなく流すことができる最大電流密度が1平方センチあたり100万アンペアと銅配線より100倍以上大きいという特徴を有している。また熱伝導についても伝導率で銅の10倍高い。電気抵抗の観点からは、カーボンナノチューブ内を流れる電子は、不純物や格子振動(フォノン)との散乱現象のない、いわゆる弾道電子輸送が実現することが報告されており、その場合、カーボンナノチューブ1本当たりの抵抗は約6.45kΩになることが知られている。またカーボンナノチューブの直径は0.4nm〜100nm程度まで広範囲で、その直径は自己組織的に形成されることから1本の長さ方向で揺らぎが極めて少ないという特徴を有する。これらの特徴から、カーボンナノチューブをLSIの配線として適用した場合に高電流密度に起因する故障モードであるマイグレーション現象が少なく、高信頼性を有しかつ極めて微細な金属配線の実現が期待されている。
カーボンナノチューブの成長法として、アーク放電法、レーザーアブレーション(レーザー蒸発)法、化学的気相成長法(CVD法)、SiC昇華法等が知られている。これらの方法では、カーボンナノチューブ形成の際、遷移金属類を触媒金属として利用することが知られている。CVD法やSiC昇華法では、触媒金属層を形成し、半導体LSI等で用いられているリソグラフィやエッチング等を用いて触媒金属層をパターニングしておくことによって、カーボンナノチューブが成長する位置を制御することができる。
また、カーボンナノチューブは触媒金属をカーボンナノチューブの根元あるいは先端部に固定化して成長することが知られており、いわゆる根元成長モードあるいは先端成長モードと呼ばれている。
ところで、カーボンナノチューブを選択的に形成する場合に触媒金属層をパターニングする工程が増えることなり、半導体装置の製造コストや信頼性の面で不利であるという問題点がある。半導体装置によってはFeやCoなどの触媒金属の残留が問題になる場合がある。
そこで、触媒金属層の下地にTiやNi等の金属層、これらの金属窒化物層等を設け、これらの金属層や金属窒化物層を形成した領域の触媒金属層にカーボンナノチューブを成長させる生成方法が提案されている(例えば、特許文献1および2参照。)。
特開2001−32071号公報 特開2002−115070号公報
しかしながら、上記生成方法ではカーボンナノチューブの成長モードを十分制御できないため、半導体装置の配線部や垂直配線部にカーボンナノチューブを配線材料として採用する場合に、上述したカーボンナノチューブの電気特性を十分に発揮できないという問題がある。また、触媒金属を完全に除去する必要がある場合、根元成長モードによって成長するカーボンナノチューブがある場合は触媒層が根元に残留してしまい、十分に触媒金属を除去することができないという問題がある。
さらに、カーボンナノチューブを半導体装置のビア等の垂直配線部に用いる場合には、垂直配線部に接続する配線部に用いられるAlやCuと触媒金属層が相互拡散し易く触媒機能が低下したり、触媒金属層上に層間絶縁膜を形成する際にプラズマやイオンが触媒金属層表面に衝突あるいは接触することによって物理的ダメージ等により触媒機能が低下するという問題がある。
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、本発明の概括的な目的は、カーボンナノチューブの成長モードを制御してカーボンナノチューブからなる配線部を形成する半導体装置の製造方法および半導体装置を提供することである。
本発明のより具体的な目的は、カーボンナノチューブの成長モードを制御すると共に、カーボンナノチューブを選択的に形成して配線部とする半導体装置の製造方法および半導体装置を提供することである。
本発明の一観点によれば、カーボンナノチューブからなる配線部あるいは垂直配線部を有する半導体装置の製造方法であって、カーボンナノチューブの成長モードを制御する成長モード制御層を形成する工程と、前記成長モード制御層上に触媒層を形成する工程と、熱CVD法により前記触媒層を加熱してカーボンナノチューブを成長させ配線部あるいは垂直配線部とするカーボンナノチューブ形成工程とを含み、前記成長モード制御層は、Ti、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属を用いて雰囲気ガス中でスパッタ法あるいは真空蒸着法により形成し、前記雰囲気ガスの酸素ガスの所定の濃度に応じて前記成長モードを制御することを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
本発明によれば、カーボンナノチューブの成長を促進する触媒層の下地に成長モード制御層を形成し、Ti、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属をスパッタ法あるいは真空蒸着法により形成する際の雰囲気ガスの酸素濃度を所定の濃度に設定することで、熱CVD法によるカーボンナノチューブの成長モードを制御することができる。
触媒層を形成する工程の後に、触媒層上の垂直配線部を形成する領域に絶縁膜を選択的に形成する工程をさらに含み、カーボンナノチューブ形成工程において、絶縁層および触媒層を加熱して、絶縁膜の下側の触媒層からのみ前記カーボンナノチューブを成長させてもよい。絶縁膜を触媒層上に形成することにより、絶縁膜の触媒層の触媒機能の劣化を防止してこの領域のみにカーボンナノチューブを形成できる。
本発明の他の観点によれば、カーボンナノチューブからなる垂直配線部を有する半導体装置であって、Ti、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属あるいは該金属の酸素濃度が1原子%未満の金属酸化物からなる成長モード制御層と、前記成長モード制御層上に形成された触媒層と、前記触媒層上に、前記垂直配線部の領域に形成され垂直方向に長手方向を有するカーボンナノチューブ、および前記垂直配線部以外の領域に形成された成長モード制御層と触媒層との合金層と、を備える半導体装置が提供される。
本発明によれば、成長モード制御層をTi、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属あるいは該金属の酸素濃度が1原子%未満の金属酸化物からなるので根元成長モードによりカーボンナノチューブが形成され、カーボンナノチューブは触媒層を介して成長モード制御層に密着しているので、垂直配線部の機械的強度を向上でき、電気抵抗を低減できる。また、カーボンナノチューブが形成された垂直配線部以外の領域では触媒層と成長モード層が合金化されているので、触媒機能が低下しカーボンナノチューブが形成されず、また、半導体装置への影響を低減することができる。
本発明によれば、触媒層の下地としてTi、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属あるいはこれらの金属酸化物からなる成長モード制御層を用いて、成長モード制御層を形成する際の雰囲気ガスの酸素濃度を所定の濃度に設定することで、熱CVD法によるカーボンナノチューブの成長モードを制御することができる。
まず、本発明の原理について説明する。
図1(A)および(B)は、本発明の原理を説明するための模式的断面図である。なお、図は説明の便宜のためカーボンナノチューブ等を拡大して示している。
図1(A)を参照するに、基板11上にMo、V、NbおよびWの高融点金属、およびTiのいずれかの金属からなる成長モード制御層12と、Ni、Fe、Co、Pd、およびこれらの合金のいずれからなる触媒層13を順次形成し、熱CVD法により400℃〜900℃に加熱してアセチレンガス等の炭素を含有するプロセスガスを供給することにより触媒層13からCNT14が成長する。この際、加熱によって触媒層13が凝集して粒子状触媒層13aとなり、この粒子部分を成長核としてカーボンナノチューブ14が成長する。ここで、成長モード制御層12が上記高融点金属やTiからなる場合、カーボンナノチューブ14の成長は粒子状触媒層13aがカーボンナノチューブ14の根元に残る根元成長モードとなる。根元成長モードにより形成されたカーボンナノチューブ14は、粒子状触媒層13aを介して成長モード制御層12に固定化され、基板11との密着強度が高いという特徴がある。
なお、0.1vol%未満の酸素濃度雰囲気で上記高融点金属やTiの金属酸化物からなる成長モード制御層を形成した場合も根元成長モードとなる。すなわち、カーボンナノチューブ14の成長は成長モード制御層の上記金属酸化物の酸素濃度を1原子%未満とすることにより根元成長モードとなる。
一方、図1(B)を参照するに、成長モード制御層15が上記高融点金属やTiの金属酸化物からなる場合は、図1(A)の説明と同様の条件の熱CVD法により、カーボンナノチューブ14は、触媒粒子13bがカーボンナノチューブ14の先端部に固定される先端成長モードの成長となる。ここで、成長モード制御層15の金属酸化物の酸化の程度は、本願発明者の検討によれば、成長モード制御層15をスパッタ法や真空蒸着法により形成する場合、金属原料をスパッタターゲットとして、雰囲気ガスに酸素ガスを添加した不活性ガスを用いる。酸素濃度(=酸素体積/(酸素体積+不活性ガス体積)×100)を0.1vol%以上の範囲に設定する。このような条件で作製した成長モード制御層15の酸素濃度はほぼ1原子%以上となる。なお、成長モード制御層は、予め上記高融点金属やTiからなる金属膜を形成し、次いで酸素プラズマや酸素ラジカルに曝して金属膜を酸化して金属酸化物膜としてもよい。
先端成長モードにより形成されたカーボンナノチューブ14は成長モード制御層15にほぼ直接固定化されており、成長モード制御層15との密着強度は根元成長モードよりも小さい。さらにカーボンナノチューブ14の長さが揃っており、その先端部が平坦面を形成している。
図2(A)および(B)はカーボンナノチューブのSEM写真およびその模式図であり、(A)は根元成長モード、(B)は先端成長モードにより形成されたカーボンナノチューブである。なお、SEM写真では成長モード制御層/触媒層の積層体が基板上に複数の列状に選択的に形成されている。
図2(A)を参照するに、図1(A)に示す構成により根元成長モードで形成されたカーボンナノチューブ14(白線状に示される。)は放射状に成長し、SEM写真では詳細に示されていないが、先端成長モードにより形成した場合よりもカーボンナノチューブの長さのばらつきが大きくなる。
一方、図2(B)を参照するに、図1(B)に示す構成により先端成長モードで形成されたカーボンナノチューブ14はカーボンナノチューブ先端部の触媒粒子13bが基板面にほぼ平行な平面を形成する。すなわち、カーボンナノチューブ14の長さがほぼ揃っていることがわかる。
このようにカーボンナノチューブ14の長さがほぼ等しく先端部が平面を形成し、成長モード制御層15との密着強度が根元成長モードより小さいので、導電性接着材等により他の部材に接着し、剥離することにより、カーボンナノチューブ14の束を他の部材に容易に導入することができる。例えば、カーボンナノチューブ14の束を半導体装置のビアホールや基板11の貫通孔に埋め込んでビアや貫通電極、電界放出ディスプレイの電子放出素子として用いることができる。
以上説明したように、触媒層13の下地膜として形成した成長モード制御層12、15の金属や金属酸化物酸素濃度を制御することにより、カーボンナノチューブの成長モードを制御することができ、成長モードに応じてCNTを半導体装置に適用することができる。
(第1の実施の形態)
本実施の形態は、低温で選択的に形成された良質なカーボンナノチューブからなるコンタクトを備えた半導体装置である。
図3は本発明の第1の実施の形態に係る半導体装置の要部断面図である。
図3を参照するに、半導体装置20は、シリコン基板等の基板21と、基板21上に形成されたコンタクト29と、コンタクト29以外の領域に形成された合金層25および層間絶縁膜28と、層間絶縁膜28上に形成されコンタクト29表面と接触する配線部30等から構成され、コンタクト29は、成長モード制御層22、粒子状触媒層23a、および粒子状触媒層23aを核として上方に成長したカーボンナノチューブ26から構成されている。半導体装置20は、基板21に形成された活性層(不図示)と、コンタクトを介して層間絶縁膜28上の配線部30と電気的に接続されており、コンタクト29は大部分がカーボンナノチューブ26からなるので、電気抵抗が低く高電流密度の電気伝導が可能となっている。
コンタクト29を構成する成長モード制御層22は、Mo、V、NbおよびWの高融点金属、およびTiのいずれかの金属から構成される。さらに成長モード制御層22は、これらの金属の酸素濃度が1原子%未満の金属酸化物から構成されてもよい。熱CVD法により粒子状触媒層23a(触媒層)を介してカーボンナノチューブ26を根元成長モードにより形成することができる。カーボンナノチューブ26が粒子状触媒層23a(触媒層)を介して成長モード制御層22に固定されているので、これらからなるコンタクトの強度が向上し、基板21とコンタクト29との密着性が向上する。
なお、成長モード制御層22が1原子%以上の上記高融点金属、およびTiのいずれかの金属の金属酸化物(酸素濃度がほぼ1原子%以上)から構成されてもよい。カーボンナノチューブ26が先端成長モードにより成長し、粒子状触媒層23aの代わりに触媒粒子(不図示)がカーボンナノチューブ26の先端に固定される。カーボンナノチューブ26と成長モード制御層22との密着性は根元成長モードの場合よりも劣るが、長さの揃ったカーボンナノチューブ26の束を形成することができ、配線部30との接続が容易となる。
成長モード制御層22の膜厚は50nm以上の範囲に設定し、50nm〜150nmの範囲に設定することが好ましく、50nm〜100nmの範囲に設定することがさらに好ましい。成長モード制御層22の膜厚を50nm以上にすることにより、後程に製造方法で説明するように、コンタクト29以外の領域において、合金層25が形成され、合金層25は触媒機能が低下し、カーボンナノチューブ26の成長を阻害すると考えられる。また、合金層25は残留しても合金化されているので、触媒層23自体が半導体装置に与える影響を回避することができる。
粒子状触媒層23aは、Ni、Fe、Co、Pd、またはこれらの合金から構成される。粒子状触媒層23aの粒子は成長モード制御層22上に一様に配置されていることが好ましい。また、粒子状触媒層23aの代わりに同様の材料からなる連続膜の触媒層でもよい。熱CVD法により基板を加熱すると触媒層は凝集して粒子状触媒層23aとなり触媒粒子が形成され、カーボンナノチューブ26が成長し易くなる。
カーボンナノチューブ26は、例えば直径が1.5nm〜20nm、長さが3μm程度である。図では直立したように記載したが実際は横方向にある程度曲りながら垂直方向に成長して形成されている。
コンタクト29は、カーボンナノチューブ26が根元成長モードにより成長している場合、カーボンナノチューブ26が粒子状触媒層23aを介して成長モード制御層22と強く密着しているので、製造工程中に機械的応力や熱応力が印加されてもカーボンナノチューブ26の根元からの剥離や断線を防止することができる。さらにカーボンナノチューブ26が根元成長モードにより成長している場合は、本願発明者の検討ではコンタクト29の電気抵抗が先端成長モードよりも1/6となりコンタクト29の電気抵抗を低減することができる。また、コンタクト29が従来のCuやAlからなるコンタクトの場合よりも低減することができる。次に本実施の形態の半導体装置の製造方法について説明する。
図4(A)〜(E)は第1の実施の形態に係る製造工程を示す図である。
まず、図4(A)の工程では、基板21表面の自然酸化膜等を除去し、基板21上にスパッタ法、真空蒸着法等により上述した成長モード制御層22(例えば膜厚180nm)を上記高融点金属やTiを用いて、スパッタ法、真空蒸着法等により形成する。雰囲気ガスの酸素濃度を0.1vol%未満の範囲とし、残りをArガス等の不活性ガスとする。成長モード制御層22は上述したように、50nm以上(好ましくは50nm〜150nm、特に好ましくは50nm〜100nm)の範囲に設定する。
図4(A)の工程ではさらに、不活性ガス雰囲気中でNiからなる触媒層23(例えば膜厚20nm)を形成する。次いで触媒層23を覆う例えば膜厚350nmのシリコン酸化膜からなる絶縁膜24を形成する。
次いで図4(B)の工程では、絶縁膜24上にレジスト膜(不図示)を形成し、フォトリソグラフィ法およびエッチングを用いて、次工程でコンタクト29を形成する領域以外の絶縁膜24を選択的に研削して触媒層23を露出させる。
図4(B)の工程ではさらに、熱CVD法、例えばホットフィラメントCVD法を用いて基板の下側と絶縁膜24の上方から加熱すると共に、炭化水素系ガス、例えば、アセチレン、メタン等を原料ガス、水素ガスをキャリアガスとして圧力を1kPaに設定し供給しカーボンナノチューブ26を成長させる。基板21の下側と上方から熱線ヒータを用いて、例えば600℃〜700℃の範囲で加熱する。カーボンナノチューブ26は絶縁膜24の下地の触媒層23だけにカーボンナノチューブ26が成長し、絶縁膜24が形成されていない触媒層23にはカーボンナノチューブ26が成長しない。具体的には、絶縁膜24の下地の触媒層23は図4(C)に示すように粒子状触媒層23aに変化し、粒子状触媒層23aの粒子を成長核としてカーボンナノチューブ26が成長する。触媒層23が露出していた領域(コンタクト29以外の領域)では直接加熱されたことにより触媒層23と成長モード制御層22とが相互拡散し触媒層23の触媒機能が低下した合金層25が形成され、この領域にはカーボンナノチューブ26が成長しない。
本願発明者の検討によれば、絶縁膜23に覆われていない触媒層23にカーボンナノチューブを成長させる場合に比べ、絶縁膜23に覆われている触媒層23に100℃程度低い加熱温度でカーボンナノチューブ26を成長させられることを見出した。成長モード制御層22の膜厚を50nm以上として、触媒層23が成長モード制御層22と相互拡散したことにより形成された合金層25の触媒機能が低下し、絶縁膜23に覆われている触媒層23は相互拡散が抑制されたことによるものと考えられる。
なお、触媒層23にNiの換わりにCoまたはCo合金を用いることにより、カーボンナノチューブ成長の際の加熱温度をさらに50℃〜100℃低下することができ、原料ガスをメチルアルコールやエチルアルコールを用いることによりさらに加熱温度を50℃〜100℃低下することができる。FeRAMのように強誘電キャパシタ膜にペロブスカイト構造の金属酸化物を使用している場合に酸素欠損を防止することができる。
なお、カーボンナノチューブ26を成長させる際に、カーボンナノチューブの直線性の点で基板21に垂直方向に電界を印加することが好ましい。
次いで図4(D)の工程では、CVD法、スパッタ法等を用いて図4(C)の構造体を覆うTEOS等によるシリコン酸化膜、PSG、BSG、シリコン窒化膜からなる層間絶縁膜28を形成し、CMP法等によりカーボンナノチューブ表面26aが露出するまで平坦化する。
次いで図4(E)の工程では、CVD法、メッキ法、スパッタ法等を用いて、層間絶縁膜28上にカーボンナノチューブ表面26aと接触する例えば膜厚200nmのCu、Alからなる配線部30を形成する。なお、図示を省略しているが配線部30には予め膜厚10nmのTiN膜等のバリアメタル膜を形成してもよい。以上により、基板21の活性化領域と配線部30を接続するコンタクト29を有する半導体装置が完成する。
本実施の形態に係る製造方法では、成長モード制御層22の膜厚を50nm以上として、触媒層23をパターニングすることなく、絶縁膜24の下側にのみ選択的にカーボンナノチューブ26を形成することができると共に、熱CVD法による加熱温度を低下することができる。
さらに絶縁膜24の下地の触媒層23は層間絶縁膜28をパターニングする際にエッチングイオンやエッチング液に曝されることがないので触媒機能の低下等を回避することができ、その結果、良質のカーボンナノチューブ26を形成することができる。
なお、本実施の形態のコンタクト29は配線層間のビアに適用できることはいうまでもない。合金層25は、必要に応じて図4(D)の工程において層間絶縁膜28を形成する前にRIE法等により除去してもよい。
図5はカーボンナノチューブ成長の様子を示すSEM写真であり、上述した図4(A)の構成において、シリコン基板/Ti膜/Ni膜/シリコン酸化膜を積層した構造体を形成し、シリコン酸化膜の中央を研削して開口部を設け、上述した熱CVD法の条件(但し加熱温度540℃)でシリコン酸化膜の下側にカーボンナノチューブを形成したものであり、SEM写真はこの構造体に対して斜め方向から撮影したものである。
図5を参照するに、シリコン酸化膜の下側にはカーボンナノチューブが形成され、シリコン酸化膜の開口部にはカーボンナノチューブが形成されずTi膜とNi膜とが合金化した合金層の表面が露出している。このことからも分かるように、図4(C)において説明したように絶縁膜の下側にのみ選択的にカーボンナノチューブを形成できることが分かる。
(第2の実施の形態)
本実施の形態は、触媒層の表面に保護膜を形成し、カーボンナノチューブを成長させる直前に除去して製造工程中の触媒層の触媒機能の劣化を防止し、密度の高い良質なカーボンナノチューブからなるコンタクトを備えた半導体装置である。
図6は本発明の第2の実施の形態に係る半導体装置の要部断面図である。図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
図6を参照するに、半導体装置40は、シリコン基板等の基板21と、基板21上に形成された成長モード制御層22と、成長モード制御層22上に形成されたコンタクト43と、コンタクト43上に形成された配線部30から構成され、コンタクト43以外の領域は、成長モード制御層22上に触媒層23、保護膜41、層間絶縁膜28が順次積層されて構成されている。コンタクト43は、粒子状触媒層23aと、粒子状触媒層23aを核として上方に成長したカーボンナノチューブ26から構成されている。
半導体装置40は、基板21に形成された活性層(不図示)と、層間絶縁膜28上の配線部30とがコンタクト43とにより電気的に接続され、コンタクト43はカーボンナノチューブ26が、その根元が粒子状触媒層23aおよび成長モード制御層22を介して基板21表面に電気的に接続され、その先端部がほぼ配線部30に侵入して、コンタクト43が垂直方向の電気伝導を担っている。
保護膜41は、例えば膜厚が350nmであり、フッ化水素を含むエッチング液に可溶な、Ni、AuおよびPtを除く金属膜、金属酸化膜等から構成される。保護膜41は、層間絶縁膜28を形成する際の熱や粒子衝撃による触媒層23のダメージを防止し、触媒層23の触媒機能の低下を防止する。
コンタクト43を構成するカーボンナノチューブ26は、カーボンナノチューブ26の先端部が上部の配線部30中に侵入している。後述するように、層間絶縁膜28にコンタクトホール43hを形成後にその中にカーボンナノチューブ26を形成しているので、カーボンナノチューブ26の長さをコンタクトホール43hの深さよりも大とすることで、コンタクト43の電気抵抗をさらに低減することができる。
また、コンタクトホール43hの内壁にはTiN膜からなるバリアメタル膜42を形成してもよい。配線部30のCuが層間絶縁膜28中に拡散することを防止できる。
次に本実施の形態の半導体装置の製造方法について説明する。
図7(A)〜(E)は第2の実施の形態に係る製造工程を示す図である。
まず、図7(A)の工程では、第1の実施の形態に製造方法と同様に、基板21表面の自然酸化膜等を除去し、基板21上に例えばTi膜の成長モード制御層22、Ni膜の触媒層23を順次形成する。
図7(A)の工程ではさらに、例えば電子ビーム蒸着法を用いて触媒層23を覆う膜厚2.5nmのTiO2膜の保護膜41を形成する。次いで、触媒層23を覆うシリコン酸化膜からなる層間絶縁膜28を形成する。
次いで図7(B)の工程では、層間絶縁膜28上にレジスト膜44を形成し、フォトリソグラフィ法を用いて、下流工程でコンタクトを形成する領域のレジスト膜44を除去し層間絶縁膜28の表面を露出する開口部44hを形成する。
次いで図7(C)の工程では、レジスト膜44をマスクとして、イオンミリングやRIE法等のドライエッチングにより層間絶縁膜28をエッチングして開口部28hを形成し保護膜41の表面を露出させる。ドライエッチングの代わりにウエットエッチングを用いてもよい。
図7(C)の工程ではさらに、レジスト膜44をマスクとしてフッ化水素を含むエッチング液を使用して保護膜41を除去し、Ni膜よりなる触媒層23の表面を露出する。Ni膜はフッ化水素を含むエッチング液には溶解しないため、その触媒機能が低下することはない。なお、層間絶縁膜28がエッチング液に溶解するが保護膜41が薄膜のため短時間の浸漬時間に溶解する量は微量であり問題とならない。なお、触媒層23はNi膜以外のフッ化水素に不溶な材料、例えばNi−FeやNi−CoなどのNi合金膜を用いることができる。
次いで図7(D)の工程では、熱CVD法を用いてカーボンナノチューブ26を形成する。形成方法は第1の実施の形態と同様であるので説明を省略する。カーボンナノチューブ26の長さは、コンタクトホール43hの深さよりも大になるように成長させ、層間絶縁膜28の表面から露出する方がよい。次工程で形成する配線部30のCuがカーボンナノチューブ26の間隙を充填するのでカーボンナノチューブ26と配線部30との電気的接触が良好となる。
次いで図7(E)の工程では、図7(D)の構造体のコンタクトホール43hおよび層間絶縁膜28の表面に膜厚10nmのTiN膜からなるバリアメタル膜42を形成する。次いで、層間絶縁膜28上にバリアメタル膜42を介してメッキ法、スパッタ法等によりコンタクト43のカーボンナノチューブ26と接触あるいは包み込む配線部30を形成する。以上により第2の実施の形態の半導体装置40が完成する。
本実施の形態の製造方法では、カーボンナノチューブ26を形成する直前の工程まで触媒層23の表面を保護膜41が覆っているので層間絶縁膜28を形成する際やフォトリソ工程で触媒機能が低下することがない。
次に本実施の形態の変形例として、カーボンナノチューブ間の間隙に導電材を充填したコンタクトを備えた半導体装置について説明する。
図8は本実施の形態の変形例に係る半導体装置を示す断面図である。図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
図8を参照するに、本変形例に係る半導体装置50は、コンタクト43がカーボンナノチューブ26の束とカーボンナノチューブ26の束の間隙に充填された例えばCuの導電材料から構成されている以外は第2の実施の形態に係る半導体装置と同様の構成を有している。
導電材料の充填は、上記図7(E)の工程のバリアメタル膜42形成後の配線部30を形成する際に同時に行うことが好ましく、スパッタ法、真空蒸着法、めっき法等を用いる。コンタクトホール52hへの充填性の点からはめっき法が好ましく、細孔への良好な充填性の点では電気めっき法よりも無電解めっき法がさらに好ましい。
コンタクトホール52hをカーボンナノチューブ26だけで隙間なく充填、例えばカーボンナノチューブ26の細密充填配置することは容易ではないので、カーボンナノチューブ26の間隙をCu等の導電材料により充填した複合材料のコンタクト43を形成することにより、コンタクト43の電気抵抗を低減すると共に断線なく流せる最大電流密度を増加することができ、また、熱伝導率、機械強度を向上し、カーボンナノチューブ26の根元や先端部の剥離を防止することができる。
なお、本実施の形態および変形例を構成するコンタクト43、52は配線層間のビアに適用できることはいうまでもない。コンタクト43以外の領域の成長モード制御層22および触媒層23は、必要に応じて除去してもよい。
(第3の実施の形態)
本実施の形態は、配線部上に選択的に形成したカーボンナノチューブからなるビアを備えた半導体装置である。
図9は本発明の第3の実施の形態に係る半導体装置の要部断面図である。図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
図9を参照するに、半導体装置60は、第1層間絶縁膜28−1と、第1層間絶縁膜28−1上に形成された第1配線部30−1と、第1配線部30−1上に形成された成長モード制御層61と、成長モード制御層61上に選択的に形成され、第1配線部30−1と電気的に接続されたビア62と、ビア62の領域以外に形成された第2層間絶縁膜28−2と、ビア62および第2層間絶縁膜28−2の表面に形成された第2配線部30−2から構成され、ビア62は成長モード制御層61上に形成されたカーボンナノチューブ26から構成されている。
第1配線部30−1および第2配線部30−2は、スパッタ法等により形成されたTiN膜からなるバリアメタル膜42と、めっき法、スパッタ法等により形成されたCu膜やAl膜の導電膜63から構成される。
成長モード制御層61は、Mo、V、Nb、またはWの高融点金属や、これらの高融点金属またはTiの金属酸化物から構成される。金属酸化物は酸素濃度が1原子%以上であり、1原子%〜7原子%であることが好ましい。カーボンナノチューブ26を形成する際に第1配線部30−1のCu膜やAl膜が触媒層(図示されない)のNi、Fe、Co等と相互拡散により合金化することを防止できる。また、上記高融点金属およびこれらの金属酸化物は、カーボンナノチューブ26形成の際の加熱温度においてはTiの金属酸化物と同様にCuやAl、Ni原子等の拡散係数が微小であるので、第1配線部材料と触媒層材料が相互拡散することがなく、触媒機能が低下することはない。一方、成長モード制御層61にTiを用いた場合は、Tiも含めてCuやAl、Ni原子等が相互拡散して触媒機能が低下し、カーボンナノチューブ26が成長しない。
図9に示すカーボンナノチューブ26は、成長モード制御層61に上記高融点金属やTiの金属酸化物(酸素濃度1原子%以上)を用いた場合、すなわち先端成長モードの場合を示しており、CNTの先端部に固定されたCNTの成長を促進する触媒粒子が除去された状態を示している。なお、成長モード制御層61に上記高融点金属あるいは酸素濃度が1原子%未満の上記高融点金属の金属酸化物を用いた場合は根元成長モードとなり、粒子状触媒層が成長モード制御層61とCNT26との間に残留する。なお、第1層間絶縁膜28−1および第2層間絶縁膜28−2は、第1の実施の形態の絶縁膜28と同様の材料から構成される。
次に本実施の形態に係る製造方法について説明する。
図10(A)〜(C)は第3の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図である。
最初に、図10(A)の工程では、CVD法等により例えばシリコン酸化膜の第1層間絶縁膜28−1を形成し、次いでスパッタ法等を用いて厚さ10nmのTiN膜からなるバリアメタル膜42を形成し、さらにめっき法等を用いて厚さ300nmのCu膜からなる導電膜63を形成する。このバリアメタル膜42/導電膜63からなる第1配線部30−1は例えばダマシン構造を有する。
図10(A)の工程ではさらに、第1配線部30−1上にスパッタ法等を用いて膜厚が5nm以上の上記高融点金属またはTiの金属酸化物の成長モード制御層61を形成する。なお、成長モード制御層61の膜厚は比抵抗の点で15nm以下が特に好ましい。次いで成長モード制御層61上にCVD法を用いて第2層間絶縁膜28−2を形成する。さらに第2層間絶縁膜28−2上にレジスト膜64を形成し、パターニングして開口部64hを形成する。
図10(A)の工程ではさらに、レジスト膜64をマスクとして第2層間絶縁膜28−2をRIE法により研削して成長モード制御層61の表面を露出するビアホール62hを形成する。次いで、スパッタ法等を用いて例えばNi膜よりなる厚さ30nmの触媒層23を形成する。
次いで図10(B)の工程では、レジスト膜64上の触媒層23をレジスト膜64と共にリフトオフする。次いで、熱CVD法を用いて、第1の実施の形態と同様の条件でカーボンナノチューブ26を形成する。カーボンナノチューブ26はその先端部に触媒粒子23bが固定され先端成長モードにより成長する。なお、触媒層23はほとんどが触媒粒子23bになるので、成長モード制御層61上には直接カーボンナノチューブ26の根元が接着している。
次いで図10(C)の工程では、図10(B)の構造体の触媒粒子23bをイオンミリング等により除去する。なお、触媒粒子23bが次に形成する第2配線部30−2の導電膜63等に悪影響を及ぼさない材料の場合は除去しなくてもよい。
図10(C)の工程ではさらに、次いでスパッタ法等を用いて厚さ10nmのTiF膜のバリアメタル膜42を第2層間絶縁膜28−2およびビアホール64hの表面に形成し、さらにめっき法等により厚さ300nmのCu膜よりなる導電膜63を形成する。この際にCu材料をカーボンナノチューブ26の間隙にも形成してCu材料でビアホール64hを充填してもよい。また、カーボンナノチューブ26の先端部を第2配線部30−2のCu膜63に侵入させてもよい。以上により、第1配線部30−1と第2配線部30−2を接続するカーボンナノチューブ26からなるビア62が完成する。
本実施の形態によれば、成長モード制御層61が熱CVD法によるカーボンナノチューブ26を形成する工程での加熱温度により、第1配線部30−1のCu膜やAl膜からなる導電膜63と、触媒層のNi、Fe、Co等との相互拡散を防止するので、相互拡散による触媒層23の触媒機能の低下を防止して高密度のカーボンナノチューブ26を形成することができる。
(第4の実施の形態)
本実施の形態では、カーボンナノチューブの束を貫通電極として備えたAlGaN/GaNヘテロ接合HEMT(High Electron Mobility Transistor)を半導体装置の一例として説明する。
図11は、本発明の第4の実施の形態に係る半導体装置の平面図、図12は、図11のA−A線断面図である。図11および図12を参照するに、半導体装置70は、1つの活性化領域71に2つのソース電極73と、1つのドレイン電極74と、2つのソース電極73・ドレイン電極74間の各々に形成され電気的に互いに接続されたゲート電極72等から構成されている。
半導体装置70は、SiC基板76上に、チャネル層のGaN膜78、スペーサ層のi型AlGaN膜79、電子供給層のn型AlGaN膜80がこの順に積層され、n型AlGaN膜80表面にソース電極73、ゲート電極72、ドレイン電極74が配置されている。GaN膜78とAlGaN膜79との界面に形成される2次元電子ガスの流れをゲート電極72からの電界により制御することによりソース電極73・ドレイン電極74間の電流量が制御される。
ソース電極73の下側にはSiC基板76を貫通し、ソース電極73とSiC基板76の反対側の面76bに設けられた接地電極83とを電気的および熱的に接続する貫通電極75が形成されている。貫通電極75はカーボンナノチューブの束からなるカーボンナノチューブ構造体85から構成されている。
なお、本実施の形態ではSiC基板を例に説明するが、SiC基板の代わりにInP、GaAs、サファイア等の絶縁性基板を用いてもよい。
次に、本実施の形態の半導体装置の製造方法を説明する。
図13および図14は本実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図である。
まず、図13(A)の工程では、厚さが約100μmのSiC基板76の2つの面76a、76bにレジスト膜90a、90bを形成する。下流の工程で接地電極83が形成される面76b側のレジスト膜90bに次工程で形成する溝の位置に開口部90hを形成する。
図13(A)の工程ではさらに、レジスト膜90b膜をマスクとしてClF3のエッチングガスを用いてプラズマエッチングにより、SiC基板76を研削して溝76gを形成する。溝76gの形状はここでは円筒状としたが直方体形状でもよく形状は限定されない。研削量はSiC基板76の厚さよりも少ない量とし、SiC基板76を完全に貫通しない程度、例えば数100nm程度の厚さを残す。研削量は例えばエッチング速度とエッチング時間により制御する。なお、KOHやNaOHを用いてウエットエッチングにより溝76gを形成してもよい。
次いで図13(B)の工程では、図13(A)の構造体のレジスト膜90a、90bを除去して、SiC基板76の溝76gを形成した面76bとは反対側の面76aにMOCVD(有機金属化学気相成長)法を用いてバッファ層を含む厚さ2μmのi型GaN膜78を形成する。i型GaN膜78の最表面の厚さ20nm程度がチャネル層として働く。MOCVD法のプロセスガスは、例えばGaソースとしてTMGa(トリメチルガリウム)、NソースとしてNH3を用い、キャリアガスは水素ガス、水素と窒素の混合ガスを用い、圧力20Torr、基板温度1000℃に設定する。
図13(B)の工程ではさらに、i型GaN膜78上にMOCVD法を用いてスペーサ層として厚さ5nm程度のi型AlGaN膜79を形成する。プロセスガスは、上述したTMGaおよびNH3に加えてAlソースとしてTMAl(トリメチルアルミニウム)を用い、圧力20Torr、基板温度1000℃に設定する。
図13(B)の工程ではさらに、i型AlGaN膜79上にMOCVD法を用いて電子供給層として厚さ50nm程度のn型AlGaN膜80を形成する。プロセスガスは、上述したTMGa、NH3、TMAlに加えn型不純物ソースとしてSiを添加したガスを用い、圧力20Torr、基板温度1000℃に設定する。なお、MOCVD法に替えて、各半導体膜78〜80をMBE(分子ビームエピタキシャル成長)法を用いてもよい。
次いで図13(C)の工程では、図13(B)の構造体のSiC基板76に形成された溝76gを充填しSiC基板面76bを覆うレジスト膜91を形成する。次いで、n型AlGaN膜80上にレジスト膜(不図示)を形成し、パターニングして開口部を有するレジストパターンを形成してこれをマスクとして、BCl3等のエッチンガスを用いてプラズマエッチングにより、n型AlGaN膜80、i型AlGaN膜79、i型GaN膜78、およびSiC基板76を貫通し、レジスト膜91表面を露出し溝76gに接続する開口部92を形成する。この後レジストパターンを除去する。
次いで図13(D)の工程では、n型AlGaN膜80上にレジスト膜(不図示)を形成し、レジスト膜をパターニングしてソース電極73およびドレイン電極74の形状の開口部を有するレジストパターンを形成する。次いでこのレジストパターンをマスクとして蒸着法等を用いて、厚さ10nmのTi膜88および厚さ300nmのAu膜89を形成し、開口部92の中がレジスト膜91の表面まで充填され、n型AlGaN膜80上にソース電極73およびドレイン電極74が形成される。この後レジストパターンを除去する。
次いで図14(A)の工程では、図13(D)の構造体の溝76gの位置および形状に合わせたカーボンナノチューブ構造体85を形成した工程基板94を用意する。カーボンナノチューブ構造体85は、工程基板94上に形成した成長モード制御層61が、Mo、V、Nb、またはWの高融点金属またはTiの金属酸化物(酸素濃度が1原子%以上。)を用いて第3実施の形態と同様の熱CVD法のプロセス条件で形成したものである。カーボンナノチューブ構造体85を構成するカーボンナノチューブは成長モード制御層61の材料組成に対応した先端成長モードで成長させたものである。ここで、カーボンナノチューブ構造体85の高さ、すなわちカーボンナノチューブの長さは溝76gの深さよりも長い方が好ましい。カーボンナノチューブ構造体85を接着した際にSiC基板面76bから露出させ、次工程で形成する接地電極との接触を確実にする。
カーボンナノチューブ構造体85の表面は、カーボンナノチューブ先端部の触媒粒子(不図示)をイオンミリング等により除去し、厚さが例えば200nmのAu膜93を形成する。このAu膜93はソース電極73の下面89aと加熱接着させるための金属膜であり、Au膜93の代わりにSn膜やAuSn合金膜を用いてもよい。
図14(A)の工程では、さらに図13(D)の構造体のソース電極73の下面に形成されたTi膜88aをイオンミリング等で除去し、Au膜表面89aを露出する。次いでSiC基板76の溝76gに工程基板94上のカーボンナノチューブ構造体85を位置合わせしてソース電極のAu膜表面89aとカーボンナノチューブ構造体85のAu膜93を接触させ温度300℃、加熱時間60秒の条件で加熱接着する。具体的には加熱処理はAu膜同士を接着する場合は、加熱温度が200℃〜300℃の範囲、加熱時間が30秒〜90秒の範囲である。次いで、冷却後カーボンナノチューブ構造体85を根元から剥離する。このようにして図14(B)に示すようにカーボンナノチューブ構造体85がソース電極73の下面に接着し、溝76gを充填する貫通電極75が形成される。
次いで図14(B)の工程では、SiC基板面76bに真空蒸着法により厚さ10nmのTi膜81と厚さ300nmのAu膜82からなる接地電極83を形成する。次いで、n型AlGaN膜80上にレジスト膜(不図示)を形成し、レジスト膜をパターニングしてゲート電極72の形状の開口部を有するレジストパターンを形成する。次いでこのレジストパターンをマスクとして蒸着法等を用いて、厚さ10nmのTi膜88および厚さ200nmのAu膜89からなるゲート電極を形成する。この後レジストパターンを除去する。以上により、ソース電極73と接地電極83とをカーボンナノチューブ構造体85により接続した貫通電極75を有する半導体装置が形成される。
本実施の形態では、カーボンナノチューブ構造体85を半導体装置70とは別の工程で形成するので、熱CVD法による加熱温度よりも低い処理温度でカーボンナノチューブ構造体85を半導体装置70に配置することができ、半導体装置70に与える熱的ダメージを大幅に低減することができる。
本実施の形態では、カーボンナノチューブ構造体85は先端成長モードにより形成されているので、カーボンナノチューブ構造体85の表面が略平面状となっており、ソース電極73の下面と接着し易く、工程基板から剥離し易い。
本実施の形態のカーボンナノチューブ構造体85の導入方法は、貫通電極75に限定されず、ビアやプラグのような垂直配線や、配線層内の配線にも適用することができる。
特に、本実施の形態の製造方法では、半導体装置70が熱的に弱い例えばFeRAMの場合でも、強誘電体キャパシタ膜等に熱的ダメージを与えることなくカーボンナノチューブ構造体85を導入することができる。
また、カーボンナノチューブ構造体85は電界放出ディスプレイの電子放出素子として好ましい。電子放出素子が配設される所定の位置にAu膜を選択的に予め形成し、工程基板上にベタ膜の形態で形成された表面にAu膜93が形成されたカーボンナノチューブ構造体85を加熱により接着・剥離することにより、所定の位置に工程基板から剥離されたCNTの根元を先端部とする電子放出素子を形成することができる。上述したように、先端成長モードに形成したCNTの束は、各々のCNTの長さが揃っているので、一様な放電状態を形成し易い。
(第5の実施の形態)
本実施の形態は、カーボンナノチューブと、カーボンナノチューブの間隙を導電性材料により充填してなる配線部を備えた半導体装置である。
図15は、本発明の第5の実施の形態に係る半導体装置の要部断面図である。図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
図15を参照するに、半導体装置100は、第1層間絶縁膜28−1と、第1層間絶縁膜28−1上に形成された配線部101と、配線部101上に形成された第2層間絶縁膜28−2とから構成され、配線部101は、層内方向に成長した複数のカーボンナノチューブ102と、カーボンナノチューブ102間および配線部101を充填する導電材料103から構成されている。配線部101にはさらに、Cu等からなる導電性突起105と、導電性突起105を覆うTaからなる密着膜106/成長モード制御層108/粒子状触媒層109aが順次積層された突起状構造体104が配置されている。
配線部101は、層内方向に延びるカーボンナノチューブ102と、カーボンナノチューブ102間の間隙を充填する導電材料から構成されていることに主な特徴がある。カーボンナノチューブ102間の間隙を導電材料により充填することにより配線抵抗を一層低減し、カーボンナノチューブ102が流すことができる最大電流密度をさらに向上する。
配線部101の導電材料はCuまたはAlが用いることができ、Au、Pt、Ag、Ti、およびこれらの金属を含む合金を用いてもよい。さらに電気抵抗を低減することができる。また、カーボンナノチューブ102との密着性の観点からは、Tiが好ましい。
突起状構造体104は、その表面に上述した第1〜第4の実施の形態と同様の成長モード制御層および粒子状触媒層が積層されて形成されているので、カーボンナノチューブ102の成長モードを制御することができる。なお、図15では説明の便宜上粒子状触媒層を層状に示した。
次に本実施の形態の半導体装置の製造方法について説明する。
図16(A)〜(C)は第5の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図である。
まず、図16(A)の工程では、シリコン酸化膜からなる第1層間絶縁膜28−1をパターニングして下流の工程で配線部がとなる配線溝28−1aを形成する。次いで、配線溝28−1aの表面にバリアメタル膜42を形成し、その上に配線溝28−1aに沿って100μm程度の間隔で例えばCuよりなる導電性突起105を形成する。導電性突起105は、図示を省略するが、レジスト膜をパターニングして導電性突起105と同様の形状の開口部を設け、その開口部にCuをめっき法等により充填し、さらにレジスト膜を除去して形成する。 図16(A)の工程ではさらに、スパッタ法等により導電性突起105を覆うTaからなる密着膜106(膜厚:5nm)/Ti膜からなる成長モード制御層108(膜厚:/Co膜からなる触媒層109(膜厚:2.5nm)を形成する。この際、導電性突起105以外の領域は、レジスト膜により覆っておき、リフトオフにより堆積したこれらの層106、108、109を除去する。
次いで図16(B)の工程では、熱CVD法を用いて第1の実施の形態と略同様の工程でカーボンナノチューブ102を成長させる。この際に複数の突起状構造体104に沿って電界を印加する。電界を印加することにより、カーボンナノチューブ102がその方向に直線性良く成長し配線溝28−1a内のカーボンナノチューブ102の密度を向上することができる。なお、熱CVD法の加熱により触媒層109は粒子状触媒層109aになる。
次いで図16(C)の工程では、公知の無電解めっき法を用いて配線溝28−1a表面およびカーボンナノチューブ102間の間隙にCu膜からなる導電性材料を充填する。無電解めっき法の代わりにCVD法を用いてもよい。
次いで、図示を省略するが図16(C)の構造体の表面を粒子状触媒層109aが露出あるいは研磨されるまでCMP法により平坦化し、次いでスパッタ法によりバリアメタル膜を形成し配線部が形成される。次いで、スパッタ法、CVD法等により第2層間絶縁膜を形成し、図15に示す本実施の形態の半導体装置が形成される。
本実施の形態に係る製造方法では、配線溝28−1a内に密着膜106/成長モード制御層108/粒子状触媒層109が順次積層された突起状構造体104を形成し、複数配置された突起状構造体104に沿って電界を印加することにより、容易に配線溝28−1a内にカーボンナノチューブ102を配線方向に沿って形成することができる。
以上本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
例えば、第5の実施の形態の配線部を第1〜第3の実施の形態のコンタクトやビアを組み合わせて形成してもよい。また、これらの配線部やコンタクトやビアを第4の実施の形態の半導体装置にと組み合わせてもよい。
なお、以上の説明に関して更に以下の付記を開示する。
(付記1) カーボンナノチューブからなる配線部あるいは垂直配線部を有する半導体装置の製造方法であって、
カーボンナノチューブの成長モードを制御する成長モード制御層を形成する工程と、
前記成長モード制御層上に触媒層を形成する工程と、
熱CVD法により前記触媒層を加熱してカーボンナノチューブを成長させ配線部あるいは垂直配線部とするカーボンナノチューブ形成工程とを含み、
前記成長モード制御層は、
Ti、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属を用いて雰囲気ガス中でスパッタ法あるいは真空蒸着法により形成し、
前記雰囲気ガスの酸素ガスの所定の濃度に応じて前記成長モードを制御することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記2) 前記触媒層を形成する工程の後に、前記触媒層上の前記垂直配線部を形成する領域に絶縁膜を選択的に形成する工程をさらに含み、
前記カーボンナノチューブ形成工程において、前記絶縁層および触媒層を加熱して、前記絶縁膜の下側の触媒層からのみ前記カーボンナノチューブを成長させることを特徴とする付記1記載の半導体装置の製造方法。
(付記3) 前記カーボンナノチューブ形成工程において、前記雰囲気ガスの酸素濃度を0.1vol%未満の範囲とすることを特徴とする付記1または2記載の半導体装置の製造方法。
(付記4) 前記カーボンナノチューブ形成工程において、加熱温度を600℃〜700℃の範囲に設定することを特徴とする付記1〜3のうち、いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
(付記5) 前記カーボンナノチューブ形成工程において、前記加熱により絶縁膜を形成する領域以外の触媒層と成長モード制御層とを合金化させることを特徴とする付記1〜4のうち、いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
(付記6) 前記成長モード制御層の膜厚を50nm以上とすることを特徴とする付記1〜5のうち、いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
(付記7) 前記カーボンナノチューブ形成工程の後に、前記カーボンナノチューブ間の間隙を導電材料により充填する工程をさらに備えることを特徴とする付記1〜6のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
(付記8) カーボンナノチューブからなる垂直配線部を有する半導体装置であって、
Ti、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属あるいは該金属の酸素濃度が1原子%未満の金属酸化物からなる成長モード制御層と、
前記成長モード制御層上に形成された触媒層と、
前記触媒層上に、前記垂直配線部の領域に形成され垂直方向に長手方向を有するカーボンナノチューブ、および前記垂直配線部以外の領域に形成された成長モード制御層と触媒層との合金層と、を備える半導体装置。
(付記9) 前記触媒層を形成する工程の後に、
前記触媒層上に保護膜を形成する工程と、
前記保護層上に他の絶縁膜を形成する工程と、
前記他の絶縁膜および保護層を触媒層が露出するまで選択的に研削する工程と、をさらに備えることを特徴とする付記1記載の半導体装置の製造方法。
(付記10) 前記触媒層はNi膜よりなり、
前記研削工程は、フッ化水素を含むエッチング液により前記保護膜を除去することを特徴とする付記9記載の半導体装置の製造方法。
(付記11) カーボンナノチューブからなる垂直配線部を有する半導体装置であって、
Ti、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属あるいは金属酸化物からなる成長モード制御層と、
前記成長モード制御層上に形成されたNiよりなる触媒層と、
前記触媒層上の前記垂直配線部以外の領域に形成された保護膜と、
前記垂直配線部の領域に形成され垂直方向に長手方向を有するカーボンナノチューブと、を備える半導体装置。
(付記12) 前記成長モード制御層の金属酸化物の酸素濃度が1原子%未満であることを特徴とする付記11記載の半導体装置。
(付記13) CuあるいはAlからなる他の配線部と、前記他の配線部表面と接触する垂直配線部とを有する半導体装置であって、
前記垂直配線部は、
前記他の配線部上に形成されたMo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれかの金属あるいは、前記金属またはTiの金属酸化物からなる成長モード制御層と、
前記成長モード制御層上に形成された触媒層と、
前記触媒層上に形成されたカーボンナノチューブからなることを特徴とする半導体装置。
(付記14) 基板の貫通孔にカーボンナノチューブ構造体を有する半導体装置の製造方法であって、
工程基板上にカーボンナノチューブ構造体を選択的に形成する工程と、
前記カーボンナノチューブ構造体の表面に金属膜を形成する工程と、
前記基板の一方の面に貫通孔を覆う電極を形成する工程と、
前記基板の他方の面側からカーボンナノチューブ構造体を挿入し、前記電極と金属膜を加熱してカーボンナノチューブ構造体を接着する工程と、を備える半導体装置の製造方法。
(付記15) 前記カーボンナノチューブ構造体の形成工程は、
前記工程基板上にTi、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属を用いて酸素濃度が0.1vol%以上の雰囲気ガス中でスパッタ法あるいは真空蒸着法により成長モードを形成する処理と、
前記成長モード制御層上に触媒層を形成する処理と、
熱CVD法を用いてカーボンナノチューブの束を成長させる処理と、よりなることを特徴とする付記14記載の半導体装置の製造方法。
(付記16) 前記カーボンナノチューブの束を成長させる処理の後に、カーボンナノチューブの束の先端部の触媒粒子を除去する処理をさらに備えることを特徴とする付記15記載の半導体装置の製造方法。
(付記17) 前記金属膜はAu、Sn、およびこれらの合金からなる群のうちいずれか1種からなることを特徴とする付記14〜16のうち、一項記載の半導体装置の製造方法。
(付記18) カーボンナノチューブおよび導電性材料からなる配線部あるいは垂直配線部を有する半導体装置の製造方法であって、
Ti、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属あるいは金属酸化物からなる成長モード制御層を形成する工程と、
前記成長モード制御層を覆う触媒層を形成する工程と、
熱CVD法により前記触媒層を加熱するしてカーボンナノチューブを成長させ配線部あるいは垂直配線部とするカーボンナノチューブ形成工程と、
前記配線部を導電材料により充填する工程と、を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記19) カーボンナノチューブおよび導電性材料からなる配線部を有する半導体装置の製造方法であって、
前記配線部を形成する領域に複数の導電性突起を形成する工程と、
前記導電性突起を覆うTi、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属あるいは金属酸化物からなる成長モード制御層を形成する工程と、
前記成長モード制御層を覆う触媒層を形成する工程と、
熱CVD法により前記触媒層を加熱すると共に前記複数の導電性突起間の方向に電界を印加してカーボンナノチューブを成長させ配線部とするカーボンナノチューブ形成工程と、
前記配線部を導電材料により充填する工程と、を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
(A)および(B)は本発明の原理を説明するための模式的断面図である。 (A)および(B)はカーボンナノチューブのSEM写真およびその模式図であり、(A)は根元成長モード、(B)は先端成長モードにより形成されたカーボンナノチューブである。 本発明の第1の実施の形態に係る半導体装置の要部断面図である。 (A)〜(E)は第1の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図である。 カーボンナノチューブの成長の様子を示すSEM写真である。 本発明の第2の実施の形態に係る半導体装置の要部断面図である。 (A)〜(E)は第2の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図である。 第2の実施の形態の変形例に係る半導体装置の要部断面図である。 本発明の第3の実施の形態に係る半導体装置の要部断面図である。 (A)〜(C)は第3の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図である。 本発明の第4の実施の形態に係る半導体装置の平面図である。 図11のA−A線断面図である。 (A)〜(D)は第4の実施の形態に係る半導体装置の製造工程(その1)を示す図である。 (A)および(B)は第4の実施の形態に係る半導体装置の製造工程(その2)を示す図である。 本発明の第5の実施の形態に係る半導体装置の断面図である。 (A)〜(C)は第5の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図である。
符号の説明
11、21…基板 12、15、22、61…成長モード制御層 13、23…触媒層 13a、23a…粒子状触媒層 13b、23b…触媒粒子 14、26…カーボンナノチューブ 20、40、50、60、70、100…半導体装置 24…絶縁膜 25…合金層 28…層間絶縁膜 28−1…第1層間絶縁膜 28−2…第2層間絶縁膜 29、43、52…コンタクト 30、51…配線部 30−1…第1配線部 30−2…第2配線部 41…保護膜 42…バリアメタル膜 44、64、90a、90b、91…レジスト膜 62…ビア 63…導電膜 71…活性化領域 72…ゲート電極 73…ソース電極 74…ドレイン電極 75…貫通電極 76…SiC基板 78…i型GaN膜 79…i型AlGaN膜 80…n型AlGaN膜 81、88…Ti膜 82、89、93…Au膜 83…接地電極 85…カーボンナノチューブ構造体 92…開口部
94…工程基板

Claims (7)

  1. カーボンナノチューブからなる配線部あるいは垂直配線部を有する半導体装置の製造方法であって、
    カーボンナノチューブの成長モードを制御する成長モード制御層を形成する工程と、
    前記成長モード制御層上に触媒層を形成する工程と、
    熱CVD法により前記触媒層を加熱してカーボンナノチューブを成長させ配線部あるいは垂直配線部とするカーボンナノチューブ形成工程とを含み、
    前記成長モード制御層は、
    Ti、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属を用いて雰囲気ガス中でスパッタ法あるいは真空蒸着法により形成し、
    前記雰囲気ガスの酸素ガスの所定の濃度に応じて前記成長モードを制御することを特徴とする半導体装置の製造方法。
  2. 前記触媒層を形成する工程の後に、前記触媒層上の前記垂直配線部を形成する領域に絶縁膜を選択的に形成する工程をさらに含み、
    前記カーボンナノチューブ形成工程において、前記絶縁層および触媒層を加熱して、前記絶縁膜の下側の触媒層からのみ前記カーボンナノチューブを成長させることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
  3. 前記カーボンナノチューブ形成工程において、前記雰囲気ガスの酸素濃度を0.1vol%未満の範囲とすることを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置の製造方法。
  4. 前記カーボンナノチューブ形成工程において、前記加熱により絶縁膜を形成する領域以外の触媒層と成長モード制御層とを合金化させることを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
  5. 前記成長モード制御層の膜厚を50nm以上とすることを特徴とする請求項1〜4のうち、いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
  6. 前記カーボンナノチューブ形成工程の後に、前記カーボンナノチューブ間の間隙を導電材料により充填する工程をさらに備えることを特徴とする請求項1〜5のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
  7. カーボンナノチューブからなる垂直配線部を有する半導体装置であって、
    Ti、Mo、V、Nb、およびWからなる群のうちいずれか1種の金属あるいは該金属の酸素濃度が1原子%未満の金属酸化物からなる成長モ
    ード制御層と、
    前記成長モード制御層上に形成された触媒層と、
    前記触媒層上に、前記垂直配線部の領域に形成され垂直方向に長手方向を有するカーボンナノチューブ、および前記垂直配線部以外の領域に形成された成長モード制御層と触媒層との合金層と、を備える半導体装置。
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