JP2005277030A - ステージ装置および露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 平面モータを用いて基板を搭載した可動子を駆動するステージ装置であって、前記ステージ装置はコイル群を有する固定子ユニットと、前記固定子ユニット上を移動する可動子とを有し、前記固定子ユニットは、前記基板に露光を行うための露光領域と、前記基板のアライメントを行うための計測領域とを有し、前記固定子ユニット内のコイル群は各領域で独立に温調される。
【選択図】 図1
Description
実施例1に係るステージ装置を図1に示す。図1(a)はステージ装置を鉛直方向上方から見た図であり、図1(b)はステージ装置を水平方向から見た断面図である。ステージ装置は露光領域と計測領域に分かれており、露光領域には露光用光学系PLが、計測領域にはアライメント計測用の計測光学系ALGが配置されている。
3 固定子ユニット
4,5 コイル群
6,7 冷却ジャケット
10 支持部材
11,12,13,14 コイル列
15 隔壁
16 冷媒流路
17 ベース定盤
18,19 コイル
501 照明系ユニット
502 レチクルステージ
503 投影レンズ
Claims (11)
- 平面モータを用いて対象物を搭載した可動子を駆動するステージ装置であって、前記ステージ装置はコイル群を有する固定子ユニットと、前記固定子ユニット上を移動する可動子とを有し、前記固定子ユニットは、前記対象物に第1の処理を行うための第1領域と、前記対象物に第2の処理を行うための第2領域とを有し、前記固定子ユニット内のコイル群は各領域で独立に温調されることを特徴とするステージ装置。
- 前記固定子ユニット内のコイル群は、前記コイル群を包囲する冷却ジャケット内で冷媒を循環することによって冷却されることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記コイル群を冷却する冷媒は、前記第1領域と前記第2領域で冷媒を流す方向が異なることを特徴とする請求項2に記載のステージ装置。
- 前記コイル群を冷却する冷媒は、前記第1領域と前記第2領域で冷媒の流量、温度、媒体のうち少なくとも1つが異なることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のステージ装置。
- 前記第1領域と前記第2領域で前記コイル群を冷却する冷却量が異なることを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載のステージ装置。
- 前記固定子ユニットは、前記第1領域と前記第2領域で分割されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のステージ装置。
- 前記可動子は2つの可動子からなり、該2つの可動子は前記第1領域と前記第2領域で入れ替え可能に構成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のステージ装置。
- 前記可動子は、前記固定子ユニットと対向する面に磁石群を有し、該磁石群は前記固定子ユニットのコイル群との間で力を発生することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のステージ装置。
- 請求項1〜8に記載のステージ装置を用いて基板を位置決めする露光装置であって、前記第1の処理は前記基板を露光する処理であり、前記第2の処理は前記基板の位置を計測する処理であることを特徴とする露光装置。
- 基板を露光する露光領域と前記基板の位置を計測する計測領域とを有する露光装置であって、前記露光領域で前記基板を搭載した可動子を駆動する第1の駆動手段と前記計測領域で前記可動子を駆動する第2の駆動手段と、を有し、前記第1の駆動手段と前記第2の駆動手段は独立に温調されることを特徴とする露光装置。
- デバイス製造方法であって、請求項9または請求項10に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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