JP2004335677A - 平面モータ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】可動スライダ側に電機子コイルを備えた平面パルスモータにおいて、可動スライダの角隅部の発熱を抑制する。
【解決手段】可動スライダに配置された電機子コイル22をジャケット24で包囲し、このジャケット内に電機子コイルの発熱を吸収するための冷却用冷媒を流す経路を複数設ける。
【選択図】 図2
【解決手段】可動スライダに配置された電機子コイル22をジャケット24で包囲し、このジャケット内に電機子コイルの発熱を吸収するための冷却用冷媒を流す経路を複数設ける。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体露光装置などの精密機械において半導体ウエハや露光原版等の基板を移動または位置決めするために用いられるステージ装置用として好適な平面モータに関する。本発明の平面モータを用いたステージ装置は、例えば半導体製造工程において、原版であるレチクルのパターンを被露光基板であるシリコンウエハ上に投影して転写する投影露光装置で、レチクルパターンをウエハ上に投影露光する際、レチクルまたはシリコンウエハを投影露光系に対して順次移動させるためのレチクルステージまたはウエハステージとして用いられる。
【0002】
半導体製造装置等の超精密機器分野では、高速かつ機械的な精度に依存することなく高精度に位置制御するため、および機械的な摩擦を回避し長寿命を得るために、可動部分を非接触で二次元方向に駆動し、XY二次元位置制御を行うステージ装置が開発されている。このステージ装置の駆動源としては可変磁気抵抗駆動方式の平面モータやローレンツ力による電磁力駆動方式による平面モータが使用されている。
【0003】
図6は、投影露光装置に用いられるステージ装置の従来例を示す。同図において、55はステージ装置で、基板(ウエハ64)を露光毎に順次連続移動させる装置である。61はステージ定盤、62は可動スライダで、可動スライダ62はステージ定盤61上を非接触で二次元方向に駆動される。63はステージ装置55の可動スライダ62の上面に設けられた照度センサで、露光光の照度を露光前にキャリブレーション計測し、露光量を補正するために用いられる。57はウエハ搬送ロボットでウエハ64をステージ装置55に供給する。64はレチクル基板に描かれたレチクルパターンを縮小露光系を通して投影転写するために、単結晶シリコン基板表面にレジストが塗られたウエハである。65はX干渉計ミラーで、ステージ装置55の可動スライダ62のX方向の位置をレーザ干渉計により計測するターゲットである。65AはX干渉計計測光、65BはX干渉計ミラー65を保持位置決めするX干渉計ベースである。66はY干渉計ミラーで同じくY方向の位置を計測するターゲット、66AはY干渉計計測光、66BはY干渉計ミラー66を保持位置決めするY干渉計ミラーベースである。
【0004】
現在のところ、図6のステージ装置において用いられる平面モータとしては可変磁気抵抗駆動であるリニアパルスモータが主流である。この可変磁気抵抗駆動である平面パルスモータは、櫛歯状の磁性体が等間隔に並べられたステージ定盤61と、それに対向する形で異なる位相の櫛歯部を持つ複数の電機子コイルが永久磁石とヨークを形成した可動スライダ62により構成されている。そこで、電機子コイルに電流を流すことで磁気抵抗を変化させ、可動スライダ62を駆動させる推力を発生させる。各電機子コイルに供給されるパルス電流を制御することでステッピング動作をおこさせる。
【0005】
上記の平面パルスモータは、高精度位置決めおよび推力線形性に長けているが、大きな推力を得るためには大きな電流を流さなければならず、電機子コイルの発熱が問題となっている。そこで、熱的影響を低減するために冷媒等を用いた冷却設計が進められている。しかし、電機子コイルを有したヨークは強い推力を発生するという性質上、樹脂または有機系化合物によって可動スライダ部に接着されており、電機子コイルを効率的に冷却するための冷媒経路を形成することは困難であった。従来例を図7に示す。ここで71は冷却冷媒流入口、72は冷却冷媒流出口、73は冷媒流路方向で、この冷却方法では角隅部74の発熱を抑制することができなかった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようにステージ装置用の平面パルスモータでは熱的影響の抑制に冷却設計が進められてきたのであるが、より効率のよい冷却構造が求められている。加えて、現状の可動スライダは一体に形成されたものであり、推力の増加等の仕様変更には再製作をしなければならなかった。本発明は、上述の従来例における問題点に鑑みてなされたもので、平面モータにおいて電機子コイルを含んだ可動スライダの角隅部の発熱を抑制する、より効率のよい冷却構造を提供することを課題とする。また、平面モータの形状変更を再製作することなく可能にすることをさらなる課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段及び作用】
上記課題を解決するため本発明では、可動子部に電機子コイルを備え、該電機子コイルに電流を流すことにより前記可動子部が固定子部上の平面に沿って二次元方向に移動する平面モータ装置において、前記電機子コイルを包囲部材で包囲し、該包囲部材の内側に前記電機子コイルの発熱を吸収するための冷媒冷却経路を設けたことを特徴とする。これにより、角隅部を含む可動子部の全域を効率よく冷却することができる。本発明において、好ましくは、該包囲部材を複数に分割し、包囲部材により分割された領域ごとに温調を行う。さらに好ましくは、該包囲部材をモジュールユニット化し、複数のモジュールユニットを結合することで形状変更のための再製作をする必要をなくする。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施の形態に係る平面パルスモータ装置は、電機子コイルを含んだ可動スライダの角隅部の発熱を抑制するために、磁石および電機子コイルを有し、この電機子コイルに電流を流すことにより磁石との組み合わせの結果、駆動力を発生させ、ステージ部の上を可動子部が二次元方向の平面に沿って移動する平面パルスモータ装置において、電機子コイルが配置された可動スライダに電機子コイルを被う包囲部材を設けあるいは該包囲部材は複数に分割されていることを特徴とする。
【0009】
上記の平面パルスモータ装置においては、複数に分割された包囲部材の冷媒冷却経路はそれぞれ温調を行うように構成することが好ましい。また、前記包囲部材から電機子ヨーク部を保持する機構を持つことが好ましい。さらに、電機子コイルを被う包囲部材をモジュールユニット化し、複数モジュールユニット間を結合可能にすることが好ましい。
【0010】
本発明は、例えば、スキャナもしくは走査露光装置と呼ばれるステップアンドスキャン型の投影露光装置またはステッパと呼ばれるステップアンドリピート型の投影露光装置のウエハステージまたはウエハステージとレチクルステージとに適用される。その場合、前記基板は、原版または被露光基板である。すなわち、本発明の好ましい実施の形態に係る投影露光装置は、原版面に描かれたパターンを投影光学系を介して被露光基板に投影し、該投影光学系に対し原版と基板の両方、もしくは基板のみをステージ装置により相対的に移動させることにより、原版のパターンを基板に繰り返し露光する露光装置であって、前記ステージ装置は上述の平面モータ装置を備えたステージ装置であることを特徴とする露光装置である。
【0011】
【実施例】
以下に本発明の実施例を説明する。
[実施例1〜3]
図1は本発明の第1〜第3の実施例に係る可動スライダ(可動子部)の構成を示す。図において、11はヨークで、図2に22で示すような電機子コイルが付属している。可動スライダを駆動するためには電機子コイルに電流を流すが、その際、電機子コイルが発熱を起こし、その熱はこの電機子コイルが付属しているヨーク11に伝熱する。12、12Bおよび12Cは冷却用冷媒流入口で、電機子コイルからの伝熱により発熱したヨーク11を冷却するため可動スライダ内部に冷媒を送る。13、13Bおよび13Cは冷却用冷媒流出口で、可動スライダ内部の熱を取り去り循環し終えた冷媒を外部に送り出す。14、14Bおよび14Cは冷媒冷却経路であり、各実施例の冷媒の流路を示したものである。15は熱源、すなわち電機子コイルまたはヨーク11の位置を示す。
【0012】
図1の可動スライダにおいて、これらの熱源15ならびに冷媒冷却経路14、14Bおよび14Cは、図2に24で示すようなジャケット(包囲部材)で被われている。ジャケットは、セラミックス、金属または樹脂によって形成される。また、可動スライダは、図2に25で示すような固定子ステージ部上を二次元方向の平面に沿って移動するが、この固定子ステージ部には、図2に示すような櫛歯状の磁性体がヨークと対向する形で配置されている。この上を非接触で可動スライダが二次元駆動する。図1は、以上の構成を共通に有する第1〜第3の実施例を示す。ここで、図1(1)および図1(2)は、可動スライダの電機子コイルおよび冷媒冷却経路をジャケットで4分割および2分割し、複数の冷媒経路を持つ実施例を示した。ジャケットの分割数に合わせて冷却用冷媒流入口12および冷却用冷媒流出口13が設けられ、各ジャケットは独立に温度制御される。なお、図1(3)は、ジャケットでは分割しない例を示す。但し、図1(3)の場合も、冷媒経路は複数(2個)を設けてある。
【0013】
[実施例4]
第4の実施例を図2に示す。図2において、12Dは冷却用冷媒流入口、13Dは冷却用冷媒流出口、21は可動子部のヨーク、22はヨーク21をコアとして有する電機子コイル、23はヨーク21および電機子コイル22を支持する支持部材である。24はジャケットで、セラミックス、金属または樹脂によって形成される。25は固定子ステージ部で、櫛歯状の磁性体がヨークと対向する形で配置されている。
【0014】
第1〜第3の実施例で示したように、平面パルスモータにおいて電機子コイル22およびヨーク21の熱を除去する場合、従来のようにヨーク21および電機子コイル22を可動スライダ内に接着する方法では効率の高い冷却は難しい。そこで、第4の実施例では、推力に耐えられるよう、支持部材23によりジャケット24壁面からヨーク21および電機子コイル22を支持する。これにより、ジャケット24とヨーク21および電機子コイル22との間に間隙が多くなり、ヨーク21および電機子コイル22と冷媒との接触面積を多くすることができ、より効率的な冷却を容易に行うことが可能になる。
【0015】
[実施例5]
第5の実施例を図3に示す。図3において、31はモジュールユニットで、ジャケット(包囲部材)は多面体の形状をしており、そのジャケットの内部には複数の電機子コイル22(図2参照)およびその発熱を冷却するための冷媒経路を持つ。図3(1)がモジュールユニット31を正面側から見た斜視図とすると、図3(2)は背面側から見た斜視図である。図3において、32Aはオス型配管であり、電機子コイル22を冷却するための冷媒用配管であるが、図3(2)に示すように、モジュールユニット31の対向方向(背面側)にメス型配管32Bがあり、モジュールユニット31を連結する際には接合することが可能となる。
【0016】
33Aはオス型電極であり、電機子に電流を送るための電極であるが、こちらも同様にモジュールユニット31の対向方向(背面側)にメス型電極33Bがあり、連結の際には接合が可能となる。以上の構成により複数のモジュールユニット31は容易に着脱可能であり、着脱にかかわる工具や工数は不必要である。
【0017】
[実施例6]
第6の実施例を図4に示す。本実施例は、図3に示すようなモジュールユニット31を複数個結合したものである。図4において、32は冷却用冷媒配管で、電機子コイル35の発熱を除去する目的で設計された冷媒経路に冷媒を通すために、モジュールユニット31側面もしくは上面に配置された外部と連絡する配管である。33は電機子コイル電極で、モジュールユニット31側面もしくは上面に配置され、電機子コイル35に電流を送る電極である。隣り合ったモジュールユニット31と電極33を接続することにより、方向を考慮せずにモジュールユニット31を連結することが可能となる。以上の構成で、図4(1)および図4(2)に示したように、モジュールユニット31を複数個追加し組み合わせることのみにより、駆動範囲拡大や推力の増加等による仕様変更に再製作することなく対応できる。
【0018】
なお、図4のモジュールユニット31として、図3のモジュールユニット31を用いることは勿論可能である。この場合、冷却用冷媒配管32としては図3のオス型配管32Aまたはメス型配管32Bを、電機子コイル電極33としては図3のオス型電極33Aまたはメス型電極33Bを用いることができる。
【0019】
上述の各実施例では、平面パルスモータ装置において、可動子部に設けられた電機子コイルをジャケットで包囲し、また、必要に応じてジャケット内を複数に分割し、複数の冷媒経路で温調を行うことで効率のよい冷却を可能にした。また、第5および第6の実施例に示すように、可動子部をそれぞれジャケットで包囲したモジュールユニット化し、そのモジュールユニットを複数個組み合わせることによって、推力の増加等の仕様変更に容易に対応できるようになった。
【0020】
[実施例7]
第7の実施例を図5に示す。本実施例は、投影露光装置のステージ装置に本発明に係る平面パルスモータを適用したものである。同図において、51は照明系ユニットで、露光光源(不図示)からの露光光を整形しレチクルに対して照射する。52は露光パターンの原版であるレチクルを搭載するレチクルステージで、搭載したレチクルをウエハ64に対して所定の縮小露光倍率比でスキャン動作させる。53は縮小投影レンズで、原版パターンをウエハ64に縮小投影する。54は露光装置本体、55はウエハステージ(ステージ装置)で、前記レチクルステージ52は、投影レンズ53およびウエハステージ55を支持する。ウエハステージ55はウエハ64を順次の露光位置にステップ移動させるとともにレチクルのスキャン動作時、それと同期してウエハ64をスキャン動作させる。
【0021】
56はフォーカススコープで、縮小投影レンズ53の鏡筒から、ウエハ64のフォーカス計測を行う。56Aはアライメントスコープで、ウエハ上のアライメントマーク(不図示)およびウエハステージ上のアライメント用基準マーク(不図示)を計測し、ウエハ内アライメントおよびレチクルとウエハ間のアライメントを行う際の計測を行う顕微鏡である。57はウエハ搬送ロボットで、ウエハ64をウエハステージ55に供給する。以上の構成で、露光装置は形成される。この露光装置において、上記第1〜第6の実施例に係る平面パルスモータ装置を用いることにより、各々の実施例について説明した効果を得ることが可能になる。なお、図5において、ウエハステージ55の可動スライダ62の上面部分は、縮小投影レンズ53、フォーカススコープ56の光線およびウエハ64の関係が分かるように、断面で表している。
【0022】
【発明の適用範囲】
本発明は、上記実施例の限定されることなく適宜変形して実施することができる。例えば、上記の第7の実施例においては、本発明の平面モータをいわゆるスキャナに適用した例について説明したが、本発明は、いわゆるステッパ等他の方式の露光装置や、露光装置以外の半導体製造装置や走査型電子顕微鏡などの精密機械にも適用可能である。
【0023】
【実施態様】
本発明の実施態様の例を以下のように列挙する。
[実施態様1] 可動子部に電機子コイルを備え、該電機子コイルに電流を流すことにより前記可動子部が固定子部上の平面に沿って二次元方向に移動する平面モータ装置において、
前記電機子コイルを包囲部材で包囲し、該包囲部材の内側に前記電機子コイルの発熱を吸収するための冷媒冷却経路を設けたことを特徴とする平面モータ装置。
[実施態様2] 前記包囲部材の内側が複数の領域に分割されていることを特徴とする実施態様1に記載の平面モータ装置。
[実施態様3] 前記各領域に複数の冷媒冷却経路が設けられていることを特徴とする実施態様2に記載の平面モータ装置。
[実施態様4] 前記各領域の冷媒冷却経路はそれぞれ温調を行うことを特徴とする実施態様2または3に記載の平面モータ装置。
[実施態様5] 前記電機子コイルとこれを被う包囲部材と該包囲部材の内側に設けられる冷媒冷却経路とを含む部分をモジュールユニット化し、複数モジュールユニット間を結合可能にしたことを特徴とする実施態様2〜4のいずれか1つに記載の平面モータ装置。
[実施態様6] 前記電機子コイルが巻回された電機子ヨーク部を前記包囲部材から保持する保持機構を有することを特徴とする実施態様1〜5のいずれか1つに記載の平面モータ装置。
[実施態様7] 実施態様1〜6のいずれか1つに記載の平面モータ装置の固定子部を配置されたステージ定盤と、該平面モータ装置の可動子部を配置され、前記ステージ定盤上で二次元方向に移動する可動スライダとを備えることを特徴とするステージ装置。
[実施態様8] 原版面に描かれたパターンを投影光学系を介して基板に投影し、該投影光学系に対し原版と基板の両方、もしくは基板のみをステージ装置により相対的に移動させることにより、原版のパターンを基板に繰り返し露光する露光装置であって、
前記原版または基板を前記投影光学系に対し相対的に移動させるためのステージ装置の少なくとも1つが実施態様7に記載のステージ装置であることを特徴とする露光装置。
【0024】
【発明の効果】
本発明によれば、平面モータにおいて電機子コイルを含んだ可動子部の特に角隅部の発熱を抑制して、より効率のよい冷却を行うことができる。また、本発明の平面モータを用いたステージ装置では、その形状変更を再製作することなく可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1〜第3の実施例に係る平面モータの説明図である。
【図2】本発明の第4の実施例に係る平面モータの説明図である。
【図3】本発明の第5の実施例に係る平面モータの説明図である。
【図4】本発明の第6の実施例に係る平面モータの説明図である。
【図5】本発明の平面モータを適用した投影露光装置の実施例を示す説明図である。
【図6】従来例の平面モータを用いたステージ装置の説明図である。
【図7】図6の平面モータにおける冷却状態を示す説明図である。
【符号の説明】11:ヨーク、12,12B,12C,12D:冷却用冷媒流入口、13,13B,13C,13D:冷却用冷媒流出口、14,14B,14C:冷媒冷却経路、15:熱源、21:ヨーク、22:電機子コイル、23:支持部材、24:ジャケット、25:固定子ステージ部、31:モジュールユニット、32:冷却用冷媒配管、32A:オス型配管、32B:メス型配管、33:電機子コイル電極、33A:オス型電極、33B:メス型電極、35:電機子コイル、51:照明系ユニット、52:レチクルステージ、53:縮小投影レンズ、54:露光装置本体、55:ステージ装置、56:フォーカススコープ、56A:アライメントスコープ、57:ウエハ搬送ロボット、61:ステージ定盤、62:可動スライダ、63:照度センサ、64:ウエハ、65:X干渉計ミラー、65A:X干渉計計測光、65B:X干渉計ミラーベース、66:Y干渉計ミラー、66A:Y干渉計計測光、66B:Y干渉計ミラーベース、71:冷却冷媒流入口、72:冷却冷媒流出口、73:冷媒流路方向、74:角隅部。
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体露光装置などの精密機械において半導体ウエハや露光原版等の基板を移動または位置決めするために用いられるステージ装置用として好適な平面モータに関する。本発明の平面モータを用いたステージ装置は、例えば半導体製造工程において、原版であるレチクルのパターンを被露光基板であるシリコンウエハ上に投影して転写する投影露光装置で、レチクルパターンをウエハ上に投影露光する際、レチクルまたはシリコンウエハを投影露光系に対して順次移動させるためのレチクルステージまたはウエハステージとして用いられる。
【0002】
半導体製造装置等の超精密機器分野では、高速かつ機械的な精度に依存することなく高精度に位置制御するため、および機械的な摩擦を回避し長寿命を得るために、可動部分を非接触で二次元方向に駆動し、XY二次元位置制御を行うステージ装置が開発されている。このステージ装置の駆動源としては可変磁気抵抗駆動方式の平面モータやローレンツ力による電磁力駆動方式による平面モータが使用されている。
【0003】
図6は、投影露光装置に用いられるステージ装置の従来例を示す。同図において、55はステージ装置で、基板(ウエハ64)を露光毎に順次連続移動させる装置である。61はステージ定盤、62は可動スライダで、可動スライダ62はステージ定盤61上を非接触で二次元方向に駆動される。63はステージ装置55の可動スライダ62の上面に設けられた照度センサで、露光光の照度を露光前にキャリブレーション計測し、露光量を補正するために用いられる。57はウエハ搬送ロボットでウエハ64をステージ装置55に供給する。64はレチクル基板に描かれたレチクルパターンを縮小露光系を通して投影転写するために、単結晶シリコン基板表面にレジストが塗られたウエハである。65はX干渉計ミラーで、ステージ装置55の可動スライダ62のX方向の位置をレーザ干渉計により計測するターゲットである。65AはX干渉計計測光、65BはX干渉計ミラー65を保持位置決めするX干渉計ベースである。66はY干渉計ミラーで同じくY方向の位置を計測するターゲット、66AはY干渉計計測光、66BはY干渉計ミラー66を保持位置決めするY干渉計ミラーベースである。
【0004】
現在のところ、図6のステージ装置において用いられる平面モータとしては可変磁気抵抗駆動であるリニアパルスモータが主流である。この可変磁気抵抗駆動である平面パルスモータは、櫛歯状の磁性体が等間隔に並べられたステージ定盤61と、それに対向する形で異なる位相の櫛歯部を持つ複数の電機子コイルが永久磁石とヨークを形成した可動スライダ62により構成されている。そこで、電機子コイルに電流を流すことで磁気抵抗を変化させ、可動スライダ62を駆動させる推力を発生させる。各電機子コイルに供給されるパルス電流を制御することでステッピング動作をおこさせる。
【0005】
上記の平面パルスモータは、高精度位置決めおよび推力線形性に長けているが、大きな推力を得るためには大きな電流を流さなければならず、電機子コイルの発熱が問題となっている。そこで、熱的影響を低減するために冷媒等を用いた冷却設計が進められている。しかし、電機子コイルを有したヨークは強い推力を発生するという性質上、樹脂または有機系化合物によって可動スライダ部に接着されており、電機子コイルを効率的に冷却するための冷媒経路を形成することは困難であった。従来例を図7に示す。ここで71は冷却冷媒流入口、72は冷却冷媒流出口、73は冷媒流路方向で、この冷却方法では角隅部74の発熱を抑制することができなかった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようにステージ装置用の平面パルスモータでは熱的影響の抑制に冷却設計が進められてきたのであるが、より効率のよい冷却構造が求められている。加えて、現状の可動スライダは一体に形成されたものであり、推力の増加等の仕様変更には再製作をしなければならなかった。本発明は、上述の従来例における問題点に鑑みてなされたもので、平面モータにおいて電機子コイルを含んだ可動スライダの角隅部の発熱を抑制する、より効率のよい冷却構造を提供することを課題とする。また、平面モータの形状変更を再製作することなく可能にすることをさらなる課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段及び作用】
上記課題を解決するため本発明では、可動子部に電機子コイルを備え、該電機子コイルに電流を流すことにより前記可動子部が固定子部上の平面に沿って二次元方向に移動する平面モータ装置において、前記電機子コイルを包囲部材で包囲し、該包囲部材の内側に前記電機子コイルの発熱を吸収するための冷媒冷却経路を設けたことを特徴とする。これにより、角隅部を含む可動子部の全域を効率よく冷却することができる。本発明において、好ましくは、該包囲部材を複数に分割し、包囲部材により分割された領域ごとに温調を行う。さらに好ましくは、該包囲部材をモジュールユニット化し、複数のモジュールユニットを結合することで形状変更のための再製作をする必要をなくする。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施の形態に係る平面パルスモータ装置は、電機子コイルを含んだ可動スライダの角隅部の発熱を抑制するために、磁石および電機子コイルを有し、この電機子コイルに電流を流すことにより磁石との組み合わせの結果、駆動力を発生させ、ステージ部の上を可動子部が二次元方向の平面に沿って移動する平面パルスモータ装置において、電機子コイルが配置された可動スライダに電機子コイルを被う包囲部材を設けあるいは該包囲部材は複数に分割されていることを特徴とする。
【0009】
上記の平面パルスモータ装置においては、複数に分割された包囲部材の冷媒冷却経路はそれぞれ温調を行うように構成することが好ましい。また、前記包囲部材から電機子ヨーク部を保持する機構を持つことが好ましい。さらに、電機子コイルを被う包囲部材をモジュールユニット化し、複数モジュールユニット間を結合可能にすることが好ましい。
【0010】
本発明は、例えば、スキャナもしくは走査露光装置と呼ばれるステップアンドスキャン型の投影露光装置またはステッパと呼ばれるステップアンドリピート型の投影露光装置のウエハステージまたはウエハステージとレチクルステージとに適用される。その場合、前記基板は、原版または被露光基板である。すなわち、本発明の好ましい実施の形態に係る投影露光装置は、原版面に描かれたパターンを投影光学系を介して被露光基板に投影し、該投影光学系に対し原版と基板の両方、もしくは基板のみをステージ装置により相対的に移動させることにより、原版のパターンを基板に繰り返し露光する露光装置であって、前記ステージ装置は上述の平面モータ装置を備えたステージ装置であることを特徴とする露光装置である。
【0011】
【実施例】
以下に本発明の実施例を説明する。
[実施例1〜3]
図1は本発明の第1〜第3の実施例に係る可動スライダ(可動子部)の構成を示す。図において、11はヨークで、図2に22で示すような電機子コイルが付属している。可動スライダを駆動するためには電機子コイルに電流を流すが、その際、電機子コイルが発熱を起こし、その熱はこの電機子コイルが付属しているヨーク11に伝熱する。12、12Bおよび12Cは冷却用冷媒流入口で、電機子コイルからの伝熱により発熱したヨーク11を冷却するため可動スライダ内部に冷媒を送る。13、13Bおよび13Cは冷却用冷媒流出口で、可動スライダ内部の熱を取り去り循環し終えた冷媒を外部に送り出す。14、14Bおよび14Cは冷媒冷却経路であり、各実施例の冷媒の流路を示したものである。15は熱源、すなわち電機子コイルまたはヨーク11の位置を示す。
【0012】
図1の可動スライダにおいて、これらの熱源15ならびに冷媒冷却経路14、14Bおよび14Cは、図2に24で示すようなジャケット(包囲部材)で被われている。ジャケットは、セラミックス、金属または樹脂によって形成される。また、可動スライダは、図2に25で示すような固定子ステージ部上を二次元方向の平面に沿って移動するが、この固定子ステージ部には、図2に示すような櫛歯状の磁性体がヨークと対向する形で配置されている。この上を非接触で可動スライダが二次元駆動する。図1は、以上の構成を共通に有する第1〜第3の実施例を示す。ここで、図1(1)および図1(2)は、可動スライダの電機子コイルおよび冷媒冷却経路をジャケットで4分割および2分割し、複数の冷媒経路を持つ実施例を示した。ジャケットの分割数に合わせて冷却用冷媒流入口12および冷却用冷媒流出口13が設けられ、各ジャケットは独立に温度制御される。なお、図1(3)は、ジャケットでは分割しない例を示す。但し、図1(3)の場合も、冷媒経路は複数(2個)を設けてある。
【0013】
[実施例4]
第4の実施例を図2に示す。図2において、12Dは冷却用冷媒流入口、13Dは冷却用冷媒流出口、21は可動子部のヨーク、22はヨーク21をコアとして有する電機子コイル、23はヨーク21および電機子コイル22を支持する支持部材である。24はジャケットで、セラミックス、金属または樹脂によって形成される。25は固定子ステージ部で、櫛歯状の磁性体がヨークと対向する形で配置されている。
【0014】
第1〜第3の実施例で示したように、平面パルスモータにおいて電機子コイル22およびヨーク21の熱を除去する場合、従来のようにヨーク21および電機子コイル22を可動スライダ内に接着する方法では効率の高い冷却は難しい。そこで、第4の実施例では、推力に耐えられるよう、支持部材23によりジャケット24壁面からヨーク21および電機子コイル22を支持する。これにより、ジャケット24とヨーク21および電機子コイル22との間に間隙が多くなり、ヨーク21および電機子コイル22と冷媒との接触面積を多くすることができ、より効率的な冷却を容易に行うことが可能になる。
【0015】
[実施例5]
第5の実施例を図3に示す。図3において、31はモジュールユニットで、ジャケット(包囲部材)は多面体の形状をしており、そのジャケットの内部には複数の電機子コイル22(図2参照)およびその発熱を冷却するための冷媒経路を持つ。図3(1)がモジュールユニット31を正面側から見た斜視図とすると、図3(2)は背面側から見た斜視図である。図3において、32Aはオス型配管であり、電機子コイル22を冷却するための冷媒用配管であるが、図3(2)に示すように、モジュールユニット31の対向方向(背面側)にメス型配管32Bがあり、モジュールユニット31を連結する際には接合することが可能となる。
【0016】
33Aはオス型電極であり、電機子に電流を送るための電極であるが、こちらも同様にモジュールユニット31の対向方向(背面側)にメス型電極33Bがあり、連結の際には接合が可能となる。以上の構成により複数のモジュールユニット31は容易に着脱可能であり、着脱にかかわる工具や工数は不必要である。
【0017】
[実施例6]
第6の実施例を図4に示す。本実施例は、図3に示すようなモジュールユニット31を複数個結合したものである。図4において、32は冷却用冷媒配管で、電機子コイル35の発熱を除去する目的で設計された冷媒経路に冷媒を通すために、モジュールユニット31側面もしくは上面に配置された外部と連絡する配管である。33は電機子コイル電極で、モジュールユニット31側面もしくは上面に配置され、電機子コイル35に電流を送る電極である。隣り合ったモジュールユニット31と電極33を接続することにより、方向を考慮せずにモジュールユニット31を連結することが可能となる。以上の構成で、図4(1)および図4(2)に示したように、モジュールユニット31を複数個追加し組み合わせることのみにより、駆動範囲拡大や推力の増加等による仕様変更に再製作することなく対応できる。
【0018】
なお、図4のモジュールユニット31として、図3のモジュールユニット31を用いることは勿論可能である。この場合、冷却用冷媒配管32としては図3のオス型配管32Aまたはメス型配管32Bを、電機子コイル電極33としては図3のオス型電極33Aまたはメス型電極33Bを用いることができる。
【0019】
上述の各実施例では、平面パルスモータ装置において、可動子部に設けられた電機子コイルをジャケットで包囲し、また、必要に応じてジャケット内を複数に分割し、複数の冷媒経路で温調を行うことで効率のよい冷却を可能にした。また、第5および第6の実施例に示すように、可動子部をそれぞれジャケットで包囲したモジュールユニット化し、そのモジュールユニットを複数個組み合わせることによって、推力の増加等の仕様変更に容易に対応できるようになった。
【0020】
[実施例7]
第7の実施例を図5に示す。本実施例は、投影露光装置のステージ装置に本発明に係る平面パルスモータを適用したものである。同図において、51は照明系ユニットで、露光光源(不図示)からの露光光を整形しレチクルに対して照射する。52は露光パターンの原版であるレチクルを搭載するレチクルステージで、搭載したレチクルをウエハ64に対して所定の縮小露光倍率比でスキャン動作させる。53は縮小投影レンズで、原版パターンをウエハ64に縮小投影する。54は露光装置本体、55はウエハステージ(ステージ装置)で、前記レチクルステージ52は、投影レンズ53およびウエハステージ55を支持する。ウエハステージ55はウエハ64を順次の露光位置にステップ移動させるとともにレチクルのスキャン動作時、それと同期してウエハ64をスキャン動作させる。
【0021】
56はフォーカススコープで、縮小投影レンズ53の鏡筒から、ウエハ64のフォーカス計測を行う。56Aはアライメントスコープで、ウエハ上のアライメントマーク(不図示)およびウエハステージ上のアライメント用基準マーク(不図示)を計測し、ウエハ内アライメントおよびレチクルとウエハ間のアライメントを行う際の計測を行う顕微鏡である。57はウエハ搬送ロボットで、ウエハ64をウエハステージ55に供給する。以上の構成で、露光装置は形成される。この露光装置において、上記第1〜第6の実施例に係る平面パルスモータ装置を用いることにより、各々の実施例について説明した効果を得ることが可能になる。なお、図5において、ウエハステージ55の可動スライダ62の上面部分は、縮小投影レンズ53、フォーカススコープ56の光線およびウエハ64の関係が分かるように、断面で表している。
【0022】
【発明の適用範囲】
本発明は、上記実施例の限定されることなく適宜変形して実施することができる。例えば、上記の第7の実施例においては、本発明の平面モータをいわゆるスキャナに適用した例について説明したが、本発明は、いわゆるステッパ等他の方式の露光装置や、露光装置以外の半導体製造装置や走査型電子顕微鏡などの精密機械にも適用可能である。
【0023】
【実施態様】
本発明の実施態様の例を以下のように列挙する。
[実施態様1] 可動子部に電機子コイルを備え、該電機子コイルに電流を流すことにより前記可動子部が固定子部上の平面に沿って二次元方向に移動する平面モータ装置において、
前記電機子コイルを包囲部材で包囲し、該包囲部材の内側に前記電機子コイルの発熱を吸収するための冷媒冷却経路を設けたことを特徴とする平面モータ装置。
[実施態様2] 前記包囲部材の内側が複数の領域に分割されていることを特徴とする実施態様1に記載の平面モータ装置。
[実施態様3] 前記各領域に複数の冷媒冷却経路が設けられていることを特徴とする実施態様2に記載の平面モータ装置。
[実施態様4] 前記各領域の冷媒冷却経路はそれぞれ温調を行うことを特徴とする実施態様2または3に記載の平面モータ装置。
[実施態様5] 前記電機子コイルとこれを被う包囲部材と該包囲部材の内側に設けられる冷媒冷却経路とを含む部分をモジュールユニット化し、複数モジュールユニット間を結合可能にしたことを特徴とする実施態様2〜4のいずれか1つに記載の平面モータ装置。
[実施態様6] 前記電機子コイルが巻回された電機子ヨーク部を前記包囲部材から保持する保持機構を有することを特徴とする実施態様1〜5のいずれか1つに記載の平面モータ装置。
[実施態様7] 実施態様1〜6のいずれか1つに記載の平面モータ装置の固定子部を配置されたステージ定盤と、該平面モータ装置の可動子部を配置され、前記ステージ定盤上で二次元方向に移動する可動スライダとを備えることを特徴とするステージ装置。
[実施態様8] 原版面に描かれたパターンを投影光学系を介して基板に投影し、該投影光学系に対し原版と基板の両方、もしくは基板のみをステージ装置により相対的に移動させることにより、原版のパターンを基板に繰り返し露光する露光装置であって、
前記原版または基板を前記投影光学系に対し相対的に移動させるためのステージ装置の少なくとも1つが実施態様7に記載のステージ装置であることを特徴とする露光装置。
【0024】
【発明の効果】
本発明によれば、平面モータにおいて電機子コイルを含んだ可動子部の特に角隅部の発熱を抑制して、より効率のよい冷却を行うことができる。また、本発明の平面モータを用いたステージ装置では、その形状変更を再製作することなく可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1〜第3の実施例に係る平面モータの説明図である。
【図2】本発明の第4の実施例に係る平面モータの説明図である。
【図3】本発明の第5の実施例に係る平面モータの説明図である。
【図4】本発明の第6の実施例に係る平面モータの説明図である。
【図5】本発明の平面モータを適用した投影露光装置の実施例を示す説明図である。
【図6】従来例の平面モータを用いたステージ装置の説明図である。
【図7】図6の平面モータにおける冷却状態を示す説明図である。
【符号の説明】11:ヨーク、12,12B,12C,12D:冷却用冷媒流入口、13,13B,13C,13D:冷却用冷媒流出口、14,14B,14C:冷媒冷却経路、15:熱源、21:ヨーク、22:電機子コイル、23:支持部材、24:ジャケット、25:固定子ステージ部、31:モジュールユニット、32:冷却用冷媒配管、32A:オス型配管、32B:メス型配管、33:電機子コイル電極、33A:オス型電極、33B:メス型電極、35:電機子コイル、51:照明系ユニット、52:レチクルステージ、53:縮小投影レンズ、54:露光装置本体、55:ステージ装置、56:フォーカススコープ、56A:アライメントスコープ、57:ウエハ搬送ロボット、61:ステージ定盤、62:可動スライダ、63:照度センサ、64:ウエハ、65:X干渉計ミラー、65A:X干渉計計測光、65B:X干渉計ミラーベース、66:Y干渉計ミラー、66A:Y干渉計計測光、66B:Y干渉計ミラーベース、71:冷却冷媒流入口、72:冷却冷媒流出口、73:冷媒流路方向、74:角隅部。
Claims (1)
- 可動子部に電機子コイルを備え、該電機子コイルに電流を流すことにより前記可動子部が固定子部上の平面に沿って二次元方向に移動する平面モータ装置において、
前記電機子コイルを包囲部材で包囲し、該包囲部材の内側に前記電機子コイルの発熱を吸収するための冷媒冷却経路を設けたことを特徴とする平面モータ装置。
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