JP2005277030A5 - - Google Patents

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  1. 平面モータを用いて基板を搭載した可動子を駆動するステージ装置を備える露光装置であって、前記ステージ装置はコイル群を有する固定子ユニットと、前記固定子ユニット上を移動する可動子とを有し、前記固定子ユニットは、前記基板を露光するための第１領域と、前記基板をアライメント計測するための第２領域とを有し、前記第１領域のコイル群と前記第２領域のコイル群は独立に温調されることを特徴とする露光装置。
  2. 前記固定子ユニット内のコイル群は、前記コイル群を包囲する冷却ジャケット内で冷媒を循環することによって冷却されることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
  3. 前記コイル群を冷却する冷媒は、前記第１領域と前記第２領域で冷媒の流れる方向が異なることを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
  4. 前記コイル群を冷却する冷媒は、前記第１領域と前記第２領域で冷媒の流量、温度、媒体のうち少なくとも１つが異なることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の露光装置。
  5. 前記第１領域で前記コイル群を冷却する冷却量は、前記第２領域で前記コイル群を冷却する冷却量よりも大きいことを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の露光装置。
  6. 前記固定子ユニットは、前記第１領域と前記第２領域で分割されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の露光装置。
  7. 前記可動子は２つの可動子からなり、該２つの可動子は前記第１領域と前記第２領域で入れ替え可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の露光装置。
  8. 前記可動子は、前記固定子ユニットと対向する面に磁石群を有し、該磁石群は前記固定子ユニットのコイル群との間で力を発生することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の露光装置。
  9. デバイス製造方法であって、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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