JP2007312516A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 第１領域及び第２領域を含む固定子と、前記固定子上で移動可能な２つの可動子とを備える駆動装置であって、
   前記可動子は磁石を有し、
   前記固定子はコイルユニットを有し、
   前記コイルユニットは、前記第１領域及び前記第２領域で前記２つの可動子を独立して駆動する駆動コイルと、前記第１領域及び前記第２領域の間で前記２つの可動子を入れ替えるスワップコイルとを含み、前記コイルユニットは、前記駆動コイルの少なくとも一部と前記スワップコイルとが重なるように構成されていることを特徴とする駆動装置。
2. 前記スワップコイルは、前記第１領域及び前記第２領域が配列された第１方向と平行かつ互いに反対方向に前記２つの可動子を駆動することができるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
3. 前記スワップコイルは、前記第１方向に直交する第２方向に分割された２つの分割コイル列を含み、各分割コイル列は、前記第２方向に沿った直線部を含む複数のコイルを前記第１方向に並べて構成されていることを特徴とする請求項２に記載の駆動装置。
4. 前記スワップコイルは、前記駆動コイルよりも前記可動子から遠い位置に配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の駆動装置。
5. 前記第１領域は、前記可動子に搭載された基板についてアライメント用の計測処理を行うための領域であり、前記第２領域は、アライメント用の計測結果に基づいて前記基板をアライメントしながら露光処理を行うための領域であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の駆動装置。
6. 前記駆動コイルは、前記計測処理及び前記露光処理のほか、前記２つの可動子を入れ替えるスワップ処理のために使用されることを特徴とする請求項５に記載の駆動装置。
7. アライメント用の計測処理と露光処理とを並列に実施する露光装置であって、
   計測領域及び露光領域を含む固定子と前記固定子上で移動可能な２つの可動子とを有し、各可動子が基板を保持するチャックを有するステージ装置と、
   前記計測領域において前記計測処理を実施する計測ユニットと、
   前記露光領域において前記計測ユニットによる計測結果に基づいて基板をアライメントしながら前記露光処理を実施する露光ユニットとを備え、
   前記可動子は磁石を有し、
   前記固定子はコイルユニットを有し、
   前記コイルユニットは、前記計測領域及び前記露光領域で前記２つの可動子を独立して駆動する駆動コイルと、前記計測領域及び前記露光領域の間で前記２つの可動子を入れ替えるスワップコイルとを含み、前記コイルユニットは、前記駆動コイルの少なくとも一部と前記スワップコイルとが重なるように構成されている、
   ことを特徴とする露光装置。
8. 前記スワップコイルは、前記計測領域及び前記露光領域が配列された第１方向と平行かつ互いに反対方向に前記２つの可動子を駆動することができるように構成されていることを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
9. 前記スワップコイルは、前記第１方向に直交する第２方向に分割された２つの分割コイル列を含み、各分割コイル列は、前記第２方向に沿った直線部を含む複数のコイルを前記第１方向に並べて構成されていることを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
10. 前記スワップコイルは、前記駆動コイルよりも前記可動子から遠い位置に配置されていることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の露光装置。
11. 前記駆動コイルは、前記計測処理及び前記露光処理のほか、前記２つの可動子を入れ替えるスワップ処理のために使用されることを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の露光装置。
12. デバイス製造方法であって、
    請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の露光装置を用いて、基板に塗布された感光剤を露光する工程と、
    前記感光剤を現像する工程と、
    前記基板を処理する工程と、
    を含むことを特徴とするデバイス製造方法。