JP2005150670A - 半導体モジュールの製造方法及びそれに用いられる印刷回路基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体モジュールのモールディングに関する製造方法及びそれに用いられる印刷回路基板を提供する。
【解決手段】 印刷回路基板の第1面および第2面にそれぞれ第1および第2の半導体チップを搭載する段階と、第1半導体チップを収容可能な第1モールドキャビティ120aが形成されるとともに、第2半導体チップを収容可能な第2モールドキャビティ120bが形成されるモールド121に印刷回路基板を装填する段階と、モールド121で、印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔122を含むモールド注入通路Cを通じて封止部材を流して第1及び第2モールドキャビティ120a,120bに同時に封止樹脂を充填する段階と、を有する。
【選択図】図8
【解決手段】 印刷回路基板の第1面および第2面にそれぞれ第1および第2の半導体チップを搭載する段階と、第1半導体チップを収容可能な第1モールドキャビティ120aが形成されるとともに、第2半導体チップを収容可能な第2モールドキャビティ120bが形成されるモールド121に印刷回路基板を装填する段階と、モールド121で、印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔122を含むモールド注入通路Cを通じて封止部材を流して第1及び第2モールドキャビティ120a,120bに同時に封止樹脂を充填する段階と、を有する。
【選択図】図8
Description
本発明は半導体モジュールの製造方法に係り、より詳細には印刷回路基板に搭載された半導体チップパッケージをモールディングする方法及びそれに用いられる印刷回路基板に関する。
一般に半導体モジュールは、印刷回路基板に複数の半導体チップあるいは半導体チップパッケージを搭載して形成される。最近では、印刷回路基板の両面に半導体チップあるいは半導体チップパッケージを搭載し、その実装密度を高めた半導体モジュールが実用化されている。
ウェーハレベルパッケージは印刷回路基板に実装される半導体チップあるいは半導体チップパッケージの一形態である。ウェーハレベルパッケージは外部連結端子が半導体チップの表面に2次元の配列で形成されるといった特徴を有し、このことは半導体チップあるいは半導体チップパッケージの入出力信号に対する信号伝達経路を減らして半導体素子の動作速度特性を改善するのに役立つ。また、ウェーハレベルパッケージでは、リードを外部連結端子として用いるタイプの半導体チップパッケージと比較して印刷回路基板への実装時に占める実装面積をより狭くすることができる。
ウェーハレベルパッケージでは、外部連結端子として用いられるソルダバンプ(solder bump)が印刷回路基板とウェーハレベルパッケージとを相互に電気的および機械的に連結する手段となる。ウェーハレベルパッケージのソルダバンプが印刷回路基板に付着された後、ウェーハレベルパッケージと印刷回路基板との連結が外部環境によって損傷されることを防止するためにエポキシ樹脂により密封される。
図1ないし図4は、従来技術によってウェーハレベルパッケージを印刷回路基板の両面に搭載してモールディングする方法を説明するために示す概略的な断面図である。
図1は、典型的なウェーハレベルパッケージ14の断面図を示す。ウェーハレベルパッケージ14は、半導体チップ10と、前記半導体チップ10の表面に形成された複数のソルダバンプ12よりなる。図面に図示されていないが、前記ソルダバンプ12は半導体チップ10の表面にアレイ状に形成される。この際、たとえば、ソルダバンプ12の配列が2列に形成される場合、半導体チップ10の表面とソルダバンプ12間にボンドパッド再配置層が形成されうる。
図2に示されるとおり、ウェーハレベルパッケージ14は印刷回路基板18の両面に搭載される。この際、ウェーハレベルパッケージ14における半導体チップ10はその表面に形成されたソルダバンプ12を通じて電気的に印刷回路基板18と相互に連結される。
次いで、図3に示されるとおり、前記印刷回路基板18はモールド装備のモールドに装填される。前記モールドは上部モールド22と下部モールド(図示せず)を含む。前記上部モールド22には内部にモールドキャビティがあり、印刷回路基板18上に位置し、モールドキャビティ内部に印刷回路基板上にあるウェーハレベルパッケージ14を収容する。
前記上部モールド22にはモールド注入通路24があり、前記モールド注入通路24は装填された印刷回路基板18の上部面と隣接して形成されている。したがって、前記モールド注入通路24を通じて封止樹脂を内部のモールドキャビティに流すことができるようになっている。図面はモールドキャビティがモールド注入通路24を通じて流入された封止樹脂26により充填された形態を示す。前記封止樹脂は、たとえば、エポキシモールドコンパウンドである。次いで、上部のモールディング工程がなされた結果物は再び裏返されて、上述した方式と同じ方式で反対側に搭載されたウェーハレベルパッケージが封止される。図4は、半導体モジュールに対する両面にモールディング工程が完成された状態の断面図である。特許文献1は、図1〜図4を用いて説明したもの式と類似したチップ封入方法(Method of encapsulation a chip)を開示している。
しかし、前述したように印刷回路基板の両面にウェーハレベルパッケージを搭載して封止するために、印刷回路基板に対してモールディング工程を2回行う必要がある。したがって、前述した従来技術による半導体モジュールのモールディング工程は、工程時間を延ばし、コスト高を招く。
米国特許第6,083,775号明細書
本発明が解決しようとする技術的課題は、前記問題点を解決できる半導体モジュールの製造方法を提供するところにある。
本発明が解決しようとする他の技術的課題は、前記問題点を解決できる半導体モジュール製造に用いられる印刷回路基板を提供するところにある。
前記技術的課題を達成するために本発明の一実施例による半導体モジュールの製造方法は、第1半導体チップが印刷回路基板の第1面に搭載される。第2半導体チップが前記印刷回路基板の第1面に対向する第2面に搭載される。前記第1半導体チップを収容可能な第1モールドキャビティが形成されるとともに、第2半導体チップを収容可能な第2モールドキャビティが形成されるモールド装備に印刷回路基板を装填する。前記第1及び第2モールドキャビティは前記モールド装備のモールド注入通路、例えば前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔を含むモールド注入通路を通じて同時に封止樹脂で充填されうる。
前記技術的課題を達成するための本発明の他の実施例による半導体モジュールの製造方法は、メイン領域とダミー領域とに区分された印刷回路基板のメイン領域内の第1面に第1半導体チップを搭載する。一方、前記印刷回路基板のメイン領域内の前記第1面に対向する第2面に第2半導体チップを搭載する。前記印刷回路基板の第1半導体チップを収容可能な第1モードキャビティが形成されるとともに、前記第2半導体チップを収容可能な第2モールドキャビティが形成され、前記メイン領域とダミー領域の境界を越えてモールド注入通路が形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する。そして、モールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記第1及び第2モールドキャビティに封止樹脂を同時に充填する。次いで、前記印刷回路基板を前記モールド装備から取り出す。最後に前記印刷回路基板のダミー領域を前記メイン領域から分離して除去する。
前記技術的課題を達成するための本発明のさらに他の実施例による半導体モジュールの製造方法は、メイン領域とダミー領域とに区分された印刷回路基板のメイン領域内の第1面に半導体チップを搭載する。前記印刷回路基板の半導体チップを収容可能なモールドキャビティが形成されるとともに、前記メイン領域とダミー領域との境界を越えてモールド注入通路が形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する。前記モールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記印刷回路基板の第1面にあるモールドキャビティに封止樹脂を充填する。次いで、前記印刷回路基板を前記モールド装備から取り出す。最後に前記印刷回路基板のダミー領域を前記メイン領域から分離して除去する。
前記技術的課題を達成するための本発明のさらに他の実施例による半導体モジュールの製造方法は、複数の第1半導体チップを印刷回路基板の第1面に搭載する。一方、複数の第2半導体チップを前記印刷回路基板の第1面と対向する第2面に搭載する。前記複数の第1半導体チップを収容可能な1つ以上の第1モールドキャビティが形成されるとともに、前記複数の第2半導体チップを収容可能な1つ以上の第2モールドキャビティが形成されるモールド装備に印刷回路基板を装填する。前記モールド装備で、1つ以上のモールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記第1及び第2モールドキャビティに同時に封止樹脂を充填する。
前記技術的課題を達成するための本発明のさらに他の実施例による半導体モジュールの製造方法は、メイン領域とダミー領域とに区分された印刷回路基板のメイン領域内の第1面に複数の第1半導体チップを搭載する。一方、前記印刷回路基板のメイン領域内の前記第1面に対向する第2面に複数の第2半導体チップを搭載する。前記複数の第1半導体チップを収容可能な1つ以上の第1モールドキャビティが形成されるとともに、前記複数の第2半導体チップを収容可能な1つ以上の第2モールドキャビティが形成され、前記メイン領域とダミー領域との境界を越えて1つ以上のモールド注入通路が形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する。前記モールド装備で、1つ以上のモールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記第1及び第2モールドキャビティに封止樹脂を同時に充填する。次いで、前記印刷回路基板を前記モールド装備から取り出す。最後に前記印刷回路基板のダミー領域を前記メイン領域から分離して除去する。
前記技術的課題を達成するための本発明のさらに他の実施例による半導体モジュールの製造方法は、メイン領域とダミー領域とに区分された印刷回路基板のメイン領域内の第1面に複数の半導体チップを搭載する。前記印刷回路基板の複数の半導体チップを収容可能な1つ以上のモールドキャビティが形成されるとともに、前記メイン領域とダミー領域との境界を越えて1つ以上のモールド注入通路が形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する。前記モールド装備で1つ以上のモールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記1つ以上のモールドキャビティに封止樹脂を同時に充填する。次いで、前記印刷回路基板を前記モールド装備から取り出す。前記印刷回路基板のダミー領域を前記メイン領域から分離して除去する。
前記技術的課題を達成するための本発明のさらに他の実施例による半導体モジュールの製造方法は、第1端縁部にエッジ連結部が形成されている印刷回路基板を準備する。前記印刷回路基板の第1面で前記第1端縁部と前記第1端縁部に対向する第2端縁部との間に、外部連結端子が表面に配列されていた半導体チップである第1ウェーハレベルパッケージを複数個搭載する。前記印刷回路基板の第2面で前記第1端縁部と前記第1端縁部に対向する第2端縁部との間に、外部連結端子が表面に配列されていた半導体チップである第2ウェーハレベルパッケージを複数個搭載する。前記複数の第1ウェーハレベルパッケージを収容可能な1つ以上の第1モールドキャビティが形成されるとともに、前記複数の第2ウェーハレベルパッケージを収容可能な1つ以上の第2モールドキャビティが形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する。前記モールド装備で、前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔を含む1つ以上のモールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記第1及び第2モールドキャビティに封止樹脂を同時に充填する。
前記技術的課題を達成するための本発明のさらに他の実施例による半導体モジュールの製造方法は、第1面と前記第1面に対向する第2面とを有する印刷回路基板を準備する。前記印刷回路基板の第1面に半導体チップを搭載する。前記印刷回路基板の第1面に搭載された半導体チップを収容可能な第1モールドキャビティが形成されたモールド装備に印刷回路基板を装填する。次いで、モールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記第1キャビティに封止樹脂を充填する。このとき、モールド注入通路は、印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通した貫通孔であって前記印刷回路基板において半導体チップが搭載されて部分の外側に位置するモールド注入用貫通孔を含む。
前記他の技術的課題を達成するための本発明の一実施例による半導体モジュールの製造に用いられる印刷回路基板は、第1面と前記第1面と上下方向に対向する第2面とを有し、第1端縁部と前記第1端縁部と左右方向に対向した位置に第2端縁部とを有する基板本体と、前記基板本体の第1端縁部に形成されたエッジ連結部と、前記基板本体の第1面で第1端縁部と第2端縁部との間に形成され、半導体素子が搭載される第1素子搭載領域と、前記基板本体の第2面で第1端縁部と第2端縁部との間に形成され、半導体素子が搭載される第2素子搭載領域と、前記印刷回路基板で第1及び第2素子搭載領域と第2端縁部との間に形成されて、印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通したモールド注入用貫通孔と、を備えることを特徴とする。
本発明の一側面によれば、半導体モジュールの製造に用いられる印刷回路基板の構造を貫通孔を有する形態に改善して、片面モールディング方式の代りに両面モールディング方式を適用して製造工程の生産性を向上させ、工程不良を減らし、かつコストを下げられる。
また、本発明の一側面によれば、モールド後にダミー領域の部分を除去するので、最終的な半導体モジュールの構造として、モールド注入用貫通孔やモールド注入通路の不要部分が基板に含まないように構成することができ、高密度で複雑な回路パターンを有する印刷回路基板のモールディングに適用することが容易になる。
以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施例を詳細に説明する。しかし、以下の詳細な説明で開示される実施例は、本発明を限定しようとする意味ではなく、当業者によって本発明が完全に実施可能になるようにするために提供されるものである。
図5は、本発明の一実施例に係る印刷回路基板を説明するための概略的な断面図であり、図6は本発明の一実施例に係る印刷回路基板を説明するための概略的な平面図である。ここで、図5は図6の貫通孔部分に対する断面図である。
図5及び図6を参照すれば、平坦でかつ長い形状の基板本体100は、第1面(図5の150)とこれに対向する(反対面の)第2面160とを有する。また前記基板本体100は、長手方向に沿う第1端縁部(図6のA)とこれに対向する第2端縁部Bとを有する。前記基板本体100の厚さ、長さ及び幅などの寸法は、JEDEC(Joint Electronic Device Engineering Council)標準による国際規格に一致することが望ましい。また、前記基板本体100は、たとえば金属パターン層と絶縁層とが交互に積層された形態の多層基板である。
前記基板本体100の第2端縁部Bにはエッジ連結部108が位置する。また前記基板本体100は、複数の素子搭載領域106を有し、複数の素子搭載領域106は、前記第1面150上に長手方向に沿って第1端縁部Aと第2端縁部Bとの間の空間に並列に配されている。前記第1面150に形成されたそれぞれの素子搭載領域106には、ウェーハレベルパッケージが付着されて電気的に連結されるために伝導性パッドが形成されている。もちろん、基板本体100の第2面160にも素子搭載領域106が第1面150と上下方向に一直線上に配列されるべく形成されている(図示せず)。すなわち、第1面150および第2面160の素子搭載領域106は、基板本体100の両側で対称位置に配列されている。
複数のモールド注入用貫通孔104は、前記基板本体100の第1面150から第2面160へ貫通している貫通孔である。本実施例では、前記モールド注入用貫通孔104の数が、基板本体100の両面で対称位置に配列された素子搭載領域160の数と1:1に対応するように形成されている。また本実施例では、モールド注入用貫通孔104が、前記第1端縁部Aと素子搭載領域106との間の空間で前記素子搭載領域106と隣接して(素子が搭載される部分の外側に)形成されている。しかし、前記モールド注入用貫通孔104の位置は必要によって他の領域に変更されてもよい。この点については他の実施例を参照して後述する。
前記基板本体100は第2端縁部にエッジ連結部(エッジコネクタ)108が形成されている。前記エッジ連結部108は詳細には図示されていないが、印刷された複数のコネクタ用タブがコーム状(くし状)に形成された構造を有している。このエッジ連結部108は、基板本体100が電子装置のマーザーボードに連結される時に基板本体100をマーザーボードに電気的に連結させるとともに、物理的に基板本体100をマーザーボードに搭載させる機能を有する。
図7及び図8は、本発明の一実施例によって印刷回路基板にウェーハレベルパッケージをモールディングする方法を説明するために示す概略的な断面図である。
図7及び図8に示されるとおり、基板本体100の第1面150に第1半導体チップ110Aが搭載され、前記基板本体100の反対面、例えば第1面150に対向する第2面160に第2半導体チップ110Bが搭載される。前記基板本体100には前述した本発明によるモールド注入用貫通孔122(上記のモールド注入用貫通孔104と同じもの)が形成されている。ここで、前記第1半導体チップ110A及び第2半導体チップ110Bは、相互上下方向に一直線上に整列されている。すなわち、第1半導体チップ110Aと第2半導体チップ110Bは、基板本体100の両面で互いに対称位置に配列されている。また、好ましくは、前記第1及び第2半導体チップ110A、110Bは、前記基板本体100に形成された素子搭載領域の伝導性パッドに搭載されるウェーハレベルパッケージである。
前記第1及び第2半導体チップ110A、110Bを基板本体100に搭載した後、前記基板本体100はモールド装備のモールド121に装填される。前記モールド121は上部モールド121aと下部モールド121bとよりなる。前記上部モールド121aには上部モールドキャビティ(第1モールドキャビティ)120aが内部に形成されており、前記下部モールド121bには下部モールドキャビティ(第2モールドキャビティ120b)が内部に形成されている。前記上部モールドキャビティ120aは内部に半導体チップ110Bを収容するように前記基板本体100の上部と接すべく形成される。同様に、下部モールドキャビティ120bは内部に他の半導体チップ110Aを収容するように基板本体100の下部と接すべく形成される。また前記第1及び第2モールドキャビティ120a、120bは基板本体100に形成されたモールド注入用貫通孔122を通じて相互に連結されている。
前記上部モールド121aあるいは下部モールド121bには基板本体100に形成されたモールド注入用貫通孔122に連結されるモールド注入口123が形成されている。たとえば、前記モールド注入口123は基板本体100の下部に形成される。ここで、前記モールド注入用貫通孔122は封止樹脂を基板本体100の上下に流す通路の役割を行う。したがって、上部モールドキャビティ120a及び下部モールドキャビティ120bには封止樹脂が同時に充填される。すなわち、図8のC部分に示された矢印に示されるとおり、モールド注入通路は、第1端縁部に設けられたモールド注入口123からモールド注入用貫通孔122付近まで伸延され、さらに、このモールド注入用貫通孔122付近から上部モールドキャビティ120a及び下部モールドキャビティ120bへ伸延される。このようなモールド注入用貫通孔122を含むモールド注入通路を通じて封止樹脂が流れるので、封止樹脂はモールド注入用貫通孔122を通過して上部モールドキャビティに充填されると同時に、下部モールドキャビティ120a、120bにも充填される。
前記上部及び下部モールドキャビティ120a、120bに封止樹脂が充填された後、基板本体100はモールド装備のモールド121から取り出される。図7は、モールディング工程が完了された貫通孔を有する半導体モジュールの断面図である。本実施例によれば、前記第1及び第2半導体チップ110A、110Bのようなウェーハレベルパッケージは、基板本体100の上下両面で同時に封止樹脂によりモールディングされる。封止樹脂として、エポキシモールド樹脂(EMC:Epoxy Mold Compound)を用いることができる。
図7及び図8では、単に第1及び第2半導体チップ110A、110Bだけが図示されているが、図6の平面図から分かるように複数の半導体チップを基板本体の上下面(第1面および第2面)で各々同時にEMCによりモールディングすることができる。このために上部モールド121aには複数の上部モールドキャビティ120aが形成されており、下部モールド121bにも複数の下部モールドキャビティ120bが形成されている。ただし、本実施の形態と異なり、複数の半導体チップが収容可能な1つ以上の上部モールドキャビティ120a及び下部モールドキャビティ120bが形成されていてもよい。前記上部モールド121a及び下部モールド121bは、モールド注入用貫通孔122が連結された1つあるいはそれ以上のモールド注入通路を含む。したがって、それぞれがモールド注入用貫通孔122を含む複数のモールド注入通路を通じて封止樹脂を流して、相互に対応する複数の上部モールドキャビティ120aと下部モールドキャビティ121bとを同時にEMCによりモールディングすることができる。
図9は、本発明の他の実施例に係る印刷回路基板を説明するための概略的な平面図である。図6に示された実施例でモールド注入用貫通孔104の数は、素子搭載領域106の数と1:1に対応している。しかし、本発明はかかる方式にのみ限定されない。一例として、図9に示された例では、2つあるいはそれ以上の素子搭載領域106が一つのモールド注入用貫通孔104を共用するように構成されている。この場合、モールド注入用貫通孔104の数は、印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列された第1及び第2半導体チップの数より少ない。
図10は、本発明のさらに他の実施例に係る印刷回路基板の概略的な平面図である。本実施例では、基板本体101が、複数の素子搭載領域106とエッジ連結部108とを含むメイン領域140と、前記メイン領域140にさらに形成されたダミー領域130とに分割されている。そして、前記メイン領域140は基板本体101の第2端縁部B側に沿って形成されており、ダミー領域130は基板本体101の第1端縁部A側に沿って形成されている。
望ましくは、前記メイン領域140の基板本体に対する厚さ、長さ及び幅のような寸法はJEDECで定める国際規格の寸法と一致することが望ましい。前記ダミー領域130内にはモールド注入用貫通孔104が形成されている。本実施例でもモールド注入用貫通孔104と素子搭載領域106とは相互1:1に対応するようになっている。すなわち、モールド注入用貫通孔104の数が、印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列された第1及び第2半導体チップの数に対応している。
図11ないし図13は、本発明のさらに他の実施例によって印刷回路基板にウェーハレベルパッケージをモールディングする方法を説明するために示す概略的な断面図である。
まず、図11に示されるとおり、第1および第2のウェーハレベルパッケージ、例えば、外部連結端子が表面に配列された第1及び第2半導体チップ110は、それぞれ基板本体101の上下面に付着される。その後、前述した図7及び図8の方法によって基板本体101はEMC120によりモールディングされる。
図12を参照すれば、回転鋸歯で加工するか、プレス切断装備で加工することによって、基板本体101からダミー領域130が除去される。この際、ダミー領域130に含まれるモールド注入用貫通孔104も同時に除去される。前記ダミー領域130を除去した最終半導体モジュールの構造が図13に図示されている。
図11ないし図13に説明された実施例では、、モールド注入用貫通孔104が基板本体101に含まれていないように最終的な半導体モジュールを構成できるといった長所を有する。このようにダミー領域を形成して、モールド後にダミー領域の部分を除去することによれば、高密度で複雑な回路パターンとを有する基板本体101においてモールド注入用貫通孔を形成できる空間の確保が容易ではないといった問題点を克服することができる。
図14は、本発明のさらに他の実施例に係る印刷回路基板の概略的な平面図である。
図10の実施例ではモールド注入用貫通孔104と素子搭載領域106とが1:1に対応する。しかし、これを変形して、図14に示されたように、隣接する2個の素子搭載領域106が同時に1つのモールド注入用貫通孔104を共用するように構成することもできる。すなわち、1つのモールド注入用貫通孔104が2つ以上の複数の素子搭載領域106のために共用されている。この場合、モールド注入用貫通孔104の数が、印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列された第1及び第2半導体チップの数より少なくなる。
図15は、本発明のさらに他の実施例に係る印刷回路基板の概略的な平面図である。
図10に示された実施例では、モールド注入用貫通孔104が全てダミー領域130内にのみ位置した。しかし、本発明はかかる方式にのみ限定されず、種々に変形可能である。例えば、図15に示されたように、いくつかのモールド注入用貫通孔104はダミー領域130に形成し、残りのモールド注入用貫通孔104は、ダミー領域130の外側に形成するように構成してもよい。このような構造は、モールディング工程の品質を最適化させるための工程自由度性を提供するのに役に立つ構造である。この場合、前記印刷回路基板でメイン領域内の厚さ、長さ及び幅の寸法を、JEDEC規格と一致させてもよく、前記印刷回路基板でダミー領域の厚さ、長さ及び幅の寸法は、JEDEC規格と一致させてもよく、自由な設計が可能である。
本発明はその精神及び必須の特徴を離れることなく、他の構成で実施しうる。例えば、本発明ではモールド注入用貫通孔の形状が円形であるが、その形状は他の形状に変形されうる。
また、上述の説明では、印刷回路基板の両面(第1および第2面)の双方に、半導体チップが搭載される場合を説明したが、本発明はこの場合に限られない。ダミー領域あるいはメイン領域内にあるモールド注入用貫通孔を用いて印刷回路基板の片面にのみモールドキャビティを充填することもできる。この場合、たとえば、印刷回路基板の第1面、あるいは印刷回路基板のメイン領域内の第1面にのみ、半導体チップが搭載される。
また、上記の説明では、モールド注入口123を基板本体の下に形成したが、モールド注入口123を基板本体の上に形成してもよい。また、モールド注入口123を、基板本体の上下で各々形成し、同時に基板本体の上下面にあるモールドキャビティを充填しても良い。この場合も、ダミー領域130は分離され除去される。
本発明は前記実施例に限定されず、本発明が属する技術的思想内で当業者により多くの変形が可能であるということが明白である。
本発明は、半導体モジュール及び半導体チップパッケージの製造工程、特にモールディング工程に適用されうる。
100 基板本体、
120a、120b 上部及び下部モールドキャビティ、
121 モールド、
121a 上部モールド、
121b 下部モールド、
122 モールド注入用貫通孔、
123 モールド注入口。
120a、120b 上部及び下部モールドキャビティ、
121 モールド、
121a 上部モールド、
121b 下部モールド、
122 モールド注入用貫通孔、
123 モールド注入口。
Claims (61)
- 印刷回路基板の第1面に第1半導体チップを搭載する段階と、
前記印刷回路基板の第1面に対向する第2面に第2半導体チップを搭載する段階と、
前記第1半導体チップを収容可能な第1モールドキャビティが形成されるとともに、前記第2半導体チップを収容可能な第2モールドキャビティが形成されるモールド装備に、前記印刷回路基板を装填する段階と、
前記モールド装備で、前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔を含むモールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記第1及び第2モールドキャビティに同時に封止樹脂を充填する段階と、を備えることを特徴とする半導体モジュールの製造方法。 - 前記第1半導体チップと前記第2半導体チップとは、前記印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列されることを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記第1及び第2モールドキャビティに同時に封止樹脂を充填する段階の後に、前記モールド注入用貫通孔を含む前記印刷回路基板の一部を分離して除去する段階をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記モールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1端縁部から前記モールド注入用貫通孔へ伸延され、さらに、当該モールド注入用貫通孔から第1及び第2モールドキャビティへ伸延されることを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記印刷回路基板は、前記第1端縁部に対向する第2端縁部にエッジ連結部が形成されていることを特徴とする請求項4に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記封止樹脂は、エポキシモールドコンパウンドであることを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記第1及び第2半導体チップは、バンプが表面に配列された半導体チップであるウェーハレベルパッケージであることを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュールの製造方法。
- メイン領域とダミー領域とに区分された印刷回路基板のメイン領域内の第1面に第1半導体チップを搭載する段階と、
前記メイン領域内の第1面に対向する第2面に第2半導体チップを搭載する段階と、
前記第1半導体チップを収容可能な第1モールドキャビティが形成されるとともに、前記第2半導体チップを収容可能な第2モールドキャビティが形成され、前記メイン領域とダミー領域の境界を越えてモールド注入通路が形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する段階と、
前記モールド装備で前記モールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記第1及び第2モールドキャビティに封止樹脂を同時に充填する段階と、
前記印刷回路基板を前記モールド装備から取り出す段階と、
前記印刷回路基板のダミー領域を前記メイン領域から分離して除去する段階と、を備えることを特徴とする半導体モジュールの製造方法。 - 前記第1半導体チップと前記第2半導体チップとは、前記印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列されることを特徴とする請求項8に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記モールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1端縁部から前記印刷回路基板のメイン領域がある方向へ伸延されることを特徴とする請求項8に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記印刷回路基板は、前記第1端縁部に対向する第2端縁部にエッジ連結部が形成されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記第1及び第2半導体チップは、バンプが表面に配列された半導体チップであるウェーハレベルパッケージであることを特徴とする請求項8に記載の半導体モジュールの製造方法。
- メイン領域とダミー領域とに区分された印刷回路基板のメイン領域内の第1面に半導体チップを搭載する段階と、
前記印刷回路基板の半導体チップを収容可能なモールドキャビティが形成されるとともに、前記メイン領域とダミー領域との境界を越えてモールド注入通路が形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する段階と、
前記モールド装備で、前記モールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記印刷回路基板の第1面にあるモールドキャビティに封止樹脂を充填する段階と、
前記印刷回路基板を前記モールド装備から取り出す段階と、
前記印刷回路基板のダミー領域を前記メイン領域から分離して除去する段階と、を備えることを特徴とする半導体モジュールの製造方法。 - 前記モールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1端縁部から前記メイン領域がある方向へ伸延されることを特徴とする請求項13に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記印刷回路基板は、前記第1端縁部に対向する第2端縁部にエッジ連結部が形成されていることを特徴とする請求項14に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記半導体チップは、バンプが表面に配列された半導体チップであるウェーハレベルパッケージであることを特徴とする請求項13に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 複数の第1半導体チップを印刷回路基板の第1面に搭載する段階と、
複数の第2半導体チップを前記印刷回路基板の第1面に対向する第2面に搭載する段階と、
前記複数の第1半導体チップを収容可能な1つ以上の第1モールドキャビティが形成されるとともに、前記複数の第2半導体チップを収容可能な1つ以上の第2モールドキャビティが形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する段階と、
前記モールド装備で、前記1つ以上のモールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記第1及び第2モールドキャビティに同時に封止樹脂を充填する段階と、を備えることを特徴とする半導体モジュールの製造方法。 - 前記モールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔を含むことを特徴とする請求項17に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記印刷回路基板の第1面に搭載された複数の第1半導体チップと前記第2面に搭載された複数の第2半導体チップとは、前記印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列されることを特徴とする請求項17に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記1つ以上の第1モールドキャビティは、それぞれが1つずつの第1半導体チップを収容する複数の第1モールドキャビティを含み、
前記1つ以上の前記第2モールドキャビティは、それぞれ1つずつの第2半導体チップを収容する複数の第2モールドキャビティを含むことを特徴とする請求項17に記載の半導体モジュールの製造方法。 - 前記1つ以上のモールド注入通路は、前記複数の第1及び第2モールドキャビティに封止樹脂を流す複数のモールド注入通路を含むことを特徴とする請求項20に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記複数のモールド注入通路は、それぞれ前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔を含むことを特徴とする請求項21に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記複数のモールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1端縁部から前記モールド注入用貫通孔へ伸延され、さらに、当該モールド注入用貫通孔から前記第1及び第2モールドキャビティへ伸延されることを特徴とする請求項22に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記印刷回路基板は、前記第1端縁部に対向する第2端縁部にエッジ連結部が形成されていることを特徴とする請求項23に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記第1及び第2モールドキャビティに封止樹脂を同時に充填する段階の後に、
前記印刷回路基板を前記モールド装備から取り出す段階と、
前記複数のモールド注入用貫通孔を含む印刷回路基板の一部を前記複数の第1及び第2モールドキャビティが形成される印刷回路基板の部分から分離して除去する段階と、をさらに備えることを特徴とする請求項24に記載の半導体モジュールの製造方法。 - 前記第1及び第2半導体チップは、バンプが表面に配列されたウェーハレベルパッケージであることを特徴とする請求項17に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記モールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔を含み、前記モールド注入用貫通孔の数は印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列された第1及び第2半導体チップの数と1:1に対応することを特徴とする請求項19に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記モールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔を含み、前記モールド注入用貫通孔の数は前記印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列された第1及び第2半導体チップの数より少ないことを特徴とする請求項19に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記モールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通する複数のモールド注入用貫通孔を含み、前記複数のモールド注入用貫通孔の一部はダミー領域に形成され、前記複数のモールド注入用貫通孔の残りは第1及び第2半導体チップが搭載されたメイン領域に形成されることを特徴とする請求項17に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記印刷回路基板の厚さ、長さ及び幅の寸法は、JEDEC規格と一致することを特徴とする請求項17に記載の半導体モジュールの製造方法。
- メイン領域とダミー領域とに区分された印刷回路基板のメイン領域内の第1面に複数の第1半導体チップを搭載する段階と、
前記印刷回路基板のメイン領域内の前記第1面に対向する第2面に複数の第2半導体チップを搭載する段階と、
前記複数の第1半導体チップを収容可能な1つ以上の第1モールドキャビティが形成されるとともに、前記複数の第2半導体チップを収容可能な1つ以上の第2モールドキャビティが形成され、前記メイン領域とダミー領域との境界を越えて1つ以上のモールド注入通路が形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する段階と、
前記モールド装備で、前記1つ以上のモールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記第1及び第2モールドキャビティに封止樹脂を同時に充填する段階と、
前記印刷回路基板を前記モールド装備から取り出す段階と、
前記印刷回路基板のダミー領域を前記メイン領域から分離して除去する段階と、を備えることを特徴とする半導体モジュールの製造方法。 - 前記印刷回路基板の第1面に搭載された複数の第1半導体チップと前記第2面に搭載された複数の第2半導体チップとは、前記印刷基板の両面で互いに対称位置に配列されることを特徴とする請求項31に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記モールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1端縁部から前記印刷回路基板のメイン領域がある方向へ伸延されることを特徴とする請求項31に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記印刷回路基板は、前記第1端縁部に対向する第2端縁部にエッジ連結部が形成されていることを特徴とする請求項33に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記第1及び第2半導体チップは、バンプが表面に配列された半導体チップであるウェーハレベルパッケージであることを特徴とする請求項31に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記モールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔を含み、前記モールド注入用貫通孔の数は前記印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列された第1及び第2半導体チップの数と1:1に対応することを特徴とする請求項32に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記モールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔を含み、前記モールド注入用貫通孔の数は前記印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列された第1及び第2半導体チップの数より少ないことを特徴とする請求項32に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記モールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1面と第2面へ貫通する複数のモールド注入用貫通孔を含み、前記複数のモールド注入用貫通孔の一部はダミー領域に形成され、前記複数のモールド注入用貫通孔の残りは第1及び第2半導体チップが搭載されたメイン領域に形成されることを特徴とする請求項31に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記印刷回路基板の厚さ、長さ及び幅の寸法は、JEDEC規格と一致することを特徴とする請求項31に記載の半導体モジュールの製造方法。
- メイン領域とダミー領域とに区分された印刷回路基板のメイン領域内の第1面に複数の半導体チップを搭載する段階と、
前記複数の半導体チップを収容可能な1つ以上のモールドキャビティが形成されるとともに、前記メイン領域とダミー領域との境界を越えて1つ以上のモールド注入通路が形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する段階と、
前記モールド装備で1つ以上のモールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記1つ以上のモールドキャビティに封止樹脂を充填する段階と、
前記印刷回路基板を前記モールド装備から取り出す段階と、
前記印刷回路基板のダミー領域を前記メイン領域から分離して除去する段階と、を備えることを特徴とする半導体モジュールの製造方法。 - 前記1つ以上のモールド注入通路は、前記印刷回路基板の第1端縁部から前記メイン領域がある方向へ伸延される複数のモールド注入通路を含むことを特徴とする請求項40に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記印刷回路基板は、前記第1端縁部に対向する第2端縁部にエッジ連結部が形成されていることを特徴とする請求項41に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記複数の半導体チップは、バンプが表面に配列された半導体チップであるウェーハレベルパッケージであることを特徴とする請求項40に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 第1端縁部にエッジ連結部が形成されている印刷回路基板を準備する段階と、
前記印刷回路基板の第1面で前記第1端縁部と前記第1端縁部に対向する第2端縁部との間に、バンプが表面に配列された半導体チップである第1ウェーハレベルパッケージを複数個搭載する段階と、
前記印刷回路基板の第2面で前記第1端縁部と前記第1端縁部に対向する第2端縁部との間に、バンプが表面に配列された半導体チップである第2ウェーハレベルパッケージを複数個搭載する段階と、
前記複数の第1ウェーハレベルパッケージを収容可能な1つ以上の第1モールドキャビティが形成されるとともに、前記複数の第2ウェーハレベルパッケージを収容可能な1つ以上の第2モールドキャビティが形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する段階と、
前記モールド装備で、前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔を含む1つ以上のモールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記第1及び第2モールドキャビティに封止樹脂を同時に充填する段階と、を備えることを特徴とする半導体モジュールの製造方法。 - 前記1つ以上の第1モールドキャビティは、それぞれが1つずつの第1ウェーハレベルパッケージを収容する複数の第1モールドキャビティを含み、
前記第2モールドキャビティは、それぞれが1つずつの第2ウェーハレベルパッケージを収容する複数の第2モールドキャビティを含むことを特徴とする請求項44に記載の半導体モジュールの製造方法。 - 前記1つ以上のモールド注入通路は、印刷回路基板の第2端縁部と第1及び第2モールドキャビティとの間に伸延された複数のモールド注入通路よりなることを特徴とする請求項45に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記複数のモールド注入通路は、それぞれ前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通するモールド注入用貫通孔を含むことを特徴とする請求項46に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 第1面と前記第1面に対向する第2面とを有する印刷回路基板を準備する段階と、
前記印刷回路基板の第1面に半導体チップを搭載する段階と、
前記印刷回路基板の第1面に搭載された半導体チップを収容可能な第1モールドキャビティが形成されるモールド装備に前記印刷回路基板を装填する段階と、
前記印刷回路の第1面から第2面へ貫通した貫通孔であって前記印刷回路基板において半導体チップが搭載された部分の外側に位置するモールド注入用貫通孔を含むモールド注入通路を通じて封止樹脂を流して前記第1キャビティに封止樹脂を充填する段階と、を備えることを特徴とする半導体モジュールの製造方法。 - 前記半導体チップは、バンプが表面に配列された半導体チップであるウェーハレベルパッケージであることを特徴とする請求項48に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記第1モールドキャビティに封止樹脂を充填する段階の後に、
前記モールド注入用貫通孔が形成されたダミー領域を分離して除去する段階と、をさらに備えることを特徴とする請求項48に記載の半導体モジュールの製造方法。 - 第1面と当該第1面と上下方向に対向する第2面とを有し、第1端縁部と当該第1端縁部と左右方向に対向した第2端縁部とが有する基板本体と、
前記基板本体の第1端縁部に形成されたエッジ連結部と、
前記基板本体の第1面で第1端縁部と第2端縁部との間に形成され、半導体素子が搭載される第1素子搭載領域と、
前記基板本体の第2面で第1端縁部と第2端縁部との間に形成され、半導体素子が搭載される第2素子搭載領域と、
前記印刷回路基板で第1及び第2素子搭載領域と第2端縁部との間に形成されて、前記印刷回路基板の第1面から第2面へ貫通したモールド注入用貫通孔と、を備えることを特徴とする印刷回路基板。 - 前記モールド注入用貫通孔の数は、前記印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列された第1及び第2素子搭載領域の数と1:1に対応することを特徴とする請求項51に記載の印刷回路基板。
- 前記モールド注入用貫通孔の数は、前記印刷回路基板の両面で互いに対称位置に配列された第1及び第2素子搭載領域の数より少ないことを特徴とする請求項51に記載の印刷回路基板。
- 前記半導体素子が搭載される第1及び第2素子搭載領域はメイン領域に位置し、前記モールド注入用貫通孔はダミー領域に位置することを特徴とする請求項51に記載の印刷回路基板。
- 前記半導体素子が搭載される第1及び第2素子搭載領域はメイン領域に位置し、
前記モールド注入用貫通孔の一部はメイン領域に位置し、前記モールド注入用貫通孔の残りはダミー領域に位置することを特徴とする請求項51に記載の印刷回路基板。 - 前記印刷回路基板の厚さ、長さ及び幅の寸法は、JEDEC規格と一致することを特徴とする請求項51に記載の印刷回路基板。
- 前記印刷回路基板でメイン領域内の厚さ、長さ及び幅の寸法は、JEDEC規格と一致することを特徴とする請求項54に記載の印刷回路基板。
- 前記印刷回路基板で前記ダミー領域の厚さ、長さ及び幅の寸法は、JEDEC規格と一致することを特徴とする請求項55に記載の印刷回路基板。
- 前記半導体素子は、バンプが表面に配列された半導体チップであるウェーハレベルパッケージであることを特徴とする請求項51に記載の印刷回路基板。
- 前記半導体素子は、バンプが表面に配列された半導体チップであるウェーハレベルパッケージであることを特徴とする請求項54に記載の印刷回路基板。
- 前記半導体素子は、バンプが表面に配列された半導体チップであるウェーハレベルパッケージであることを特徴とする請求項55に記載の印刷回路基板。
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