JP2005116155A - 熱支援された磁気および光データ記憶のための近視野光トランスジューサ - Google Patents

熱支援された磁気および光データ記憶のための近視野光トランスジューサ Download PDF

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Abstract

【課題】スポットサイズを小さくし、スループット効率を大きくすることができるトランスジューサを提供する。
【解決手段】光トランスジューサは、焦点領域に電磁波を向けるための手段と、前記電磁波の電界に実質的に平行な長手方向軸線を有し、前記電磁波を向けるための手段の外側に位置する金属ナノ構造体とを備え、前記電磁波が金属ナノ構造体上で表面プラズモンを発生する。
【選択図】図2

Description

本発明は光トランスジューサに関し、より詳細には、光記録および熱支援された磁気記録で使用される光トランスジューサに関する。
熱で支援された光/磁気データ記憶装置では高温で記憶媒体の層上に情報ビットが記録され、記憶媒体内の加熱された面積がデータビットの大きさを決定する。1つの解決方法では、記憶媒体を加熱するのに光の形態をした電磁波を使用する。高い面積データ密度を達成するには、回折限界より小さい光スポットウェルへの光スループットを大きくし、媒体の記憶層を加熱することが好ましい。光を小さいスポットに狭めている従来システムもあるが、適当な量の光パワーを記憶媒体に送ることはできない。
熱支援磁気記録(HAMR)とは、一般に熱源によって記録媒体が一時的に磁気軟化している間に、印加された書き込み磁界が記録媒体の磁化の向きをより容易に定めることができるように、記録媒体の保磁力を小さくするように記録媒体を局部的に加熱する概念を意味する。熱で支援された磁気記録によって十分な熱安定性を保証するよう室温での磁気的異方性が大きく、小さい結晶粒媒体を使用することが可能になる。この小さい結晶粒媒体は大きい面積密度で記録するのに好ましい。熱で支援された磁気記録は傾斜媒体、長手方向媒体、垂直媒体およびパターン型媒体を含む任意のタイプの磁気記憶媒体に適用できる。
熱支援磁気記録は、例えば50nm以下のスポットに絞られた記録媒体に大きな量の光パワーを送るための効率的な技術を必要とする。このスポットのサイズを決定する要素として面積密度およびビットアスペクト比が挙げられる。これまでの研究に基づくと、1 Tb/inは25nmのスポットを必要とする。これまで種々のトランスジューサ構造が提案され、一部は実験的にテストされている。これらトランスジューサとして、金属コーティングされたグラスファイバーおよび金属壁を有する中空ピラミッド構造体が挙げられる。これらすべての解決案において、光の絞り込みは構造の端部に製造される口径によって決まり、これによって、この種のトランスジューサには「口径プローブ」なる名称が与えられている。一般にこれらデバイスは光透過率が極めて小さいのでデバイスをHAMR記録に使用できないという問題を有している。例えばテーパの付いた金属コーティングされた光ファイバーは10−6のスループット効率で約50nmまでの光の絞り込みを示した。同様なスポットサイズに対し、10−4のスループット効率を有する、Siウェーハを異方的エッチングすることによって製造されたピラミッドプローブが設計されている。このような値が現在の技術状態となっているにもかかわらず、HAMRのためには2オーダ(orders)分小さすぎる。
テーパ角を変え、中空構造体に高屈折率材料を充填し、これら先端状の構造体の一体化されたエッジまたはコーナーに表面プラズモン(SP)を入射させることによって、これらトランスジューサに対するスループットの効率の改善をこれまで達成している。このようにすることによって、スループットをある程度大きくできるが、最も期待できるSP解決方法でも効率的なSP入射技術がないことに起因して極めて非効率となっている。更にすべての開口プローブは、スポットサイズの下限が開口を形成するのに使用された金属膜のスキン深度の倍であるという問題を有する。可視光に対するスキン深度が最も浅い金属であるアルミニウムでも、この下限は約20nmのスポットサイズに対応する。
近視野光エネルギーを小さいスポットに集中させるのに、固体浸漬レンズ(SIL)および固体浸漬ミラー(SIM)も提案されている。光強度は焦点で極めて強いが、スポットサイズはまだ回折限界によって決定され、この回折限界はSILまたはSIMを構成する材料の屈折率によって決まる。現在既知のすべての透明材料によって達成できる最も小さいスポットサイズは約60nmであり、この値はHAMRにとって大きすぎる。
光エネルギーを任意の狭い面積寸法に集中させるのに金属ピンが使用される。焦点に設けられた比較的長い円筒形金属ピンを使用するこれまで提案された構造では、ピンに沿って伝搬する表面プラズモンモードをピンがサポートしており表面プラズモンモードによって発生される外部電界の幅は、ピンの径に比例する。
よって、スポットサイズを小さくし、スループット効率を大きくすることができるトランスジューサが求められている。
光トランスジューサは、
焦点領域に電磁波を向けるための手段と、
前記電磁波の電界に実質的に平行な長手方向軸線を有し、前記電磁波を向けるための手段の外側に位置する金属ナノ構造体とを備え、前記電磁波が金属ナノ構造体上に表面プラズモンを発生するようになっている。
本発明は、第1屈折率を有し、焦点領域に電磁波を向けるための手段と、焦点領域に位置する金属ナノ構造体と、第2屈折率を有し、前記金属ナノ構造体の表面に隣接するクラッド材料とを備えた光トランスジューサも含む。
本発明には、トランスジューサを含む磁気−光記録ヘッドおよび磁気−光記録ヘッドを含むディスクドライブも含まれる。
本発明は磁気および/または光記録媒体と共に使用するための磁気および光記録ヘッドだけでなく、かかるデバイスを含む磁気および/または光記録ヘッドおよび記録ヘッドを含むディスクドライブで使用できるトランスジューサにも関する。図1は本発明に従って構成された記録ヘッドを利用できるディスクドライブ10を示す図である。このディスクドライブは(上部部分が除かれ、下部部分を図中で見ることができる状態に示された)ハウジング12を含み、このハウジング12はディスクドライブの種々の部品を収納するようなサイズおよび構造となっている。ディスクドライブはハウジング内で少なくとも1つのデータ記憶媒体16(この場合、磁気ディスク)を回転させるためのスピンドルモータ14を含む。ハウジング12内には少なくとも1つのアーム18が収納されており、各アーム18は記録および/または読み出しヘッド、すなわちスライダー22を備えた第1端部20およびベアリング26によってシャフトに枢着された第2端部24を有する。ディスク16の所望するセクターにわたってヘッド22を位置決めするようにアーム18を枢動させるためのアクチュエータモータ28がアームの第2端部24に設けられている。このアクチュエータモータ28は、図には示されていないが、当業者に周知のコントローラによって制御されている。
熱で支援された磁気記録を行うには、例えば可視光、赤外線光または紫外線光の電磁波をデータ記憶媒体の表面に向け、記憶媒体の局部的領域の温度を上昇させ、この面積の磁化のスイッチングを容易にする。電磁波の照射を受ける記憶媒体上のスポットのサイズを小さくするのに使用するための周知の固体浸漬レンズ(SIL)がこれまで提案されている。更に熱支援磁気記録ヘッドで使用するための固体浸漬ミラー(SIM)がこれまで文献に記載され、提案されている。これらSIMおよびSILは三次元でもよいし、または二次元でもよい。電磁波を集中させるのに、モード屈折レンズおよびミラーのような合焦手段を含むプレーナー状(平面状)光波ガイドを使用することもできる。これら構造体のいずれも電磁波を焦点領域に集中させるための手段として働くことができる。電磁波を記録媒体の表面にガイドするために、焦点領域の近くに金属ピンのようなナノ構造体を設けてもよい。本発明は電磁波と金属ピンのようなナノ構造体とを結合するための効率的な手段を提供するものである。
図2は本発明に従って製造されたトランスジューサ30の略図である。矢印34および36で示される光の径方向に偏光したビームをレーザー32のような電磁放射線のソースが発生し、光ビームは対物レンズ38へ送られる。この光を固体半球レンズ40が受け、光を焦点領域42に集光する。焦点領域の近くにはピンとも称される細長い金属製のナノワイヤー状をしたナノ構造体44が設けられているレンズ口径にわたって単位パワーを有する光が対物レンズによって半球の中心に合焦され、金属ピンを照明する。トランスジューサの下方には磁気記憶媒体46が配置されている。この記憶媒体46はコバルト合金の厚み12nmの層またはコバルトおよび/または鉄のマルチ層とすることができる記憶層48と、厚み100nmの金の層とすることができるヒートシンク層50と、基板52と、を含む。トランスジューサの一端は、例えば10nmの空気ギャップにより記憶媒体の表面から離間できる。一例では、対物レンズの開口数は0.85であり、固体半円体の屈折率は2.09である。ナノ構造体の端部はギャップ56によって固体半円形レンズ40から離間されている。ギャップ56の距離は50nm未満とするべきである。レンズ内の磁界はレンズの底部表面にわたってナノ構造体内にエバネッセント結合されている。本明細書における計算データに対し、計算を簡略にするためにコバルトの光学的性質を使用した。
図2においてX、Y、Zは右側デカルト座標系の3つの軸線である。座標系(x,y,z)の原点=(0,0,0)は固体半球体の底部表面の中心であり、この中心は焦点でもある。
ナノ構造体が金のピンまたは銀のピンを含むトランスジューサの作動についてシミュレーションを行った。シミュレーションに使用した金のピンはx軸に沿って48nm幅であり、z軸に沿って48nm幅である。記憶層に最も近い端部は平らでもよいし、または尖っていてもよい。図3aは長手方向軸線60を有するピン44、および長手方向軸線に垂直な平面における正方形の横断面形状を示す。図3bは長手方向軸線64を有するピン62、長手方向軸線に垂直な平面における正方形の横断面形状、およびテーパの付いた端部66を示す。シミュレーションではピンを照明するのに使用される光は833nmの波長を有し、金のピンに対する複素屈折率は0.188+j5.89であり、コバルトに類似する記憶媒体に対する複素屈折率は2.53+j4.88である。
図4はピン長さの関数としての位置(x,z)=(0,0)およびピンの端部より7.5nm下方における光のベクトルE界のy成分の計算された大きさ(|E|)とピンの長さとの関係を示す。図4において、ライン68は平らな端部ピンの場合のデータを示し、点70は尖った端部のピンの場合のデータを示す。図4に示された|E|の大きさは光の波長が乗算されている。この|E|の大きさはピンの長さと共に変化することが明らかである。所定のピン長さで、金のピンは共振状態になり、|E|は最大となる。ピンおよび記憶媒体がない場合の焦点平面の中心におけるE界と比較し、|E|は平らな端部ピンの場合、12倍大きくなり、尖った端部ピンの場合、20倍大きくなる。
ピンの7.5nm下方の距離における横断面のE界の分布は、平らな端部を有する金のピン48nm×48nm×100nm長に対して計算され、尖った端部を有する金のピン48nm×48nm×374nm長に対して計算されたものである。平らな端部ピンの場合、光は最大値の半分での全幅(FWHM)=58nmのスポットに絞り込まれ、尖ったピンの場合、FWHMスポットサイズは23nmである。XY平面におけるピンの先端近くにおけるE界は強くされ、絞り込まれる。ピンの端部(y=−384nm)におけるピークの電界強度はピンがない場合よりも900倍までと大きい。
図5は次の式で示される計算されたE界強度を示す。E(=|E+|E+|Ez)図6はy方向における計算された電界、すなわち|Eを示す。実線80および82は金のピンの2.5nm下方で求められた、金のピンを用いた場合の電界強度を示し、点線84および86は金属ピンおよび記憶媒体がないときの焦点平面における電界を示す。金のピンの寸法は48nm×48nm×374nmであった。
熱で支援された磁気/光データ記憶装置では、書き込み可能にするには記憶媒体の温度を十分上昇させるように記憶媒体に妥当な量の光パワーを送らなければならない。この目的のために、記憶媒体の表面における温度上昇を推定した。このシミュレーションでは記憶媒体は一様で、かつ連続的であり、基板は平らであると仮定した。ピンの端部と媒体の表面との間には10nmの空気ギャップがあった。固体半球体、金のピン、12nmの記憶層、100nmの金のヒートシンク層および基板を含む、関係するすべての材料の光学的性質(屈折率)および熱係数(比熱Cおよび熱伝導率K)が温度に依存することも仮定した。熱計算において金のピンから記憶媒体への熱の流れは考慮しなかった。すべての材料に対し、比熱をC=2ジュール/cm/℃と仮定した。記憶層に対しては熱伝導率KをK=0.1ワット/cm/℃(この値はバルク値の約10分の1である)と仮定し、金のヒートシンク層に対してはK=3ワット/cm/℃と仮定し、基板に対してはK=0.1ワット/cm/℃と仮定した。
2ns照射時間の間の、レーザーが照射された記憶層の表面における温度のピーク上昇量(ΔT)を計算した。トランスジューサに入力された光パワーは10mWであった。電界において観察されたものと同じように、温度上昇ΔTもピン長さと共に変化した。共振状態ではΔT=40℃であった。
図7はライン90が示す平らな端部ピンの場合、および点線92が示す尖った端部ピンの場合の、金のピンの長さの関数としての2nsの照射時間中に出力される10mWのレーザーの照射を受けた記憶層の表面で計算された温度ピーク上昇量を示す。この計算では、記憶層は一様かつ連続的であり、基板は平らであると仮定した。
先端の尖った374nm長さの金のピンに対しても、コバルト膜の表面の2.5nm下方における電界分布も計算した。図6に示された記憶層の2.5nm上方における電界の分布と比較し、EおよびEはより広くなったが、Eは絞り込まれたままであった。大きさの点に関し、膜内のEおよびEは記憶層より上方の空気ギャップ内の大きさの約10分の1であり、Eは空気ギャップ内の大きさの約14分の1にすぎなかった。記憶層より上方の電界は膜の表面にほとんど垂直であるので、光は記憶層に十分には結合しない。x成分およびz成分と同じように効率的に電界のy成分を記録媒体内に結合できれば、約(40/10)×43℃=688℃の温度上昇(ΔT)を期待できることになる。
電界を記憶層内に十分に結合させる方法の1つは、前に検討したような連続的な媒体の代わりに、図8および9に示されるようなパターンの媒体100を使用することである。記憶層102は、誘電材料106、例えば自由スペースによって離間された粒状アイランド104から成る。各粒状アイランドはXZ平面において所定のサイズ(axa)を有する。粒状アイランドの間の離間距離は距離bである。記憶層はヒートシンク108上に位置し、ヒートシンクは基板110の上に位置する。
粒界のうちの1つの上方にトランスジューサが位置するときの、粒状アイランドのサイズa=12nmおよび空気離間距離b=24nmの場合における記憶層の表面の2.5nm下方の距離における電界の分布を計算した。この熱計算では粒状アイランドの間の空気の低い熱拡散を含んでおらず、むしろ粒状アイランドの間の空気はコバルト記憶層と同じ熱係数を有していると仮定した。図8および9のパターン型された媒体を使用することにより、記憶層の温度はピンの下方の粒状アイランドに限定され、ピーク温度上昇は650℃と計算され、この値は前の簡単な推定値688℃と一致する。
x軸線に沿って25nm幅を有し、z軸線に沿って25nm幅を有する銀のピンの場合のトランスジューサの性能についてもシミュレートを行った。ピンの両端は平らであり、光の波長はλ=826.6nmであり、複素屈折率は銀のピンの場合、n=0.145+j5.5であった。
図10はピンの長さの関数としての(x,z)=(0,0)およびピンの端部の7.5nm下方における計算された|E|を示す。この|E|の大きさはピンの長さと共に変化することが明らかである。96nmおよび300nmのピン長さで、銀のピンは共振状態に達し、|E|の大きさは最大となる。300nmのピン長さを用いた場合の電界強度はピンのサイズが異なることに起因し、金のピンの場合と異なり、96nmのピン長さを用いた場合よりも微弱である。ピンおよび記憶媒体がない場合の焦点平面における電界と比較し、電界は16倍大きくなる。
図11および12は、次の計算された電界強度の増加する大きさを示す。E(=|E+|E+|Ez)、|E|図11および12において、実線112および114は銀のピンおよび記憶媒体を用いた場合の電界強度を示す。この強度は銀のピンの2.5nm下方で求められたものであり、一方、点線116および118は金属のピンまたは記憶媒体がない場合の焦点平面における電界を示す。銀のピンは25nm×25nm×96nmの寸法を有し、両端が平らであると仮定した。ピンを用いた場合の電界強度はピンを用いなかった場合よりも330倍までと大きく、ピンの中心では電界強度は最大とならない。
図13は銀のピンの長さの関数として2nsの間レーザーを照射したときの連続記憶層の表面における計算されたピーク温度上昇量(ΔT)を示す。トランスジューサに入力される光パワーは10mWである。計算において、記憶層は一様かつ連続的であり、基板は平らであると仮定した。
ベクトルの電界のy成分は連続的な記憶層とは効率的に結合していない。x成分およびz成分と同じように効率的に電界のy成分が記憶層と結合できれば、600℃の温度上昇ΔTを期待できる。パターン型された媒体では、電界のy成分に対する結合の効率はxおよびz成分の効率により近くなる。
図14、15および16は本発明の他の実現例にかかわるトランスジューサの略図である。図14では、三次元の回転放物ミラー132により光の径方向に偏光したビームは細長い金属ピン134上に合焦される。ピン134は焦点平面の中心に位置し、放物ミラーの下方に延びている。
図15では、屈折率のより小さい媒体142内に埋め込まれた回転楕円/放物体140を使用し、光の径方向に偏光したビームは細長い金属ピン138上に合焦される。図16は固体浸漬ミラー(SIM)146の端部に位置するピン144を示す。
図17、18および19は本発明の別の実現例に係わるトランスジューサの略図である。図17は、トランスジューサ150の断面図であり、図18は図17のトランスジューサの側面図である。図17および18において、トランスジューサ150は二次元の光波ガイドSIM152および金属ピン154を含む。2つのグレーティング156および158を有する薄膜プレーナー状光波ガイドの横方向電界(TE)モードに光が結合されており、2つのグレーティングは光波ガイドに結合された光ビーム間でπの位相差を生じるようにシフトされている。光波ガイドコア層160は周辺の媒体162の屈折率およびクラッド層164の屈折率よりも大きい屈折率を有する。光波ガイドに結合された光は金属ピン154を露光するように集光される。π位相シフトによって焦点において2つのビームが再び組合わさり、ピンの長手方向軸線に平行な電界を生じさせるよう、分割された直線状の偏光を生じさせる。図19は光波ガイド154がピン174に近い異なる厚みを有するトランスジューサ170の別の例の側面図である。
図20、21および22は本発明のトランスジューサで使用できるマイクロレンズ構造体の等角図である。図20において、トランスジューサ180は二次元光波ガイド182と、ジオデジック(geodesic)レンズ184と、金属ピン186とを備える。図21では、トランスジューサ188は二次元光波ガイド190と、モード屈折率レンズ192と、金属ピン194とを備える。図20では、トランスジューサ196は二次元光波ガイド198と、屈折レンズ200と、金属ピン202とを備える。これらトランスジューサの各々では、光はマイクロレンズにより細長い金属ピンを露光するように集光される。ピンの軸線に沿って電界の向きが定められる焦点での偏光を保証するために、相対的にπの位相シフトで光波ガイドに二重光ビームを発射する二重グレーティングまたはその他の手段を使用できる。
上記例のいずれにおいても、合焦/集光手段の外側にピンが位置している。これまで提案された「内側ピン」トランスジューサと比較して、本発明が優れていることを示すために、図23、24および25には3つの例が示されている。図23、24および25の例の各々は対物レンズ210、212および214、ならびに固体半球体またはキャップ216、218および220を含む。焦点の近くにおいて、図23の半球体の内部に銀のピン222が配置されている。図24ではキャップの外側に銀のピン224が位置している。図25では半球体の外部に銀のピン226が位置している。
図26は図23、24および25のトランスジューサの場合の計算されたEとピンの長さとの関係を示す。各トランスジューサにおいて、対物レンズにより固体半球体/キャップの底部平面に光の径方向に偏光したビームが合焦される。合焦レンズは0.85の開口数を有し、半球体/キャップは2.09の屈折率を有する。波長は830nmである。電界はピンの7.5nm下方で求められる。表示されているEの大きさに光の波長が乗算されている。図24ではキャップは切頭固体浸漬レンズである。このレンズの幅は半球体の径よりも小さい。この結果、合焦スポット内では球面収差が生じる。ピンから10nm離れた距離に記憶媒体228が位置している。この記憶媒体は12nmのコバルト記憶層230と、100nmの金のヒートシンク層232と、基板234とを含む。
図24および25を「外側ピン」トランスジューサと称す。これら例における銀のピンは2nm×25nmの横断面を有する。比較のため、ピンの長さは各構成において電界強度を最大にするように最適にされている。
図24はピンの長さを関数とする計算された結果を示す。曲線240は図23の「内側ピン」構造に対応し、一方、曲線242および244は図24および25の「外側ピン」構造に対応する。3つの事例研究では、電界はピンの長さと共に変化することが判る。その違いとしては、「内側ピン」構造ではピン長さに対する電界の依存性が弱いが、一方、「外側ピン」構造では依存性が顕著であることである。電界強度は半球体内にあるピンでは35nmのピン長さで最大となり、キャップの外部にあるピンでは72nmのピン長さで最大となり、半球体の外部にあるピンでは80〜100nmのピン長さで最大となる。ピンがSILの外側に置かれているとき、より長いピンで共振に達する。最適なピン長さではSIL外にあるピンを用いた場合の|E|電界強度はSIL内のピンを用いた場合よりも16倍まで大きくなる。銀のピンの共振ピン長さをより長くし、アスペクト比をより大きくすると、ピンの端部の近くでの電界強度がより大きくなる。
図27および28はシミュレーション計算のために使用した種々のトランスジューサ構造を示す。図29は、図27および28のトランスジューサで使用されるピンを示す。光の径方向に偏光したビームは固体半球体254、256の底部平面に合焦される。合焦レンズ250、252は0.85の開口数を有し、半球体254、256は2.09の屈折率を有し、波長は830nmである。焦点の近くにおいて、図27では半球体の内部に金のピン258、260が置かれ、図28では半球体の外部に置かれている。ピンから10nm離間した距離に記憶媒体260、262が位置しており、金のピン258、260は記憶媒体の近くの端部にて尖った先端を有する48nm×48nmの横断面を有する。比較のため、各構造において電界強度を最大にするようにピンの長さを変える。
図30は半球体内のピンおよび半球体外のピンの場合の電界のy成分の大きさと金のピンの長さとの関係を示すグラフである。電界はピンの7.5nm下方で求められる。表示されているEの大きさに波長が乗算されている。
図30はピンの長さの関数としての計算した結果をプロットしたものである。曲線270は図27の「内側ピン」構造に対応し、一方、曲線272は図28の「外側ピン」構造に対応している。半球体の外側にピンがある場合、電界はピンの長さと共に大きく変化する。この電界は半球体の内側にピンがある場合、70nmのピン長さにてピークに達し、半球体外にピンがある場合、134nmのピン長さでピークに達する。最適なピン長さにある場合、外側ピンの場合の電界強度は内側ピン構造の場合よりも3倍までと大きい。外側ピン構造の場合の共振時のピンの大きいアスペクト比によって、ピンの端部の近くでの電界強度がより大きくなる。
図31a、31b、32aおよび32bはSIL内部にピンがある場合、およびSIL外部にピンがある場合のトランスジューサの構造を示す。図24、25および26と同様に、光の径方向に偏光したビームが対物レンズ280、282によって固体半球体284、286の底部平面に合焦される。合焦レンズ280、282は0.85の開口数を有し、半球体は2.09の屈折率を有し、波長は830nmである。焦点の近くにて図31aでは半球体の内部に金のピン288、290が配置され、図32aでは半球体の外部にピンが置かれている。ピンの10nm下方に記憶媒体292、294が位置し、図31bにしめされているような半球体内部の金のピン282は倒立ピラミッド状であるが、半球体の外部にある図32bのピン290は先端の尖った細長い立方体となっている。
別の特徴では、本発明は光トランスジューサの透過効率を改善するために、追加プラズモン補強ピンスタック構造を含む。これらトランスジューサでは透過効率を高めるために周辺の材料の屈折率と異なる屈折率を有する材料の層が使用されている。
光トランスジューサの透過効率を高めるために、入射電磁波の表面プラズモンモードへの結合を使用できる。ピン構造と共に径方向の偏光を配置することによって金属ピン全体にわたり、表面プラズモンモードが励起される。以下、金属ピン構造体にわたって表面プラズモンを強化するいくつかの構造について説明する。これら構造を利用することによって、FWHMを大きくすることなく、透過効率を大きく改善できる。
図33は、金属ピン302と、このピンの両側に位置する高屈折率誘電材料の層304および306とを備えたトランスジューサ300の一部の略図である。ピンには互いに180度位相のずれた電磁波308および310が向けられ、ピンの表面に表面プラズモンモードを生じさせる。これによってピンの端部312において電界が集中され、データ記憶媒体314が加熱される。データ記憶媒体は磁気記録層316と、ヒートシンク層318と、基板320とを含む。この例では、ピン302と層304および306とが空気中に位置し、これら層304および306の屈折率のほうが空気の屈折率よりも大きくなっている。この構造をLHM(低屈折率誘電体−高屈折率誘電体−金属ピン)構造と称す。
図34は、金属ピン332と、このピンの両側に位置する低屈折率誘電材料の層334および336とを備えたトランスジューサ330の一部の略図である。ピンには互いに180度位相のずれた電磁波338および340が向けられ、ピンの表面に表面プラズモンモードを生じさせる。これによってピンの端部342において電界が集中され、データ記憶媒体344が加熱される。データ記憶媒体は磁気記録層346と、ヒートシンク層348と、基板350とを含む。この例では、ピン332と層334および336とが高誘電率材料の光波ガイド352内に位置し、これら層334および336の屈折率のほうが光波ガイド352の屈折率よりも小さくなっている。この構造をHLM(高屈折率誘電体−低屈折率誘電体−金属ピン)構造と称す。
図35は図33および34の構造体のための記憶媒体の頂部表面上の消散パワー密度のグラフである。ライン366はクラッド材料のない高屈折率光波ガイドが埋め込まれたピンに対する媒体の表面における消散パワーを示し、ライン364はレンズ系の焦点に設置されたピンに対する媒体の表面における消散パワーを示す。ライン360はHLM構造のための媒体の表面における消散パワーを示し、ライン362はLHM構造のための媒体の表面内の消散パワーを示す。図35内のデータは、図33および34の構造が透過効率を改善することを示唆している。
図33および34のピンおよび周辺構造体は円筒形ピンとなっている。プレーナー状構造では長方形のピンがより適当である。この場合、周辺の誘電体を長方形のプリズム体またはプレーナー状の表面のいずれかとすることができる。後者の構造は熱支援された磁気記録システム内に磁気記録ポール(poles)を収納できる。
別の例では、より複雑なマルチ層構造体、例えば図36の構造体を使用できる。図36では、低または高屈折率材料372内にマルチ層構造体370を埋め込むことができる。このマルチ層構造体を2つの方向から見ることができる。円筒形の対称的光学系、例えばSILで使用されている場合、これら層を半同心状の円筒形の層とすることができる。これとは異なり、これら層を光学特性の異なるプレーナー状表面とすることもできる。マルチ層構造体370は図36に示されるようにピン374と、ピンの両側に位置するいくつかの層376、378、380および382を含む。矢印384および386が示すように、直線状に偏光または径方向に偏光した光がマルチ層構造体を露光するように向けられ、ピン上に表面プラズモンを形成する。記憶媒体390にはトランスジューサの空気ベアリング表面388が位置する。記憶媒体はコバルト記録層392と、ヒートシンク層394と、基板396とを含む。トランスジューサの空気ベアリング表面はギャップ398によって記憶媒体から離間している。
最適性能が得られるようにピンおよび誘電材料の幅および長さを調節することができる。更に誘電材料の電気的性質を最適にすることがきる。また、表面プラズモンの励起を高めるようにピンに使用されている金属を選択することができる。
図33および34では、金属ピンの側面しかカバーされていない。しかしながら、別の例では図37に示されるように、誘電材料内にピンを埋め込むことができる。図37のトランスジューサは金属ピン402と、このピンの両側に位置する低屈折率誘電材料の層404および406を含む。ピンの端部には誘電材料の別の層408が位置する。ピンには互いに180度位相のずれた電磁波410および412が向けられ、ピンの表面に表面プラズモンモードを生じさせる。これによってピンの端部414において電界が集中され、データ記憶媒体416が加熱される。データ記憶媒体は磁気記録層418と、ヒートシンク層420と、基板422とを含む。この例では、ピン402と層404、406および308とが高屈折率を有する誘電材料の光波ガイド424内に位置し、これら層404、406および308の屈折率のほうが光波ガイド424の屈折率よりも小さくなっている。
図38は円錐形ピン構造体を含むトランスジューサ430を示す。図38のトランスジューサでは、円錐形ピン432が低屈折率を有する誘電クラッド材料434によって囲まれている。このピン構造体は高屈折率誘電材料436内に埋め込まれており、ピン構造体の側面に矢印438および440が示す径方向に偏光した光が向けられ、ピンの表面でプラズモンを励起するようになっている。記憶媒体444にはピンの端部442が隣接し、この端部はギャップ446によって記憶媒体から離間している。
図39および40は、プレーナー状の三角形ピン構造体を含むトランスジューサ450の正面図および側面図である。図39および40のトランスジューサでは、低屈折率を有する誘電クラッド層454と456の間、474と476との間にプレーナー状三角形ピン452が位置している。このピン構造体は高屈折率誘電材料458内に埋め込まれており、ピン構造体の側面に矢印460、462、464および466で示された、径方向に偏光した光が向けられ、ピンの表面にてプラズモンを励起するようになっている。記憶媒体470にはピンの端部468が隣接し、ギャップ472によって記憶媒体から離間している。
図41は楕円形ピン構造体を含むトランスジューサ480を示す。図41のトランスジューサでは楕円ピン482が低屈折率を有する誘電クラッド材料484によって囲まれている。このピン構造体は高屈折率誘電材料486内に埋め込まれており、ピン構造体の側面に矢印488および490で示された、径方向に偏光した光が向けられ、ピンの表面にてプラズモンを励起するようになっている。記憶媒体494にはピンの端部492が隣接し、ギャップ496によって記憶媒体から離間している。
図42は固体浸漬レンズ504に埋め込まれた金属ピン502を有するトランスジューサ500の略図である。ピンを低屈折率誘電クラッド506が囲んでいる。固体浸漬レンズは径方向に偏光した光をピンに向けるための手段として働く。
図38、39、40および41の例は径方向の偏光を使用していたが、これらトランスジューサは他の偏光を同じように使用できるように補強できる。更に、透過率を高めるために作動周波数を最適にできる。
図43はプレーナー状光波ガイド514に埋め込まれた金属ピン512を有するトランスジューサ510の略図である。ピンを低屈折率誘電クラッド516が囲んでいる。グレーティング518および520は光を光波ガイドに結合するように働く。これらグレーティングは光波ガイド内に分割された直線状に偏光された光を発生するようにオフセットしている。プレーナー状光波ガイドレンズは、分割された直線状に偏光された光をピンに向けるための手段として働く。
光トランスジューサの近くに磁気記録ポールを収納するためには、所定の応用例、例えば熱で支援された磁気記録のために長方形のプリズム状ピン構造体を使用することが好ましい。かかる構造では磁気記録ポールの近くでの光トランスジューサの性能を改善するために誘電体を異なる厚みおよび材料にすることができる。透過効率を改善するために磁気構造体を一方向に細長くし、誘電体でコーティングすることができる。
本発明のトランスジューサは透過効率を高めることができる。この構造体は金属ピンでのプラズモンモードを高めることによって透過効率を高めている。従って、FWHMスポットサイズは隣接する誘電体の厚みおよび屈折率ではなく、金属ピンの半径によって決定される。この点を明らかにするために、図44に正規化されたパワー分布が示されている。データはこれら構造についてもFWHMスポットサイズは同じままであること示唆している。プロットの若干の変動は有限要素モデル化技術が使用した異なる裁量に起因するものである。
性能を高めるために最適化すべきパラメータとして、層の厚みが挙げられる。図45および46は厚みを関数とする性能を示している。計算を行うために、ピン構造体は10nmの半径を有するものと仮定し、誘電体の層の厚みを関数として、媒体内の最大消散パワー密度を計算した。図45は、空気内にSiO誘電クラッド層を有する金のピンにおけるデータを示す。この構造では、最適な誘電体の厚みを6nmとして計算した。図46は、SiO材料内に空気誘電層が設けられた金のピンにおけるデータを示す。この構造では、最適な誘電体の厚みを14nmとして計算した。
FWHMサイズに影響することなく効率を改善するために、これまでの光トランスジューサと種々の図示したピンスタック構造体とを一体化できる。電磁(EM)界を金属ピンに結合するにはピンスタック構造体が効率的な構成である。ピンスタック構造体は無限プレーナー状表面に対するクレッチマンおよびオットー表面プラズモン発射技術に類似すると理解できよう。境界のまわりでエバネセント波を生じさせるために、内部全反射現象および高屈折率−低屈折率境界を使用することができ、これによって表面プラズモンが補強されるために透過効率が高まる。表面のインピーダンスをより良好にマッチングすることも、透過率を補強する別の可能な寄与要因となり得る。誘電層を使用することによって表面プラズモンモードの波のインピーダンスが変わるので、その結果、入射電磁波に対して良好にマッチングする。
本発明は焦点領域に電磁波を集めるための光学的要素と、細長い金属ナノ構造体とを備えた近視野光トランスジューサを提供するものである。本発明の1つの特徴によれば、集光要素によって形成される焦点平面に直接隣接する領域内であって、この焦点平面の外側にナノ構造体を位置させることができる。このナノ構造体の長軸は光の伝搬方向に平行である。光学的要素により光は、ナノ構造体の一端の近くの領域に合焦される。ナノ構造体を照明するための合焦ビームは電界がナノ構造体の長軸に実質的に平行となるようなモードプロフィルを有する。トランスジューサは光を絞り込み、ナノ構造体の他端における電界を大きくする。データを記憶できるようにするために、トランスジューサは記憶層に接近した状態とされている。本発明のこの特徴によれば、金属ナノ構造体は高屈折率誘電材料内または合焦光要素内に埋め込まれるのではなく、より低い屈折率の媒体内の集光器外に位置するという点で従来のシステムと異なっている。これによって電界の補強が改善され、多量の光パワーをパターン型された記憶媒体へ送ることができる。
別の特徴によれば、本発明は金属製ピンに1つ以上の誘電クラッド層が隣接した状態で、金属ピンに電磁波を向けるための手段を含むトランスジューサを提供する。クラッド層は周辺の材料の屈折率と異なる屈折率を有する。これにより、ピンの端部から記憶媒体へ送ることができるエネルギー量を増すことができる。
光波ガイドは、例えば所望する波長および屈折率に応じ、TiO、Ta、Si、SiNまたはZnSのような高屈折率誘電コア材料から製造できる。例えばSiは近赤外線レンジにある1550nmの波長で、3.5の極めて大きい屈折率を有するが、可視光を透過できない。Taは約2.1のより低い屈折率を有するが、近赤外線および可視光を透過できる。光波ガイドはコアの両側に誘電クラッド層も含む。このクラッド層はコア層よりも低い屈折率を有していなければならない。コアとクラッド層との間の屈折率の差はできるだけ大きくすることが好ましい。空気はクラッド層の片側に対して適当な誘電体である。クラッド層として使用できる他の誘電体として、屈折率が1.5のSiOおよび屈折率が約1.8のAlが挙げられる。
横方向電界(TE)モード電磁波と共に本発明を使用する時に、電磁波の一部を位相シフトするための手段を設けることができる。この位相シフトは径方向に偏光した波の二次元のアナログを、プレーナー状の光波ガイド内に発射するための手段を設けることによって達成できる。これを分割直線状偏光光波ガイドモードと称す。
別の特徴によれば、本発明は上記トランスジューサを備えた磁気記録ヘッドを含むものである。図47は、本発明に従って製造された磁気−光記録ヘッド550の略図である。この記録ヘッド550は磁気記録媒体552に隣接している。垂直磁気記録ヘッドとして記録ヘッド550を参照し、垂直磁気記録媒体として媒体552を参照することにより、本発明の一実施例について説明したが、本発明の特徴は熱支援記録を使用することが望ましい他のタイプの記録ヘッドおよび/または記録媒体と組み合わせて使用できることも理解できよう。より詳細には、記録ヘッド550は主書き込みポール554とリターンポール、すなわち対向するポール556とを備えた書き込み部分を含むことができ、前記ポールはヨークまたはペデスタル558によって磁気結合されている。書き込みポール554だけを有し、リターンポール550またはヨーク558を有しない記録ヘッド550を構成できるが理解できよう。記録ヘッド550を附勢するためにヨークまたはペデスタル558を磁化コイル560が囲んでいる。記録ヘッド550は図示されていない読み出しヘッドも含むことができ、この読み出しヘッドは当業者に一般的に知られているように、従来のタイプの読み出しヘッドでよい。上記とは異なり、ポールの片側に光波ガイドを設けてもよい。別の例では、ピンとポールとを同じ材料にすることができ、この場合、ピンは電磁トランスジューサ兼電磁界ソースの双方として機能できる。
また図47を参照すると、記録媒体552は記録ヘッド550に隣接するか、もしくはその下方に位置する。記録媒体552は基板562を含み、この基板は適当な材料、例えばセラミックガラスまたはアモルファスガラスから製造できる。この基板562にヒートシンク層および/または軟磁性下方層564を重ねても(deposit)よい。軟磁性下方層564は適当な材料、例えばCo、Fe、Ni、Pd、PtまたはRuを有する合金またはマルチ層から製造できる。ヒートシンク層は、Au、Ag、CuまたはAlのような任意の適当な層から製造できる。硬磁性層566に実質的に垂直に配向された磁気ドメインが含まれた状態で、軟磁性下方層564に硬磁性記録層566がデポジットされる。硬磁性記録層566のための適当な硬磁性材料として、例えば周辺温度で比較的高い異方性を有するFePtまたはCoCrPt合金から選択された少なくとも1つの材料を挙げることができる。
記録ヘッド550はプレーナー状光波ガイド568も含む。この光波ガイドは光源から受光した光を記録媒体の表面に向け、書き込みポール554が書き込み磁界Hを記録媒体552に加えた場所に近い磁気記録媒体552を加熱する。このプレーナー状光波ガイドは光透過層570を含む。光波ガイド568は、例えばグレーティング576のような結合手段により光波ガイド568へ結合されている光ファイバー574を介して光を伝達する光源572と連動して作動する。光源572は、例えばレーザーダイオードまたは他の適当なレーザー光源とすることができる。これによって、光波ガイド568を通って記録媒体に伝搬できる光ガイドモードを発生することが可能となる。全体が番号580で表示された電磁放射線は、記録媒体552を加熱し、特に記録層566の局部領域584を加熱するためのピン582から伝達される。
熱支援磁気記録では、記憶媒体の一部を加熱するのにトランスジューサが使用され、記憶媒体内の記録層の磁化に影響するよう、記録媒体の加熱された部分は磁界を受ける。この磁気光記録ヘッドは当業者に周知のような読み出し器を含むこともできる。
光波ガイド568は上記光波ガイドのいずれかに従って製造できる。本発明の光波ガイドは1回書き込み位相変化記録のような磁界が不要であるか、または磁気−光記録の場合のように、基板の下方に外部磁石を設けることができるかのいずれかの光記録アプリケーションでも使用できる。これとは異なり、これら構造体はプローブ記録アプリケーションまたは高解像度近視野光リソグラフィ、または高解像度近視野マイクロスコープでも潜在的に使用できる。
本発明のトランスジューサはピンにおけるプラズモンモードが電子の集団振動から生じるような寸法となっているピンを利用している。このことはピンのダイポールプラズモン共振とも称される。例で説明したピン構造体は数百ナノメータ以下の寸法を有する。従って、これら構造体をナノ粒子またはナノ構造体と称すことができる。この共振はピンの形状およびサイズに起因した幾何学的形状効果を含む。金属ピンは2:1またはそれ以上のアスペクト比(長さ対幅)を有することが一般に望ましい。しかしながら、ピンのアスペクト比の最適化は種々の要素、例えば周辺媒体の形状、材料、誘電率および波長に応じて決まる。円筒体のアスペクト比は円筒体の直径に対する円筒体の高さの比である。長方形のピンのアスペクト比はピンの幅に対するピンの高さの比である。球体の場合、アスペクト比は短軸の長さに対する主軸の長さの比のことである。
以上で、いくつかの例に基づき、本発明について説明したが、当業者であれば、特許請求の範囲に記載の発明の範囲から逸脱することなく、開示した例に関して種々の変更を行うことができることが明らかとなろう。
本発明は、米国規格および技術協会からの協定番号第70NANB1H3056による米国政府による支援によりなされたものである。米国政府は、本発明に関し所定の権利を有する。
本発明に従って構成された磁気ヘッドを含むことができる磁気ディスクドライブの図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの略図である。 本発明のトランスジューサで使用できる金属ナノ構造体の側面図である。 本発明のトランスジューサのシミュレートされた性能を示すデータのグラフである。 本発明のトランスジューサのシミュレートされた性能を示すデータのグラフである。 本発明のトランスジューサのシミュレートされた性能を示すデータのグラフである。 本発明のトランスジューサのシミュレートされた性能を示すデータのグラフである。 本発明のトランスジューサと組み合わせて使用できるパターン型されたデータ記憶媒体の側面図である。 図8のデータ記憶媒体の平面図である。 本発明のトランスジューサのシミュレートされた性能を示すデータのグラフである。 本発明のトランスジューサのシミュレートされた性能を示すデータのグラフである。 本発明のトランスジューサのシミュレートされた性能を示すデータのグラフである。 本発明のトランスジューサのシミュレートされた性能を示すデータのグラフである。 本発明に従って構成されたトランスジューサの略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの略図である。 本発明のトランスジューサで使用できる種々のレンズ構造の1つの等角図である。 本発明のトランスジューサで使用できる種々のレンズ構造の1つの等角図である。 本発明のトランスジューサで使用できる種々のレンズ構造の1つの等角図である。 本発明のトランスジューサの作動を示すのに使用するトランスジューサの略図である。 本発明のトランスジューサの作動を示すのに使用するトランスジューサの略図である。 本発明のトランスジューサの作動を示すのに使用するトランスジューサの略図である。 本発明のトランスジューサのシミュレートされた性能を示すデータのグラフである。 本発明のトランスジューサの作動を示すのに使用されるトランスジューサの略図である。 本発明のトランスジューサの作動を示すのに使用されるトランスジューサの略図である。 図27および28のトランスジューサで使用されるピンの側面図である。 本発明のトランスジューサのシミュレートされた性能を示すデータのグラフである。 本発明のトランスジューサの作動を示すのに使用されるトランスジューサの略図である。 本発明のトランスジューサの作動を示すのに使用されるトランスジューサの略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの一部の略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの一部の略図である。 図33および34のトランスジューサのシミュレートされた性能を示すデータのグラフである。 本発明に従って構成されたトランスジューサの一部の略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの一部の略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの一部の略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの一部の略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの一部の略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの一部の略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの一部の略図である。 本発明に従って構成されたトランスジューサの一部の略図である。 2つのセンサ構造における正規化されたパワー分布のグラフである。 トランスジューサにおける誘電体の厚みの効果を示すグラフである。 トランスジューサにおける誘電体の厚みの効果を示すグラフである。 本発明に従った構成された磁気−光記録ヘッドの略図である。
符号の説明
10 ディスクドライブ
12 ハウジング
14 スピンドルモータ
16 記憶媒体
18 アーム
20 第1端部
20 スライダー
24 第2端部
28 アクチュエータモータ
30 トランスジューサ
32 レーザー
38 対物レンズ
40 半球レンズ
42 焦点領域
44 ナノ構造体
46 磁気記憶媒体
48 記憶層
50 ヒートシンク層
52 基板
54 ギャップ

Claims (22)

  1. 焦点領域に電磁波を向けるための手段と、
    前記電磁波の電界に実質的に平行な長手方向軸線を有し、前記電磁波を向けるための手段の外側に位置する金属ナノ構造体と、
    を備え、前記電磁波が金属ナノ構造体上に表面プラズモンを発生させる光トランスジューサ。
  2. 電磁波を向けるための前記手段の端部に隣接する電磁波に前記金属ナノ構造体がエバネッセント結合している、請求項1記載の光トランスジューサ。
  3. 電磁波を向けるための前記手段が第1の屈折率を有し、前記金属ナノ構造体が前記第1の屈折率よりも小さい第2の屈折率を有する材料によって囲まれている、請求項1記載の光トランスジューサ。
  4. 前記ナノ構造体が50nm未満のギャップにより、電磁波を向けるための前記手段の端部から離間している、請求項1記載の光トランスジューサ。
  5. 前記ナノ構造体が2:1以上のアスペクト比を有する金属ピンを含む、請求項1記載の光トランスジューサ。
  6. 前記ナノ構造体が尖った先端を有するピンを含む、請求項1記載の光トランスジューサ。
  7. 前記ナノ構造体が記録媒体内にエネルギーを共振結合できるような大きさとなっている、請求項1記載の光トランスジューサ。
  8. 電磁波を向けるための前記手段が固体浸漬レンズ、固体浸漬ミラーまたはプレーナー光波ガイドのうちの1つを含む、請求項1記載の光トランスジューサ。
  9. 前記電磁波が径方向に偏光された光、または直線状に偏光された分割光の1つを含む、請求項1記載の光トランスジューサ。
  10. 磁気書き込みポールと、
    前記磁気書き込みポールに隣接する請求項1記載の光トランスジューサと、
    を備えた磁気−光記録ヘッド。
  11. 記憶媒体を支持するための手段と、
    請求項10記載の磁気−光記録ヘッドと、
    前記記憶媒体に隣接するように前記磁気−光記録ヘッドを位置決めするための手段と、
    を備えたディスクドライブ。
  12. 第1の屈折率を有し、焦点領域に電磁波を向けるための手段と、
    前記焦点領域に位置する金属ナノ構造体と、
    電磁波を焦点領域に向けるための前記手段と前記金属ナノ構造体との間に位置し、第2屈折率を有するクラッド材料と、
    を備えた光トランスジューサ。
  13. 前記金属ナノ構造体が記録媒体の存在下で前記電磁波に共振結合するような寸法とされている、請求項12記載の光トランスジューサ。
  14. 前記クラッド材料の厚みが前記金属ナノ構造体の厚みに満たない、請求項12記載の光トランスジューサ。
  15. 前記第1屈折率と前記第2屈折率との差が約0.5よりも大きい、請求項12記載の光トランスジューサ。
  16. 前記金属ナノ構造体の表面に沿って前記クラッド材料の厚みにテーパが付けられている、請求項12記載の光トランスジューサ。
  17. 前記第2の屈折率が前記第1の屈折率よりも小さい、請求項12記載の光トランスジューサ。
  18. 前記第2の屈折率が前記第1の屈折率よりも大きい、請求項12記載の光トランスジューサ。
  19. 電磁波を向けるための前記手段が固体浸漬レンズ、固体浸漬ミラーまたはプレーナー光波ガイドのうちの1つを含む、請求項12記載の光トランスジューサ。
  20. 前記電磁波が径方向に偏光された光、または直線状に偏光された分割光の1つを含む、請求項12記載の光トランスジューサ。
  21. 磁気書き込みポールと、
    前記磁気書き込みポールに隣接する請求項12記載の光トランスジューサと、
    を備えた磁気−光記録ヘッド。
  22. 記憶媒体を支持するための手段と、請求項21記載の磁気−光記録ヘッドと、
    前記記憶媒体に隣接するように前記磁気−光記録ヘッドを位置決めするための手段と、
    を備えたディスクドライブ。
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