JP2008010093A - 熱アシスト磁気記録用薄膜磁気ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ABS及びこのABSに垂直な集積面を備えており導電性を有するスライダ基板と、この集積面に形成された磁気ヘッド素子と、スライダ基板と電気的及び熱的に接続されてスライダ基板上に設けられており、熱アシスト磁気記録用の光を放射するための光源と、この光を受け入れてABS側のスライダ端面に向けて伝播させるための導波路層と、少なくとも磁気ヘッド素子及び導波路層を覆うように集積面上に形成された被覆層とを備えている熱アシスト磁気記録用の薄膜磁気ヘッドが提供される。
【選択図】図2
Description
11 スピンドルモータ
12 アセンブリキャリッジ装置
13 記録再生及び発光制御回路
14 駆動アーム
15 ボイスコイルモータ(VCM)
16 ピボットベアリング軸
17 ヘッドジンバルアセンブリ(HGA)
20 サスペンション
200 ロードビーム
201 フレクシャ
202 ベースプレート
203 配線部材
21 薄膜磁気ヘッド
210 スライダ基板
2100 ABS
2101 背面
2102 集積面
2103 側面
211、212 スライダ端面
32 磁気ヘッド素子
33 MR効果素子
330 下部シールド層
332 MR積層体
334 上部シールド層
34 電磁コイル素子
340 主磁極層
340a 端部
341 ギャップ層
342 コイル層
343 コイル絶縁層
344 補助磁極層
35 導波路層
350 集光面
351 側面
352 端面
36 近接場光発生部
360 対向金属層
361 近接場光ギャップ部
37、69 グレーチングカプラ部
370、690 受光部
371 コア層
3710 端面
372、373 クラッド層
38 信号端子電極
39、64、67、70 被覆層
390、640、700 端面
40、61、68 レーザダイオード
400、610、680 出光端
440、441、630、631、710、711 駆動端子電極
53、54 レーザ光
48 素子間シールド層
50、51 反射膜
52 AuSn合金
60、62、66 回折光学素子部
65 プリズム部
650 反射面
80 ヘッドウェハ
81 ヘッドパターン
82 誘電膜
83 加工バー
84 溝
90 制御LSI
91 ライトゲート
92 ライト回路
93 ROM
95 定電流回路
96 増幅器
97 復調回路
98 温度検出器
99 レーザ制御回路
Claims (16)
- 浮上面及び該浮上面に垂直な集積面を備えており導電性を有するスライダ基板と、該集積面に形成された磁気ヘッド素子と、該スライダ基板と電気的及び熱的に接続されて該スライダ基板上に設けられており、熱アシスト磁気記録用の光を放射するための光源と、該光を受け入れて該浮上面側のスライダ端面に向けて伝播させるための導波路層と、少なくとも該磁気ヘッド素子及び該導波路層を覆うように該集積面上に形成された被覆層とを備えていることを特徴とする熱アシスト磁気記録用の薄膜磁気ヘッド。
- 前記被覆層に設けられており、前記光源から放射された光の伝播を調整するレンズ部としての回折光学素子部を備えていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記被覆層に設けられており、前記光源から放射された光を前記導波路層に向けさせるための光路変更部を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記光路変更部が、前記集積面に対して斜めに形成された、前記被覆層の層面を反射面としたプリズム部であることを特徴とする請求項3に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記光路変更部が、前記被覆層内に設けられており、自身の端面と前記導波路層の端面とが接している又は近接しているグレーチングカプラ部であることを特徴とする請求項3に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記光源が、前記スライダ基板の浮上面とは反対側の面に設けられており、該光源の出光端が、前記被覆層の1つの端面と直接に対向していることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記光源が、前記スライダ基板の集積面に設けられており、該光源の出光端が、前記被覆層の1つの端面と直接に対向していることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記光源が、前記スライダ基板の浮上面及び集積面に垂直な側面に設けられており、該光源の出光端が、前記被覆層の1つの端面と直接に対向していることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記光源が、レーザダイオードであることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記スライダ基板の表面に、前記光源用の少なくとも1つの駆動端子電極が設けられていることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記磁気ヘッド素子が、データ信号の読み出し用の磁気抵抗効果素子とデータ信号の書き込み用の電磁コイル素子とを備えており、前記導波路層が、該磁気抵抗効果素子と該電磁コイル素子との間を通して設けられていることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記導波路層が、平行に揃えられた光が浮上面とは反対側の自身の端面から入射した場合に、反射によって該導波路層の浮上面側の端面に集光するような、ともに放物線に沿って湾曲したトラック幅方向において対向する2つの側面を有していることを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記導波路層の浮上面側の端面に接した位置又は該端面に近接した位置に設けられており、近接場光を発生させてデータ信号の書き込みの際に磁気記録媒体を加熱するための、浮上面側のスライダ端面に達した端を有する近接場光発生部をさらに備えていることを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記近接場光発生部が、蝶ネクタイ型であることを特徴とする請求項13に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 請求項1から14のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッドと、該薄膜磁気ヘッドを支持する支持機構と、前記磁気ヘッド素子のための信号線と、前記光源用の電力供給線とを備えていることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
- 請求項15に記載のヘッドジンバルアセンブリを少なくとも1つ備えており、少なくとも1つの磁気記録媒体と、該少なくとも1つの磁気記録媒体に対して前記薄膜磁気ヘッドが行う書き込み及び読み出し動作を制御するとともに、前記光源の発光動作を制御するための記録再生及び発光制御回路とをさらに備えていることを特徴とする磁気ディスク装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006181316A JP2008010093A (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 熱アシスト磁気記録用薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006181316A JP2008010093A (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 熱アシスト磁気記録用薄膜磁気ヘッド |
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Family
ID=39068150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006181316A Pending JP2008010093A (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 熱アシスト磁気記録用薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2008010093A (ja) |
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