JP2004018322A - シリコン/炭化ケイ素複合材料及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭化ケイ素結晶粒の隙間にシリコンがネットワーク状に連続して存在することを特徴とする。
このシリコン/炭化ケイ素複合材料は、平均粒径0.1μmから10μm炭化ケイ素と平均粒径0.005μmから1μmのカーボン粉末との混合粉末を、所定の形状の成形体に加圧成形し、この成形体をシリコンの融点以上の温度に加熱して、溶融したシリコンを含浸させることにより製造される。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、強度、靭性などの機械的特性が改善された、高い信頼性と耐久性を有するシリコン/炭化ケイ素複合材料に係り、特に、半導体製造治具、半導体関連部品、摺動部品、高温用構造部品、ミラー部品、ポンプ部品等の用途に適したシリコン/炭化ケイ素複合材料及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、セラミックス材料は、金属材料に比べて、強度及び靭性等の機械的特性が低いため、信頼性と耐久性の面で問題がある。このようなセラミックス材料を、高信頼性と高耐久性が要求される部品や製品へ適用できるようにするため、高強度化や高靭性化されたセラミックス材料が求められている。このような高強度化、高靭性化されたセラミックス材料としては、炭化ケイ素セラミックスや金属基複合材料(MMC:Metal Matrix Composite)が検討されているが、特に半導体製造治具、半導体関連部品、摺動部品、高温用構造部品、ミラー部品、ポンプ部品等の用途に適した機械的特性や耐久性に優れたセラミックス材料の開発が要望されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、既存の炭化ケイ素セラミックスやMMC材料はいずれも機械的特性や耐久性が十分なものではなく、このため必要な機械的特性や耐久性を持たせるには、部品形状が大きなくなってコスト高になるという問題があった。
【0004】
特に、近年の傾向として機器及びシステム全体のコンパクト化が求められており、この点からも、より一層機械的特性や耐久性に優れた炭化ケイ素セラミックスやMMC材料の開発が望まれている。
【0005】
本発明は、かかる従来の課題を解決すべくなされたもので、強度、靭性等の機械的特性や耐久性の改善された、高い信頼性と耐久性を有するシリコン/炭化ケイ素複合材料を提供することを目的とする。
【0006】
【課題が解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素結晶粒の隙間にシリコンがネットワーク状に連続して存在することを特徴としている。
【0007】
本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素結晶の隙間を、シリコンがネットワーク状に連続して存在する気孔のない緻密質の焼結体である。典型的な本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度500MPa以上で、3MPa/m1/2 以上の破壊靭性値を有し、機械的特性のバラツキが小さく、高い信頼性と耐久性を有している。
【0008】
本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料は、好ましくは、シリコン/炭化ケイ素複合材料を構成する炭化ケイ素が通常2種類の結晶粒径分布を有している。より高い機械的特性をもつシリコン/炭化ケイ素複合材料を得るためには、結晶粒径分布の大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が、0.1μmから10μm、好ましくは0.1μmから5μm、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.01μmから1μmであることが望ましい。結晶粒径分布の大きい方の炭化ケイ素結晶粒は、通常、出発原料の炭化ケイ素であり、製造過程において殆ど結晶成長が認められない。結晶粒径分布の大きい方の炭化ケイ素、すなわち出発原料の炭化ケイ素の平均粒径が0.05μm未満、通常は0.1μm未満であると製造プロセスにおいて粒子が凝集しやすくなり、均質な組織が容易に得られにくくなる傾向が見られる。また、結晶粒径分布の大きい方の炭化ケイ素の平均粒径が30μm、通常は20μmを越えると、他の条件によっては10μmを越えると機械的特性である強度、靭性が十分に発現しない傾向が見られる。小さい方の炭化ケイ素は、一般に、製造過程において、出発原料のカーボン粉末とシリコンとが反応して形成されたものである。
【0009】
カーボン粉末は、通常、出発原料の炭化ケイ素に付着した状態で原料混合物中に分散しているため、平均粒径の小さい方の炭化ケイ素は、平均粒径の大きい炭化ケイ素の付近から成長し、平均粒径の大きい炭化ケイ素に接触したような状態でシリコン/炭化ケイ素複合材料中に存在する。
【0010】
本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料を構成する炭化ケイ素は、通常、1種類または2種類の結晶相を有している。炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有する場合には、通常、大きい方の炭化ケイ素の結晶相がα相またはβ相であり、小さい方の炭化ケイ素の結晶相がβ相である。その理由は、出発原料の炭化ケイ素はα相とβ相とのものがあるのに対して、カーボン粉末と溶融シリコンとの反応ではβ相の炭化ケイ素しか生成しないためである。本発明においては、このカーボン粉末と溶融シリコンとの反応により生成したβ相の炭化ケイ素の存在より、気孔のない均質な焼結体が得られ、機械的特性にバラツキの小さい、高い信頼性と耐久性を有する材料が得られる。
【0011】
本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料においてネットワークを形成しているシリコンの含有量は、通常、5重量%から50重量%であり、好ましくは5重量%から30重量%である。シリコンの含有量が50重量%を超えると十分な機械的特性が得られない傾向が見られ、逆にシリコンの含有量が5重量%未満であると、シリコンがネットワークを形成できない可能性が高くなり、製造プロセス上、均質な組織の材料が得にくくなる。なお、前述した範囲内においては、分散粒子の含有量が多いほど、機械的特性である強度および靭性が向上する傾向が見られ、より高い信頼性と耐久性を有する材料が得られる。
【0012】
また、本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料において、ネットワークを形成しているシリコンを除去して求めた細孔の比表面積は、好ましくは0.1平方m/gから10平方m/gであり、より好ましくは0.1平方m/gから6平方m/gである。ネットワークを形成しているシリコンを除去して求めた細孔の比表面積は、シリコンと炭化ケイ素間の粒界面積に相当する。上記範囲内にシリコンと炭化ケイ素の粒界面積を調整した場合、シリコンが炭化ケイ素結晶粒の隙間に満遍なく充填され、したがって、カーボン粉末と溶融シリコンの反応も均一に行われて、機械的特性にすぐれた、高い信頼性と耐久性をもつ材料が得られる。
【0013】
さらにまた、本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料において、ネットワークを形成しているシリコンを除去して求めた平均細孔径は、好ましくは0.03μmから3μm、より好ましくは0.03μmから2μmである。この平均細孔径が、3μmを超えると、曲げ強度が500MPaを下回るものが発現するようになり、逆に、平均細孔径が0.03μmを下回ると、製造プロセス上、シリコンをネットワーク状に連続して存在させることが難しくなって、機械的特性のバラツキが見られるようになる。
【0014】
なお、このシリコンを除去して求めた平均細孔径は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を、減圧下1600℃で加熱して含有するシリコンを除去し、水銀圧入法を用いて細孔を円柱と仮定したときの径を求めたものである。この平均細孔径は炭化ケイ素粒子間の平均距離に相当する。
【0015】
このシリコンを除去して求めた平均細孔径が3μm以下である場合、炭化ケイ素が均質分散され、安定して高強度・高靭性を示す材料が得られる。
【0016】
本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素とカーボンからなる成形体に、溶かしたシリコンを溶浸することにより製造される。
【0017】
上記の炭化ケイ素としては、平均粒径0.1μmから15μm、好ましくは0.1μmから10μm、より好ましくは平均粒径0.1μmから5μmの範囲のものである。また、カーボン粉末として平均粒径0.01μmから1μmのものが好ましい。
【0018】
炭化ケイ素とカーボンの配合比は、重量比で10:1〜10(10:1〜10:10)が好ましく、10:3〜5(10:1〜10:5)の範囲がより好ましい。10:3〜5の範囲に入る場合、製造プロセス上大きな形状のものまで、安定して高強度、高靭性を示す材料が得られる。
【0019】
炭化ケイ素とカーボンには、必要に応じて公知の有機バインダの適当量を添加してもよい。
【0020】
成形体は、炭化ケイ素とカーボンの混合粉末をそのまま加圧成形したり、水または有機系溶媒に分散して加圧成形した後乾燥することにより得られる。
【0021】
加圧成形の場合の成形圧力は、0.5MPaから2MPaの範囲が望ましく、水又は有機系溶媒に分散させた場合の成形圧力は、0.5MPaから10MPaの範囲が好ましい。
【0022】
本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素とカーボンからなる成形体の組成と、成形体の密度を調整することによって、上述した構造をもたせることが可能となる。
【0023】
本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料は、例えば、平均粒径0.1μmから10μm炭化ケイ素と平均粒径0.005μmから1μmのカーボン粉末との混合粉末を、所定の形状の成形体に加圧成形する工程と、前記成形体をシリコンの融点以上の温度に加熱する工程と、前記シリコンの融点以上の温度に加熱されている前記成形体に溶融したシリコンを含浸させる工程とからなる方法により製造される。上記の炭化ケイ素とカーボンの混合比率は、重量比で10:1〜10であることが望ましい。成形体は、例えば炭化ケイ素とカーボン粉末との混合粉末を分散媒に分散させたスラリーを0.5MPaから10MPaの加圧下で鋳込み成形することができる。また、成形体は、炭化ケイ素とカーボン粉末との混合粉末を0.5MPaから2MPの加圧下でプレス成形やCIP成形などの加圧成形することによっても成形することができる。成形体へのシリコンの含浸は、必要に応じて成形体を脱脂した後、減圧下又は不活性雰囲気下で成形体をシリコンの融点以上、例えば1400℃以上に加熱し、この加熱した成形体に溶融したシリコンを含浸させることにより行われる。成形体の大きさにもよるが、溶融シリコンの成形体への含浸は迅速に(秒の単位)行われ、次いで溶融シリコンとカーボン粉末との反応も迅速に(分の単位)で行われる。なお、炭化ケイ素のみからなる成形体にシリコンを溶浸したのでは、上記のような優れた機械的特性を持つシリコン/炭化ケイ素複合材料は得られない。本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素とカーボンからなる成形体中に溶融したシリコンを含浸させ、成形体中のカーボンと含浸したシリコンを反応させて、出発原料の炭化ケイ素の表面にこれとは別の平均粒径の小さい炭化ケイ素を形成させたものである。このように、出発原料の炭化ケイ素の粒子間に、溶融シリコンとカーボン粉末との反応により形成された炭化ケイ素とシリコン相とを存在させることによって、優れた機械的特性と、高い信頼性と耐久性を有するシリコン/炭化ケイ素複合材料が得られる。上記の方法では、炭化ケイ素とカーボンからなる成形体を加圧成形したのちにシリコンを溶浸するため、緻密な材料が得られ、溶浸・焼結時に材料の収縮がない。また、ネットあるいはニヤネットで大型かつ複雑形状の製品を、短時間・低コストプロセスで製作することができる。
【0024】
本発明に係るシリコン/炭化ケイ素複合材料は、半導体製造治具、半導体関連部品(ヒートシンク、ダミーウエハ)、ガスタービン高温構造部材、宇宙及び航空用構造部材、メカニカルシール部材、ブレーキ用部材、摺動部品、ミラー部品、ポンプ部品等に適用することができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を製造する過程を模式的に示す拡大断面図、図2は本発明に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料の組織を模式的に示す拡大断面図である。
【0026】
本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料1は、図1に示すように、炭化ケイ素3とカーボン粉末4を加圧下に所定の形状に成形してなる成形体2を高温に加熱し、この高温の成形体2に溶融したシリコン5を含浸させて製作される。
【0027】
成形体中のカーボン粉末4は、高温下で溶融シリコン5と接触して反応し、出発原料の炭化ケイ素3より平均粒径の小さい炭化ケイ素6を生成する。この反応過程で出発原料の炭化ケイ素3は殆ど粒成長をしない。このため、本発明のシリコン/炭化ケイ素複合材料は、一般に、相対的に平均粒径の大きい出発原料の炭化ケイ素3と、相対的に平均粒径の小さいカーボン粉末と溶融シリコンとの反応により生成した炭化ケイ素6と、これら炭化ケイ素3,6の間隙にマトリックス状に充填された遊離シリコン7とから構成されている。
【0028】
[実施例1]
平均粒径0.5μmの炭化ケイ素粉末(α−SiC)と平均粒径0.03μmのカーボン粉末(カーボンブラック)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/4の混合比率(重量)で混合し、溶媒中に分散して低粘度のスラリーを作製した。次に、圧力鋳込み成形機を用いて、上記スラリーを成形型に7MPaで加圧しながら充填し、所定の成形体密度の板状の成形体を作製した。この成形体を自然乾燥した後、不活性ガス雰囲気中600℃の温度で加熱・保持し、有機バインダを脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、この成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例1に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0029】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を行った。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法及び焼結体密度から求めたシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出して求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0030】
実施例1に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有しており、大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.5m、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.05mであり、大きい方の炭化ケイ素の結晶相はα相、小さい方の炭化ケイ素の結晶相はβ相であった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量は18重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が4平方m/gであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径は0.08μmであった。
【0031】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で行った。次に、IF法(インデンテーション・フラクチャー法、圧子圧入法)を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例1に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度1200MPa、破壊靭性値3.6MPa/m1/2 であった。
【0032】
[実施例2]
平均粒径1μmの炭化ケイ素粉末(α−SiC)と平均粒径0.07μmのカーボン粉末(カーボンブラック)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/5の混合比率(重量)で混合し、溶媒中に分散して低粘度のスラリーを作製した。次に、圧力鋳込み成形機を用いて、上記スラリーを成形型に5MPaで加圧しながら充填し、所定の成形体密度の成形体を作製した。この成形体を自然乾燥し、不活性ガス雰囲気中600℃の温度で加熱・保持して、有機バインダを脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例2に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0033】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を行った。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法、及び焼結体密度からシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出する方法により求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0034】
実施例2に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有しており、大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が1μm、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.1μmであり、大きい方の炭化ケイ素の結晶相はα相、小さい方の炭化ケイ素の結晶相はβ相であった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量が12重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が1平方m/gであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径は0.1μmであった。
【0035】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で行った。次に、IF法を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例2に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度1000MPa、破壊靭性値3.8MPa/m1/2 であった。
【0036】
[実施例3]
平均粒径5μmの炭化ケイ素粉末(α−SiC)と平均粒径0.3μmのカーボン粉末(カーボンブラック)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/3の混合比率(重量)で混合して、溶媒中に分散して低粘度のスラリーを作製した。次に、圧力鋳込み成形機を用いて、上記スラリーを成形型に3MPaで加圧しながら充填し、所定の成形体密度の成形体を作製した。この成形体を不活性ガス雰囲気中600℃の温度で加熱・保持し、有機バインダを脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、この成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例3に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0037】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を行った。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法及び焼結体密度からシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出して求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0038】
実施例3に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有しており、大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が5μm、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.5μmであり、大きい方の炭化ケイ素の結晶相はα相、小さい方の炭化ケイ素の結晶相はβ相であった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量が9重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が単位重量あたり、0.2平方mであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径が1.0μmであった。
【0039】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で行った。次に、IF法(インデンテーション・フラクチャー法、圧子圧入法)を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例3に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度800MPa、破壊靭性値3.7MPa/m1/2 であった。
【0040】
[実施例4]
平均粒径0.2μmの炭化ケイ素粉末(β−SiC)と平均粒径0.01μmのカーボン粉末(カーボンブラック)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/2の混合比率(重量)で混合して造粒粉末を作製した。次に、成形機を用いて、上記粉末を成形型に充填し、2MPaの圧力で加圧して、所定の成形体密度の成形体を作製した。この成形体を、不活性ガス雰囲気中600℃の温度で加熱・保持し、有機バインダを脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例4に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0041】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を行った。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法、及び焼結体密度からシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出する方法により求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0042】
実施例4に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有しており、大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.2μm、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.02μmであり、大きい方の炭化ケイ素の結晶相はβ相、小さい方の炭化ケイ素の結晶相もβ相であった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量が36重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が2平方m/gであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径が0.8μmである。
【0043】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で行った。次に、IF法を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例4に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度900MPa、破壊靭性値3.2MPa/m1/2 であった。
【0044】
[実施例5]
平均粒径5μmの炭化ケイ素粉末(β−SiC)と平均粒径0.5μmのカーボン粉末(カーボンブラック)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/3の混合比率(重量)で混合して造粒粉末を作製した。次に、プレス成形機を用いて、上記粉末を成形型に充填し、1MPaの圧力で加圧して、所定の成形体密度の成形体を作製した。不活性ガス雰囲気中600℃の温度で加熱・保持し、有機バインダを脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例5に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0045】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を行った。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法、及び焼結体密度からシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出する方法により求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0046】
実施例5に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有しており、大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が8μm、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.8μmであり、大きい方の炭化ケイ素の結晶相はβ相、小さい方の炭化ケイ素の結晶相もβ相であった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量が24重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が0.3平方m/gであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径が1.5μmである。
【0047】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で行った。次に、IF法を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例5に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度700MPa、破壊靭性値3.4MPa/m1/2 であった。
【0048】
[実施例6]
平均粒径0.08μmの炭化ケイ素粉末(α−SiC)と平均粒径0.001μmのカーボン粉末(カーボンブラック)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/4の混合比率(重量)で混合し、溶媒中に分散して低粘度のスラリーを作製した。
【0049】
次に、圧力鋳込み成形機を用いて、上記スラリーを成形型に2MPaで加圧しながら充填し、所定の成形体密度の成形体を作製した。自然乾燥した後、不活性ガス雰囲気中600℃の温度で加熱・保持し、有機バインダを脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例6に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0050】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を行った。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法及び焼結体密度からシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出する方法により求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0051】
実施例6に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有しており、大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.08μm、小さい方の炭化ケイ素の平均決勝粒径が0.02μmであり、大きい方の炭化ケイ素の結晶相は、α相、小さい方の炭化ケイ素の結晶層はβ相であった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量が19重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が15平方m/gであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径が2μmである。
【0052】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で行った。次に、IF法を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例6に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度600MPa、破壊靭性値2.4MPa/m1/2 であった。
【0053】
[実施例7]
平均粒径1μmの炭化ケイ素粉末(α−SiC)と平均粒径0.7μmのカーボン粉末(カーボンブラック)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/5の混合比率(重量)で混合し、溶媒中に分散して低粘度のスラリーを作製した。
【0054】
次に、圧力鋳込み成形機を用いて、上記スラリーを成形型に4MPaで加圧しながら充填し、所定の成形体密度の成形体を作製した。自然乾燥した後、不活性ガス雰囲気中600℃の温度で加熱・保持し、有機バインダを脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例7に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0055】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を実施した。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法及び焼結体密度からシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出する方法により求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0056】
実施例7に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素の結晶粒径分布は1種類であり、炭化ケイ素の平均結晶粒径が1μm、炭化ケイ素は2種類の結晶相、α相とβ相を有していることがわかった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量が14重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が0.2平方m/gであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径が3μmである。
【0057】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で実施した。次に、IF法を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例7に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度500MPa、破壊靭性値2.6MPa/m1/2 であった。
【0058】
[実施例8]
平均粒径5μmの炭化ケイ素粉末(β−SiC)と平均粒径2μmのカーボン粉末(黒鉛粉末)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/8の混合比率(重量)で混合して造粒粉末を作製した。次に、プレス成形機を用いて、上記粉末を成形型に充填し、2MPaの圧力で加圧して、所定の成形体密度の成形体を作製した。不活性ガス雰囲気中600℃の温度で加熱・保持し、有機バインダを脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例8に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0059】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を実施した。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法及び焼結体密度からシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出する方法により求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0060】
実施例8に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有しており、大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が5μm、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が3μmであり、大きい方の炭化ケイ素の結晶相はβ相、小さい方の炭化ケイ素の結晶相もβ相であった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量が8重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が単位重量あたり、0.2平方mであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径が5μmである。
【0061】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で実施した。次に、IF法を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例8に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度400MPa、破壊靭性値3.0MPa/m1/2 であった。
【0062】
[実施例9]
平均粒径0.05μmの炭化ケイ素粉末(α−SiC)と平均粒径0.3μmのカーボン粉末(カーボンブラック)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/10の混合比率(重量)で混合した粉末により成形体を加圧形成し、これを不活性ガス雰囲気中600℃の温度で加熱・保持し、成形助剤を脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例9に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0063】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を実施した。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法及び焼結体密度からシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出する方法により求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0064】
実施例9に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有しており、大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.5μm、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.05μmであり、大きい方の炭化ケイ素の結晶相はβ相、小さい方の炭化ケイ素の結晶相はα相であった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量が17重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が0.04平方m/gであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径が3μmである。
【0065】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で実施した。次に、IF法(インデンテーション・フラクチャー法、圧子圧入法)を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例9に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度500MPa、破壊靭性値2.4MPa/m1/2 であった。
【0066】
[実施例10]
平均粒径1μmの炭化ケイ素粉末(β−SiC)と平均粒径0.07μmのカーボン粉末(カーボンブラック)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/10の混合比率で混合し、溶媒中に分散して低粘度スラリーを作製した。次に、圧力鋳込み成形機を用いて、上記スラリーを成形型に4MPaで加圧しながら充填し、所定の成形体密度の成形体を作製した。不活性ガス雰囲気中500〜800℃の温度で加熱・保持し、成形助剤を脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例10に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0067】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を実施した。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法及び焼結体密度からシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出する方法により求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0068】
実施例10に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有しており、大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が1μm、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.1μmであり、大きい方の炭化ケイ素の結晶相はβ相、小さい方の炭化ケイ素の結晶相もβ相であった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量が4重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が単位重量あたり、0.2平方mであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径が0.1μmである。
【0069】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード速度0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で実施した。次に、IF法を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例10に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度350MPa、破壊靭性値3.2MPa/m1/2 であった。
【0070】
[実施例11]
平均粒径1μmの炭化ケイ素粉末(α−SiC)と平均粒径0.07μmのカーボン粉末(カーボンブラック)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/1の混合比率(重量)で混合して造粒粉末を作製した。次に、プレス成形機を用いて、上記粉末を成形型に充填し、0.5MPaの圧力で加圧して、所定の成形体密度の成形体を作製した。不活性ガス雰囲気中600℃の温度で加熱・保持し、成形助剤を脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例11に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0071】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を実施した。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法及び焼結体密度からシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出する方法により求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0072】
実施例11に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有しており、大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が1μm、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.1μmであり、大きい方の炭化ケイ素の結晶相はβ相、小さい方の炭化ケイ素の結晶相はα相であった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量が55重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が単位重量あたり、0.08平方mであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径が5μmである。
【0073】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード速度0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で実施した。次に、IF法(インデンテーション・フラクチャー法、圧子圧入法)を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例11に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度400MPa、破壊靭性値2.0MPa/m1/2 であった。
【0074】
[比較例1]
平均粒径30μmの炭化ケイ素粉末(α−SiC)と平均粒径0.07μmのカーボン粉末(カーボンブラック)とを、所定の有機バインダとともに炭化ケイ素/カーボン粉末=10/1の混合比率(重量)で混合して造粒粉末を作製した。次に、プレス成形機を用いて、上記粉末を成形型に充填し、0.5MPaの圧力で加圧して、所定の成形体密度の成形体を作製した。この成形体を、不活性ガス雰囲気中600℃の温度で加熱・保持し、有機バインダを脱脂した後に、減圧下または不活性ガス雰囲気中において1400℃以上の温度に加熱し、この成形体に溶融したシリコンを含浸・焼結させた。得られた焼結体は、表面研磨加工を実施して、実施例1に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を作製した。
【0075】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料は、鏡面仕上げ後電子顕微鏡を用いて組織観察を行い、観察写真画像処理により炭化ケイ素の結晶粒径を測定し、平均粒径を算出した。また、微小領域でのX線回折法により炭化ケイ素の結晶相の同定を行った。材料組成比は、組織観察写真による画像処理法及び焼結体密度から求めたシリコン、炭化ケイ素の理論密度から算出して求めた。シリコンと炭化ケイ素の粒界面積は、シリコン/炭化ケイ素複合材料を減圧下1600℃に加熱し、シリコンを除去した後、水銀圧入法により比表面積を測定し、これを粒界面積とした。また、このとき同時に測定される細孔径の平均値を、シリコンを円柱と見なした時の平均径とした。
【0076】
実施例1に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、炭化ケイ素が2種類の結晶粒径分布を有しており、大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が30μm、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.1μmであり、大きい方の炭化ケイ素の結晶相はα相、小さい方の炭化ケイ素の結晶相はβ相であった。また、ネットワークを形成しているシリコンの含有量は45重量%であり、シリコンと炭化ケイ素の粒界面積が0.01平方m/gであり、シリコンを円柱と見なしたときの平均径は10μmであった。
【0077】
得られたシリコン/炭化ケイ素複合材料から、幅4mm、厚み3mm、長さ40mmの曲げ試験片を加工し、スパン30mm、ヘッドスピード0.5mm/minの条件で3点曲げ試験を室温で行った。次に、IF法(インデンテーション・フラクチャー法、圧子圧入法)を用いて、シリコン/炭化ケイ素複合材料の破壊靭性値を測定した。実施例1に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料は、曲げ強度200MPa、破壊靭性値1.6MPa/m1/2 であった。
【0078】
表1に、実施例1乃至実施例11及び比較例1のシリコン/炭化ケイ素複合材料の組織と機械的特性をまとめて示す。
【0079】
【表1】
【0080】
【発明の効果】
以上の実施例からも明らかなように、本発明に係るシリコン/炭化ケイ素複合材料は、原料の炭化ケイ素結晶粒の隙間に、カーボン粉末と溶融シリコンとの反応によって生成した炭化ケイ素が存在し、かつこれらの炭化ケイ素のシリコンがネットワーク状に連続して存在するため、優れた曲げ強度を有し、高い信頼性と耐久性が要求される用途に好適している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料を製造する過程を模式的に示す拡大断面図である。
【図2】本発明に係わるシリコン/炭化ケイ素複合材料の組織を模式的に示す拡大断面図である。
【符号の説明】
1……シリコン/炭化ケイ素複合材料、2……炭化ケイ素とカーボン粉末からなる成形体、3……出発原料の炭化ケイ素、4……カーボン粉末、5……溶融したシリコン、6……カーボン粉末と溶融シリコンの反応により生成した炭化ケイ素、7……遊離シリコン。
Claims (14)
- 炭化ケイ素結晶粒の隙間にシリコンがネットワーク状に連続して存在することを特徴とするシリコン/炭化ケイ素複合材料。
- 炭化ケイ素が2つの結晶粒径分布を有することを特徴とする請求項1記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料。
- 大きい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.1μmから10μm、小さい方の炭化ケイ素の平均結晶粒径が0.01μmから2μmであることを特徴とする請求項2記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料。
- 炭化ケイ素が1種類または2種類の結晶相を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料。
- 大きい方の炭化ケイ素の結晶相がα相またはβ相、小さい方の炭化ケイ素の結晶相がβ相であることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料。
- ネットワークを形成しているシリコンの含有量が5重量%から50重量%であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料。
- ネットワークを形成しているシリコンを除去して求めた細孔の平均比表面積が0.1平方m/gから10平方m/gであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料。
- ネットワークを形成しているシリコンを除去して求めた平均細孔径が0.03μmから3μmであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料。
- 曲げ強度が500MPa以上である請求項1乃至8のいずれか1項記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料。
- 平均粒径0.1μmから10μm炭化ケイ素と平均粒径0.005μmから1μmのカーボン粉末との混合粉末を、所定の形状の成形体に加圧成形する工程と、
前記成形体をシリコンの融点以上の温度に加熱する工程と、
前記シリコンの融点以上の温度に加熱されている前記成形体に溶融したシリコンを含浸させる工程と
を有することを特徴とするシリコン/炭化ケイ素複合材料の製造方法。 - 炭化ケイ素とカーボンの混合比率が、重量比で10:1〜10であることを特徴とする請求項10記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料の製造方法。
- 成形体の成形が、前記混合粉末を分散媒に分散させたスラリーを0.5MPaから10MPaの加圧下で鋳込み成形により行われることを特徴とする請求項10又は11記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料の製造方法。
- 成形体の成形が、前記混合粉末を0.5MPaから2MPの加圧下で加圧成形により行われることを特徴とする請求項10乃至12のいずれか1項記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料の製造方法。
- 成形体へのシリコンの含浸が、1400℃以上で、減圧下又は不活性雰囲気下で行われることを特徴とする請求項10乃至13のいずれか1項記載のシリコン/炭化ケイ素複合材料の製造方法。
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
JP2007016292A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Toshiba Corp | スパッタリングターゲット、それを用いた光学薄膜とその製造方法、および光記録媒体 |
JP2007055897A (ja) * | 2006-10-31 | 2007-03-08 | Toshiba Corp | シリコン/炭化ケイ素複合材料 |
JP2007165806A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Taiheiyo Cement Corp | ウェハプローバ |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2885734B1 (fr) * | 2005-05-13 | 2013-07-05 | Accumulateurs Fixes | Materiau nanocomposite pour anode d'accumulateur au lithium |
JP5322382B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2013-10-23 | 株式会社東芝 | セラミックス複合部材とその製造方法 |
DE102006058627B3 (de) * | 2006-12-13 | 2008-06-05 | Siempelkamp Maschinen- Und Anlagenbau Gmbh & Co. Kg | Anlage zum Beleimen von Fasern für die Herstellung von Faserplatten |
JP2011527979A (ja) * | 2007-07-17 | 2011-11-10 | エレメント シックス リミテッド | SiC−ダイヤモンドを接合する方法 |
DE102008006894A1 (de) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Karrena Gmbh | Auskleidung eines Feuerungsraums |
WO2009140791A1 (en) * | 2008-05-21 | 2009-11-26 | Dalian Institute Of Chemical Physics, Chinese Academy Of Sciences | Process for producing silicon carbide |
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WO2011059041A1 (ja) * | 2009-11-12 | 2011-05-19 | 信越化学工業株式会社 | 炭化ケイ素粉末組成物及びそれを用いる炭化ケイ素成形体の製造方法 |
US11380890B2 (en) * | 2010-01-18 | 2022-07-05 | Enevate Corporation | Surface modification of silicon particles for electrochemical storage |
EP2593255B1 (en) | 2010-07-13 | 2016-10-12 | Element Six Limited | Method for making a construction for an indexable cutting insert |
US20160001526A1 (en) * | 2013-02-27 | 2016-01-07 | Kyocera Corporation | Ceramic joined body and flow passage body |
JP5729517B1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-06-03 | Toto株式会社 | 反応焼結炭化珪素部材 |
CN104355627B (zh) * | 2014-10-29 | 2016-05-18 | 安徽省皖捷液压科技有限公司 | 一种纳米氮化硅耐磨陶瓷喷嘴及其制作方法 |
CN104355621B (zh) * | 2014-10-29 | 2016-04-20 | 安徽省皖捷液压科技有限公司 | 一种纳米碳化硅增韧陶瓷喷嘴及其制作方法 |
US10597335B2 (en) * | 2016-08-04 | 2020-03-24 | General Electric Company | Seal coats to prevent silicon loss during re-melt infiltration of Si containing composites |
JP6906343B2 (ja) | 2017-03-30 | 2021-07-21 | 日本碍子株式会社 | 炭化珪素質焼結体の製造方法 |
EP4144710A1 (en) * | 2018-04-03 | 2023-03-08 | Agc Inc. | Sic-si composite component |
CN109784272A (zh) * | 2019-01-13 | 2019-05-21 | 南京邮电大学盐城大数据研究院有限公司 | 一种集装箱识别系统及集装箱识别方法 |
GB2582273A (en) | 2019-03-07 | 2020-09-23 | Gazapi Sport Ltd | Sports balls |
JP7319205B2 (ja) * | 2020-01-29 | 2023-08-01 | 日本碍子株式会社 | 緻密質複合材料、その製法、接合体及び半導体製造装置用部材 |
CN112571887B (zh) * | 2020-12-30 | 2022-06-10 | 瓯锟科技温州有限公司 | 一种具有吸音吸光功能的金属复合板制备方法 |
Family Cites Families (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4019913A (en) * | 1975-07-18 | 1977-04-26 | Norton Company | Process for fabricating silicon carbide articles |
US4154787A (en) * | 1977-07-25 | 1979-05-15 | Coors Porcelain Company | Method for manufacturing silicon carbide bodies |
JPS553384A (en) | 1978-06-09 | 1980-01-11 | Norton Co | Method of adhering siliconndenatured silicon carbide element |
US4301132A (en) * | 1979-05-08 | 1981-11-17 | United Kingdom Atomic Energy Authority | Silicon carbide bodies and their production |
CA1158259A (en) | 1980-07-17 | 1983-12-06 | Francis J. Frechette | Composite material of silicon carbide and silicon and methods of producing |
JPS605550B2 (ja) | 1980-11-21 | 1985-02-12 | 京セラ株式会社 | 炭化珪素焼結体の製法 |
DE3311553C2 (de) | 1983-03-30 | 1985-11-14 | Kernforschungsanlage Jülich GmbH, 5170 Jülich | Verfahren zum Verbinden von Formteilen mit Siliziumkarbidoberfläche |
JPS60122774A (ja) | 1983-12-05 | 1985-07-01 | 日産自動車株式会社 | 炭化けい素質焼結体の接合方法 |
JPS6212668A (ja) | 1985-07-09 | 1987-01-21 | 東芝セラミツクス株式会社 | 半導体拡散炉の構成部材 |
JP2721678B2 (ja) | 1988-03-25 | 1998-03-04 | 東洋炭素株式会社 | β−炭化珪素成形体及びその製造法 |
JPH0261012A (ja) | 1988-08-26 | 1990-03-01 | Kobe Steel Ltd | A1系材料若しくはa1系複合材料成形体の製造方法 |
JPH0264063A (ja) | 1988-08-30 | 1990-03-05 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 接合型炭化けい素成形体の製造方法 |
JPH0383870A (ja) | 1989-08-25 | 1991-04-09 | Daihen Corp | 金属Si含有炭化ケイ素セラミックスの電気接合方法 |
JPH03112871A (ja) | 1989-09-27 | 1991-05-14 | Eagle Ind Co Ltd | 炭化ケイ素接合体の接合方法 |
JPH06199571A (ja) | 1991-06-20 | 1994-07-19 | Nippon Seratetsuku:Kk | 耐摩耗性セラミックス材料およびその製造方法 |
US5589116A (en) * | 1991-07-18 | 1996-12-31 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Process for preparing a silicon carbide sintered body for use in semiconductor equipment |
JP3450875B2 (ja) * | 1993-04-02 | 2003-09-29 | 東芝セラミックス株式会社 | 多孔質炭化珪素材の製造方法 |
JPH0790418A (ja) | 1993-09-16 | 1995-04-04 | Toyota Motor Corp | 金属基複合材料用成形体の製造方法 |
JPH0812436A (ja) | 1994-06-30 | 1996-01-16 | Kyocera Corp | 炭化ケイ素質焼結体の製造方法 |
JP3297547B2 (ja) | 1994-11-29 | 2002-07-02 | 京セラ株式会社 | 炭化珪素質焼結体の製造方法 |
JP3270798B2 (ja) * | 1994-12-27 | 2002-04-02 | 京セラ株式会社 | 炭化珪素質焼結体の製造方法 |
JP3604438B2 (ja) | 1995-01-13 | 2004-12-22 | 株式会社東芝 | 炭化珪素基繊維複合材料およびその製造方法 |
JP3510710B2 (ja) * | 1995-07-04 | 2004-03-29 | 株式会社東芝 | セラミックス基繊維複合部材の製造方法 |
EP0798280B1 (en) | 1996-03-29 | 2001-09-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ceramic matrix composite and method of manufacturing the same |
JP3140701B2 (ja) | 1996-12-12 | 2001-03-05 | 日本カーボン株式会社 | 長繊維強化炭化ケイ素複合材料の製造方法 |
JPH10251086A (ja) | 1997-03-07 | 1998-09-22 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 磁気ヘッド・スライダー用材料とその製造方法 |
DE19736560C2 (de) * | 1997-08-22 | 2002-01-24 | Daimler Chrysler Ag | Verfahren zur Herstellung eines porösen Körpers, Körper aus SiC, sowie Verwendung des porösen Körpers |
JP3112871B2 (ja) | 1997-10-07 | 2000-11-27 | 有限会社村上石材センター | 墓 |
WO2000007959A1 (fr) * | 1998-08-07 | 2000-02-17 | Bridgestone Corporation | Fritte de carbure de silicium et son procede de production |
JP2000072550A (ja) | 1998-08-24 | 2000-03-07 | Toshiba Corp | 摺動部材 |
JP2000247745A (ja) | 1999-02-26 | 2000-09-12 | Toshiba Corp | セラミックス基繊維複合材料、その製造方法およびガスタービン部品 |
JP2001019551A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-01-23 | Bridgestone Corp | 炭化ケイ素焼結体及びその製造方法 |
KR20020073328A (ko) * | 1999-07-23 | 2002-09-23 | 엠큐브드 테크놀로지스, 인크. | 탄화규소 복합물 및 그 제조 방법 |
JP3830733B2 (ja) | 2000-06-05 | 2006-10-11 | 株式会社東芝 | 粒子分散シリコン材料およびその製造方法 |
JP2002037682A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 多孔質炭化珪素焼結体の製造方法 |
JP2002089841A (ja) | 2000-09-12 | 2002-03-27 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | ガスタービン用燃焼器 |
JP2002155166A (ja) | 2000-11-20 | 2002-05-28 | Bridgestone Corp | ゴム組成物及びタイヤ |
EP1484297A4 (en) | 2002-03-11 | 2010-07-14 | Bridgestone Corp | METHOD FOR PRODUCING A SILICON CARBIDE INTERCOATER AND THEREFORE PRODUCED SILICON CARBIDE INTERCONNECTION TENSIONER |
-
2002
- 2002-06-18 JP JP2002176680A patent/JP4261130B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-06-28 JP JP2002190588A patent/JP2004035279A/ja active Pending
- 2002-08-29 KR KR1020047018876A patent/KR100646679B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-06-18 EP EP10193638.3A patent/EP2336098B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-18 US US10/518,646 patent/US7235506B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-18 EP EP03733472A patent/EP1561737B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-18 WO PCT/JP2003/007700 patent/WO2004007401A1/ja active Application Filing
-
2007
- 2007-05-24 US US11/753,216 patent/US8568650B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007016292A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Toshiba Corp | スパッタリングターゲット、それを用いた光学薄膜とその製造方法、および光記録媒体 |
US7510990B2 (en) | 2005-07-08 | 2009-03-31 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Sputtering target, optical thin film and manufacturing method thereof using the sputtering target, and optical recording medium |
JP4533815B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2010-09-01 | 株式会社東芝 | スパッタリングターゲットとそれを用いた光学薄膜の製造方法 |
JP2007165806A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Taiheiyo Cement Corp | ウェハプローバ |
JP2007055897A (ja) * | 2006-10-31 | 2007-03-08 | Toshiba Corp | シリコン/炭化ケイ素複合材料 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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