JP2007165806A - ウェハプローバ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコンウエハ6上に形成されたICチップの電気特性を検査するウエハプローバにおいて、該ウエハプローバのチャックトップ部1を炭化珪素を強化材とし、かつシリコンをマトリックスとする金属−セラミックス複合材料で構成する。また前記複合材料中における炭化珪素の含有率を30〜80体積%とする。
【選択図】図1
Description
まず、チャックトップがアルミニウム合金製の場合、その弾性率の低さゆえチャックトップ部の金属板の肉厚が薄い場合、G/W工程において、プローブガードのプローブがICの電極に接触する際に針圧がかかり、その為に金属板であるチャックトップ部に反りや歪が生じることで、チャックトップ部上にセットされているシリコンウェハが破損したり傾く原因になっていることがあげられる。そのためチャックトップ部の肉厚が約15mm程度必要になる。
また、チャックトップがステンレス鋼製の場合、アルミニウム合金に比べて弾性率が高い為、チャックトップ部の肉厚を薄くすることができるが、比重が7.9×103kg/m3と大きい為にチャックトップ部の重量が重くなってしまう。
本発明ではシリコンウェハ上に形成されたICチップの電気特性を検査するウェハプローバにおいて、該ウェハプローバのチャックトップ部を、炭化珪素を強化材とし、かつシリコンをマトリックスとする金属−セラミックス複合材料で構成することを特徴とするウェハプローバを提案している。(請求項1)
ここで炭化珪素の含有率を30〜80体積%に限定したのは炭化珪素の含有率が30体積%より少ないと、弾性率が200GPa程度と合成が低くなり、また80体積%より多いと金属−セラミックス複合材料の作製が困難となるからである。
強化材として市販の信濃電気精錬社製のSiC粉末(品番:#400、平均粒形30μm)を用い、これにフェノール樹脂を添加して100×100×10mm形状に成形した。得られた成形体をAr中で1000度に加熱してSiCプリフォームを得た。次にSiを当該プリフォームとともに炉内に設置し、1700℃に加熱してSiを溶融し、SiCの含有率が50体積%になるようにプリフォームに含浸させて金属マトリックスがSiである金属−セラミックス複合材料を得た。
この複合材料より3×4×40mmの試験片を切り出しアルキメデス法により密度を測定し、また、弾性率を共振法により測定した。その結果は、密度が2800kg/m3と小さく、弾性率は280GPaと高かった。さらに熱膨張係数は2.8×106/Kと小さく、熱伝導度は175W/m・Kと高かった。
比較のため比較例ではアルミニウム製のチャックトップ部から試験片を切り出し、実施例と同様に評価した。その結果、密度は2700kg/m3、弾性率は80GPa、熱膨張係数は20×106/K、熱伝導度は125W/m・Kであった。
比較例であるアルミニウム合金製チャックトップでは同様のそりを測定したところ、95〜120μmと大きくなった。
2 絶縁層(セラミック基板)
3 冷却部
4 発熱体
5 水冷管(または空冷管)
6 シリコンウェハ
7 金属製チャックトップ部
8 測定箇所
Claims (2)
- シリコンウェハ上に形成されたICチップの電気特性を検査するウェハプローバにおいて、該ウェハプローバのチャックトップ部を、炭化珪素を強化材とし、かつシリコンをマトリックスとする金属−セラミックス複合材料で構成することを特徴とするウェハプローバ。
- 前記複合材料中における炭化珪素の含有率が30〜80体積%であることを特徴とする請求項1記載のウェハプローバ。
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2005
- 2005-12-16 JP JP2005364030A patent/JP2007165806A/ja active Pending
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