JP2017173179A - プローブ案内部材及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Si6-ZAlZOZN8-Z、但しZは0.2以上1.5以下の範囲の数、好ましくは0.2以上1.0以下の範囲の数である (式1)
まず原料混合粉末は以下の方法で調整した。即ち、六方晶窒化ホウ素粉末(比表面積41m2/g、20m2/g)、4種のサイアロン粉末(Z=0.2、比表面積16m2/g、)、(Z=0.5、比表面積15m2/g)、(Z=0.9、比表面積16m2/g)、(Z=1.5、比表面積15m2/g)、さらに焼結助剤としてイットリア(純度99質量%、平均粒径0.4μm)、及びアルミナ(比表面積14m2/g、純度99.99質量%以上)を、表1に示す所定の割合に混合した。また、サイアロンの原材料として窒化ケイ素(α化率92%、比表面積14m2/g、純度99質量%以上)、(α化率91%、比表面積6m2/g、純度99質量%以上)、AlN(比表面積6m2/g)、Al2O3(比表面積14m2/g、純度99.99質量%以上)を使用し配合した。混合は、エタノールを使用し、ボールミルにて混合し、さらに真空乾燥して混合粉を得た。以上をまとめて表1に示す。
比較例1〜13として、実施例と同じく表1に示す条件で配合、焼結した。評価結果を表2に示した。
Claims (6)
- 窒化ホウ素40質量部以上60質量部以下と、下記の式1で示されるサイアロン25質量部以上58質量部以下と、焼結助剤2質量部以上15質量部以下との合計100質量部を含む組成物からなり、相対密度が90%以上で且つJIS R1601:2008に従って測定する3点曲げ強さが250MPa以上、下式に示すサイアロン組成のZ値が0.2以上1.5以下の、窒化ホウ素−サイアロン系複合セラミックス焼結体であることを特徴とするプローブ案内部材。
Si6-ZAlZOZN8-Z、但しZ=0.2〜1.5 (式1) - サイアロン組成のZ値が0.2以上1.0以下である、請求項1記載のプローブ案内部材。
- 焼結助剤が希土類酸化物、アルミナ、およびマグネシアならびにこれらの複合酸化物からなる群から選ばれる1種以上であることを特徴とする、請求項1または2記載のプローブ案内部材。
- 比表面積20m2/g以上の窒化ホウ素粉末と、比表面積6.0m2/g以上のサイアロン粉末及び/または比表面積6.0m2/g以上の窒化珪素、窒化アルミニウム、アルミナ、シリカから選ばれる1種以上の化合物粉末と、焼結助剤粉末とを含む混合粉末を、圧力10MPa以上50MPa以下、温度1510℃以上1780℃以下、保持時間1時間以上5時間以下の条件下でホットプレス焼成することを特徴とする、請求項1〜3記載のプローブ案内部材の製造方法。
- 請求項1〜3記載のプローブ案内部材を用いたプローブガイド加工品。
- 請求項5記載のプローブガイドを用いたプローブカード製品。
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