JP2005119941A - 快削性セラミックスとその製造方法およびプローブ案内部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 窒化硼素30〜59.95質量%、ジルコニア40〜69.95質量%、窒化珪素0〜20質量%を含むとともに、さらに必要により、着色剤として、C、Si、長周期型周期表における第4周期IIIA 〜IVB族、第5周期IVA〜VB族および第6周期IVA〜VIB族の元素から選択された1種以上の元素の単体および/または化合物:0.05〜2.5質量% (但し、単体元素換算)を含む。
【選択図】なし
Description
従来のプローブ案内部品は、プラスチック、またはAl2O3、SiO2、K2Oなどからなる快削性の結晶化ガラス系セラミックス材料から作製されてきた。最近では窒化硼素を含有する快削性セラミックスからも作製されている。
結晶化ガラスセラミックス材料製のプローブ案内部品は、高温検査への対応は可能である。しかし、結晶化ガラスセラミックスの熱膨張係数が半導体素子に比べて大きく、測定温度によっては、測定用プローブと半導体素子の電極パッドとの間の位置ずれが起こることがある。また、結晶化ガラスセラミックスの強度はそれほど高くないので、ドリル加工や他の切削加工時に欠けや割れが起こり易く、やはり充分な寸法精度が得られない。特許文献1参照。
本発明に係る快削性セラミックスは、窒化硼素、ジルコニアおよび任意成分の窒化珪素と、少なくとも1種の着色成分を含む主成分原料粉末を、該主成分原料粉末の1〜15質量%の焼結助剤とを混合して原料粉末を得る工程と、混合された原料粉末を高温加圧下に焼結する工程とを含む方法により製造することができる。プローブ案内部品のような加工部品は、このセラミックスから、切削加工とスリット形成用の研削加工および/または貫通穴形成用のドリル加工とを含む機械加工により製造することができる。
これらのセラミックス加工部品は、プローブが通る複数のスリットおよび/または穴を備えたプローブ案内部品であっても良い。
また、C (カーボン) 添加も、加工性への影響が少ない点から好適であるが、これらは炭素粉末や炭化性樹脂の形態で配合すればよい。炭化性樹脂の場合は炭化後に所望のC添加率となるようにその添加量を調整すればよい。
得られた焼結体は均一に黒色系の色合いに着色しており、焼結助剤の種類や量ならびにジルコニアおよび窒化珪素 (使用する場合) の割合を適切に選択すれば、25℃〜600℃での熱膨張係数が3〜5×10-6/℃となる。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h−BN) 粉末、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末、および平均粒径0.1μmのカーボン粉末を、表1に示す割合で混合した。この混合粉末 (主成分原料粉末)に対して、焼結助剤として2%のアルミナと6%のイットリアを加え、エチルアルコールを溶媒として湿式ボールミル混合を行った。この時、ポリエチレン製ポット、メディアとしてジルコニアボールを用い、得られたスラリーを減圧エバポレーターにより乾燥させて、原料粉末を得た。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、平均粒径0.1μmのカーボン粉末を表1に示す割合で混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして、焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、C供給源のフェノール樹脂を、炭化後に表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価を行った。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、モリブデン酸(H2MoO4) をMo換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、場合により平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、酸化チタン(TiO2)をTi換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、炭化チタン(TiC) をTi換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、窒化チタン(TiN)をTi換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、硼化チタン(TiB2)をTi換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、炭化タングステンをW換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、塩基性炭酸コバルト(II)をCo換算で表1に示す割合になるように混合して調製した主成分原料粉末に、実施例1と同様に焼結助剤を加えて湿式ボールミル混合した。得られた原料粉末を大気中400 ℃で仮焼して炭酸コバルトを酸化コバルトに分解し、この仮焼粉をエチルアルコールを用いて再び湿式ボールミル混合して解凝集した後、実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、平均粒径0.1μm、純度99.9%のニッケル粉末を表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、酢酸マンガン(II)4水和物をMn換算で表1に示す割合になるように混合して調製した主成分原料粉末に、実施例1と同様に焼結助剤を加えて湿式ボールミル混合した。得られた原料粉末を大気中400 ℃で仮焼して酢酸マンガンを酸化マンガンに分解し、この仮焼粉をエチルアルコールを用いて再び湿式ボールミル混合して解凝集した後、実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、硝酸銅(II)3水和物をCu換算で表1に示す割合になるように混合して調製した主成分原料粉末に、実施例1と同様に焼結助剤を加えて湿式ボールミル混合した。得られた原料粉末を大気中400 ℃で仮焼して硝酸銅を酸化銅に分解し、この仮焼粉をエチルアルコールを用いて再び湿式ボールミル混合して解凝集した後、実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、酸化銀(I) (Ag2O) をAg換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、酸化スカンジウム (Sc2O3) をSc換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、酸化バナジウム(V) (V2O5) をV換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、酸化亜鉛 (ZnO) をZn換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、酸化ガリウム(III) (Ga2O3)をGa換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、硝酸鉄(III) 9水和物をFe換算で表1に示す割合になるように混合して調製した主成分原料粉末に、実施例1と同様に焼結助剤を加えて湿式ボールミル混合した。得られた原料粉末を大気中400 ℃で仮焼して硝酸鉄を酸化鉄に分解し、この仮焼粉をエチルアルコールを用いて再び湿式ボールミル混合して解凝集した後、実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、酸化クロム (Cr2O3) をCr換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
平均粒径0.9μm、純度99%の六方晶窒化硼素 (h-BN) 粉末と、平均粒径0.1μmのジルコニア粉末と、平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末と、酸化スズ(II) (SnO) をSn換算で表1に示す割合になるように混合して主成分原料粉末を調製した。その他の条件は実施例1と同様にして焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
比較のために、窒化硼素、ジルコニア、および/または着色添加剤の質量比が本発明の範囲外であった点を除いて実施例4と同様にして (但し、主成分原料粉末は平均粒径0.1μmの窒化珪素粉末を場合により含有) 焼結体を作製し、評価した。結果は表1に示す。
比較のため、従来の快削性結晶化ガラス系セラミックス材料について実施例と同様なスリット加工および穴加工を施したところ、材料の強度が弱く、微細加工を施すと欠け(チッピング)が発生し、精度良くきれいに穴あけすることができなかった。このセラミックス材料の各種特性や加工結果も表1に併記する。
比較のため、従来の窒化アルミニウムと窒化硼素の複合快削性セラミックス材料について実施例と同様なスリット加工および穴加工を施したところ、材料の加工性が悪く、精度良くきれいに穴あけすることができなかった。このセラミックス材料の各種特性や加工結果も表1に併記する。
Claims (7)
- 主成分として、窒化硼素:30〜59.95質量%、およびジルコニア:40〜69.95質量%を含み、黒色系の色合いを備えたことを特徴とする快削性セラミックス。
- 主成分として、窒化硼素:30〜59.95質量%、ジルコニア:40〜69.95質量%、およびC、Si、長周期型周期表における第4周期IIIA 〜IVB族、第5周期IVA〜VB 族および第6周期IVA〜VIB族の元素から選択された1種以上の元素の単体および/または化合物:0.05〜2.5質量% (但し、単体元素換算)を含むことを特徴とする快削性セラミックス。
- 主成分として、窒化硼素:30〜59.95質量%、ジルコニア:40〜69.95質量%、およびSc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、MoおよびWから選択された1種以上の金属の単体および/または酸化物:0.05〜2.5質量% (但し、単体元素換算)を含むことを特徴とする快削性セラミックス。
- 主成分として、さらに、窒化珪素20質量%以下を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の快削性セラミックス。
- 25℃〜600 ℃の熱膨張係数が3〜5×10-6/℃である請求項1〜4のいずれかに記載の快削性セラミックス。
- 窒化硼素、ジルコニアおよび着色成分を含む主成分原料粉末と、該主成分原料粉末の1〜15質量%の焼結助剤とを混合して原料粉末を得る工程と、混合された原料粉末を高温加圧下に焼結する工程とを含む、請求項1〜5のいずれかに記載の快削性セラミックスの製造方法。
- プローブが通る複数のスリットおよび/または貫通穴を備えたプローブ案内部品であって、請求項1〜5のいずれかに記載の快削性セラミックスからなることを特徴とするプローブ案内部品。
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