JP2008024530A - 快削性セラミックス焼結体及びプローブガイド部品 - Google Patents
快削性セラミックス焼結体及びプローブガイド部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008024530A JP2008024530A JP2006195695A JP2006195695A JP2008024530A JP 2008024530 A JP2008024530 A JP 2008024530A JP 2006195695 A JP2006195695 A JP 2006195695A JP 2006195695 A JP2006195695 A JP 2006195695A JP 2008024530 A JP2008024530 A JP 2008024530A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- free
- vol
- ceramic sintered
- sintered body
- cutting ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/583—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on boron nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/481—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing silicon, e.g. zircon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/486—Fine ceramics
- C04B35/488—Composites
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
- C04B35/645—Pressure sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
- C04B35/645—Pressure sintering
- C04B35/6455—Hot isostatic pressing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3248—Zirconates or hafnates, e.g. zircon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
- C04B2235/3852—Nitrides, e.g. oxynitrides, carbonitrides, oxycarbonitrides, lithium nitride, magnesium nitride
- C04B2235/386—Boron nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/76—Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
- C04B2235/767—Hexagonal symmetry, e.g. beta-Si3N4, beta-Sialon, alpha-SiC or hexa-ferrites
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/77—Density
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
- C04B2235/9607—Thermal properties, e.g. thermal expansion coefficient
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24744—Longitudinal or transverse tubular cavity or cell
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
【課題】 快削性及び各種物性値に優れ、液相を伴わずに1550℃以下の温度で焼結した快削性マシナブルセラミックスを提供する。
【解決手段】 ZrSiO4:10〜75vol%、h-BN:15〜50vol%、ZrO2:10〜50vol%、より好ましくは、ZrSiO4:10〜60vol%、h-BN:20〜50vol%、ZrO2:21〜50vol%の組成割合により1450〜1550℃の温度で焼成して得られる。
【選択図】 なし
【解決手段】 ZrSiO4:10〜75vol%、h-BN:15〜50vol%、ZrO2:10〜50vol%、より好ましくは、ZrSiO4:10〜60vol%、h-BN:20〜50vol%、ZrO2:21〜50vol%の組成割合により1450〜1550℃の温度で焼成して得られる。
【選択図】 なし
Description
本発明は、快削性及び各種物性値(曲げ強度、ヤング率、熱膨張係数等)に優れた快削性セラミックス焼結体及びこの快削性セラミックス焼結体を用いたプローブガイド部品に関する。
精密機器や半導体製造・検査装置の構成部品の材料としてマシナブルセラミックスが知られており、このマシナブルセラミックスの先行技術としては特許文献1、2、3に挙げるものが知られている。
特許文献1には、マシナブルセラミックスの製造方法として、ZrO2とBN、Si3N4、焼結助剤(Al2O3、Y2O3等)を湿式混合し、これを乾燥させた粉末をホットプレスにて窒素雰囲気中1600℃、 2時間、30MPaで焼成することが開示されている。
特許文献2には、マシナブルセラミックスの製造方法として、BNとSi3N4、焼結助剤(Al2O3、Y2O3等)を湿式混合し、これを乾燥させた粉末をホットプレスにて窒素雰囲気中1850℃、 2h、30MPaで焼成することが開示されている。
特許文献3には、マシナブルセラミックスの製造方法として、BNとAlN 、金属もしくは金属化合物のような焼結助剤を湿式混合し、これを乾燥させた粉末をホットプレスにて窒素雰囲気中2000℃、 3h、20MPaで焼成することが開示されている。
特許文献1および特許文献2にあっては、BNとSi3N4ともに難焼結性であり、緻密な焼結体を得るためには液相(1800℃以上)の生成が必要である。そのため、機械的物性は高くない。また、特許文献3にあっては、BN、AlNともに難焼結性であり、緻密な焼結体を得るためには液相の生成が必要である。そのため、機械的物性は高くない。また、加工性に乏しいため、高精度な微細加工には不向きである。
特に、精密機器や半導体製造・検査装置の構成部品の材料物性として、材料の大型化、加工の微細化に伴い従来品よりさらに高い強度、ヤング率を持つ快削性材料が必要となるが、従来の材料は液相を伴い1600℃を超えるような高い温度で焼結させるので粒成長を伴い、機械的物性に劣るという問題がある。
本発明はマシナブルセラミックスのマトリックス中にh-BNを分散させることで快削性、機械的熱的物性に優れるとの知見に基づきなしたものであり、その組成はZrSiO4とh-BNとZrO2からなる。
各成分の具体的な組成割合としては、ZrSiO4:10〜75vol%、h-BN:15〜50vol%、ZrO2:10〜50vol%、より好ましくは、ZrSiO4:10〜60vol%、h-BN:20〜50vol%、ZrO2:21〜50vol%である。
また、本発明に係る快削性セラミックス焼結体の特徴は、相対密度が高く、例えば相対密度が95%以上のものである。ヤング率も高く、例えば100GPa以上である。更に曲げ強度にも優れ、例えば350MPa以上である。
また、本発明に係る快削性セラミックス焼結体の特徴は、相対密度が高く、例えば相対密度が95%以上のものである。ヤング率も高く、例えば100GPa以上である。更に曲げ強度にも優れ、例えば350MPa以上である。
本発明には上記快削性セラミックス焼結体を用いたプローブガイド部品が含まれる。このプローブガイド部品は例えば、25〜200℃の熱膨張係数が5×10-6/K以下である。
本発明によれば、ZrSiO4、ZrO2、h-BNを出発原料に選定することにより液相を伴わない固相焼結が進行し1550℃以下の温度で焼結させることでき、加工性、機械的物性に優れたマシナブルセラミックスの作製が可能となる。また、焼結温度を低く抑えることができるので、コストや環境負荷を低減することができる。
先ず、本発明の快削性セラミックス焼結体の物性値の定義、測定方法、作製方法について詳細に説明する。
ZrO2にはY2O3量が3mol%以上固溶している部分安定化、もしくは安定化のものを使用するのが好ましい。Y2O3量が3mol%未満のZrO2では、結晶形態の転移による収縮、膨張により亀裂が発生する恐れがある。組成割合の評価方法は、X線回折や蛍光X線等により決定することができる。
ZrO2にはY2O3量が3mol%以上固溶している部分安定化、もしくは安定化のものを使用するのが好ましい。Y2O3量が3mol%未満のZrO2では、結晶形態の転移による収縮、膨張により亀裂が発生する恐れがある。組成割合の評価方法は、X線回折や蛍光X線等により決定することができる。
快削性の評価は、微小動力計(キスラー社製)に加工用サンプルを固定し、市販のマシニングセンタにφ200μmの超硬スパイラルドリルを取り付け、ドリルの軸方向の加工抵抗値を測定し評価を行った。
次に、各種物性値について詳細に説明する。
相対密度は、かさ密度を体積分率により理論密度を計算しそれにより除したものである。かさ密度はアルキメデス法により測定する。
ヤング率は共振法により測定し、測定数は3で平均値である。
曲げ強度は3点曲げ試験により測定し、測定数は5〜10で平均値である。
熱膨張係数は示差方式の熱膨張計により室温〜200℃まで測定し、測定数は2で平均値である。
ビッカース硬度はビッカース硬度計により荷重を2.5kgかけて測定し、測定数は10で平均値である。
相対密度は、かさ密度を体積分率により理論密度を計算しそれにより除したものである。かさ密度はアルキメデス法により測定する。
ヤング率は共振法により測定し、測定数は3で平均値である。
曲げ強度は3点曲げ試験により測定し、測定数は5〜10で平均値である。
熱膨張係数は示差方式の熱膨張計により室温〜200℃まで測定し、測定数は2で平均値である。
ビッカース硬度はビッカース硬度計により荷重を2.5kgかけて測定し、測定数は10で平均値である。
上記の物性値の持つ意味について詳しく説明する。
相対密度を95%以上とすることで曲げ強度やヤング率等の物性値の向上が図れ、加工時のピッチングを防止して加工精度に優れた製品が得られる。
相対密度を95%以上とすることで曲げ強度やヤング率等の物性値の向上が図れ、加工時のピッチングを防止して加工精度に優れた製品が得られる。
先ず、プローブカード部材を図1に基づいて簡単に説明する。プロ−ブカード部材は基板と、この基板に取り付けられたガイド部材からなり、基板の表面には導体パターンが形成され、この導体パターンに電気的に接続するようにプローブの基端部が基板に固着されている。前記ガイド部材には検査対象のチップの電極パッドの位置に対応してガイド穴が形成され、このガイド穴に前記プローブの先端部が摺動自在に挿通している。そして、ガイド部材は快削性マシナブルセラミックスにガイド穴またはガイド溝を加工して製造される。
前記プローブカード部材は大型化、高集積化が進んでおり、高いヤング率が求められている。ヤング率が100GPa未満であると部材への応力によるたわみの影響により位置精度誤差に影響を及ぼしかねない。プローブカード部材の高集積化により孔と孔の間隔が小さくなり薄肉化している。そのため350MPa以上の高い強度が必要となる。
プローブカード部材の大型化、高集積化、高温試験の普及に伴って部材の熱膨張によるプローブ位置の誤差が無視できないような状況になっている。そのためシリコン(3.9×10-6)に近い熱膨張係数が要求されている。高温試験ではヒーターにシリコンウェハーが接している状態であり、その上にプローブカードがあるためプローブカード部材の温度はシリコンウェハーより若干低い温度である。そのため熱膨張係数は3.9〜5.0×10-6/Kであることが好ましい。
以下、本発明の快削性セラミックス焼結体の作製方法について詳細に説明する。 本発明の快削性セラミックス焼結体は、ZrSiO4、h-BN、ZrO2を湿式混合、乾燥を行いホットプレスにより焼結させて得る。ここで、ZrSiO4、h-BN、ZrO2の原料粉末は焼結性を考慮するとそれぞれ平均粒径1μm 未満のものが好適である。
これらの原料をボールミルなどにより湿式混合を行い、スプレードライヤーなどで造粒を行う。これを黒鉛の型に詰めて、ホットプレスにより焼結させる。雰囲気はN2雰囲気である。ホットプレス温度は1400〜1600℃の範囲で行う。温度が低すぎると焼結が不十分となり優れた物性を発現しない。温度が高すぎると、ZrSiO4が分解してしまう問題が発生する。加圧力は10〜50Mpaの範囲で行い、ホットプレスの最高温度での保持時間は寸法にもよるが1〜4時間が適当である。
この焼結体は、快削性に優れ、かつ高強度、高ヤング率を持ち、熱膨張係数もシリコンに近いので半導体検査装置に使用されるプローブガードのプローブガイド部材に使用した場合、温度変化があっても被検査素子との間で位置ずれが小さく検査に支障をきたさない。また、プローブガードの大型化に伴い、ガイド部材も大きくなっており、高強度、高ヤング率が求められているためその要求も満たせる材料である。
上記のような材料はおもにICやLSIの導通検査を行うためのプローブカードのプローブをガイドする部材に使用される。その部材は、ドリル加工により形成された複数の孔を備えた快削性セラミックス焼結体からなるものであり、前記孔径が110μm以下、前記孔間の壁厚みが150μm以下、孔径の精度が±4μm以内のセラミックス加工部材に使用される。
本発明による快削性セラミックス焼結体はヤング率、曲げ強度が高く、室温〜200℃での熱膨張係数もシリコンに近く低熱膨張であることから、最近高集積化し孔間隔が小さくなり壁厚みは薄く、また一括検査の要望が強く大型化しているプローブカード用部材として好適である。
(実施例)
以下に本発明の実施の形態について説明する。
ZrSiO4、h-BN、ZrO2からなる原料粉末を湿式混合した後乾燥させ、ホットプレスまたは窒素雰囲気による焼成、熱間静水圧プレス(HIP)により焼結してセラミックス焼結体を得る。
以下に本発明の実施の形態について説明する。
ZrSiO4、h-BN、ZrO2からなる原料粉末を湿式混合した後乾燥させ、ホットプレスまたは窒素雰囲気による焼成、熱間静水圧プレス(HIP)により焼結してセラミックス焼結体を得る。
まず、原料としてZrSiO4、h-BN、ZrO2の3種類を使用した。平均1次粒径はそれぞれ0.9μm 、0.1〜1μm、0.35μmのものを用いた。
ここで、ZrSiO4はヤング率向上に寄与する。h-BNは、へき開により優れた快削性を付与する。ZrO2は、高強度化させることができるが熱膨張係数が高い。そしてこれらの組成を適切に変化させて、シリコンの熱膨張に近くなるように組成を調整ことでプローブガイド部品として優れた特性を発揮する。
また、原料粉末を微細化することでさらなる低温での焼結が可能となる。
ここで、ZrSiO4はヤング率向上に寄与する。h-BNは、へき開により優れた快削性を付与する。ZrO2は、高強度化させることができるが熱膨張係数が高い。そしてこれらの組成を適切に変化させて、シリコンの熱膨張に近くなるように組成を調整ことでプローブガイド部品として優れた特性を発揮する。
また、原料粉末を微細化することでさらなる低温での焼結が可能となる。
上記原料をそれぞれ10〜75vol%、15〜50vol%、10〜50vol%となるように調合を行いポットミルにて2時間湿式混合を行った。溶媒はエタノール等の有機溶媒もしくはイオン交換水である。溶媒にイオン交換水を使用する場合、h-BNが水にぬれ難いため湿潤剤と分散剤を添加する。湿式混合したものを乾燥させ、原料粉末を得た。
原料の混合割合としては、ZrSiO4:10〜60vol%、h-BN:20〜50vol%、ZrO2:21〜50vol%とすればより好ましい。
原料の混合割合としては、ZrSiO4:10〜60vol%、h-BN:20〜50vol%、ZrO2:21〜50vol%とすればより好ましい。
この原料粉末を黒鉛製のダイスに充填し、窒素雰囲気中40MPaの圧力を加えながら、1450〜1550℃で1時間ホットプレスによる焼結を行い、50mm×50mm、厚み10mmのセラミックス焼結体を得た。
この焼結体から物性値測定用の試験片を切り出し、かさ密度をアルキメデス法、ヤング率を共振法、破壊強度を3点曲げ試験で測定した。さらに、この焼結体の熱膨張係数を室温(25℃)〜200℃で測定した。また、加工性を評価するため、直径0.2μmのダイヤコーティングドリルを用いて、送り速度6.6μm/revで孔加工を行った。その際、被削材の下に微小動力計を設置し5孔ごとに加工抵抗値(ドリルの軸方向)を測定し、加工抵抗値(平均)は快削性に優れたフッ素金雲母析出ガラスセラミックスと比較した。加工抵抗値は加工のし易さを表す指標であり、その値が低いほど加工が容易な材料である。その後、孔周りを電子顕微鏡により観察し、孔周りの割れやチッピングの度合いにより評価した。評価はチッピングがほとんどない場合を○、20μm〜40μmのチッピングが発生した場合を△、それ以上発生している場合を×とした。
以下の表1より、1550℃以下で高強度、優れた加工性が発現しており従来品と比較して大幅に改良されていることが分かる。また図2は本発明に係る素材の孔加工後の電子顕微鏡(SEM)像であり、この図から本発明に係る快削性セラミックスを加工して得られたプローブカード部材の穴周りには欠けがないことが分かる。
本発明に係るマシナブルセラミックスは、例えばICやLSIなどの半導体素子の導通を検査するプローブカードなどとして用いることができる。
Claims (8)
- ZrSiO4とh-BNとZrO2からなることを特徴とする快削性セラミックス焼結体。
- 上記組成割合がZrSiO4:10〜75vol%、h-BN:15〜50vol%、ZrO2:10〜50vol%であることを特徴とする請求項1に記載の快削性セラミックス焼結体。
- 上記組成割合がZrSiO4:10〜60vol%、h-BN:20〜50vol%、ZrO2:21〜50vol%であることを特徴とする請求項1に記載の快削性セラミックス焼結体。
- 相対密度が95%以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の快削性セラミックス焼結体。
- ヤング率が100GPa以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の快削性セラミックス焼結体。
- 曲げ強度が350MPa以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の快削性セラミックス焼結体。
- プローブが通る多数の貫通孔を備えたプローブガイド部品であって、請求項1乃至請求項6いずれか1項に記載の快削性セラミックス焼結体からなることを特徴とするプローブガイド部品。
- 25〜200℃の熱膨張係数が5×10-6/K以下であることを特徴とする請求項7記載のプローブガイド部品。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006195695A JP2008024530A (ja) | 2006-07-18 | 2006-07-18 | 快削性セラミックス焼結体及びプローブガイド部品 |
US11/879,489 US20080075929A1 (en) | 2006-07-18 | 2007-07-17 | Machineable ceramic sintered body and probe guide component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006195695A JP2008024530A (ja) | 2006-07-18 | 2006-07-18 | 快削性セラミックス焼結体及びプローブガイド部品 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008024530A true JP2008024530A (ja) | 2008-02-07 |
Family
ID=39115554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006195695A Pending JP2008024530A (ja) | 2006-07-18 | 2006-07-18 | 快削性セラミックス焼結体及びプローブガイド部品 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080075929A1 (ja) |
JP (1) | JP2008024530A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013108759A1 (ja) * | 2012-01-18 | 2013-07-25 | 日本発條株式会社 | スペーストランスフォーマおよびプローブカード |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7010967B2 (ja) * | 2017-11-10 | 2022-01-26 | 株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ | セラミックス、プローブ案内部品、プローブカードおよびパッケージ検査用ソケット |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS496363B1 (ja) * | 1970-03-25 | 1974-02-14 | ||
JPS5345312A (en) * | 1976-10-04 | 1978-04-24 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Sintered mold articles and manufacture |
JPS60195059A (ja) * | 1984-03-15 | 1985-10-03 | 株式会社トクヤマ | 複合焼結体 |
JPH0244067A (ja) * | 1988-08-04 | 1990-02-14 | Koransha Co Ltd | 耐溶損性に優れたbn系常圧焼結セラミック |
JPH04153080A (ja) * | 1990-10-17 | 1992-05-26 | Ricoh Co Ltd | 感熱記録材料 |
JPH04270169A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-09-25 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 快削性複合セラミックス |
JPH06116007A (ja) * | 1992-10-06 | 1994-04-26 | Toshiba Corp | セラミックス部品の製造方法 |
JPH11322434A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-24 | Osamu Yamamoto | 結晶性乱層構造窒化硼素含有複合セラミックス焼結体 |
JP2001354480A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-25 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 黒色系快削性セラミックスとその製法および用途 |
JP2003286076A (ja) * | 2002-03-27 | 2003-10-07 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 快削性セラミックスとその製造方法およびプローブ案内部品 |
JP2005119941A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-05-12 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 快削性セラミックスとその製造方法およびプローブ案内部品 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3824849A1 (de) * | 1988-07-21 | 1990-01-25 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Unter druck gesinterte, polykristalline mischwerkstoffe auf basis von hexagonalem bornitrid, oxiden und carbiden |
FR2755384B1 (fr) * | 1996-11-06 | 1998-11-27 | Usinor Sacilor | Enduit protecteur pour elements en materiau refractaire d'une lingotiere de coulee continue des metaux, et elements en materiau refractaire protege a l'aide de cet enduit |
CN1163439C (zh) * | 1998-11-19 | 2004-08-25 | 维苏维尤斯·克鲁斯布公司 | 复合材料 |
-
2006
- 2006-07-18 JP JP2006195695A patent/JP2008024530A/ja active Pending
-
2007
- 2007-07-17 US US11/879,489 patent/US20080075929A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS496363B1 (ja) * | 1970-03-25 | 1974-02-14 | ||
JPS5345312A (en) * | 1976-10-04 | 1978-04-24 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Sintered mold articles and manufacture |
JPS60195059A (ja) * | 1984-03-15 | 1985-10-03 | 株式会社トクヤマ | 複合焼結体 |
JPH0244067A (ja) * | 1988-08-04 | 1990-02-14 | Koransha Co Ltd | 耐溶損性に優れたbn系常圧焼結セラミック |
JPH04153080A (ja) * | 1990-10-17 | 1992-05-26 | Ricoh Co Ltd | 感熱記録材料 |
JPH04270169A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-09-25 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 快削性複合セラミックス |
JPH06116007A (ja) * | 1992-10-06 | 1994-04-26 | Toshiba Corp | セラミックス部品の製造方法 |
JPH11322434A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-24 | Osamu Yamamoto | 結晶性乱層構造窒化硼素含有複合セラミックス焼結体 |
JP2001354480A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-25 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 黒色系快削性セラミックスとその製法および用途 |
JP2003286076A (ja) * | 2002-03-27 | 2003-10-07 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 快削性セラミックスとその製造方法およびプローブ案内部品 |
JP2005119941A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-05-12 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 快削性セラミックスとその製造方法およびプローブ案内部品 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013108759A1 (ja) * | 2012-01-18 | 2013-07-25 | 日本発條株式会社 | スペーストランスフォーマおよびプローブカード |
JPWO2013108759A1 (ja) * | 2012-01-18 | 2015-05-11 | 日本発條株式会社 | スペーストランスフォーマおよびプローブカード |
US9341650B2 (en) | 2012-01-18 | 2016-05-17 | Nhk Spring Co., Ltd. | Space transformer having a ceramic substrate with a wiring pattern for use in a probe card |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080075929A1 (en) | 2008-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7010967B2 (ja) | セラミックス、プローブ案内部品、プローブカードおよびパッケージ検査用ソケット | |
JP5506246B2 (ja) | セラミックス部材、プローブホルダ及びセラミックス部材の製造方法 | |
US11940466B2 (en) | Ceramic, probe guiding member, probe card, and socket for package inspection | |
US20130095994A1 (en) | Oxide ceramics sintered compact and method of manufacturing the same | |
KR101567311B1 (ko) | 세라믹 소재 및 그의 제조방법 | |
JP2008024530A (ja) | 快削性セラミックス焼結体及びプローブガイド部品 | |
KR101468552B1 (ko) | 세라믹 부재, 프로브 홀더 및 세라믹 부재의 제조 방법 | |
JP6698395B2 (ja) | プローブ案内部材及びその製造方法 | |
TWI759081B (zh) | 可機械加工的陶瓷複合物及其製備方法 | |
JP4897263B2 (ja) | 黒色低抵抗セラミックス及び半導体製造装置用部材 | |
KR101852040B1 (ko) | 가공성 세라믹 복합체 및 그 제조방법 | |
JP2009209005A (ja) | プローブ案内部材 | |
JP4089261B2 (ja) | 快削性セラミックスとその製造方法およびプローブ案内部品 | |
JP2010083749A (ja) | 快削性セラミックス複合材料 | |
JP2010180105A (ja) | プローブ案内部材 | |
JP6864513B2 (ja) | 複合焼結体 | |
Ćurković et al. | Comparison of Mechanical Properties of Conventionally and Non-Conventionally Sintered Cold Isostatically Pressed Al2O3 Ceramics | |
WO2021206148A1 (ja) | セラミックス、プローブ案内部品、プローブカードおよびパッケージ検査用ソケット | |
KR102156575B1 (ko) | 저열팽창 계수를 갖는 머시너블 세라믹 복합체 및 이의 제조방법 | |
KR20210101839A (ko) | 미세가공이 가능한 세라믹 및 그의 제조방법 | |
WO2006137488A1 (ja) | マシナブルガラスセラミックス及びその製造方法 | |
Roslan et al. | Comparison of zirconia toughened alumina fracture toughness obtained from Vickers indentation by applying various equations |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110719 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111115 |