JP2003338019A5

JP2003338019A5 -

Info

Publication number: JP2003338019A5
Application number: JP2002147963A
Authority: JP
Filing date: 2002-05-22
Publication date: 2005-08-25

Claims

ディスク状基板と、実質的に柱状構造を有する多結晶粒で構成された磁性層とを含む磁気記録媒体において、
前記磁性層は容易磁化方向が基板面と略垂直方向を向き、前記基板と磁性層との間に軟磁性層を有し、
前記磁性層を構成する結晶粒の基板円周方向の平均径＜Ｄｃ＞と基板半径方向の平均径＜Ｄｒ＞との比＜Ｄｃ＞／＜Ｄｒ＞が１より小さいことを特徴とする磁気記録媒体。
請求項１記載の磁気記録媒体において、前記比＜Ｄｃ＞／＜Ｄｒ＞が０．５以上０．９以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
請求項１記載の磁気記録媒体において、前記比＜Ｄｃ＞／＜Ｄｒ＞が、少なくとも磁気記録パターンの記録される最内周トラック位置において、０．５以上０．９以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
ディスク状基板と、前記基板上に形成された第１の下地層と、前記第１の下地層の上部に接して形成された実質的に柱状構造を有する多結晶粒で構成された第２の下地層と、前記第２の下地層の上に形成された実質的に柱状構造を有する多結晶粒で構成された磁性層とを含み、
前記磁性層は容易磁化方向が基板面と略垂直方向を向き、前記基板と第１の下地層との間に軟磁性層を有し、
前記第１の下地層は前記第２の下地層との界面に前記基板の円周方向に沿った微細溝を有し、該微細溝の基板半径方向に測定した凹凸の平均周期が、前記磁性層の結晶粒を基板面に垂直方向から測定した平均結晶粒径の２倍以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
請求項４記載の磁気記録媒体において、前記微細溝の基板半径方向に測定した凹凸の平均周期が、前記磁性層の結晶粒を基板面に垂直方向から測定した平均結晶粒径以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
請求項４記載の磁気記録媒体において、前記第１の下地層は実質的にアモルファスであることを特徴とする磁気記録媒体。
請求項４記載の磁気記録媒体において、前記磁性層の結晶粒の基板円周方向の平均径＜Ｄｃ＞と基板半径方向の平均径＜Ｄｒ＞との比＜Ｄｃ＞／＜Ｄｒ＞が１より小さいことを特徴とする磁気記録媒体。
請求項４記載の磁気記録媒体において、前記磁性層の結晶粒の基板円周方向の平均径＜Ｄｃ＞と基板半径方向の平均径＜Ｄｒ＞との比＜Ｄｃ＞／＜Ｄｒ＞が０．５以上０．９以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
請求項４記載の磁気記録媒体において、前記磁性層の結晶粒の基板円周方向の平均径＜Ｄｃ＞と基板半径方向の平均径＜Ｄｒ＞との比＜Ｄｃ＞／＜Ｄｒ＞が、少なくとも磁気記録パターンの記録される最内周トラック位置において０．５以上０．９以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
請求項４記載の磁気記録媒体において、前記第１の下地層と第２の下地層の界面にある微細溝の凹凸の中心線平均粗さが、０．３ｎｍ以上３ｎｍ以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
請求項４記載の磁気記録媒体において、前記磁性層の結晶粒の基板円周方向の平均径＜Ｄｃ＞が、１０ｎｍ以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
ディスク状基板上に、実質的にアモルファスの第１の下地層と、前記第１の下地層に接する実質的に多結晶で構成された第２の下地層と、磁性層とを積層する工程を含む磁気記録媒体の製造方法において、
前記第１の下地層の表面に、凹凸の平均周期が前記磁性層の平均結晶粒径の２倍以下である微細溝を、基板の略円周方向に形成する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
請求項１２記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記凹凸の平均周期が前記磁性層の平均結晶粒径以下であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
請求項１２記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記微細溝の凹凸は中心線平均粗さが０．３ｎｍ以上３ｎｍ以下であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
請求項１２記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記第１の下地層及び第２の下地層をスパッタリング法によって形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
請求項１２記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記微細溝を形成した第１の下地層の表面をスパッタリングによってエッチングする工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
請求項１２記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記微細溝を形成した第１の下地層の表面を洗浄液を用いてエッチングする工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
請求項１２記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記基板と第１の下地層との間に軟磁性層を形成し、前記磁性層は容易磁化方向が基板面と略垂直方向を向いていることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。