JP2005078796A - CrTi/NiPから成る二層構造を有する薄膜磁気媒体 - Google Patents
CrTi/NiPから成る二層構造を有する薄膜磁気媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005078796A JP2005078796A JP2004249624A JP2004249624A JP2005078796A JP 2005078796 A JP2005078796 A JP 2005078796A JP 2004249624 A JP2004249624 A JP 2004249624A JP 2004249624 A JP2004249624 A JP 2004249624A JP 2005078796 A JP2005078796 A JP 2005078796A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- nip
- layer
- crti
- amorphous
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73911—Inorganic substrates
- G11B5/73921—Glass or ceramic substrates
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
- G11B5/7369—Two or more non-magnetic underlayers, e.g. seed layers or barrier layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/90—Magnetic feature
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12465—All metal or with adjacent metals having magnetic properties, or preformed fiber orientation coordinate with shape
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12771—Transition metal-base component
- Y10T428/12806—Refractory [Group IVB, VB, or VIB] metal-base component
- Y10T428/12826—Group VIB metal-base component
- Y10T428/12847—Cr-base component
- Y10T428/12854—Next to Co-, Fe-, or Ni-base component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12771—Transition metal-base component
- Y10T428/12861—Group VIII or IB metal-base component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12986—Adjacent functionally defined components
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
【課題】 薄膜磁気媒体において、高いMrt配向比(OR)を得る。
【解決手段】 非晶質クロムチタン(CrTi)とこれに続いて形成されるニッケルリン(NiP)の非晶質層からなる二層構造を有する薄膜磁気媒体において、NiPが堆積された後、酸化表面を形成するために酸素に曝される。好ましくは、下地層は酸化NiP表面に直接堆積される。CrTi/NiPの二層構造は、コバルト合金磁気層における優れた面内結晶配向を促進し、粒子サイズや分布のよりよい制御を齎すために用いられる超薄クロム下地層形成を可能にする。CrTi/NiP二層構造が円周方向に施されたテクスチャ基板、好ましくはガラス基板、と結び付けられると、高いMrt配向比(OR)が得られる。
【選択図】 図2
【解決手段】 非晶質クロムチタン(CrTi)とこれに続いて形成されるニッケルリン(NiP)の非晶質層からなる二層構造を有する薄膜磁気媒体において、NiPが堆積された後、酸化表面を形成するために酸素に曝される。好ましくは、下地層は酸化NiP表面に直接堆積される。CrTi/NiPの二層構造は、コバルト合金磁気層における優れた面内結晶配向を促進し、粒子サイズや分布のよりよい制御を齎すために用いられる超薄クロム下地層形成を可能にする。CrTi/NiP二層構造が円周方向に施されたテクスチャ基板、好ましくはガラス基板、と結び付けられると、高いMrt配向比(OR)が得られる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、薄膜磁気媒体及びその製法更には、特に、薄膜磁気ディスクにおいて下地層より先に用いられる物質に関する。
従来技術のヘッドおよびディスクシステム10は図1に示される。操作において、磁気トランスジューサ20はそれがディスク16上を浮上走行する時、サスペンション13によって支持される。通常、“ヘッド”あるいは“スライダ”と呼ばれる磁気トランスジューサ20は磁気変換を書き込む仕事をする要素(書込みヘッド23)と磁気変換を読み出す仕事をする要素(読出しヘッド12)からなる。読出し及び書込みヘッド12、23からの電気信号はサスペンション13に塔載されあるいは埋め込められた導電路(リード)14に沿って伝えられる。磁気トランスジューサ20は円形のトラック(図示せず)を読み書きするためディスク16の中心から半径方向の距離を変えた点上に位置付けされる。ディスク16は該ディスク16を回転させるためのスピンドルモータ24によって駆動されるスピンドル18に装着されている。ディスク16は、その上に複数の薄膜21が堆積された基板から成る。該薄膜21は強磁性物質を含み、そこには書込みヘッド23が磁気変換を記録し、その情報はコード化されている。歴史的にその基板は湿式無電解メッキにより堆積された非晶質NiP表面膜を有するAlMgであった。そのAlMg/NiPディスクはその上に薄膜が真空堆積されて磁気媒体層を形成するための基板であるとされてきた。
ガラス基板を典型的に用いた該薄膜21の一つの具体例はプレシード層と呼ばれる最初の非晶質薄膜を含み、続いて形成される結晶シード層を含む。典型的には、プレシード層及びシード層はともに相対的に薄膜である。バイアンらによる特許文献1(米国特許5,789,056号公報)には、結晶CrTiシード層を用いることが記載されている。シード層に続くのは、典型的には、Cr、CrV、および、CrTiのようなクロムあるいはクロム合金である。各種のコバルト合金に基づく一層あるいはより多くの強磁性層が前記下地層に続く。例えば、普通に用いられる合金はCoPtCrである。タンタルやホウ素のような添加元素が同様にしばしば磁気合金中に用いられる。保護オーバコート層が磨耗や腐食に対する抵抗性を改良するために用いられる。上記に記載したディスク例は多くの可能性の中の一例である。例えば、多重シード層、多重下地層および多重磁気層はすべて従来技術の中で提案されている。
2003年7月15日にバイアンらに帰属して発行された特許文献2(米国特許6,593,009号公報)は非晶質あるいはナノ結晶質構造を示すプレシード層のCrTiを含む薄膜磁気構造を記載している。それに続く説明において、非晶質なる用語はナノ結晶質を含んで使用されるものとしている。好ましいシード層はRuAlであるとされている。CrTi/RuAl二層構造の使用は、従来技術に比較して、基板へのより優れた接着およびスクラッチへの耐性、と同時に、優れた抗磁力および信号対雑音比(SNR)とコスト低減をもたらす。
デルナーらによる特許文献3(米国特許6,567,236号公報)は、好ましい具体例として、CrTiからなる非晶質プレシード層、RuAlからなるシード層、CoCrからなる強磁性下層、Ruからなる反強磁性カップリング/スペーサ層、および、CoCr、CoCrBあるいはCoPtCrBからなる薄い第1副次層と、第1副次層よりも低いモーメントを持つCoPtCrBのより薄い第二副次層とを含む強磁性構造上層からなる層構造を記載している。
チャンらによる特許文献4(米国特許5,879,783号公報)は、ガラスあるいはガラスセラミックス基板上にスパッタにより堆積され、酸化によりその表面を粗くされたNiPシード層の使用を記載している。チャンらによる特許文献5(米国特許6、596,419号公報)には、磁気記録媒体が、酸化NiP(NiPOx)およびCrTiからなる群から選ばれた物質からなるシード層を含むことが記載されている。そのシード層の厚さはおよそ4nmから6nmであるとされている。CrTiとNiPOxシード層はCoTi/Cr(200)とCo(11.0)結晶配向の成長を促進すること、そして、CoTi/Cr−合金下地層の粒子サイズの低減を助長することが述べられている。
ディスク上の層を形成する種々の結晶物質の好ましい配向(PO)は、ここに検討されたごとく、その物質において見出され得る独占的な配向では必ずしもないが、ただ最も重要な配向である。Cr下地層がNiPがコートされたAlMg基板上に十分に高い温度でスパッタ-により堆積される時、[200]POが形成される。このPOは六方最密(hcp)コバルト(Co)合金の[11−20]POのエピタキシャル成長を促進し、それにより、ディスクの磁気的性能を改良する。この[11−20]POは、その[11−20]面がフィルムの表面に主に平行である六方晶系のフィルムに当てはまる。同様に、その[10−10]POは、その[10−10]面がフィルム表面に主に平行な六方晶系のフィルムに当てはまる。[10−10]POは[112]のPOを持つ適当な下地層の上にエピタキシャルに成長させることができる。
薄膜ディスクの磁気記録性能を改良するために従来技術において用いられるひとつの手法はディスク表面のトラック(同心円)に沿って一般的に配向している精密な“スクラッチ”(円周のテクスチャ)のパターンを作り出すための円周のポリッシングである。商用薄膜ディスクのテクスチャの大きさは、概して5nmより小さい山谷をもつ極微なものである。5nmのテクスチャは訓練されていない眼には鏡のようにみえる。特別なポリッシング装置がこの微細な円周のテクスチャを実現するために必要である。薄膜が堆積される表面のトポグラフィは、膜の核形成や成長の際に、またその特性に重要な影響を与えることができる。磁気ディスクのいわゆる円周のテクスチャは広範囲の磁気合金の面内磁気異方性に通例影響を与えるとされてきた。長手記録に対しては、半径方向よりも円周方向において、より高い抗磁力(Hc)とMrtを持つことが時として有用である。円周方向Hcの半径方向Hcに対する比は抗磁力配向比(OR)と呼ばれる。同様に、円周方向Mrtの半径方向Mrtに対する比はMrt配向比(OR)と呼ばれる。現行のディスクは一般には六方最密(hcp)コバルト合金を用い、大抵の(全部ではないが)円周のテクスチャディスクはHcあるいはMrtORは1より大きい。
円周にテクスチャを有する薄膜磁気媒体において、面内結晶配向を促進し、粒子サイズや分布をより良く制御し、磁気変換トランスジューサによる記録再生特性を向上させる。
下地層より先に堆積された非晶質クロムチタン(CrTi)層と続いて形成されたニッケルリン(NiP)の非晶質層の二層を有する薄膜磁気媒体構造において、NiPが堆積された後、酸素に曝し、酸化表面を形成する。好ましくは、下地層は酸化NiP表面に直接堆積される。
上記のCrTi/NiPの二層構造はコバルト合金磁気層におけるよりすぐれた面内結晶配向を促進し、粒子サイズや分布をより良く制御するために用いられる超薄クロム下地層を可能にするという効果を奏する。さらに、CrTi/NiP二層構造が円周にテクスチャを有するディスク、好ましくはガラスと結びつくと高いMrt配向比(OR)を得るという効果を奏する。
ガラスあるいは他の非金属基板上の長手媒体に対して、c−軸面内結晶配向を最大にし、配向比を維持することは重要である。ある種のシード層物質は、円滑あるいはランダムにポリッシュした基板を用いる時に良好な面内c−軸配向に寄与する。しかし、円周方向にテクスチャを持つ基板を用いる時には、配向比(OR)の大幅低下を招くため満足すべきものでないことが明らかになった。本発明において記載された二層構造は二つの非晶質あるいはナノ結晶層からなる。この構造は、高い配向比と同様、良好な面内c−軸配向を得るのを助けるので、特に、円周にテクスチャを施された基板に対して使用するのに適している。
図2を参照すると、そこには、本発明の実施例として薄膜磁気ディスク16中の薄膜層が図示されている。図2において示される実施例において、基板26はガラスであることが好ましいが、他の任意の適当な物質でもよい。さらに、その基板は円周にテクスチャを施された基板であることが好ましい。CrTi層31は基板表面26に直接真空堆積される。NiP層32はCrTi層31上に真空堆積される。これらの層は室温で基板電圧バイアス無しに堆積されるのが好ましい。CrTi層とNiP層はCrTi/NiP二層構造として一まとめにして参照されることになる。NiP層が真空堆積された後、NiPの表面は堆積チャンバに酸素ガスを供給すること、あるいは真空を破り、大気中にその表面を曝すことにより酸化される。NiP表面が酸化された後、下地層33がNiP上に直接真空堆積される。その下地膜はクロムであることが望ましいが、同様に、クロム合金でも良い。本発明の二層構造は下地層33が非常に薄い状態であることを可能にする。超薄下地層を有する利点は粒子サイズ及びその分布の制御が改良されることにある。磁気層構造34はその後に保護オーバコート層35が続いて形成される。
CrTi/NiP二層構造と下地層の合計膜厚の好ましい範囲は60から150nmである。図に示すように、本発明の一つの実施例は、合計膜厚105オングストロームに対して、20オングストロームのCrTi層と、45オングストロームのNiP層と40オングストロームの下地層とからなる。これが、200オングストロームのCrTi層と、60オングストロームのRuAl層と、60オングストロームのCrTi下地層からなる、バイアンらによって開示された米国特許6,593,009号公報の具体例と比較されるべきものである。
本発明の二層構造は広汎な磁気層構造34において用いることができる。磁気層構造34はこの技術において知られるように、単一磁気層でもあり得るし、あるいは、多重磁気層、スペーサ層、オンセット層等の組み合わせを含むこともできる。反強磁性的に結合された磁気層スタックもまた用いることができる。図3は本発明の二層構造を用いることが出来た磁気層構造34の特別な実施例を示す。オンセット層41の役割は従来技術において記述されている。この実施例においては、CrMoが好ましい。下部磁気層42はCoCrが好ましい。スペーサ層はルテニウムが好ましい。上部磁性層44はCoPtCrBが好ましい。
実験において、唯一のシード層としてNiPを用いて、本発明のCrTi/NiP二層構造を用いて、磁気ディスクが製作された。下地層はクロムであり、磁気層構造は上述の通りである。基板は円周方向にテクスチャが施されたガラスである。測定結果は表1に示される。
Mrt配向比(OR)はNiPシードに対し1.5である。しかし、本発明のCrTi/NiPはMrtORの値が2.0という結果をもたらす。より高いORが望ましい。FWHM(半波高全幅値)ロッキングカーブ測定は結晶配向の分布に関連する。より低い値は配向のより小さな(より良い)分布を示す。CrTi/NiP二層構造は、Cr(200)配向およびCo(11−20)配向の双方に対して、より小さなロッキングカーブ値をもたらした。
CrTi層のより好ましい組成範囲は非晶質を維持しているという条件によって限定される。故に、近似的に45から55原子%のチタンが50原子%を適値として用いられるべきである。NiP層の望ましい組成範囲は、同様に非晶質を維持しなければならないので、15から25原子%のリンである。19原子%のリンが特に好ましい。原子パーセント組成は、この分野の専門家によく知られているようにスパッタ薄膜に不可避的に存在する少量の不純物を考慮すること無しに与えられる。
本発明は、特別な実施例に関して記述された。しかし、本発明のシード層構造に対するその他の使用や応用はこの分野の専門家に明らかとなるものである。
10…ヘッドおよびディスクシステム、12…読出しヘッド、13…サスペンション、14…導電路(リード)、16…薄膜磁気ディスク(ディスク)、18…スピンドル、20…磁気トランスジューサ、21…薄膜、23…書込みヘッド、24…スピンドルモータ、26…基板、31…CrTi層、32…NiP層、33…下地層、34…磁気層構造、35…保護オーバコート層、41…オンセット層、42…下部磁気層、43…スペーサ層、44…上部磁性層。
Claims (20)
- 基板と、該基板の上に堆積された非晶質CrTiの一層と、該CrTi層の上の非晶質NiPの一層と、該非晶質NiPの層の上の少なくとも一つの下地層と、該下地層の上の少なくとも一つの磁気層とを有する薄膜磁気記憶媒体。
- 前記非晶質NiP層は非晶質NiPが堆積された後に形成された酸化表面を有する請求項1に記載の薄膜磁気記憶媒体。
- 前記下地層は前記非晶質NiPの酸化表面上に堆積されたクロムである請求項1に記載の薄膜磁気記憶媒体。
- 前記基板は、円周にテクスチャが施されたガラスである請求項1に記載の薄膜磁気記憶媒体。
- 前記下地層はクロムあるいはクロム合金である請求項1に記載の薄膜磁気記憶媒体。
- 前記非晶質CrTi層は近似的に45から55原子%がTiである請求項1に記載の薄膜磁気記憶媒体。
- 前記非晶質NiPは近似的に15から25原子%がリンである請求項1に記載の薄膜磁気記憶媒体。
- 読出しおよび書込みヘッドを含む磁気トランスデューサと、スピンドルと、該スピンドルに装着された薄膜磁気ディスクを含み、該薄膜磁気ディスクは非晶質CrTiの一層と、続いて形成された非晶質NiPの一層と、少なくとも一層の磁気層とを含むディスクドライブ。
- 前記非晶質NiP層は該非晶質NiPが堆積された後形成された酸化表面を有する請求項8に記載のディスクドライブ。
- 前記下地層は、クロムあるいはクロム合金であり、前記非晶質NiP層の前記酸化表面の上に堆積されている請求項9に記載のディスクドライブ。
- 前記基板は、円周にテクスチャが施されたガラスである請求項9に記載のディスクドライブ。
- 前記非晶質CrTiは近似的に45から55原子%がTiである請求項9に記載のディスクドライブ。
- 前記非晶質NiPは近似的に15から25原子%がリンである請求項9に記載のディスクドライブ。
- 基板上にCrTi薄膜を堆積する工程と、該CrTi薄膜の上にNiP薄膜を形成する工程をふくむ薄膜磁気記憶媒体の製造方法。
- 前記NiP薄膜の露出表面を酸化する工程をさらに含む請求項14に記載の薄膜磁気記憶媒体の製造方法。
- 前記非晶質NiP薄膜の上に薄膜クロム下地層を堆積する工程を更に含む請求項15に記載の薄膜磁気記憶媒体の製造方法。
- 前記基板は円周にテクスチャが施されたガラスである請求項15に記載の薄膜磁気記憶媒体の製造方法。
- 前記非晶質NiPの上にクロム合金薄膜を堆積する工程を更に含む請求項15に記載の薄膜磁気記憶媒体の製造方法。
- 前記CrTi薄膜は近似的に45から55原子%がTiである請求項15に記載の薄膜磁気記憶媒体の製造方法。
- 前記NiP薄膜は、近似的に15から25原子%がリンである請求項15に記載の薄膜磁気記憶媒体の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/651,634 US6858331B1 (en) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | Magnetic thin film media with a bi-layer structure of CrTi/Nip |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005078796A true JP2005078796A (ja) | 2005-03-24 |
Family
ID=34136634
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004249624A Withdrawn JP2005078796A (ja) | 2003-08-29 | 2004-08-30 | CrTi/NiPから成る二層構造を有する薄膜磁気媒体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6858331B1 (ja) |
JP (1) | JP2005078796A (ja) |
CN (1) | CN1288637C (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007273000A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Hoya Corp | 磁気記録媒体 |
US7989097B2 (en) | 2005-07-26 | 2011-08-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Perpendicular magnetic recording medium with tilted easy axis of magnetization, method of manufacturing magnetic recording medium, and magnetic recording apparatus comprising magnetic recording medium |
JP2021080530A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | 浅井産業株式会社 | 多層皮膜、その製造方法、及び多層皮膜が被覆された機械部材 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7407719B1 (en) * | 2003-12-24 | 2008-08-05 | Seagate Technology Llc | Longitudinal magnetic media having a granular magnetic layer |
US7419730B2 (en) * | 2004-08-31 | 2008-09-02 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic recording disk with antiferromagnetically coupled master layer including copper |
US8641839B2 (en) * | 2007-02-13 | 2014-02-04 | Yale University | Method for imprinting and erasing amorphous metal alloys |
US8404369B2 (en) * | 2010-08-03 | 2013-03-26 | WD Media, LLC | Electroless coated disks for high temperature applications and methods of making the same |
WO2012030566A2 (en) | 2010-09-03 | 2012-03-08 | Omg Electronic Chemicals, Llc | Electroless nickel alloy plating bath and process for depositing thereof |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2724067B2 (ja) * | 1992-01-17 | 1998-03-09 | 株式会社クボタ | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
US5798056A (en) * | 1995-02-01 | 1998-08-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Aligning method of liquid crystal, production process of liquid crystal device, and liquid crystal device |
US5733370A (en) * | 1996-01-16 | 1998-03-31 | Seagate Technology, Inc. | Method of manufacturing a bicrystal cluster magnetic recording medium |
US6077603A (en) * | 1996-07-03 | 2000-06-20 | Seagate Technology, Inc. | Seeded underlayer in magnetic thin films |
US5879783A (en) * | 1996-08-05 | 1999-03-09 | Seagate Technology, Inc. | Low noise magnetic recording medium and method of manufacturing |
JPH1079113A (ja) * | 1996-09-04 | 1998-03-24 | Hitachi Ltd | 面内磁気記録媒体およびこれを用いた磁気記憶装置 |
US5789056A (en) | 1997-01-30 | 1998-08-04 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic disk with chromium-titanium seed layer |
JPH10233016A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-09-02 | Hitachi Ltd | 面内磁気記録媒体およびそれを用いた磁気記憶装置 |
US5993956A (en) * | 1997-04-22 | 1999-11-30 | Carnegie Mellon University | Manganese containing layer for magnetic recording media |
US6077586A (en) * | 1997-07-15 | 2000-06-20 | International Business Machines Corporation | Laminated thin film disk for longitudinal recording |
US6316097B1 (en) * | 1998-09-28 | 2001-11-13 | Seagate Technology Llc | Electroless plating process for alternative memory disk substrates |
JP2001028117A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-30 | Fujitsu Ltd | ディスク媒体 |
US6497925B1 (en) * | 1999-12-14 | 2002-12-24 | Seagate Technology Llc | Surface treatment on solgel coated substrate to improve glide height performance |
US6596419B1 (en) * | 2000-09-27 | 2003-07-22 | Seagate Technology Llc | Medium with a seed layer and a B2-structured underlayer |
JP2003099911A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-04 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
US6567236B1 (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-20 | International Business Machnes Corporation | Antiferromagnetically coupled thin films for magnetic recording |
JP2003338019A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-11-28 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体、及びその製造方法 |
-
2003
- 2003-08-29 US US10/651,634 patent/US6858331B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-08-30 CN CNB200410074912XA patent/CN1288637C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-08-30 JP JP2004249624A patent/JP2005078796A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7989097B2 (en) | 2005-07-26 | 2011-08-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Perpendicular magnetic recording medium with tilted easy axis of magnetization, method of manufacturing magnetic recording medium, and magnetic recording apparatus comprising magnetic recording medium |
JP2007273000A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Hoya Corp | 磁気記録媒体 |
JP2021080530A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | 浅井産業株式会社 | 多層皮膜、その製造方法、及び多層皮膜が被覆された機械部材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050048328A1 (en) | 2005-03-03 |
CN1288637C (zh) | 2006-12-06 |
CN1619650A (zh) | 2005-05-25 |
US6858331B1 (en) | 2005-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW409247B (en) | Ultra-thin nucleation layer for magnetic thin film media and the method for manufacturing the same | |
US6567236B1 (en) | Antiferromagnetically coupled thin films for magnetic recording | |
US6607842B2 (en) | Containing an AITa or AITi pre-seed layer, a CoCr onset layer and a CoCrPtB magnetic layer | |
JP2008276915A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPWO2009014205A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
US6572989B2 (en) | Thin film magnetic recording disk with a chromium-nickel pre-seed layer | |
JP2005056551A (ja) | 磁気記録用の、磁気異方性が調整された積層磁性薄膜 | |
US7976964B2 (en) | Disk drive with laminated magnetic thin films with sublayers for magnetic recording | |
US6593009B2 (en) | Magnetic thin film media with a pre-seed layer of CrTi | |
JPH11339240A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気ディスク装置 | |
JP2005078796A (ja) | CrTi/NiPから成る二層構造を有する薄膜磁気媒体 | |
US20060210834A1 (en) | Laminated magnetic thin films with sublayers for magnetic recording | |
US6863993B1 (en) | Thin film media with a dual seed layer of RuAI/NiAIB | |
US6872478B2 (en) | Magnetic thin film media with a pre-seed layer of CrTiAl | |
US6878439B2 (en) | Magnetic recording medium, its production process and magnetic recording device | |
US7300713B2 (en) | Magnetic thin film media with an underlayer of CrMoZr, CrMoNb or CrMoMn | |
US7419730B2 (en) | Magnetic recording disk with antiferromagnetically coupled master layer including copper | |
JP2001189005A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法ならびに磁気記憶装置 | |
JP4535666B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
US20040213950A1 (en) | Thin film magnetic recording disk with ruthenium-aluminum layer | |
JP2003109213A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP2000348334A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気ディスク装置 | |
JP2000123345A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気ディスク装置 | |
JP2002503009A (ja) | パターン基板を有する磁気記録媒体 | |
JP2009099162A (ja) | 垂直磁気記録媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070810 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070810 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090511 |