JP2006344293A - 磁気記録媒体および磁気記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 CrまたはCr合金からなる下地層11と、下地層11上に形成された記録層12からなり、記録層12は第1磁性層13と第2磁性層15との間にRuB合金層14を設けた構成とする。第1磁性層13はCoCrまたはCoCr合金からなり、第2磁性層15はCoCrPtまたはCoCrPt合金からなり、第1磁性層13と第2磁性層はRuB合金層14を介して反強磁性的に交換結合する。RuB合金層14は、hcp構造のRuB、またはRuBを主成分とするRuB合金からなると共に、第1磁性層13の表面にエピタキシャル成長し、第2磁性層15をエピタキシャル成長させる。
【選択図】 図3
Description
Hc’=0.474Hk{1−1.55[(kBT/KuV)×ln(f0t/ln2)/2]}2/3 …(1)
ここで、Tは絶対温度、f0は緩和周波数(Attempt Frequency)、kBはボルツマン定数、Kuは異方性定数、Vは結晶粒子の体積、tは磁界スイッチング時間である。
図5は、本発明の第1の実施の形態の第1例に係る磁気記録媒体の断面図である。
実施例1の磁気ディスクは、図5に示す第1例の磁気記録媒体と同様の構成とした。その具体的構成を以下に示す。
第1シード層:Cr50Ti50膜(25nm)
第2シード層:Al50Ru50膜(50nm)
下地層:Cr75Mo25膜(5nm)
非磁性中間層:Co58Cr42膜(5nm)
記録層
第1磁性層:Co78Cr18B4膜(2nm)
RuB合金層:Ru95B5膜(1.0nm)
第2磁性層:Co60Cr18Pt11B8Cu3膜
保護膜:DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜(4nm)
潤滑層:有機系液体潤滑剤(1.5nm)
なお、上記のかっこ内の数値は厚さを表す。第2磁性層の厚さを3nmから15nmまで異ならせた磁気ディスクを形成した。
比較例1に係る磁気ディスクは、Ru95B5膜の代わりにRu膜(0.7nm)とした以外は、実施例1と同様の構成とし、実施例1と同様の条件で作製した。
実施例2に係る磁気ディスクは、図5に示す第1例の磁気記録媒体と同様の構成とした。その具体的構成を以下に示す。
第1シード層:Cr50Ti50膜(20nm)
第2シード層:Al50Ru50膜(7nm)
下地層:Cr膜(2nm)/Cr75Mo25膜(4nm)
非磁性中間層:Co50Cr22Ru25B3膜(3nm)
記録層
第1磁性層:Co84Cr14B2膜(2.5nm)
RuB合金層:Ru95B5膜(0.9nm)
第2磁性層:CoCrPtBCu膜(下層)およびCoCrPtB膜(上層)の積層体
保護膜:DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜(4nm)
潤滑層:有機系液体潤滑剤(1.5nm)
なお、上記のかっこ内の数値は厚さを表す。第2磁性層の厚さを、CoCrPtBCu膜(下層)およびCoCrPtB膜(上層)の厚さを7:3の比に固定して、おおよそ5nm〜25nmまで異ならせた磁気ディスクを作製した。実施例2の磁気ディスクは、実施例1と略同様にして作製した。なお、ガラス基板の表面のテクスチャも実施例1と同様にして形成した。
比較例2に係る磁気ディスクは、非磁性中間層を省略し、第1磁性層にCo84Cr16膜(2.6nm)、Ru95B5膜の代わりにRu膜(0.8nm)を用いた以外は、実施例2と同様の構成とし、実施例2と同様の条件で作製した。
本発明の実施の形態は、第1の実施の形態に係る磁気記録媒体を備えた磁気記憶装置に関するものである。
(付記1) 基板と、
前記基板上に形成されたCrまたはCr合金からなる下地層と、
前記下地層上に形成されたCoCrまたはCoCr合金からなる第1の磁性層と、
前記第1の磁性層上に形成されたRuB合金層と、
前記RuB合金層上に形成され、CoCrPt、またはCoCrPt合金からなり、前記第1の磁性層と反強磁性的に交換結合してなる第2の磁性層とを備え、
前記RuB合金層は、hcp構造のRuB、またはRuBを主成分とするRuB合金からなると共に、第1の磁性層の表面にエピタキシャル成長してなり、
前記第2の磁性層は、RuB合金層の表面にエピタキシャル成長してなる磁気記録媒体。
(付記2) 前記RuB合金層は、その厚さが0.4nm〜1.2nmの範囲に設定されることを特徴とする付記1記載の磁気記録媒体。
(付記3) 前記下地層と第1の磁性層との間に非磁性中間層をさらに備え、
前記非磁性中間層は、hcp構造を有し、Co−X2、CoCr、CoCrB、CoCr−X2、およびCoCrB−X2からなる群のうちいずれか一種からなり、該X2はTa、Mo、Mn、Re、Ru、およびHfからなる群のうち少なくとも一種からなることを備えることを特徴とする付記1または2記載の磁気記録媒体。
(付記4) 前記第1の磁性層は、CoCr、CoCrB、CoCr−M1合金、およびCoCrB−M1合金からなる群のうちいずれか一種からなり、該M1は、Pt、Ta、Ni、Cu、Ag、Fe、Nb、Au、Mn、Ir、Si、およびPdからなる群のうち少なくとも一種からなることを特徴とする付記1〜3のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
(付記5) 前記記録層は、RuB合金層と第2の磁性層との間に、該RuB合金層側から他の磁性層と他のRuB合金層とが積層された積層体が設けられてなり、
前記他の磁性層は、CoCr、CoCrB、CoCr−M1合金、およびCoCrB−M1合金からなる群のうちいずれか一種からなり、該M1は、Pt、Ta、Ni、Cu、Ag、Fe、Nb、Au、Mn、Ir、Si、およびPdからなる群のうち少なくとも一種からなり、
前記他のRuB合金層は、hcp構造のRuB、またはRuBを主成分とするRuB合金からなることを特徴とする付記1〜4のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
(付記6) 基板と、
前記基板上に形成されたCrまたはCr合金からなる下地層と、
前記下地層上に形成されたRuB合金層と、
前記RuB合金層上に形成されたCoCrPt、またはCoCrPt合金からなる磁性層とを備え、
前記RuB合金層は、hcp構造のRuBまたはRuBを主成分とするRuB合金からなり、
前記磁性層はRuB合金層の表面にエピタキシャル成長してなる磁気記録媒体。
(付記7) 前記RuB合金層は、その厚さが0.2nm〜3nmの範囲に設定されることを特徴とする付記6記載の磁気記録媒体。
(付記8) 前記下地層とRuB合金層との間に、非磁性のCoCrまたはCoCr合金からなる中間層を備えることを特徴とする付記6または7記載の磁気記録媒体。
(付記9) 前記RuB合金層はRuBからなり、該RuBのB濃度が0.1原子%〜10原子%の範囲に設定されることを特徴とする付記1〜8のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
(付記10) 前記RuB合金層は、RuBを主成分とするRuB−X3からなり、該X3は、Co、Re、Rh、Cu、Ag、Ta、Hf、Gd、Pt、Pd、およびMnからなる群のうち少なくとも一種からなることを特徴とする付記1〜9のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
(付記11) 前記磁性層または第2の磁性層は、CoCrPtおよびCoCrPt−M2合金のいずれかからなり、該M2は、B、Cu、Ag、Nb、Ru、Ni、V、Ta、Au、Fe、Mn、Ir、Si、Pd、およびReからなる群のうち少なくとも一種からなることを特徴とする付記1〜10のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
(付記12) 前記基板と下地層との間に非晶質の非磁性金属材料からなる第1のシード層を備えることを特徴とする付記1〜11のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
(付記13) 前記基板と下地層との間に、B2構造を有する結晶質の非磁性金属材料からなる第2のシード層を備えることを特徴とする付記1〜12のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
(付記14) 前記基板の表面に記録方向に沿って長い凹凸からなるテクスチャが形成されてなることを特徴とする付記1〜13のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
(付記15) 付記1〜14のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体と、
記録素子と磁気抵抗効果型再生素子を有する記録再生手段と、を備える磁気記憶装置。
11、24 下地層
12、26 記録層
13、27 第1磁性層
13a、14a、15a 結晶粒子
13b、14b、15b 粒界部
14、28、51 RuB合金層(第2RuB合金層)
15、29 第2磁性層
21 基板
22 第1シード層
23 第2シード層
25 非磁性中間層
30 保護膜
31 潤滑層
41 第2RuB合金層
70 磁気記憶装置
Claims (10)
- 基板と、
前記基板上に形成されたCrまたはCr合金からなる下地層と、
前記下地層上に形成されたCoCrまたはCoCr合金からなる第1の磁性層と、
前記第1の磁性層上に形成されたRuB合金層と、
前記RuB合金層上に形成され、CoCrPt、またはCoCrPt合金からなり、前記第1の磁性層と反強磁性的に交換結合してなる第2の磁性層とを備え、
前記RuB合金層は、hcp構造のRuB、またはRuBを主成分とするRuB合金からなると共に、第1の磁性層の表面にエピタキシャル成長してなり、
前記第2の磁性層は、RuB合金層の表面にエピタキシャル成長してなる磁気記録媒体。 - 前記RuB合金層は、その厚さが0.4nm〜1.2nmの範囲に設定されることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
- 前記下地層と第1の磁性層との間に非磁性中間層をさらに備え、
前記非磁性中間層は、hcp構造を有し、Co−X2、CoCr、CoCrB、CoCr−X2、およびCoCrB−X2からなる群のうちいずれか一種からなり、該X2はTa、Mo、Mn、Re、Ru、およびHfからなる群のうち少なくとも一種からなることを備えることを特徴とする請求項1または2記載の磁気記録媒体。 - 前記第1の磁性層は、CoCr、CoCrB、CoCr−M1合金、およびCoCrB−M1合金からなる群のうちいずれか一種からなり、該M1は、Pt、Ta、Ni、Cu、Ag、Fe、Nb、Au、Mn、Ir、Si、およびPdからなる群のうち少なくとも一種からなることを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
- 基板と、
前記基板上に形成されたCrまたはCr合金からなる下地層と、
前記下地層上に形成されたRuB合金層と、
前記RuB合金層上に形成されたCoCrPt、またはCoCrPt合金からなる磁性層とを備え、
前記RuB合金層は、hcp構造のRuBまたはRuBを主成分とするRuB合金からなり、
前記磁性層はRuB合金層の表面にエピタキシャル成長してなる磁気記録媒体。 - 前記RuB合金層は、その厚さが0.2nm〜3nmの範囲に設定されることを特徴とする請求項5記載の磁気記録媒体。
- 前記RuB合金層はRuBからなり、該RuBのB濃度が0.1原子%〜10原子%の範囲に設定されることを特徴とする請求項1〜6のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
- 前記RuB合金層は、RuBを主成分とするRuB−X3からなり、該X3は、Co、Re、Rh、Cu、Ag、Ta、Hf、Gd、Pt、Pd、およびMnからなる群のうち少なくとも一種からなることを特徴とする請求項1〜7のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性層または第2の磁性層は、CoCrPtおよびCoCrPt−M2合金のいずれかからなり、該M2は、B、Cu、Ag、Nb、Ru、Ni、V、Ta、Au、Fe、Mn、Ir、Si、Pd、およびReからなる群のうち少なくとも一種からなることを特徴とする請求項1〜8のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体。
- 請求項1〜9のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体と、
記録素子と磁気抵抗効果型再生素子を有する記録再生手段と、を備える磁気記憶装置。
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