JP2003303493A - 半導体記憶装置の制御方法、および半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置の制御方法、および半導体記憶装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 メモリセルへのリストア電圧の劣化や初期の
データアクセス時間の遅れを伴うことなく、連続アクセ
ス動作の終了後に行なわれるプリチャージ期間を短縮す
ることが可能な半導体記憶装置の制御方法および半導体
記憶装置を提供すること 【解決手段】 活性化されているワード線WL0は、ビ
ット線対(BL0と/BL0、・・・、BLNと/BL
N)がフル振幅の電圧レベルにまで差動増幅された後で
あって、コラム選択線CL0、・・・、CLNの選択間
の適宜なタイミングで非活性化される。すなわち、ワー
ド線の非活性化時間τAを連続したデータアクセス動作
中に埋め込ませることができる。プリチャージ動作を、
センスアンプの非活性化時間τBおよびビット線対のイ
コライズ時間τCのみで完了させることができ、プリチ
ャージ期間の短縮を図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、連続したデータの
アクセス動作を備える半導体記憶装置の制御方法および
半導体記憶装置に関するものであり、特に、連続アクセ
ス動作終了後にプリチャージ動作を行なう必要のある半
導体記憶装置の制御方法および半導体記憶装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】近年、ディジタル技術の進展に伴い、パ
ーソナルコンピュータの他にも、ディジタルカメラや携
帯電話等のディジタル機器において、画像データ等の大
量のデータを扱うようになってきている。画像データの
再生・記録には、連続した大量のデータの高速な読み出
し・書き込みが必要である。そこで、DRAM等の半導
体記憶装置においては、所定のワード線を活性化してお
き、そのワード線により選択されているメモリセル群に
対して順次データのアクセスを行なう、ページ動作やバ
ースト動作等の高速な連続アクセス動作が使用されてい
る。ここで、高速なデータアクセスのためには、連続ア
クセス動作中のアクセス動作期間と、連続アクセス動作
の終了時におけるプリチャージ動作期間との和であるサ
イクルタイムを短縮する必要がある。
【0003】図12は、半導体記憶装置におけるデータ
の入出力経路の回路ブロック図を示している。連続する
データアクセスに際して、先ず、所定のワード線(WL
0、WL1、・・・)のうちの何れか1本のワード線が
活性化され、選択されたメモリセル群のデータが、各ビ
ット線対(BL0と/BL0、BL1と/BL1、・・
・)で差動増幅される。差動増幅の開始後、連続アクセ
ス動作が開始される。コラムアドレスに応じてコラム選
択線(CL0、CL1、・・・)が順次選択され、対応
するトランスファゲート(T0ZとT0X、T1ZとT
1X、・・・)が順次導通して、ビット線対をデータ線
対(DBと/DB)に接続することにより、連続したデ
ータのアクセス動作がが行なわれる。ここで、アクセス
動作とは、読み出し動作と書き込み動作との両動作を含
んでいる。選択されるコラムアドレスは、外部から順次
入力する構成とすることも、予め定められた順序で自動
的に設定されていく構成とすることもできる。
【0004】連続アクセス動作の終了に際しては、選択
されているワード線を非活性化してメモリセルとビット
線とを切り離した後、次サイクルにそなえて各ビット線
対(BL0と/BL0、BL1と/BL1、・・・)を
イコライズしておく必要がある。この制御はプリチャー
ジ制御部100により行なわれる。連続アクセス動作の
終了に際してプリチャージ信号PREが入力されると、
ワード線非活性化回路WLRからワード線非活性化信号
WLRSTXが出力される。同時に遅延回路A(DA)
によりワード線の非活性化時間(遅延時間τA)が計時
されて信号φDAが出力される。信号φDAはセンスア
ンプ非活性化回路SARに入力され、センスアンプ非活
性化信号SARSTXが出力される。更に、遅延回路B
(DB)により、センスアンプの非活性化時間(遅延時
間τB)が計時されて信号φDBが出力される。信号φ
DBはビット線イコライズ回路BLRに入力され、ビッ
ト線イコライズ信号BLRSTXが出力される。
【0005】連続アクセス動作の様子を図13に示す。
差動増幅されているビット線対(BL0と/BL0、B
L1と/BL1、・・・)に対して、データ線対(DB
と/DB)は、電圧が振幅制限されており、その中心値
として(1/2)VCC電圧に設定されているため、コ
ラム選択線(CL0、CL1、・・・)による接続の
際、ビット線にはディスターブ現象が発生する。低い電
圧レベルのビット線へはデータ線から電荷が移動して電
圧レベルは浮き上がり、高い電圧レベルのビット線から
はデータ線に向けて電荷が移動して電圧レベルは沈み込
む。この状態は、データ線の切り離し後に、センスアン
プにより回復される。
【0006】プリチャージ期間は、メモリセルをビット
線から切り離すためのワード線の非活性化時間τA、セ
ンスアンプの非活性化時間τB、およびビット線対のイ
コライズ時間τCの3つの時間領域に分けられる。
【0007】プリチャージ期間の短縮については、特開
平10−312684号公報において対策が開示されて
いる。図14には回路ブロック図を、図15にはデータ
読み出し時の動作波形を示している。
【0008】図14に示す特開平10−312684号
公報に記載の回路ブロックは、第1転送ゲート105の
一端に第1のセル側ビット線BLCが接続され、第1転
送ゲート105の他端に第1のセンスアンプ側ビット線
BLSが接続され、第2転送ゲート115の一端に第2
のセル側ビット線*BLCが接続され、第2転送ゲート
115の他端に第2のセンスアンプ側ビット線*BLS
が接続され、第1及び第2のセル側ビット線BLC、*
BLCにそれぞれ、ワード線WL0、WL1で選択され
るメモリセル120、130が接続され、第1のセンス
アンプ側ビット線BLSと該第2のセンスアンプ側ビッ
ト線*BLSとの間にセンスアンプ170が接続されて
いる。
【0009】図15に示すように、メモリセル120ま
たは130からのデータの読み出し動作は、第1転送ゲ
ート105及び第2転送ゲート115が開かれていると
きにセンスアンプ170を活性化させて第1のセンスア
ンプ側ビット線BLSと第2のセンスアンプ側ビット線
*BLSとの電位差を増幅させ、ワード線WL0、WL
1を非活性にした後、第1転送ゲート105及び第2転
送ゲート115を閉じて、一方では第1及び第2のセル
側ビット線BLC、*BLCをビット線リセット電位V
SSにし、他方ではこれと平行して第1及び第2のセン
スアンプ側ビット線BLS、*BLS上の信号を出力さ
せる。
【0010】これにより、データ読み出しにおいて、第
1及び第2のセンスアンプ側ビット線BLS、*BLS
からの信号出力に先行してワード線WL0、WL1の非
活性化が既に行なわれるため、プリチャージ期間にワー
ド線WL0、WL1の非活性化動作を行なう必要がな
い。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図12
の半導体記憶装置において、プリチャージ期間に行なわ
れるワード線の非活性化動作、およびビット線対のイコ
ライズ動作は、共に多大な時間を必要とし問題である。
ワード線およびビット線には、共に多数のメモリセルが
接続されており、配線長も長大であるため、メモリセル
による寄生容量および配線による配線抵抗が多大とな
り、電圧遷移に大きな時定数を要するからである。
【0012】すなわち、今後の大容量化に伴い、ワード
線およびビット線に接続されるメモリセル数は増大し、
これに伴い配線長も長くなる傾向であり、ワード線およ
びビット線の電圧遷移における時定数は益々長くなるこ
とが予想される。高速な連続アクセス動作による短縮さ
れたアクセス期間に対して、プリチャージ期間の短縮が
不十分となり、サイクルタイムの増大を招くおそれがあ
る。サイクルタイムの増大によりデータアクセス速度が
制限されてしまうおそれがある。また、サイクルタイム
におけるプリチャージ期間の占める割合が相対的に増加
することにより、データアクセスの占有率を高めること
ができなくなるおそれがある。高速、且つ高効率なデー
タアクセス要求に対応することができなくなるおそれが
あり問題である。
【0013】特開平10−312684号公報において
は、ビット線対(BLSと*BLS)からの信号出力に
先立ちワード線の非活性化を行なうことにより、プリチ
ャージ期間にワード線の非活性化を行なう必要がなく、
プリチャージ期間の短縮を図ることは可能ではある。し
かしながら、この場合、ビット線BLS、*BLSから
の信号出力は、ワード線の非活性化の後になってしまい
問題である。
【0014】すなわち、ワード線の非活性化のタイミン
グは、ビット線対(BLCと*BLC)の差動増幅が完
了し、メモリセルにデータをリストアした後に行なう必
要があるため、本来であれば、ビット線対の差動増幅が
完了する前に読み出すことができる最初のデータ読み出
しの動作開始が遅れてしまう。高速なデータアクセス要
求に対応することができないおそれがあり問題である。
【0015】また、特開平10−312684号公報
は、読み出し動作に先行してワード線の非活性化を行な
うことにより、プリチャージ期間でのワード線の非活性
化を不要にする内容である。ワード線を先行して非活性
化するため、書き込み動作には適用することができず、
書き込み動作後のプリチャージ期間の短縮には適用でき
ないおそれがあり問題である。
【0016】本発明は前記従来技術の問題点を解消する
ためになされたものであり、メモリセルへのリストア電
圧の劣化や初期のデータアクセス時間の遅れを伴うこと
なく、連続したデータの読み出し・書き込み動作である
連続データアクセス動作の終了後に行なわれるプリチャ
ージ動作時間を短縮することが可能な半導体記憶装置の
制御方法および半導体記憶装置を提供することを目的と
する。
【0017】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項1に係る半導体記憶装置の制御方法は、ワー
ド線を活性化し、複数のメモリセルの各々を複数のビッ
ト線の各々に接続してデータの増幅を開始した後、複数
のビット線のうちの何れかのビット線をデータ線に接続
するコラム選択を、順次行なうことにより、連続したア
クセス動作を行なう際、ワード線の非活性化は、複数の
ビット線におけるデータの増幅が完了した以後の所定タ
イミング以降であって、先行の第1コラム選択の終了以
後から後行の第2コラム選択の開始前までの期間のう
ち、コラム選択が行なわれていない期間に行なわれるこ
とを特徴とする。
【0018】また、請求項7に係る半導体記憶装置は、
ワード線の活性化により、複数のメモリセルの各々が個
別に接続される複数のビット線と、複数のビット線の各
々が個別にパルス選択される複数のコラム選択部と、複
数のコラム選択部を介して接続される共通のデータ線と
を備え、複数のコラム選択部のうちの何れかのコラム選
択部を、順次選択することにより、連続アクセス動作を
行なう際、先行の第1コラム選択部の選択終了を検出す
る第1コラム選択終了検出回路と、データ増幅の完了以
後であって、先行の第1コラム選択部の選択終了以後か
ら後行の第2コラム選択部の選択開始前までの期間であ
ることを報知するタイミング報知部と、タイミング報知
部からの報知信号により、複数のコラム選択部が何れも
選択されていない状態で活性化動作するワード線非活性
回路とを備えることを特徴とする。
【0019】請求項7の半導体記憶装置では、第1コラ
ム選択終了検出回路により検出される第1コラム選択部
を先行するコラム選択として、タイミング報知部によ
り、複数のビット線におけるデータの増幅の完了以後で
あって、先行するコラム選択の終了以後から、第2コラ
ム選択部による後行のコラム選択の開始前までの期間が
報知され、この報知信号により、コラム選択が行なわれ
ていない状態において、ワード線非活性化回路が活性化
動作されて、ワード線が非活性化される。
【0020】これにより、ワード線の非活性化を、半導
体記憶装置における連続アクセス動作の継続中に行なう
ことができ、連続アクセス動作の終了後の初期化動作の
期間であるプリチャージ期間に行なう必要がない。半導
体記憶装置の大容量化に伴い、ワード線が複数のメモリ
セルに接続され配線長も長大となって、非活性化の際の
ワード線の電圧遷移の時定数が増大してしまっても、そ
の時定数がプリチャージ期間に加算されることはなく、
プリチャージ期間の短縮を図ることができる。従って、
メモリセルへのアクセス期間である連続アクセス動作期
間に対してプリチャージ期間の占める割合を圧縮するこ
とができ、サイクルタイムの高速化、動作期間に占める
データアクセス動作の占有率を向上させることができ
る。
【0021】また、ワード線の非活性化動作は、連続ア
クセス動作中において、コラム選択が行なわれていない
期間に行なわれ、またはコラム選択部が選択されていな
い状態でワード線非活性化回路が活性化動作されること
により行なわれるので、コラム選択中であって複数のビ
ット線がディスターブ現象を受けている期間を避け、コ
ラム選択が終了して複数のメモリセルへのリストアが完
了している期間に行なうことができる。複数のメモリセ
ルにおけるデータ保持特性を悪化させることなく、プリ
チャージ期間の短縮を図ることができる。
【0022】また、ワード線の非活性化が行なわれる前
の活性状態においては、ディスターブ現象によりデータ
の論理レベルが反転してしまわない電圧レベルに複数の
ビット線が増幅された段階でデータアクセスが開始され
る。従って、連続アクセス動作における初期のデータア
クセス速度を高速に維持しながら、連続アクセス動作中
にワード線の非活性化動作を行ない、プリチャージ期間
の短縮を図ることができる。
【0023】また、請求項2に係る半導体記憶装置の制
御方法は、請求項1に記載の半導体記憶装置の制御方法
において、所定タイミングは、連続アクセス動作の活性
化からの第1所定遅延時間、または第1コラム選択の終
了からの第2所定遅延時間の何れか一方により計時され
ることを特徴とする。
【0024】また、請求項8に係る半導体記憶装置は、
請求項7に記載の半導体記憶装置において、タイミング
報知部は、連続アクセス動作の活性化信号またはその同
期信号が入力される第1遅延回路、または第1コラム選
択終了検出回路からの検出信号が入力される第2遅延回
路の少なくとも何れか一方を備えることを特徴とする。
【0025】請求項8の半導体記憶装置では、第1遅延
回路により連続アクセス動作の活性化信号またはその同
期信号から遅延したタイミング、または第2遅延回路に
より第1コラム選択終了検出回路から出力される検出信
号から遅延したタイミングで、報知信号が出力される。
【0026】これにより、連続アクセス動作の活性化か
ら複数のビット線におけるデータの増幅完了までの時間
は、半導体記憶装置の回路構成や物性条件等により固有
な時間であり、また、連続アクセス動作におけるコラム
選択間の期間は、半導体記憶装置に固有の時間あるいは
動作仕様に応じて規定される時間であるので、これらの
時間を第1所定遅延時間または第2所定遅延時間として
計時することにより、複数のビット線におけるデータ増
幅の完了以後の所定タイミングを計時することができ
る。また、第1遅延回路または第2遅延回路を備えるこ
とにより、第1所定遅延時間または第2所定遅延時間を
計時することができる。
【0027】ここで、第2所定遅延時間とは、第1コラ
ム選択の終了から第2コラム選択の開始前までの所定時
間を計時するものであるが、第1コラム選択と第2コラ
ム選択とを隣り合うコラム選択とし、隣接するコラム選
択期間内の中間時間として計時することも可能である。
【0028】尚、連続アクセス動作におけるコラム選択
間の期間について、半導体記憶装置の回路構成や物性条
件により固有の時間である場合とは、例えば、バースト
モードの場合であり、動作仕様に応じて規定される時間
である場合とは、例えば、外部から入力されるアドレス
遷移やアクセスコマンドに応じてデータアクセスが行な
われるページモードの場合である。
【0029】また、請求項3に係る半導体記憶装置の制
御方法は、請求項2に記載の半導体記憶装置の制御方法
において、第1コラム選択終了時が、データの増幅完了
以後である場合、所定タイミングは、第1コラム選択の
終了時であることを特徴とする。
【0030】また、請求項9に係る半導体記憶装置は、
請求項8に記載の半導体記憶装置において、検出信号の
出力が前記データ増幅の完了以後である場合、第1コラ
ム選択終了検出回路からの検出信号を、タイミング報知
部の報知信号とすることを特徴とする。
【0031】請求項3の半導体記憶装置の制御方法、ま
たは請求項9の半導体記憶装置では、第1コラム選択が
終了するタイミングまたは第1コラム選択終了検出回路
から検出信号が出力されるタイミングが、複数のビット
線におけるデータ増幅の完了以後である場合に、これら
のタイミングを、ワード線非活性化のための所定タイミ
ングまたはタイミング報知部の報知信号とする。
【0032】これにより、半導体記憶装置の回路構成や
物性条件または動作仕様等から、第1コラム選択の終了
または第1コラム選択部の選択終了時に、データの増幅
が完了している場合には、第2所定遅延時間または第2
遅延回路を備えることなく、第1コラム選択の終了また
は第1コラム選択部の選択終了時点を所定タイミングと
することができる。
【0033】また、請求項4に係る半導体記憶装置の制
御方法は、請求項1に記載の半導体記憶装置の制御方法
において、初期のコラムアドレスに基づき、初期のコラ
ム選択に引き続き後続のコラム選択が、順次自動的に行
なわれていくバーストモードにおいて、第1コラム選択
は、(バースト長−1)回目以下のコラム選択であるこ
とが好ましい。これにより、第1コラム選択部の選択
を、(バースト長−1)回目以下のコラム選択終了のう
ち適宜な位置に設定することができる。
【0034】また、請求項5に係る半導体記憶装置の制
御方法は、請求項1に記載の半導体記憶装置の制御方法
において、コラムアドレスの遷移ごとに、対応するコラ
ム選択が、順次行なわれていくページモードにおいて、
所定タイミングは、データの増幅完了のタイミングであ
ることを特徴とする。
【0035】請求項5の半導体記憶装置の制御方法で
は、ページモードにおいて、ワード線非活性化のための
所定タイミングを、複数のビット線におけるデータ増幅
の完了時とする。
【0036】これにより、複数のビット線と複数のメモ
リセルとが電気的に接続されているため、複数のメモリ
セルへのデータのリストアが完了した時点でワード線を
非活性化することとなり、半導体記憶装置の回路構成や
物性条件等により定められる固有な最短時間でワード線
の非活性化を行なうことができる。継続する連続アクセ
ス動作に先行してワード線を非活性化することができ、
連続アクセス動作の長さが確定していないページモード
において、連続アクセス動作の長さに関わらずプリチャ
ージ期間の短縮を図ることができる。
【0037】また、請求項6に係る半導体記憶装置の制
御方法は、請求項1に記載の半導体記憶装置の制御方法
において、所定タイミングは、複数のビット線または複
数のビット線と同等の負荷構成を有するモニタビット線
における電圧レベルの検出に基づいて決定されることを
特徴とする。
【0038】また、請求項10に係る半導体記憶装置
は、請求項7に記載の半導体記憶装置において、タイミ
ング報知部は、複数のビット線または複数のビット線と
同等の負荷構成を有するモニタビット線における電圧レ
ベルを検出するビット線電圧モニタ部を備えることを特
徴とする。
【0039】請求項10の半導体記憶装置では、ビット
線電圧モニタ部により、複数のビット線または複数のビ
ット線と同等の負荷構成を有するモニタビット線の電圧
レベルを検出し、検出結果に基づいて報知信号が出力さ
れる。
【0040】これにより、複数のビット線または複数の
ビット線と同等の負荷構成を有するモニタビット線の電
圧レベルを検出することにより、データの増幅完了を確
実に検出することができる。
【0041】図1に、本発明の原理を説明する連続アク
セス動作の動作波形を示す。ワード線WL0の活性化に
より複数のメモリセルに接続された複数のビット線のデ
ータは、複数のビット線対(BL0と/BL0、・・
・、BLNと/BLN)を対として、センスアンプ(不
図示)により差動増幅が開始され、最終的に電源電圧V
CCと接地電圧VSSにまで差動増幅される。すなわ
ち、複数のメモリセルに接続されている複数のビット線
の電圧レベルが電源電圧VCCまたは接地電圧VSSと
なることにより、個々のメモリセルへのリストアが完了
しデータ保持特性が維持される。
【0042】ビット線対(BL0と/BL0、・・・、
BLNと/BLN)での差動増幅による電圧レベルが、
所定電圧レベルに達した段階で、コラム選択線CL0、
・・・、CLNにより選択される1対のビット線対とデ
ータ線対(DBと/DB)との接続が開始される。デー
タ線対(DBと/DB)の電圧レベルは電圧の振幅制限
が行なわれ、振幅制限された電圧の中心値として、例え
ば、(1/2)VCCの電圧レベルに電圧値が設定され
ている。そのため、接続の際には、ビット線対の電圧レ
ベルがデータ線対より電圧干渉を受けることとなる。例
えば、高電圧レベルのビット線BL0、・・・、BLN
は電圧低下し、低電圧レベルのビット線/BL0、・・
・、/BLNは電圧上昇する。いわゆるディスターブ現
象が発生する。
【0043】接続が開始される際のビット線対(BL0
と/BL0、・・・、BLNと/BLN)の電圧レベル
は、ディスターブ現象による電圧干渉に対して、ビット
線間の電圧関係が反転しない程度の増幅レベルであれば
よく、必ずしもフル振幅レベルに差動増幅されている必
要はない。図1では、連続アクセス動作における最初の
アクセスの高速性を図るため、ビット線対(BL0と/
BL0)の差動増幅レベルが所定電圧レベルに達した時
点で、コラム選択線CL0をパルス駆動している。
【0044】最初のアクセス動作において、ビット線対
(BL0と/BL0)はディスターブ現象を受けるが、
コラム選択線CL0のパルス駆動の終了後もビット線対
(BL0と/BL0、・・・、BLNと/BLN)の差
動増幅は継続されるため、ビット線対(BL0と/BL
0)についてはディスターブ現象からの回復を伴いなが
ら、その他のビット線対(BL1と/BL1、・・・、
BLNと/BLN)については、引き続いて差動増幅が
行なわれる。その結果、2回目のコラム選択線CL1の
パルス駆動前に、ビット線対はフル振幅の電圧レベルに
まで差動増幅される。
【0045】以後、順次、コラム選択線CL1、・・
・、CLNがパルス駆動されて、対応するビット線対
(BL1と/BL1、・・・、BLNと/BLN)とデ
ータ線対(DBと/DB)とが接続されていく。接続時
にビット線対にはディスターブ現象が発生するが、セン
スアンプが継続動作しているため接続後にフル電圧レベ
ルに回復する。
【0046】活性化されているワード線WL0は、ビッ
ト線対(BL0と/BL0、・・・、BLNと/BL
N)がフル振幅の電圧レベルにまで差動増幅された後、
コラム選択線CL0、・・・、CLNのパルス駆動間の
適宜なタイミング(図1中、ワード線WL0に関して点
線で表示した遷移波形)で非活性化する。これにより、
ワード線の非活性化時間τAを連続したデータアクセス
動作中に埋め込ませることができる。プリチャージ動作
を、センスアンプの非活性化時間τBおよびビット線対
のイコライズ時間τCのみで完了させることができ、プ
リチャージ期間の短縮を図ることができる。
【0047】
【発明の実施の形態】以下、本発明の半導体記憶装置の
制御方法、および半導体記憶装置について具体化した第
1乃至第5実施形態を図2乃至図11に基づき図面を参
照しつつ詳細に説明する。
【0048】図2は、第1実施形態の半導体記憶装置の
データ入出力経路についての回路ブロック図である。ワ
ード線WL0により選択されるメモリセルC00、C1
0は、各々ビット線BL0、BL1に接続され、ワード
線WL1により選択されるメモリセルC01、C11
は、各々ビット線/BL0、/BL1に接続される。ワ
ード線WL0、WL1は、ワード線活性化信号WLEに
より活性化されるワードデコーダWDにより、ロウアド
レス(不図示)をデコードして選択される。
【0049】ビット線BL0、BL1、/BL0、/B
L1に読み出されたデータは、センスアンプ0(SA
0)、センスアンプ1(SA1)により、ビット線対
(BL0と/BL0、BL1と/BL1)を1対として
差動増幅される。センスアンプ0、1(SA0、SA
1)は、センスアンプ活性化信号SAEにより、センス
アンプ制御回路SACを介して制御される。
【0050】ビット線対(BL0と/BL0、BL1と
/BL1)は、コラム選択線CL0、CL1に制御され
てトランスファゲート対(T0ZとT0X、T1ZとT
1X)を介してデータ線対(DBと/DB)に電気的に
接続されてデータアクセス動作が行なわれる。
【0051】コラム選択線CL0、CL1は、コラム選
択トリガ回路CLTからのコラム選択トリガ信号CLE
により、デコードされたコラムアドレス(不図示)に対
応するコラムデコーダ0(CD0)またはコラムデコー
ダ1(CD1)から出力される。
【0052】データ線対(DBと/DB)に読み出され
たデータは、センスバッファSBで増幅されて入出力バ
ッファIOBUFから出力される。また、入出力バッフ
ァIOBUFに入力された書き込みデータは、図示しな
いライトアンプからデータ線対(DBと/DB)を介し
て、ビット線対(BL0と/BL0)または(BL1と
/BL1)に書き込まれる。
【0053】データアクセスの終了時に、ビット線の初
期化のため、ビット線対(BL0と/BL0、BL1と
/BL1)をイコライズする回路がイコライズ回路0
(EQ0)、イコライズ回路1(EQ1)である。イコ
ライズ制御回路EQCにより制御されてイコライズ動作
を行なう。
【0054】第1実施形態におけるプリチャージ制御部
1は、ワード線の非活性化を行なうワード線非活性化回
路WLR1、センスアンプの非活性化を行なうセンスア
ンプ非活性化回路SAR1、およびビット線対のイコラ
イズを行なうビット線イコライズ回路BLR1を備えて
いる。
【0055】ワード線非活性化回路WLR1は、センス
アンプ活性化信号SAEが入力される遅延回路1(1
1)が接続されており、センスアンプ活性化信号SAE
に対して遅延時間τ1が付加される遅延信号SAED1
が制御信号として入力される。また、コラム選択トリガ
信号CLEが禁止(INH)端子に入力される。ワード
線非活性化回路WLR1からは、ワード線非活性化信号
WLRSTが出力され、ワードデコーダWDに入力され
ると共に、センスアンプ非活性化回路SAR1およびビ
ット線イコライズ回路BLR1のイネーブル(EN)端
子に入力される。
【0056】センスアンプ非活性化回路SAR1は、プ
リチャージ信号PREにより制御され、センスアンプ非
活性化信号SARSTがセンスアンプ制御回路SACに
出力される。また、センスアンプ非活性化回路SAR1
のプリセット(PST)端子には、センスアンプ活性化
信号SAEが入力される。
【0057】ビット線イコライズ回路BLR1は、プリ
チャージ信号PREが入力される遅延回路B(DB)が
接続されており、プリチャージ信号PREに対して遅延
時間τBが付加される遅延信号φDBが入力され、ビッ
ト線イコライズ信号BLRSTがイコライズ制御回路E
QCに出力される。また、ビット線イコライズ回路BL
R1のプリセット(PST)端子には、ビット線イコラ
イズ解除信号BLPCが入力される。
【0058】プリチャージ期間が終了し、連続したデー
タアクセス動作が開始される際、ビット線イコライズ解
除信号BLPCが出力され、ビット線イコライズ回路B
LR1がプリセットされる。ビット線イコライズ信号B
LRSTが非活性化され、イネーブル(EN)端子への
ワード線非活性化信号WLRSTおよび遅延信号φDB
を受け付け可能な状態に遷移する。
【0059】ワード線活性化信号WLEによるワード線
WL0またはWL1の選択の後、センスアンプ活性化信
号SAEが活性化され、ビット線対(BL0と/BL
0、BL1と/BL1)の差動増幅が開始される。同時
に、センスアンプ非活性化回路SAR1がプリセットさ
れ、センスアンプ非活性化信号SARSTが非活性化さ
れ、イネーブル(EN)端子へのワード線非活性化信号
WLRSTおよびプリチャージ信号PREの受け付け可
能状態に遷移する。更に、遅延回路1(11)に入力さ
れて、遅延時間τ1の遅延信号SAED1の計時が開始
される。
【0060】ここで、遅延時間τ1は、センスアンプ活
性化信号SAEの入力から、ビット線対(BL0と/B
L0、BL1と/BL1)の差動増幅の完了以後の所定
タイミングまでの時間である。この時間は、連続アクセ
ス動作におけるコラム選択トリガ信号CLEの非活性期
間であるパルス駆動されていない期間に設定される。但
し、コラム選択トリガ信号CLEのパルス駆動タイミン
グのばらつき、高速化の際のコラム選択トリガ信号CL
Eとワード線非活性化信号WLRSTとのクリティカル
な動作タイミング等にそなえて、コラム選択トリガ信号
CLEを禁止(INH)信号としている。コラム選択ト
リガ信号CLEのパルス駆動の終了前に遅延信号SAE
D1が入力された場合に、コラム選択トリガ信号CLE
のパルス駆動の終了を待ってワード線非活性化信号WL
RSTを出力する。
【0061】センスアンプ活性化信号SAEの入力から
遅延時間τ1が計時されると、遅延信号SAED1がワ
ード線非活性化回路WLR1に出力される。ワード線非
活性化回路WLR1では、禁止(INH)端子にコラム
選択トリガ信号CLEが入力されているため、コラム選
択トリガ信号CLEが活性化されず、コラム選択線CL
0、CL1がパルス駆動されていない状態において、遅
延信号SAED1の入力に伴いワード線非活性化信号W
LRSTが出力される。これにより、ワード線WL0ま
たはWL1が、プリチャージ期間の開始前に先行して非
活性化される。
【0062】この場合、ワード線非活性化信号WLRS
Tはラッチ信号であるか、またはセンスアンプ非活性化
回路SAR1およびビット線イコライズ回路BLR1の
イネーブル(EN)端子に入力された後、状態がラッチ
されることが好ましい。更にワード線非活性化信号WL
RSTがラッチ信号でない場合には、ワードデコーダW
Dにおいても状態をラッチしておくことが好ましい。
【0063】ワード線の非活性化状態がラッチされる
と、センスアンプ非活性化回路SAR1およびビット線
イコライズ回路BLR1は、プリチャージ信号PREの
受け付け可能状態に維持されることとなる。連続アクセ
ス動作の終了後にプリチャージ動作が開始されると、セ
ンスアンプ非活性化回路SAR1には、プリチャージ信
号PREが直接入力されているので、直ちにセンスアン
プ非活性化信号SARSTが出力されセンスアンプの非
活性化が行なわれる。一方、ビット線イコライズ回路B
LR1には、プリチャージ信号PREが遅延回路B(D
B)を介して入力されるので、遅延時間τBの遅れの
後、ビット線イコライズ信号BLRSTが出力されビッ
ト線対(BL0と/BL0、BL1と/BL1)のイコ
ライズが開始される。ここで、遅延時間τBは、センス
アンプの非活性化のための時間である。センスアンプが
確実に非活性化してからビット線対のイコライズ動作を
行なわせることにより、センスアンプとイコライズ回路
との間の不要な貫通電流を防止している。
【0064】図3は、第1実施形態におけるプリチャー
ジ制御部1の具体例を示す回路図である。センスアンプ
活性化信号SAEが入力される遅延回路1(11)は、
偶数段のインバータゲート列により構成されて遅延時間
τ1を計時する。
【0065】ワード線非活性化回路WLR1では、遅延
回路1(11)から出力される遅延信号SAED1がN
ANDゲートの一方の入力端子に入力される。他方の入
力端子には、禁止(INH)端子からインバータゲート
を介して、コラム選択トリガ信号CLEが入力される。
NANDゲートの出力端子は、インバータゲートに接続
されておりインバータゲートからの出力信号がラッチ回
路にラッチされてワード線非活性化信号WLRSTが出
力される。
【0066】センスアンプ非活性化回路SAR1では、
NORゲートを備えており、一方の入力端子には、イン
バータゲートを介して、プリセット(PST)端子から
センスアンプ活性化信号SAEが入力される。他方の入
力端子には、インバータゲートの出力端子が接続されて
おり、このインバータゲートにはNANDゲートが接続
されている。NANDゲートには、プリチャージ信号P
REと、イネーブル(EN)端子を介してワード線非活
性化信号WLRSTが入力される。NORゲートの出力
端子から3段の直列接続されたインバータゲートを介し
て、センスアンプ非活性化信号SARSTが出力され
る。
【0067】ビット線イコライズ回路BLR1は、セン
スアンプ非活性化回路SAR1と同様の回路構成を有し
ている。センスアンプ非活性化回路SAR1におけるセ
ンスアンプ活性化信号SAEに代えてビット線イコライ
ズ解除信号BLPCが、またプリチャージ信号PREに
代えて遅延信号φDBが入力される構成である。
【0068】図4は、第1実施形態(図2)およびその
プリチャージ制御部1の具体例(図3)についての動作
波形を示している。プリチャージ信号PREがローレベ
ルに遷移し連続アクセス動作が開始される。ビット線イ
コライズ回路BLR1は、ビット線イコライズ解除信号
BLPCがハイレベルに遷移することにより、ローレベ
ルのビット線イコライズ解除信号BLPCに対してハイ
レベルに設定されていたビット線イコライズ信号BLR
STが、ローレベルに遷移してイコライズ状態が解除さ
れる。そして、プリチャージ期間に再度ビット線イコラ
イズ信号BLRSTを活性化するためプリセット状態に
セットされ、遅延信号φDBのハイレベル遷移の受け付
け可能状態となる。その後、図示しない制御回路により
ワード線活性化信号WLEがハイレベルに遷移し、ワー
ドデコーダWDを介してワード線WL0またはWL1が
活性化される。尚、この時点では、ワード線非活性化信
号WLRSTはローレベルである。
【0069】ワード線WL0またはWL1が活性化する
と、ビット線BL0、BL1には、メモリセルが接続さ
れメモリセルに蓄積されている蓄積電荷が分配される。
その後、図示しない制御回路により、センスアンプ活性
化信号SAEがハイレベル遷移してセンスアンプが活性
化してビット線対(BL0と/BL0、BL1と/BL
1)の差動増幅が開始される。同時にセンスアンプ非活
性化回路SAR1は、センスアンプ非活性信号SARS
Tをローレベルに遷移してセンスアンプの非活性状態を
解除する。そして、プリチャージ期間に再度センスアン
プ非活性化信号SARSTを活性化するため、プリセッ
ト状態にセットされ、プリチャージ信号PREのハイレ
ベル遷移の受け付け可能状態となる。
【0070】差動増幅レベルが所定電圧レベルにまで増
幅されたタイミングで、最初のコラム選択トリガ信号C
LEとしてハイレベルのパルス信号が出力される。デコ
ードされたコラムアドレスに基づき、コラムデコーダ0
(CD0)から、ハイレベルのパルス信号としてコラム
選択線CL0が駆動され、ビット線対(BL0と/BL
0)をデータ線対(DB0と/DB0)に接続する。こ
の間、ビット線対(BL0と/BL0)はディスターブ
現象により電圧レベルが減少する。
【0071】その後、センスアンプ活性化信号SAEの
ハイレベル遷移から遅延時間τ1の後に出力される遅延
信号SAED1により、ワード線非活性化信号WLRS
Tがハイレベル遷移してワード線WL0またはWL1の
非活性化が行なわれる。遅延時間τ1の設定は、原則的
に、最初のコラム選択線CL0のパルス駆動後で、ビッ
ト線対の差動増幅が完了した後に、ワード線非活性化信
号WLRSTがハイレベル遷移するように設定されてい
るが、ワード線非活性化回路WLR1の禁止(INH)
端子に入力されているコラム選択トリガ信号CLEによ
り、ハイレベルのコラム選択トリガ信号CLEが入力さ
れている期間は出力されないような設定となっている。
これにより、ワード線非活性化信号WLRSTのハイレ
ベル遷移は、コラム選択線のパルス駆動後に出力される
ようになり、ワード線非活性化時のメモリセルへのリス
トアレベルを充分に確保することができる。
【0072】ワード線非活性信号WLRSTは、センス
アンプ非活性回路SAR1およびビット線イコライズ回
路BLR1のイネーブル(EN)端子を介してNAND
ゲートの一方の入力端子に入力される。そのため、ワー
ド線非活性信号WLRSTのハイレベル遷移により、両
回路SAR1およびBLR1のNANDゲートの他方の
入力端子に入力される、プリチャージ信号PREおよび
遅延信号φDBが受付可能な状態となる。
【0073】コラム選択線CL1のパルス駆動によるビ
ット線対(BL1と/BL1)へのアクセス動作の後
に、プリチャージ期間が開始されプリチャージ信号PR
Eがハイレベル遷移すると、センスアンプ非活性回路S
AR1からセンスアンプ非活性信号SARSTが出力さ
れる。この時点では、ハイレベルの状態にあるセンスア
ンプ活性化信号SAEが、インバータゲートを介してセ
ンスアンプ非活性回路SAR1のNORゲートの一方の
入力端子をローレベルに設定している。そのため、プリ
チャージ信号PREのハイレベル遷移に伴うNORゲー
トの他方の入力端子のハイレベル遷移により、センスア
ンプ非活性信号SARSTはハイレベルに遷移する。す
なわち、プリチャージ期間の開始によるプリチャージ信
号PREのハイレベル遷移に伴い、センスアンプが非活
性化される。
【0074】ビット線イコライズ回路BLR1は、セン
スアンプ非活性回路SAR1と同様な回路構成を有して
いるため、遅延信号φDBのハイレベル遷移によりビッ
ト線イコライズ信号BLRSTがハイレベル遷移してビ
ット線対のイコライズ動作が開始される。ここで、ビッ
ト線対のイコライズ動作の開始信号である遅延信号φD
Bは、プリチャージ信号PREから遅延回路B(DB)
を介して遅延時間τBの遅延が付加された遅延信号であ
る。従って、ビット線イコライズ動作の開始(BLRS
Tのハイレベル遷移)は、センスアンプの非活性化の開
始(SARSTのハイレベル遷移)に対して、遅延時間
τBだけ遅延する。この遅延時間τBを、センスアンプ
の非活性化のための所要時間に設定しておけば、センス
アンプの非活性化の完了に引き続いてビット線対のイコ
ライズ動作が行なわれることとなる。
【0075】尚、プリチャージ期間においては、センス
アンプ活性化信号SAEのローレベル遷移も合わせて行
なわれる。センスアンプ活性化信号SAEのローレベル
遷移により、遅延回路1(11)を介して遅延時間τ1
の後に、遅延信号SAED1がローレベル遷移する。こ
れにより、ワード線非活性化信号WLRSTがローレベ
ル遷移して、次のアクセス動作に備える。
【0076】図5に示す、第2実施形態のプリチャージ
制御部2では、第1実施形態のプリチャージ制御部1
(図2)におけるワード線非活性化回路WLR1に代え
て、ワード線非活性化回路WLR2を備え、更にコラム
選択回数検出回路22を備えた構成である。コラム選択
回数検出回路22は、入力されるコラム選択トリガ信号
CLEが所定回数に達した場合に、検出信号CLDTを
出力する。
【0077】尚、検出信号CLDTは、遅延時間τ2を
計時する遅延回路2(12)を介してワード線非活性化
回路WLR2に供給する設定とすることもできる。この
とき、遅延回路1(11)を削除し、センスアンプ活性
化信号SAEからの制御を不要とする構成とすることも
できる。少なくとも何れか一方の遅延回路11あるいは
12を備えていれば、または遅延回路2(12)を備え
ることなく検出信号CLDTに応じて、ビット線対での
差動増幅の完了以後の、コラム選択間の所定タイミング
を計時可能である。また、遅延時間τ2によれば、所定
回数のコラム選択トリガ信号CLEを検出した場合に出
力される検出信号CLDTに対して、最終のコラム選択
トリガ信号CLEの出力前までの適宜なタイミングを計
時することができる。
【0078】また、コラム選択回数検出回路22で計数
されるコラム選択の回数は、1以上、総選択回数から1
を減じた回数まで、あるいはバースト長NBLに対し
て、1以上、(NBL−1)以下の回数までを設定でき
る。前者は、コラムアドレスの遷移に応じてアドレスア
クセスが行なわれ対応するコラム選択線が順次選択され
ていくページモードに対する設定であり、後者は、初期
のコラムアドレスに基づきコラム選択線が順次、自動的
に選択されていくバーストモードに対する設定である。
【0079】ここで、バーストモードに対しては、バー
スト長(NBL)レジスタ24を備えておけば、バース
ト長(NBL)レジスタ24の内容に応じて、コラム選
択回数検出回路22における最大計数(NBL−1)を
設定することができる。ページモードに対しては、動作
仕様等により、予め最大連続アクセス数が設定されてい
る場合に、コラム選択回数検出回路22における最大計
数を設定することができる。また、連続アクセス数が不
定である場合には、コラム選択回数検出回路22におい
て、最初のコラム選択を検出するように設定してやれば
対応することができる。
【0080】バーストモードの場合には、遅延時間τ2
を、検出されたコラム選択トリガ信号CLEから、隣接
するコラム選択トリガ信号CLEの開始までの時間に設
定しておき、コラム選択回数検出回路22における最大
計数値である(NBL−1)回目のコラム選択を検出す
る構成とすることが好ましい。この設定により、最終の
コラム選択である(NBL)回目のコラム選択の開始前
にワード線非活性信号WLRSTが出力される。
【0081】この設定において書き込み動作を行なう
際、(NBL)回目のコラム選択時に、メモリセルへの
書き込み動作は実行できないこととなる。この場合に
は、対応するコラムアドレスと書き込みデータとを一時
保持用のレジスタに格納しておき、連続アクセス動作終
了後のリフレッシュ動作用の時間領域に、追加の書き込
み動作として埋め込ませることで対応できる。ここで、
リフレッシュ動作は、リフレッシュ仕様に応じて上記の
時間領域において行なわれるが、一般的にリフレッシュ
周期は長周期であるため、リフレッシュ動作用に確保さ
れている時間領域のうち実際にリフレッシュ動作が行な
われる時間領域は一部であり、残りの時間領域はアクセ
ス動作もリフレッシュ動作も行なわれず空いた時間領域
として残されている。この空き時間領域に追加書き込み
動作を埋め込ませることにより、書き込み動作のバース
トモードについてもワード線の非活性化を先行させ、プ
リチャージ期間の短縮を図ることができる。
【0082】ページモードにおいて書き込み動作を行な
う場合は、連続アクセス数が不定であるため、ワード線
の非活性化後に選択されるコラム選択線の数も不定とな
る。ページモードでは、1回の連続アクセス動作におい
てワード線が活性化される際、差動増幅されるビット線
対の総数(N)が予め定められており、この総数(N)
が選択されるコラム選択線の総数である。従って、ワー
ド線が先行して非活性化された後の書き込み動作に対し
て、(N−1)セットの一時保持用レジスタを備える構
成としてやれば、バーストモードの場合と同様に、連続
アクセス動作終了後のリフレッシュ動作用の時間領域に
追加の書き込み動作を行なうことができる。
【0083】図6に示す、第3実施形態のプリチャージ
制御部3では、第2実施形態のプリチャージ制御部2
(図5)におけるワード線非活性化回路WLR2に代え
て、ワード線非活性化回路WLR3を備え、更に、第1
および第2実施形態(図2、図5)の遅延回路1(1
1)に代えて、ビット線電圧モニタ回路13を備えた構
成である。
【0084】ビット線電圧モニタ回路13には、センス
アンプ活性化信号SAEとコラム選択トリガ信号CLE
とが入力され、ビット線電圧のモニタ結果として、ワー
ド線非活性化回路WLR3に対して検出信号BLFを出
力する。
【0085】図7に、ビット線電圧モニタ回路13の具
体例を示す。ハイレベルのセンスアンプ活性化信号SA
Eに応じてバイアス電流が流れるコンパレータを備えて
おり、一方の入力端子には抵抗分圧された参照電圧VR
Fが接続されている。他方の入力端子には、モニタビッ
ト線の一端が接続されており、ビット線電圧VDBLを
検出する。
【0086】モニタビット線は、実ビット線と同等な物
理構造を有しており、同等な負荷構造を有している。実
ビット線に接続されている複数のメモリセルを模擬する
負荷として、メモリセルを構成するスイッチ用NMOS
トランジスタと同等のNMOSトランジスタが、実ビッ
ト線における接続配置に合わせて接続されている。この
NMOSトランジスタは実ビット線における負荷を模擬
するものであるため、ゲート端子はソース端子に接続さ
れ接地電圧にバイアスされてオフ状態が維持されてい
る。NMOSトランジスタの接続ノード間の抵抗成分
は、モニタビット線の配線抵抗を明示的に記載したもの
である。実ビット線と同等の物理構造を備えているた
め、同等の抵抗値を有している。
【0087】モニタビット線の他端に備えられているダ
ミーセンスアンプは、センスアンプによる実ビット線の
差動増幅を模擬する回路構成である。モニタビット線か
ら、PMOSトランジスタを介して電源電圧VCCに接
続されると共に、NMOSトランジスタを介してビット
線のイコライズ電圧VEQBLに接続されている。ダミ
ーセンスアンプを構成するPMOS/NMOSトランジ
スタは、センスアンプを構成するトランジスタと同等の
駆動能力を有している。イコライズ電圧VEQBLは、
例えば、(1/2)VCC電圧である。PMOS/NM
OSトランジスタのゲート端子は、インバータゲートを
介してセンスアンプ活性化信号SAEが入力される。す
なわち、センスアンプ活性化信号SAEがローレベルで
あり非活性状態にある場合には、NMOSトランジスタ
がオンし、モニタビット線をイコライズ電圧VEQBL
に初期化する。センスアンプ活性化信号SAEがハイレ
ベルになり活性状態になると、PMOSトランジスタが
オンし、モニタビット線を電源電圧VCCまで充電す
る。差動増幅されるビット線対のうちハイレベル側のビ
ット線を模擬している。
【0088】また、コラム選択トリガ信号CLEにより
制御され、ハイレベルのパルス駆動期間にオンして、モ
ニタビット線を電圧VEQDBに電気的に接続するNM
OSトランジスタは、ビット線がデータ線に接続された
際の、ビット線へのディスターブ現象を模擬している。
電圧VEQDBは、振幅制限されたデータ線の電圧中心
値であり、例えば、(1/2)VCC)電圧である。
【0089】ビット線電圧VDBLが参照電圧VRFを
上回ると、コンパレータの出力端子はローレベルに遷移
し、インバータゲートで反転されて、ハイレベルの検出
信号BLFが出力される。参照電圧VRFは、ビット線
対が充分に差動増幅されてメモリセルへの充分なリスト
ア電圧の再書き込みが可能な電圧に設定されている。
【0090】図9に示す第4実施形態の動作波形は、本
発明を、非同期型メモリのページ動作が書き込み動作で
ある場合(ページライト動作)に適用した動作波形を示
している。ワード線が先行して非活性化された後の書き
込み動作を、リフレッシュ用に確保された時間領域に追
加書き込みする、いわゆるレイトライト機能を備える場
合である。
【0091】第4実施形態の説明に先立ち、通常の非同
期型メモリにおけるページ動作を含む動作波形を図8に
示す。第1の動作サイクルは、ページライト動作の動作
サイクルである。/CE1のローレベル遷移をトリガと
して動作が開始され、アドレス信号ADDとしてロウア
ドレスAR0を取り込み、ロウ系の動作を開始する。具
体的には、ロウアドレスAR0のデコードにより選択さ
れるワード線WL0を活性化し、メモリセルのデータを
ビット線に読み出した上でセンスアンプにより差動増幅
する(WLSL)。
【0092】所定時間経過後、/WEがロウレベルに遷
移し、本動作サイクルがページライト動作であることが
確定する。同時に、アドレス信号ADDとして、コラム
アドレスAC0〜AC3が対応する書き込みデータ(不
図示)と共に、順次切り替えられて入力される。コラム
アドレスAC0〜AC3の切り替えは外部制御されてお
り、適宜な動作周期tPCでコラムアドレスが切り替え
られることにより、連続したアクセス動作(この場合、
書き込み動作)が行なわれる。いわゆるアドレスアクセ
ス動作が行なわれる。各コラムアドレスAC0〜AC3
に対しては、対応するコラム選択線CL0〜CL3がハ
イレベルのパルスで活性化され、各コラムアドレスに対
応するビット線対をデータ線対に接続することにより、
外部からデータの書き込みが行なわれる(WR0〜WR
3)。
【0093】第2の動作サイクルは、ページ動作として
読み出し動作を行なう場合(ページリード動作)であ
る。ページライト動作と同等な動作である。/CE1の
ローレベル遷移をトリガとしてロウアドレスAR10に
より選択されるワード線WL10が活性化され(WLS
L)、その後の/OEのローレベル遷移に伴い、コラム
アドレスAC10〜AC13に対応するコラム選択線C
L10〜CL13が活性化されて、連続したデータ読み
出しが行なわれる(RD10〜RD13)。
【0094】第3の動作サイクルは、通常の単ビット読
み出しサイクルが行なわれるノーマルリード動作であ
る。ロウアドレスAR20により選択されるワード線W
L20に対して、コラムアドレスAC20に対応するコ
ラム選択線CL20が活性化して単ビットのデータの読
み出しが行なわれる。
【0095】図8に示す非同期メモリのページ動作で
は、連続アクセス数はコラムアドレスの遷移に応じて適
宜に増減させることができる。図8では、4つのコラム
アドレス遷移に対して連続アクセス動作をさせた場合を
例にとり説明している。ページライト動作のサイクル時
間としてtPW、ページリード動作のサイクル時間とし
てtPRを要している。
【0096】第1〜第3の動作サイクル間には、リフレ
ッシュ用の時間領域が確保されている((I)〜(II
I))。但し、リフレッシュ周期は、通常の動作サイク
ルに比して長周期であることが一般的であり、例えば、
数10nsecで行なわれるアクセス動作1000回に
対して1回のリフレッシュ動作が行なわれる。そのた
め、動作サイクル間の時間領域の全てにおいてリフレッ
シュ動作が行なわれることはない。リフレッシュ周期と
一致した場合に、((I)〜(III))時間領域のう
ちの何れか1つの時間領域において行なわれ、他の時間
領域においてはスタンバイ状態が維持されている。リフ
レッシュ動作が行なわれる場合には、通常、前後の通常
アクセス動作とは異なるワード線WLRefが活性化さ
れるため、ワード線を切り替えるためのプリチャージ期
間tPRを設定する必要がある。この間にワード線の切
り替えと、これに伴うセンスアンプの非活性化動作およ
びビット線対のイコライズ動作が行なわれる。
【0097】図9の第4実施形態では、第1および第2
の動作サイクルをページライト動作として示している。
上記の通常動作(図8)においては、第4のコラムアド
レスAC3、AC13についてのコラム選択線CL3、
CL13の選択の後にワード線WL0、WL10が非活
性化されるのに対して、第4実施形態では、第3のコラ
ムアドレスAC2、AC12によるコラム選択線CL
2、CL12の選択の後に非活性化される。第4のコラ
ムアドレスAC3、AC13に対する書き込みを行なう
ことなくプリチャージ動作に移行することができ、ペー
ジライト動作のサイクル時間tPW0を、連続アクセス
動作の動作周期tPC分短縮することができる(tPW
0=tRW−tPC)。
【0098】ページライト動作の動作サイクル中に書き
込みを行なわなかった、第4のコラムアドレスAC3、
AC13については、コラムアドレスAC3、AC13
が、アドレスレジスタRGA、RGAに、対応する
書き込みデータが、書き込みデータレジスタRGD、
RGDに格納され、ページライト動作終了後のリフレ
ッシュ用時間領域において追加書き込みが行なわれる。
尚、追加書き込みに当っては、活性化すべきワード線も
異なっていることが一般的であるため、ページライト動
作中に活性化されているロウアドレスも、アドレスレジ
スタRGA、RGAに格納しておくことが好まし
い。
【0099】ここで、2組のアドレスレジスタRGA
、RGAと、2組の書き込みデータレジスタRGD
、RGDとを備えることが好ましい。図9に示すよ
うに、ページライトサイクルが2サイクル連続し、その
間の時間領域にリフレッシュ動作が行なわれる場合があ
るからである。この場合には、第1のページライト動作
の動作サイクルで一時的に保持されるコラムアドレスお
よび書き込みデータは、第2のページライト動作の動作
サイクル後の時間領域において、追加書き込みが行なわ
れる。第2のページライト動作の動作サイクルで一時保
持されたコラムアドレスと書き込みデータは、更にその
後の時間領域で追加書き込みされるまで保持しておく必
要があり、同時に2セットの追加書き込み対象を保持す
べき期間が存在するからである。
【0100】また、図9に示したワード線の非活性化タ
イミングより、更に先行してワード線が非活性化される
場合には、ワード線の非活性化後に選択されるコラム選
択線の数に応じて、アドレスレジスタおよび書き込みデ
ータレジスタを備えることが好ましい。この場合は、連
続するページライトサイクル、およびその間に行なわれ
るリフレッシュ動作、更には1つの時間領域で可能な追
加書き込み数に応じて、適宜にレジスタ群を備えてやれ
ば、連続アクセス数が不定のページライト動作において
も、本発明を適用することができる。例えば、ワード線
非活性化後に選択されるコラム選択線の数が5つとす
る。連続してページライト動作が行なわれ、その間にリ
フレッシュ動作が行なわれる場合、10セットの一時保
持用のレジスタを備えていればレイトライト機能を実現
することができる。
【0101】一時保持用のレジスタを更に備え、あるい
は追加書き込み動作をページ動作で行なうこと等によ
り、ページライト動作が更に連続する場合にも対応する
ことができる。尚、データの読み出し・書き込み等の外
部アクセス動作とリフレッシュ動作とが独立して行なわ
れる擬似SRAM等の半導体メモリにおいては、外部ア
クセス動作開始要求信号とリフレッシュ動作開始要求信
号とが競合する場合が考えられる。この場合には、外部
アクセス動作とリフレッシュ動作とを連続する一連の動
作として1つの動作サイクルにまとめてサイクルタイム
tCEを規定する場合がある。この時のリフレッシュ動
作用の時間領域も実際にリフレッシュ動作が行なわれな
い場合があり、この時間領域を利用して追加書き込み動
作を実施することができる。
【0102】ワード線を先行して非活性化することによ
り、プリチャージ期間を短縮することができ、ページ動
作のサイクルタイムを短縮することができる。この効果
を、上述のレイトライト機能を利用することにより、ペ
ージリード動作のみならずページライト動作にも適用す
ることができる。
【0103】図11に示す第5実施形態の動作波形は、
本発明を、同期型メモリのバースト動作が書き込み動作
である場合(バーストライト動作)に適用した動作波形
を示している。ワード線が先行して非活性化された後の
書き込み動作を、リフレッシュ用に確保された時間領域
に追加書き込みする、いわゆるレイトライト機能を備え
る場合である。
【0104】第5実施形態の説明に先立ち、通常の同期
型メモリにおけるバースト動作波形を図10に示す。第
1の動作サイクルはバーストライト動作、第2の動作サ
イクルはバーストリード動作である。図10はCASレ
イテンシ1のタイミングチャートである。バーストライ
ト動作、バーストリード動作に対して、オートプリチャ
ージ動作を伴うコマンド(WRAコマンド、RDAコマ
ンド)でバースト動作を行なう場合である。バースト長
が8の場合を示している。
【0105】クロック1でのアクティブコマンドACT
により、ロウアドレスAR0、AR10に応じてワード
線WL0、WL10が活性化され、メモリセルからビッ
ト線に読み出されたデータがセンスアンプにより差動増
幅される。クロック3で、WRAコマンド、RDAコマ
ンドが入力されると、同時に入力されているコラムアド
レスAC0、AC10に基づき、バーストライト動作、
バーストリード動作が開始され、クロックごとに順次デ
ータの入出力が行なわれる。バーストライト動作におい
ては、クロック3〜クロック10にかけてデータWD0
〜WD7が書き込まれ、バーストリード動作において
は、クロック4〜クロック11にかけてデータRD0〜
RD7が読み出される。バーストライトサイクル、バー
ストリードサイクルは、共に12クロック(CLK)で
構成されている。
【0106】図11の第5実施形態では、バーストリー
ド動作内にリフレッシュ動作用の時間領域を埋め込ませ
る動作仕様を備えることにより、バースト動作を中断す
ることなくリフレッシュ動作を行なうことができ、且つ
レイトライト機能をも備える同期型の半導体メモリにつ
いての動作波形である。図11におけるバースト動作条
件は、図10の場合と同様に、CASレイテンシ1、バ
ースト長8、オートプリチャージ動作を伴うコマンド
(WRAコマンド、RDAコマンド)によるバースト動
作である。
【0107】バーストリード動作内にリフレッシュ用の
時間領域を埋め込ませるために、バーストリード動作に
おけるコラム選択線CL10〜CL17は、クロックC
LKには同期せず、これより速い周期で選択される。す
なわち、クロックCLKのタイミングに先行してビット
線対とデータ線対とが電気的に接続され、データ線対に
データが読み出されることとなる。先行して読み出され
たデータは、図示しないデータバッファ回路等の一時保
持回路に保持されており、その後の読み出しタイミング
であるクロックCLKに同期して外部に出力する仕様で
ある。
【0108】先行してデータを読み出すため、データ読
み出しのために差動増幅されているビット線対を、外部
仕様に比して速いタイミングでイコライズすることがで
きる。そのため、ページリードサイクルの後半において
時間領域が確保され(クロックCLK7〜CLK1
1)、この時間領域にリフレッシュ動作を埋め込ませる
ことができる。また、この時間領域をバーストライト動
作で書き込みされなかったコラム選択線CL7への追加
書き込み領域として利用することもできる。尚、バース
トリードサイクルにおいても、読み出し動作であるRD
16とRD17に対応するコラム選択線CL16とCL
17との間に、ワード線WL10を非活性化してプリチ
ャージ期間の短縮を図ることができる。
【0109】バーストライト動作では、図10の場合と
同様に、クロックに同期したタイミングでバースト動作
が行なわれる。ワード線を先行して非活性化するため
に、コラム選択線CL7に対する書き込みがされること
なくバーストライト動作は終了する。書き込みされなか
ったコラムアドレスおよび書き込みデータは、一時保持
用のアドレスレジスタRGAおよび書き込みデータレ
ジスタRGDに保持される。このとき、ロウアドレス
もアドレスレジスタRGAに保持されることが好まし
い。レジスタRGA、RGDに保持されたアドレス
および書き込みデータは、バーストリード動作に埋め込
まれている時間領域において追加書き込みすることがで
きる。
【0110】ワード線を先行して非活性化することによ
り、プリチャージ期間を短縮することができ、バースト
動作のサイクルタイムを短縮することができる。この効
果を、上述のレイトライト機能を利用することにより、
バーストリード動作のみならずバーストライト動作にも
適用することができる。
【0111】また、コラム選択線CL7の選択を行なわ
ずにバースト動作を行なうので、バーストライトサイク
ルは、通常の場合が12クロックであるのに対して、1
クロック短縮され11クロックとすることができる。バ
ーストリードサイクルにおいても、コラム選択線CL1
0〜CL17をクロックCLKに先行させて選択するこ
とができるため、同様にサイクルクロック数を短縮でき
る。バースト動作の短縮を図ることができる。
【0112】以上詳細に説明したとおり、本実施形態に
係る半導体記憶装置の制御方法、および半導体記憶装置
では、ワード線WL0、WL1、WL10の非活性化
を、ページ動作やバースト動作等の連続アクセス動作の
継続中に行なうことができ、連続アクセス動作の終了後
の初期化動作期間であるプリチャージ期間に行なう必要
がない。半導体記憶装置の大容量化に伴い、ワード線W
L0、WL1、WL10が複数のメモリセルに接続され
配線長も長大となって、非活性化の際の電圧遷移の時定
数が増大してしまっても、ワード線WL0、WL1、W
L10の非活性化の時定数がプリチャージ期間に加算さ
れることはなく、プリチャージ期間の短縮を図ることが
できる。従って、メモリセルへのアクセス期間に対して
プリチャージ期間の占める割合を圧縮することができ、
サイクルタイムの高速化、半導体記憶装置の動作期間に
占めるデータアクセス動作の占有率を向上させることが
できる。尚、同期型メモリの場合、外部アクセス動作を
行なわず、一定時間のNOPサイクルが連続することが
予め判っている動作モードである、クロックサスペンド
モードやパワーダウンモード等の間に、レイトライト機
能を実行する追加書き込みサイクルを行なってもよい。
【0113】また、ワード線WL0、WL1、WL10
の非活性化動作は、連続アクセス動作中において、コラ
ム選択部であるコラム選択トリガ回路CLTがコラム選
択トリガ信号CLEを出力していない状態で、ワード線
非活性化回路WLR1〜WLR3が活性化動作されるこ
とにより行なわれる。コラムデコーダ0、1(CD0、
CD1)からのコラム選択線CL0、CL1も選択され
ていないため、ワード線WL0、WL1、WL10の非
活性化動作を、コラム選択中に複数のビット線がディス
ターブ現象を受けている期間を避け、コラム選択終了後
であって複数のメモリセルへのリストアが完了している
時点で行なうことができる。複数のメモリセルに記憶さ
れているデータ保持特性を悪化させることなく、プリチ
ャージ期間の短縮を図ることができる。
【0114】また、ワード線WL0、WL1、WL10
の非活性化が行なわれる前の活性状態において、ディス
ターブ現象によりデータの論理レベルが反転してしまわ
ない電圧レベルにビット線BL0、BL1、または/B
L0、/BL1が増幅された段階でデータアクセスが開
始される。従って、連続アクセス動作における初期のデ
ータアクセス速度を高速に維持しながら、連続アクセス
動作中にワード線WL0、WL1、WL10の非活性化
動作を行なうことによりプリチャージ期間の短縮を図る
ことができる。
【0115】また、連続アクセス動作の活性化から複数
のビット線対におけるデータの差動増幅完了までの時間
は、半導体記憶装置の回路構成や物性条件等により固有
な時間であり、また、連続アクセス動作におけるコラム
選択トリガ信号CLE間の期間は、半導体記憶装置に固
有の時間あるいは動作仕様に応じて規定される時間であ
るので、これらの時間を第1所定遅延時間である遅延時
間τ1、または第2所定遅延時間である遅延時間τ2と
して計時することにより、複数のビット線対における差
動増幅の完了以後の所定タイミングを計時することがで
きる。また、第1遅延回路である遅延回路1(11)に
より遅延時間τ1を計時し、第2遅延回路である遅延回
路2(12)により遅延時間τ2を計時することができ
る。
【0116】ここで、遅延時間τ2とは、第1コラム選
択である先行するコラム選択トリガ信号CLEの終了か
ら、第2コラム選択である後行のコラム選択トリガ信号
CLEの開始前までの所定時間を計時するものである。
先行と後行とのコラム選択トリガ信号CLEを隣り合う
トリガ信号とし、その間の中間時間を計時することも可
能である。
【0117】尚、連続アクセス動作におけるコラム選択
トリガ信号CLE間の時間について、半導体記憶装置の
回路構成や動作仕様により固有の時間である場合とは、
例えば、バーストモードでのアクセス動作であり、入出
力仕様に応じて規定される時間である場合とは、例え
ば、外部から入力されるコラムアドレスの遷移やアクセ
スコマンドに応じてデータアクセスが行なわれる場合で
ある。
【0118】また、ワード線活性化信号WLEとは、ワ
ード線WL0、WL1、WL10の活性化動作またはそ
の制御信号の他、ワード線WL0、WL1、WL10の
活性化に関連する動作またはその制御信号、ワード線W
L0、WL1、WL10の活性化に対して所定のタイミ
ングで行なわれる所定動作またはその制御信号を含んだ
信号である。また、データの差動増幅の開始信号である
センスアンプ活性化信号SAEとは、センスアンプの起
動動作またはその制御信号の他、差動増幅の開始に関連
する動作またはその制御信号、差動増幅に開始に対して
所定のタイミングで行なわれる所定動作またはその制御
信号を含んだ信号である。ロウ系の動作について、所定
のタイミングで行なわれる一連の動作またはその制御信
号を含んだ信号である。
【0119】また、半導体記憶装置の回路構成や物性条
件または動作仕様等から、先行するコラム選択トリガ信
号CLEの終了時に、データの差動増幅が完了している
場合には、遅延回路2(12)は備える必要はない。先
行するコラム選択トリガ信号CLEの終了時点を所定タ
イミングとすることができる。
【0120】また、バースト動作を行なう半導体記憶装
置について、先行するコラム選択トリガ信号CLEを、
(バースト長−1)回目以下のトリガ信号のうちから適
宜に設定することができる。また、最終のコラム選択ト
リガ信号CLEの1つ前のトリガ信号CLEである(バ
ースト長−1)回目のトリガ信号CLEに設定すること
もできる。この場合、最終のコラム選択トリガ信号CL
E以外のトリガ信号CLEでは、ワード線WL0、WL
1、WL10が活性状態にあり、連続書き込み動作にも
柔軟に対応することができる。
【0121】また、複数のビット線BL0、BL1、ま
たは/BL0、/BL1と複数のメモリセルC00、C
10、またはC01、C11とが電気的に接続されてい
るため、複数のメモリセルC00、C10、またはC0
1、C11へのデータのリストアが完了した時点でワー
ド線WL0、またはWL1を非活性化してやれば、半導
体記憶装置の回路構成や物性条件等により定められる固
有な最短時間でワード線WL0、またはWL1の非活性
化を行なうことができる。継続する連続アクセス動作に
先行してワード線WL0、またはWL1を非活性化する
ことができ、連続アクセスの長さが確定していないペー
ジ動作において、連続アクセス長に関わらずプリチャー
ジ期間の短縮を図ることができる。
【0122】また、最初のコラム選択トリガ信号CLE
に基づき、半導体記憶装置の回路構成や物性条件等によ
り定められる固有な最短時間でワード線WL0、WL
1、WL10の非活性化を行なうことができる。継続す
る連続アクセス動作に先行してワード線WL0、WL
1、WL10を非活性化することができ、連続アクセス
の長さが確定していないページ動作において、連続アク
セス長に関わらずプリチャージ期間の短縮を図ることが
できる。
【0123】また、第3実施形態によれば、ビット線と
同等の構造を有し同等の負荷構成を有するモニタビット
線の電圧レベルを検出することにより、差動増幅完了を
確実に検出することができる。
【0124】尚、本発明は前記実施形態に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の
改良、変形が可能であることは言うまでもない。例え
ば、第1〜第3実施形態においては、遅延回路1(1
1)、コラム選択回数検出回路22、およびビット線電
圧モニタ回路13についての所定の組み合わせを例示し
たが、本発明では、この組み合わせに限定されるもので
はなく、各々を単独で使用して構成することができる。
また、例示以外の適宜の組み合わせにおいても使用する
ことができる。また、第4、第5実施形態においては、
非同期型メモリの連続アクセス動作としてページ動作
を、同期型メモリの連続アクセス動作としてバースト動
作を例にして説明したが、非同期型メモリに対してバー
スト動作機能を適用する場合や、同期型メモリに対して
ページ動作を適用する場合にも、本発明が適用可能であ
ることは言うまでもない。ここで、非同期型メモリに対
するバースト動作とは、内部カウンタ等を備えておき、
初期のコラムアドレスの入力に基づきアクセス箇所を順
次切り替えていく動作を備える場合をいう。また同期型
メモリに対するページ動作とは、リードコマンドやライ
トコマンドが連続する場合等である。
【0125】(付記1) ワード線を活性化し、複数の
メモリセルの各々を複数のビット線の各々に接続してデ
ータの増幅を開始した後、前記複数のビット線のうちの
何れかのビット線をデータ線に接続するコラム選択を、
順次行なうことにより、連続したアクセス動作を行なう
半導体記憶装置の制御方法において、前記ワード線の非
活性化は、前記複数のビット線における前記データの増
幅が完了した以後の所定タイミング以降であって、先行
の第1コラム選択の終了以後から後行の第2コラム選択
の開始前までの期間のうち、前記コラム選択が行なわれ
ていない期間に行なわれることを特徴とする半導体記憶
装置の制御方法。 (付記2) 前記所定タイミングは、前記連続アクセス
動作の活性化からの第1所定遅延時間、または前記第1
コラム選択の終了からの第2所定遅延時間の何れか一方
により計時されることを特徴とする付記1に記載の半導
体記憶装置の制御方法。 (付記3) 前記連続アクセス動作の活性化は、前記ワ
ード線の活性化または前記データの増幅開始であること
を特徴とする付記2に記載の半導体記憶装置の制御方
法。 (付記4) 前記第1コラム選択終了時が、前記データ
の増幅完了以後である場合、前記所定タイミングは、前
記第1コラム選択の終了時であることを特徴とする付記
2に記載の半導体記憶装置の制御方法。 (付記5) 初期のコラムアドレスに基づき、初期のコ
ラム選択に引き続き後続のコラム選択が、順次自動的に
行なわれていくバーストモードにおいて、前記第1コラ
ム選択は、(バースト長−1)回目以下のコラム選択で
あることを特徴とする付記1に記載の半導体記憶装置の
制御方法。 (付記6) 前記第1コラム選択は、(バースト長−
1)回目のコラム選択であることを特徴とする付記5に
記載の半導体記憶装置の制御方法。 (付記7) コラムアドレスの遷移ごとに、対応するコ
ラム選択が、順次行なわれていくページモードにおい
て、前記所定タイミングは、前記データの増幅完了のタ
イミングであることを特徴とする付記1に記載の半導体
記憶装置の制御方法。 (付記8) コラムアドレスの遷移ごとに、対応するコ
ラム選択が、順次行なわれていくページモードにおい
て、前記第1コラム選択は、前記連続アクセス動作にお
いて最初に行なわれるコラム選択であることを特徴とす
る付記1に記載の半導体記憶装置の制御方法。 (付記9) 前記所定タイミングは、前記複数のビット
線または前記複数のビット線と同等の負荷構成を有する
モニタビット線における電圧レベルの検出に基づいて決
定されることを特徴とする付記1に記載の半導体記憶装
置の制御方法。 (付記10) 前記連続アクセス動作が、連続したデー
タ書き込み動作である場合、前記ワード線の非活性化後
のコラム選択に対するコラムアドレス群と書き込みデー
タ群とは、一時保持領域に取り込まれ、前記連続したデ
ータ書き込み動作終了後に、リフレッシュ動作用として
確保されている時間領域のうちリフレッシュ動作が行な
われない時間領域において、前記一時保持領域から前記
メモリセルに対して、追加書き込み動作が行なわれるこ
とを特徴とする付記1に記載の半導体記憶装置の制御方
法。 (付記11) 前記追加書き込み動作は、前記コラムア
ドレス群を、順次選択することにより行なわれる連続ア
クセス動作であることを特徴とする付記10に記載の半
導体記憶装置の制御方法。 (付記12) 前記一時保持領域は、少なくとも2セッ
ト備えられていることを特徴とする付記10に記載の半
導体記憶装置の制御方法。 (付記13) 連続アクセス動作の開始要求に従い、ワ
ード線を活性化して、複数のメモリセルの各々を複数の
ビット線の各々に接続するワード線活性化ステップと、
前記複数のメモリセルから前記複数のビット線に読み出
された複数のデータを増幅するデータ増幅ステップと、
前記データ増幅ステップにおいて増幅レベルが所定レベ
ルに達した以後に、前記複数のビット線のうちの何れか
のビット線をデータ線に接続するコラム選択を行なうこ
とにより、前記連続アクセス動作を開始するデータアク
セス開始ステップと、前記データ増幅ステップにおける
増幅動作が完了した以後であって、前記データアクセス
開始ステップ中の前記コラム選択の非活性化時に、前記
ワード線を非活性化するワード線非活性化ステップと、
前記ワード線非活性化ステップの後、前記複数のビット
線のうちの何れかのビット線について、コラム選択を順
次行ない、前記連続アクセス動作を継続するデータアク
セス継続ステップと、連続アクセス動作の終了要求に従
い、前記データの増幅動作を停止し、前記複数のビット
線を初期化するプリチャージステップとを有することを
特徴とする半導体記憶装置の制御方法。 (付記14) 前記連続アクセス動作が、連続したデー
タ書き込み動作である場合、前記データアクセス継続ス
テップにおいて書き込み要求のある、コラムアドレス群
と該コラムアドレス群に書き込むべき書き込みデータ群
とを、一時的に保持する一時保持ステップと、前記連続
アクセス動作の終了後に、リフレッシュ動作が行なわれ
ないリフレッシュ動作用時間領域において、一時的に保
持されている前記コラムアドレス群に対応する前記メモ
リセルに対して、前記書き込みデータ群を書き込む追加
書き込みステップとを有することを特徴とする付記13
に記載の半導体記憶装置の制御方法。 (付記15) ワード線の活性化により、複数のメモリ
セルの各々が個別に接続される複数のビット線と、前記
複数のビット線の各々が個別に選択される複数のコラム
選択部と、前記複数のコラム選択部を介して接続される
共通のデータ線とを備え、前記複数のコラム選択部のう
ちの何れかのコラム選択部を、順次選択することによ
り、連続したアクセス動作を行なう半導体記憶装置にお
いて、先行して選択される第1コラム選択部の選択終了
を検出する第1コラム選択終了検出回路と、前記データ
増幅の完了以後であって、先行の前記第1コラム選択部
の選択終了以後から後行の第2コラム選択部の選択開始
前までの期間であることを報知するタイミング報知部
と、前記タイミング報知部からの報知信号により、前記
複数のコラム選択部が何れも選択されていない状態で活
性化動作するワード線非活性化回路とを備えることを特
徴とする半導体記憶装置。 (付記16) 前記タイミング報知部は、前記連続アク
セス動作の活性化信号またはその同期信号が入力される
第1遅延回路、または前記第1コラム選択終了検出回路
からの検出信号が入力される第2遅延回路の少なくとも
何れか一方を備えることを特徴とする付記15に記載の
半導体記憶装置。 (付記17) 前記連続アクセス動作の活性化信号は、
前記ワード線の活性化信号、または前記データ増幅の開
始信号であることを特徴とする付記16に記載の半導体
記憶装置。 (付記18) 前記検出信号の出力が前記データ増幅の
完了以後である場合、前記第1コラム選択終了検出回路
からの前記検出信号を、前記タイミング報知部の報知信
号とすることを特徴とする付記16に記載の半導体記憶
装置。 (付記19) 初期のコラムアドレスに基づき、初期の
コラム選択部に引き続き後続のコラム選択部が、順次自
動的に選択されていくバーストモードを備える半導体記
憶装置において、前記第1コラム選択終了検出回路は、
(バースト長−1)以下の選択回数において選択される
コラム選択部を、前記第1コラム選択部とすることを特
徴とする付記15に記載の半導体記憶装置。 (付記20) 前記第1コラム選択部は、(バースト長
−1)の選択回数において選択されるコラム選択部であ
ることを特徴とする付記19に記載の半導体記憶装置。 (付記21) コラムアドレスの遷移ごとに、対応する
コラム選択部が、順次選択されていくページモードを備
える半導体記憶装置において、前記タイミング報知部
は、前記データ増幅の完了を報知することを特徴とする
付記15に記載の半導体記憶装置。 (付記22) コラムアドレスの遷移ごとに、対応する
コラム選択部が、順次選択されていくページモードを備
える半導体記憶装置において、前記第1コラム選択終了
検出回路は、前記連続アクセス動作において最初に選択
されるコラム選択部を、前記第1コラム選択部とするこ
とを特徴とする付記15に記載の半導体記憶装置。 (付記23) 前記タイミング報知部は、前記複数のビ
ット線または前記複数のビット線と同等の負荷構成を有
するモニタビット線における電圧レベルを検出するビッ
ト線電圧モニタ部を備えることを特徴とする付記15に
記載の半導体記憶装置。 (付記24) 前記連続アクセス動作が連続したデータ
書き込み動作である場合に、前記ワード線の非活性化後
のコラム選択部の選択要求に対するコラムアドレス群お
よび書き込みデータ群を格納する、アドレスレジスタ群
および書き込みデータレジスタ群を備え、前記連続した
データ書き込み動作終了後に、リフレッシュ動作用とし
て確保されており、リフレッシュ動作が行なわれない時
間領域において、前記アドレスレジスタ群および前記書
き込みデータレジスタ群から、対応する前記コラムアド
レス群および前記書き込みデータ群を選択していくこと
により前記メモリセルに対して、追加書き込み動作が行
なわれることを特徴とする付記15に記載の半導体記憶
装置。 (付記25) 前記アドレスレジスタ群および前記書き込
みデータレジスタ群は、少なくとも2セット備えられて
いることを特徴とする付記24に記載の半導体記憶装
置。
【0126】ここで、付記3、または付記17におけ
る、ワード線の活性化またはワード線の活性化信号と
は、ワード線の活性化動作またはその制御信号の他、ワ
ード線の活性化に関連する動作またはその制御信号や、
ワード線の活性化に対して所定のタイミングで行なわれ
る所定動作またはその制御信号を含んでいる。またデー
タの増幅開始またはデータ増幅の開始信号とは、センス
アンプ等の増幅回路の起動動作またはその制御信号の
他、データ増幅の開始に関連する動作またはその制御信
号や、データ増幅に開始に対して所定のタイミングで行
なわれる所定動作またはその制御信号を含んでいる。ロ
ウ系の動作について、所定のタイミングで行なわれる一
連の動作またはその制御信号を含んでいる。また、付記
6、または付記20によれば、第1コラム選択または第
1コラム選択部の選択を、連続アクセス動作における最
終のコラム選択に対して、1つ前のコラム選択である
(バースト長−1)回目のコラム選択に設定することが
できる。最終のコラム選択以外のコラム選択については
ワード線が活性化状態にあり、書き込み動作を行なう場
合に好都合である。また、付記8、または付記22によ
れば、連続アクセス動作における最初のコラム選択に設
定される、第1コラム選択または第1コラム選択部の選
択に基づき、半導体記憶装置の回路構成や物性条件等に
より定められる固有な最短時間でワード線の非活性化を
行なうことができる。継続する連続アクセス動作に先行
してワード線を非活性化することができ、連続アクセス
動作の長さが確定していないページモードにおいて、連
続アクセス長に関わらずプリチャージ期間の短縮を図る
ことができる。また、付記10、または付記24によれ
ば、連続アクセス動作が連続したデータ書き込み動作で
ある場合、ワード線の非活性化後のコラム選択に対する
書き込み動作については、アドレスと書き込みデータと
を一時的に保持しておくことができる。リフレッシュ周
期に比して、連続したデータ書き込み動作の周期は短い
ため、リフレッシュ用に確保されている時間領域のう
ち、リフレッシュ動作が行なわれない時間領域において
追加書き込みを行なうことができる。この場合、一時保
持領域、またはアドレスレジスタ群および書き込みデー
タレジスタ群について、活性化されるワード線により選
択されるメモリセル数から1を減じた数のメモリセル群
に対応するコラムアドレスと書き込みデータとを保持す
ることができる構成とすれば、何れのタイミングでワー
ド線を非活性化しても、後続の書き込み動作に対応する
コラムアドレス群および書き込みデータ群を一時保持す
ることができる。連続アクセスの長さが確定していない
書き込み動作のページモードにおいて、連続アクセス長
に関わらず、適宜のタイミングでワード線の非活性化を
行なうことができる。また、連続アクセス長が確定して
いる書き込み動作のバーストモードについても、ワード
線の非活性化のタイミングを適宜に設定することができ
る。また、付記11によれば、追加書き込み動作を連続
動作で行なうことにより、高速に追加書き込みを行なう
ことができる。また、付記19によれば、第1コラム選
択部の選択を、(バースト長−1)回目以下のコラム選
択終了のうち適宜な位置に設定することができる。
【0127】
【発明の効果】本発明によれば、連続アクセス動作中に
おけるコラム選択間の所定タイミングにおいて、プリチ
ャージ期間に行なわれていたワード線の非活性化を先行
して行なうことにより、メモリセルへのリストア電圧の
劣化や初期のデータアクセス時間の遅れを伴うことな
く、連続アクセス動作後のプリチャージ期間を短縮する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理を説明する連続アクセス動作の動
作波形図である。
【図2】第1実施形態の半導体記憶装置のデータ入出力
経路を示す回路ブロック図である。
【図3】第1実施形態のプリチャージ制御部の具体例を
示す回路図である。
【図4】第1実施形態の動作波形である。
【図5】第2実施形態のプリチャージ制御部を示す回路
ブロック図である。
【図6】第3実施形態のプリチャージ制御部を示す回路
ブロック図である。
【図7】第3実施形態のビット線電圧モニタ回路を示す
回路図である。
【図8】非同期型メモリのページ動作を示す動作波形図
である(通常動作)。
【図9】非同期型メモリのページライト動作におけるレ
イトライト機能を示す動作波形図である(第4実施形
態)。
【図10】同期型メモリのバースト動作を示す動作波形
図である(通常動作)。
【図11】同期型メモリのバーストライト動作における
レイトライト機能を示す動作波形図である(第5実施形
態)。
【図12】従来技術の半導体記憶装置のデータ入出力経
路を示す回路ブロック図である。
【図13】従来技術の連続アクセス動作を示す動作波形
図である。
【図14】従来技術におけるプリチャージ期間の短縮さ
れたデータ入出力経路を示す回路図である。
【図15】図14の動作波形図である。
【符号の説明】
1、2、3、100 プリチャージ
制御部 11 遅延回路1 12 遅延回路2 13 ビット線電圧
モニタ回路 22 コラム選択回
数検出回路 24 バースト長レ
ジスタ BLR、BLR1 ビット線イコ
ライズ回路 CLT コラム選択ト
リガ回路 DA 遅延回路A DB 遅延回路B SAR、SAR1 センスアンプ
非活性化回路 WLR、WLR1、WLR2、WLR3 ワード線非活
性化回路 BL0、/BL0、BL1、/BL1 ビット線 CL0、CL1 コラム選択線 DB、/DB データ線 WL0、WL1 ワード線 BLPC ビット線イコ
ライズ解除信号 BLRSTX、BLRST ビット線イコ
ライズ信号 CLE コラム選択ト
リガ信号 PRE プリチャージ
信号 SAE センスアンプ
活性化信号 SARSTX、SARST センスアンプ
非活性化信号 WLRSTX、WLRST ワード線非活
性信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川本 悟 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番2 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 Fターム(参考) 5M024 AA49 BB08 BB15 BB27 BB35 CC50 CC70 DD85 GG01 HH09 JJ02 JJ48 PP01 PP02 PP03 PP07

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワード線を活性化し、複数のメモリセル
    の各々を複数のビット線の各々に接続してデータの増幅
    を開始した後、前記複数のビット線のうちの何れかのビ
    ット線をデータ線に接続するコラム選択を、順次行なう
    ことにより、連続したアクセス動作を行なう半導体記憶
    装置の制御方法において、 前記ワード線の非活性化は、前記複数のビット線におけ
    る前記データの増幅が完了した以後の所定タイミング以
    降であって、先行の第1コラム選択の終了以後から後行
    の第2コラム選択の開始前までの期間のうち、前記コラ
    ム選択が行なわれていない期間に行なわれることを特徴
    とする半導体記憶装置の制御方法。
  2. 【請求項2】 前記所定タイミングは、前記連続アクセ
    ス動作の活性化からの第1所定遅延時間、または前記第
    1コラム選択の終了からの第2所定遅延時間の何れか一
    方により計時されることを特徴とする請求項1に記載の
    半導体記憶装置の制御方法。
  3. 【請求項3】 前記第1コラム選択終了時が、前記デー
    タの増幅完了以後である場合、 前記所定タイミングは、前記第1コラム選択の終了時で
    あることを特徴とする請求項2に記載の半導体記憶装置
    の制御方法。
  4. 【請求項4】 初期のコラムアドレスに基づき、初期の
    コラム選択に引き続き後続のコラム選択が、順次自動的
    に行なわれていくバーストモードにおいて、 前記第1コラム選択は、(バースト長−1)回目以下の
    コラム選択であることを特徴とする請求項1に記載の半
    導体記憶装置の制御方法。
  5. 【請求項5】 コラムアドレスの遷移ごとに、対応する
    コラム選択が、順次行なわれていくページモードにおい
    て、 前記所定タイミングは、前記データの増幅完了のタイミ
    ングであることを特徴とする請求項1に記載の半導体記
    憶装置の制御方法。
  6. 【請求項6】 前記所定タイミングは、前記複数のビッ
    ト線または前記複数のビット線と同等の負荷構成を有す
    るモニタビット線における電圧レベルの検出に基づいて
    決定されることを特徴とする請求項1に記載の半導体記
    憶装置の制御方法。
  7. 【請求項7】 ワード線の活性化により、複数のメモリ
    セルの各々が個別に接続される複数のビット線と、前記
    複数のビット線の各々が個別に選択される複数のコラム
    選択部と、前記複数のコラム選択部を介して接続される
    共通のデータ線とを備え、前記複数のコラム選択部のう
    ちの何れかのコラム選択部を、順次選択することによ
    り、連続したアクセス動作を行なう半導体記憶装置にお
    いて、 先行して選択される第1コラム選択部の選択終了を検出
    する第1コラム選択終了検出回路と、 前記データ増幅の完了以後であって、先行の前記第1コ
    ラム選択部の選択終了以後から後行の第2コラム選択部
    の選択開始前までの期間であることを報知するタイミン
    グ報知部と、 前記タイミング報知部からの報知信号により、前記複数
    のコラム選択部が何れも選択されていない状態で活性化
    動作するワード線非活性化回路とを備えることを特徴と
    する半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 前記タイミング報知部は、前記連続アク
    セス動作の活性化信号またはその同期信号が入力される
    第1遅延回路、または前記第1コラム選択終了検出回路
    からの検出信号が入力される第2遅延回路の少なくとも
    何れか一方を備えることを特徴とする請求項7に記載の
    半導体記憶装置。
  9. 【請求項9】 前記検出信号の出力が前記データ増幅の
    完了以後である場合、 前記第1コラム選択終了検出回路からの前記検出信号
    を、前記タイミング報知部の報知信号とすることを特徴
    とする請求項8に記載の半導体記憶装置。
  10. 【請求項10】 前記タイミング報知部は、前記複数の
    ビット線または前記複数のビット線と同等の負荷構成を
    有するモニタビット線における電圧レベルを検出するビ
    ット線電圧モニタ部を備えることを特徴とする請求項7
    に記載の半導体記憶装置。
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