JP2020102285A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】動作速度を向上できる半導体記憶装置を提供する。【解決手段】実施形態の半導体記憶装置は、第1メモリセルに接続された第1ワード線と、第2メモリセルに接続された第2ワード線と、電圧生成回路14とを備える。電圧生成回路14は、第1ワード線に電気的に接続された配線LOUT1に電圧VOUT1を供給し、第2ワード線に電気的に接続された配線LOUT2に電圧VOUT2を供給する。電圧生成回路14は、配線LOUT1に電圧VOUT1を出力すると共に、電圧VOUT1に応じて第1信号を出力するレギュレータ141_1と、配線LOUT2に電圧VOUT2を出力すると共に、電圧VOUT2に応じて第2信号を出力するレギュレータ141_2と、第1信号または第2信号の少なくともいずれかの信号に基づいて、配線LOUT1と配線LOUT2との間を接続状態または遮断状態のいずれかの状態に保持するスイッチ回路とを備える。【選択図】図7
Description
実施形態は、半導体記憶装置に関するものである。
メモリセルが三次元に配列された半導体記憶装置が知られている。
動作速度を向上できる半導体記憶装置を提供する。
実施形態の半導体記憶装置は、第1メモリセルに接続された第1ワード線と、第2メモリセルに接続された第2ワード線と、前記第1ワード線に電気的に接続された第1配線に第1電圧を供給し、前記第2ワード線に電気的に接続された第2配線に第2電圧を供給する電圧生成回路とを具備する。前記電圧生成回路は、前記第1配線に前記第1電圧を出力すると共に、前記第1電圧に応じて第1信号を出力する第1レギュレータと、前記第2配線に前記第2電圧を出力すると共に、前記第2電圧に応じて第2信号を出力する第2レギュレータと、前記第1信号または前記第2信号の少なくともいずれかの信号に基づいて、前記第1配線と前記第2配線との間を接続状態または遮断状態のいずれかの状態に保持するスイッチ回路とを備える。
以下の実施形態の説明において、同一の機能及び構成を有する構成要素については同一符号を付す。また、以下に示す各実施形態は、この実施形態の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものではない。
各機能ブロックは、ハードウェア、コンピュータソフトウェアのいずれかまたは両者を組み合わせたものとして実現することができる。各機能ブロックが以下の例のように区別されていることは必須ではない。例えば、一部の機能が例示の機能ブロックとは別の機能ブロックによって実行されてもよい。さらに、例示の機能ブロックがさらに細かい機能サブブロックに分割されていてもよい。ここでは、半導体記憶装置として、メモリセルトランジスタが半導体基板の上方に積層された三次元積層型のNAND型フラッシュメモリを例に挙げて説明する。
1.第1実施形態
以下に、第1実施形態の半導体記憶装置について説明する。
以下に、第1実施形態の半導体記憶装置について説明する。
1.1 半導体記憶装置の構成
図1を用いて、第1実施形態の半導体記憶装置の構成について説明する。図1は、第1実施形態の半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。
図1を用いて、第1実施形態の半導体記憶装置の構成について説明する。図1は、第1実施形態の半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。
半導体記憶装置10は、データを不揮発に記憶するメモリであり、複数のメモリセルを備える。図1に示すように、半導体記憶装置10は、メモリセルアレイ11、ロウデコーダ12、ドライバ13、電圧生成回路14、センスアンプ15、アドレスレジスタ16、コマンドレジスタ17、及びシーケンサ18を備える。また例えば、半導体記憶装置10には、外部にNANDバスを介してコントローラ20が接続される。コントローラ20は、半導体記憶装置10にアクセスし、半導体記憶装置10を制御する。NANDバス及びコントローラ20の詳細については後述する。
メモリセルアレイ11は、ロウ及びカラムに対応付けられた複数の不揮発性メモリセルを含む複数のブロックBLK0,BLK1,BLK2,…BLKn(nは0以上の整数)を備える。以降、ブロックBLKと記した場合、ブロックBLK0〜BLKnの各々を示すものとする。メモリセルアレイ11は、コントローラ20から与えられたデータを記憶する。メモリセルアレイ11及びブロックBLKの詳細については後述する。
ロウデコーダ12は、ブロックBLKのいずれかを選択し、更に選択したブロックBLKにおけるワード線を選択する。ロウデコーダ12の詳細については後述する。
ドライバ13は、選択されたブロックBLKに対して、ロウデコーダ12を介して電圧を供給する。
電圧生成回路14は、データの書き込み、読み出し、及び消去等に必要な各種の電圧を生成し、ドライバ13に供給する。
センスアンプ15は、データの読み出し時には、メモリセルアレイ11から読み出されたデータDATをセンスし、必要な演算を行う。そして、このデータDATをコントローラ20に出力する。センスアンプ15は、データの書き込み時には、コントローラ20から受信した書き込みデータDATを、メモリセルアレイ11に転送する。
アドレスレジスタ16は、コントローラ20から受信したアドレスADDを保持する。アドレスADDは、動作対象のブロックBLKを指定するブロックアドレス、及び指定されたブロック内の動作対象のワード線を指示するページアドレスを含む。コマンドレジスタ17は、コントローラ20から受信したコマンドCMDを保持する。コマンドCMDは、例えばシーケンサ18に書き込み動作を命ずる書き込みコマンド、及び読み出し動作を命ずる読み出しコマンドなどを含む。
シーケンサ18は、コマンドレジスタ17に保持されたコマンドCMDに基づいて、半導体記憶装置10の動作を制御する。具体的には、シーケンサ18は、コマンドレジスタ17に保持された書き込みコマンドに基づいて、ロウデコーダ12、ドライバ13、電圧生成回路14、及びセンスアンプ15を制御して、アドレスADDにて指定された複数のメモリセルトランジスタに書き込みを行う。シーケンサ18は、またコマンドレジスタ17に保持された読み出しコマンドに基づいて、ロウデコーダ12、ドライバ13、電圧生成回路14、及びセンスアンプ15を制御して、アドレスADDにて指定された複数のメモリセルトランジスタから読み出しを行う。
半導体記憶装置10には、前述したように、NANDバスを介してコントローラ20が接続される。NANDバスは、NANDインターフェースに従った信号の送受信を行う。具体的には、NANDバスは、例えばチップイネーブル信号CEn、コマンドラッチイネーブル信号CLE、アドレスラッチイネーブル信号ALE、ライトイネーブル信号WEn、リードイネーブル信号REn、入出力信号I/O、及びレディ/ビジー信号R/Bnを通信するバスを含む。入出力信号I/Oは、8ビットのバス幅で伝送される。入出力信号I/Oは、コマンドCMD、アドレスADD、及びデータDAT等を通信する。
次に、図1を用いて、コントローラ20の構成について説明する。コントローラ20は、ホストインターフェース(I/F)回路21、内蔵メモリ22、プロセッサ(例えば、CPU)23、バッファメモリ24、NANDインターフェース(I/F)回路25、及びECC(Error Checking and Correcting)回路26を備える。
ホストインターフェース回路21は、ホストバスを介してホストデバイス(不図示)に接続される。ホストインターフェース回路21は、ホストデバイスから受信した命令及びデータを、それぞれプロセッサ23及びバッファメモリ24に転送する。また、ホストインターフェース回路21は、プロセッサ23からの命令に応答して、バッファメモリ24内のデータをホストデバイスへ転送する。
プロセッサ23は、コントローラ20全体の動作を制御する。例えば、プロセッサ23は、ホストデバイスから書き込み命令を受信した際には、それに応答して、NANDインターフェース回路25に対して書き込み命令を発行する。読み出し及び消去の際も同様である。また、プロセッサ23は、ウェアレベリング等、半導体記憶装置10を管理するための様々な処理を実行する。なお、以下で説明するコントローラ20の動作は、プロセッサ23がソフトウェア(またはファームウェア)を実行することによって実現されてもよいし、またはハードウェアで実現されてもよい。
NANDインターフェース回路25は、NANDバスを介して半導体記憶装置10と接続され、半導体記憶装置10との通信を司る。NANDインターフェース回路25は、プロセッサ23から受信した命令に基づき、種々の信号を半導体記憶装置10へ送信し、また種々の信号を半導体記憶装置10から受信する。
バッファメモリ24は、書き込みデータや読み出しデータを一時的に保持する。バッファメモリ24はDRAMやSRAM等から構成してもよい。
内蔵メモリ22は、例えばDRAMやSRAM等の半導体メモリであり、プロセッサ23の作業領域として使用される。内蔵メモリ22は、半導体記憶装置10を管理するためのファームウェアや、各種の管理テーブル等を保持する。
ECC回路26は、半導体記憶装置10に記憶されるデータに関する誤り検出及び誤り訂正処理を行う。すなわちECC回路26は、データの書き込み時には誤り訂正符号を生成して、これを書き込みデータに付与し、データの読み出し時にはこれを復号する。
1.1.1 メモリセルアレイ11の構成
前述したように、メモリセルアレイ11は、ブロックBLK0〜BLKnを備える。ここでは、1つのブロックBLKの回路構成を説明する。
前述したように、メモリセルアレイ11は、ブロックBLK0〜BLKnを備える。ここでは、1つのブロックBLKの回路構成を説明する。
図2は、メモリセルアレイ11が有するブロックBLKの回路図である。図示するように、ブロックBLKは、例えば4つのストリングユニットSU0〜SU3を含む。以降、ストリングユニットSUと記した場合、ストリングユニットSU0〜SU3の各々を示すものとする。ストリングユニットSUは、複数のNANDストリングNSを含む。
NANDストリングNSの各々は、例えば8個のメモリセルトランジスタMT0〜MT7及び選択トランジスタST1、ST2を含む。以降、メモリセルトランジスタMTと記した場合、メモリセルトランジスタMT0〜MT7の各々を示すものとする。メモリセルトランジスタ(以下、メモリセルとも記す)MTは、制御ゲートと電荷蓄積層とを備え、データを不揮発に保持する。メモリセルトランジスタMTは、選択トランジスタST1のソースと選択トランジスタST2のドレインとの間に直列接続されている。
ストリングユニットSU0〜SU3の各々における選択トランジスタST1のゲートは、それぞれセレクトゲート線SGD0〜SGD3に接続される。これに対して、ストリングユニットSU0〜SU3の各々における選択トランジスタST2のゲートは、例えば1つのセレクトゲート線SGSに接続される。選択トランジスタST2のゲートは、ストリングユニット毎に異なるセレクトゲート線SGS0〜SGS3に接続されてもよい。また、ブロックBLK内のストリングユニットSU0〜SU3にあるメモリセルトランジスタMT0〜MT7の制御ゲートは、それぞれワード線WL0〜WL7に接続される。
また、メモリセルアレイ11は、複数のブロックBLK0〜BLKn間でビット線BL0〜BL(m−1)を共有する。但し、mは2以上の自然数である。ブロックBLK内の複数のストリングユニットSU0〜SU3において、各ビット線BLは、同一列にあるNANDストリングNSの選択トランジスタST1のドレインに共通に接続される。すなわち、各ビット線BLは、同一列の複数のストリングユニットSU0〜SU3間でNANDストリングNSを共通に接続する。さらに、複数の選択トランジスタST2のソースは、ソース線SLに共通に接続されている。つまり、ストリングユニットSUは、異なるビット線BLに接続され、且つ同一のセレクトゲート線SGDに接続されたNANDストリングNSを複数含む。
また、ブロックBLKは、ワード線WLを共通にする複数のストリングユニットSUを含む。
ストリングユニットSU内で共通のワード線WLに接続された複数のメモリセルトランジスタMTは、セルユニットCUと称される。セルユニットCUは、メモリセルトランジスタMTが記憶するデータのビット数に応じて記憶容量が変化する。例えば、セルユニットCUは、各メモリセルトランジスタMTが1ビットデータを記憶する場合に1ページデータを記憶し、2ビットデータを記憶する場合に2ページデータを、3ビットデータを記憶する場合に3ページデータをそれぞれ記憶する。
なお、メモリセルアレイ11の構成は、上記の構成に限定されない。例えば、各ブロックBLKが含むストリングユニットSUは、任意の個数に設定可能である。各NANDストリングNSが含むメモリセルトランジスタMT、及び選択ゲートトランジスタST1及びST2の各々も、任意の個数に設定可能である。
次に、ブロックBLKの一部領域の断面構造について説明する。図3は、ブロックBLKの一部領域の断面図である。図示するように、p型ウェル領域30上に、複数のNANDストリングNSが形成されている。すなわち、ウェル領域30上には、セレクトゲート線SGSとして機能する例えば4層の配線層31、ワード線WL0〜WL7として機能する8層の配線層32、及びセレクトゲート線SGDとして機能する例えば4層の配線層33が、順次積層されている。積層された配線層間には、図示しない絶縁膜が形成されている。
これらの配線層31、32、33を貫通してウェル領域30に達するピラー状の導電体34が形成されている。導電体34の側面には、ゲート絶縁膜35、電荷蓄積膜(絶縁膜)36、及びブロック絶縁膜37が順次形成されている。これらによって、メモリセルトランジスタMT、並びに選択トランジスタST1及びST2が形成される。導電体34は、NANDストリングNSの電流経路として機能し、各トランジスタのチャネルが形成される領域となる。導電体34の上端は、コンタクトプラグ45を介して、ビット線BLとして機能する金属配線層38に接続される。
ウェル領域30の表面領域内には、n+型不純物拡散層39が形成されている。拡散層39上にはコンタクトプラグ40が形成され、コンタクトプラグ40は、ソース線SLとして機能する金属配線層41に接続される。さらに、ウェル領域30の表面領域内には、p+型不純物拡散層42が形成されている。拡散層42上にはコンタクトプラグ43が形成され、コンタクトプラグ43は、ウェル配線CPWELLとして機能する金属配線層44に接続される。ウェル配線CPWELLは、ウェル領域30を介して導電体34に電位を印加するための配線である。
以上の構成が、図3を記載した紙面に直交する方向(奥行き方向)に複数配列されており、奥行き方向に並ぶ複数のNANDストリングNSの集合によってストリングユニットSUが形成される。
さらに、メモリセルアレイ11の構成についてはその他の構成であってもよい。すなわち、メモリセルアレイ11の構成は、例えば、“THREE DIMENSIONAL STACKED NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY”という2009年3月19日に出願された米国特許出願12/407,403号に記載されている。また、“THREE DIMENSIONAL STACKED NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY”という2009年3月18日に出願された米国特許出願12/406,524号、“NON-VOLATILE SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME”という2010年3月25日に出願された米国特許出願12/679,991号、及び“SEMICONDUCTOR MEMORY AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME”という2009年3月23日に出願された米国特許出願12/532,030号に記載されている。これらの特許出願は、その全体が本願明細書において参照により援用されている。
また、データの消去は、ブロックBLK単位、またはブロックBLKよりも小さい単位で行うことができる。消去方法に関しては、例えば“NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE”という2011年9月18日に出願された米国特許出願13/235,389号に記載されている。また、“NON-VOLATILE SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE”という2010年1月27日に出願された米国特許出願12/694,690号に記載されている。さらに、“NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND DATA ERASE METHOD THEREOF”という2012年5月30日に出願された米国特許出願13/483,610号に記載されている。これらの特許出願は、その全体が本願明細書において参照により援用されている。
1.1.2 メモリセルトランジスタの閾値電圧分布
図4は、第1実施形態におけるメモリセルトランジスタMTの取り得るデータとその閾値電圧分布を示す。ここでは、メモリセルが3ビットのデータを記憶するTLC(Triple-Level Cell)方式を有する場合について説明する。
図4は、第1実施形態におけるメモリセルトランジスタMTの取り得るデータとその閾値電圧分布を示す。ここでは、メモリセルが3ビットのデータを記憶するTLC(Triple-Level Cell)方式を有する場合について説明する。
図4に示すように、各々のメモリセルトランジスタMTは、その閾値電圧に応じて例えば3ビットのデータを保持可能である。この3ビットデータは、閾値電圧の低いものから順番に、例えば“111”、“110”、“100”、“000”、“010”、“011”、“001”、“101”である。これらデータを保持するメモリセルの閾値電圧のステートは、低いものから順番に、例えば“Er”ステート(例えば、電圧VA未満)、“A”ステート(例えば、電圧VA以上、VB未満であり、VA<VB)、“B”ステート(例えば、電圧VB以上、VC未満であり、VB<VC)、“C”ステート(例えば、電圧VC以上、VD未満であり、VC<VD)、“D”ステート(例えば、電圧VD以上、VE未満であり、VD<VE)、“E”ステート(例えば、電圧VE以上、VF未満であり、VE<VF)、“F”ステート(例えば、電圧VF以上、VG未満であり、VF<VG)、“G”ステート(例えば電圧VG以上)である。なお、3ビットデータと閾値電圧との関係はこの関係に限定されるものではなく、両者の関係については適宜選択できる。
各々のメモリセルトランジスタMTが保持する3ビットデータを、lower(下位)ビット側からそれぞれlowerビット、middle(中位)ビット、及びupper(上位)ビットと呼ぶ。そして、同一のストリングユニットSUにおいて、同一のワード線に接続された複数のメモリセルを含むセルユニットCUの保持するlowerビットの集合をlowerページと呼び、middleビットの集合をmiddleページと呼び、upperビットの集合をupperページと呼ぶ。つまり、セルユニットCUには3ページが割り当てられる。よって、「ページ」とは、セルユニットCUによって形成されるメモリ空間の一部、と定義することもできる。
データの書き込み及び読み出しは、ページ単位もしくはセルユニット単位で行われる。本例の場合、1つのストリングユニットSUは8本のワード線を含むので、各ストリングユニットSUは(3×8)=24ページを含み、1つのブロックBLKは4つのストリングユニットSUを含むので、各ブロックは(24×4)=96ページを含む。
1.1.3 ロウデコーダ、ドライバ及び電圧生成回路の構成
次に、第1実施形態の半導体記憶装置におけるロウデコーダ12、ドライバ13、及び電圧生成回路14の構成について説明する。
次に、第1実施形態の半導体記憶装置におけるロウデコーダ12、ドライバ13、及び電圧生成回路14の構成について説明する。
電圧生成回路14は、データの書き込み、読み出し、及び消去等にて用いられる各種の電圧、例えば電圧VUSEL、VSEL、及びVSGをドライバ13に供給する。電圧VUSELは、データの書き込みまたは読み出し対象のブロックBLK内の、書き込みまたは読み出し対象でないワード線WLに転送される電圧である。電圧VSELは、データの書き込みまたは読み出し対象のブロックBLK内の、書き込みまたは読み出し対象のワード線WLに転送される電圧である。電圧VSGは、データの書き込みまたは読み出し対象のブロックBLK内の選択されたストリングユニットSUのセレクトゲート線に転送される電圧である。電圧生成回路14の回路構成及び動作については後述する。
以降の説明において、ブロック、ワード線、及びメモリセルトランジスタがデータの書き込みまたは読み出し対象である場合、それぞれ選択ブロック、選択ワード線、及び選択メモリセルトランジスタ(または、選択メモリセル)と記す。また、ブロック、ワード線、及びメモリセルトランジスタがデータの書き込みまたは読み出し対象でない場合、それぞれ非選択ブロック、非選択ワード線、及び非選択メモリセルトランジスタ(または、非選択メモリセル)と記す。
1.1.3.1 ロウデコーダ及びドライバ
図5は、第1実施形態におけるロウデコーダ12及びドライバ13の構成を示す回路図である。
図5は、第1実施形態におけるロウデコーダ12及びドライバ13の構成を示す回路図である。
ドライバ13は、ドライバCGdv0〜CGdv7、ドライバSGDdv0〜SGDdv3、及びドライバSGSdvを有する。以下、ドライバCGdvと記した場合、ドライバCGdv0〜CGdv7の各々を示すものとし、ドライバSGDdvと記した場合、ドライバSGDdv0〜SGDdv3の各々を示すものとする。ドライバCGdv、ドライバSGDdv、及びドライバSGSdvの各々は、電圧生成回路14から供給された電圧を独立して出力することができる。ドライバCGdv0〜CGdv7は、配線CG0〜CG7をそれぞれ駆動する。ドライバSGDdv0〜SGDdv3は、配線SGDL0〜SGDL3をそれぞれ駆動する。ドライバSGSdvは、配線SGSLを駆動する。
ロウデコーダ12は、複数のブロックデコーダ12A_0〜12A_m、及び複数の転送トランジスタ群12B_0〜12B_mを有する。ブロックデコーダ12A_mと転送トランジスタ群12B_mの組は、ブロックBLKmに対応する。例えば、図5に示す例では、ブロックデコーダ12A_0と転送トランジスタ群12B_0の組はブロックBLK0に対応し、ブロックデコーダ12A_1と転送トランジスタ群12B_1の組は、ブロックBLK1に対応する。以下、ブロックデコーダ12Aと記した場合、ブロックデコーダ12A_0〜12A_mの各々を示すものとし、転送トランジスタ群12Bと記した場合、転送トランジスタ群12B_0〜12B_mの各々を示すものとする。
ブロックデコーダ12A_0〜12A_mは、アドレスレジスタ16からロウアドレス信号を受け取る。ブロックデコーダ12A_0〜12A_mのうち、ロウアドレス信号により選択されたブロックデコーダ12Aは、ブロック選択信号BSを出力する。ブロック選択信号BSは、選択ブロックの転送トランジスタ群12B内の複数の転送トランジスタのゲートに供給される。
転送トランジスタ群12Bは、複数の転送トランジスタTRC0〜TRC7、TRD0〜TRD3、及びTRSを有する。配線CG0〜CG7は、それぞれ転送トランジスタTRC0〜TRC7を介してワード線WL0〜WL7に接続される。配線SGDL0〜SGDL3は、それぞれ転送トランジスタTRD0〜TRD3を介してセレクトゲート線SGD0〜SGD3に接続される。さらに、配線SGSLは、転送トランジスタTRSを介してセレクトゲート線SGSに接続される。
転送トランジスタTRC0〜TRC7の各々は、例えば、ゲートにブロック選択信号BSが供給された場合にオン状態となり、それぞれ配線CG0〜CG7に供給されている電圧をワード線WL0〜WL7に転送する。一方、転送トランジスタTRC0〜TRC7の各々は、ゲートにブロック選択信号BSが供給されない場合にオフ状態となり、それぞれ配線CG0〜CG7に供給されている電圧をワード線WL0〜WL7に転送しない。
同様に、転送トランジスタTRD0〜TRD3の各々は、例えば、ゲートにブロック選択信号BSが供給された場合にオン状態となり、それぞれ配線SGDL0〜SGDL3に供給されている電圧をセレクトゲート線SGD0〜SGD3に転送する。一方、ゲートにブロック選択信号BSが供給されない場合にオフ状態となり、配線SGDL0〜SGDL3に供給されている電圧をセレクトゲート線SGD0〜SGD3に転送しない。転送トランジスタTRSは、例えば、ゲートにブロック選択信号BSが供給された場合にオン状態となり、配線SGSLに供給されている電圧をセレクトゲート線SGSに転送する。一方、ゲートにブロック選択信号BSが供給されない場合にオフ状態となり、配線SGSLに供給されている電圧をセレクトゲート線SGSに転送しない。
前記構成を有するドライバ13及びロウデコーダ12により、電圧生成回路14から供給される電圧VUSEL、VSEL、及びVSGは、ブロック選択信号BSによって、選択ブロックBLKの非選択ワード線WL、選択ワード線WL、及びセレクトゲート線SGDにそれぞれ供給される。
1.1.3.2 電圧生成回路
次に、ドライバ13に各種電圧を供給する電圧生成回路14について説明する。図6は、第1実施形態の電圧生成回路14の構成を示す図である。電圧生成回路14は、例えば、書き込み動作または読み出し動作時に、非選択ワード線に供給する電圧VUSELを生成するレギュレータ群14A、選択ワード線に供給する電圧VSELを生成するレギュレータ群14B、及びセレクトゲート線に供給する電圧VSGを生成するレギュレータ群14C等を備える。ここでは例えば、レギュレータ群14Aが電圧VUSELとして、2つの電圧VOUT1及び電圧VOUT2をドライバ13に供給する場合を例に挙げる。なお、以降の説明において、電圧VOUTと記した場合、電圧VOUT1またはVOUT2の各々を示すものとする。
次に、ドライバ13に各種電圧を供給する電圧生成回路14について説明する。図6は、第1実施形態の電圧生成回路14の構成を示す図である。電圧生成回路14は、例えば、書き込み動作または読み出し動作時に、非選択ワード線に供給する電圧VUSELを生成するレギュレータ群14A、選択ワード線に供給する電圧VSELを生成するレギュレータ群14B、及びセレクトゲート線に供給する電圧VSGを生成するレギュレータ群14C等を備える。ここでは例えば、レギュレータ群14Aが電圧VUSELとして、2つの電圧VOUT1及び電圧VOUT2をドライバ13に供給する場合を例に挙げる。なお、以降の説明において、電圧VOUTと記した場合、電圧VOUT1またはVOUT2の各々を示すものとする。
図7は、第1実施形態におけるレギュレータ群14Aの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Aは、2つのレギュレータ141_1、141_2、及びイコライズ回路(またはスイッチ回路)142を含む。電圧VSUPは、電圧VOUT1及び電圧VOUT2を生成するために、レギュレータ141_1、141_2に供給される入力電圧である。
以下に、レギュレータ141_1の回路接続を述べる。
レギュレータ141_1は、低電圧増幅回路AP1、nチャネルMOS電界効果トランジスタ(以下、nMOSトランジスタ)TSa1、TCa1、TDa1、及びディプレッションタイプ(以下、Dタイプと記す)のnMOSトランジスタTOa1、抵抗Ra1、及び可変抵抗VR1を含む。
DタイプのnMOSトランジスタTOa1のドレインには、電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTOa1のソースは、可変抵抗VR1を介して接地電圧端GNDに接続される。nMOSトランジスタTOa1のソースと可変抵抗VR1間のノードは、配線LOUT1に接続される。配線LOUT1は電圧VOUT1を出力する。
また、nMOSトランジスタTSa1のドレインには、抵抗Ra1を介して電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTSa1のソースは、直列接続されたnMOSトランジスタTCa1、TDa1を介して接地電圧端GNDに接続される。nMOSトランジスタTSa1のソースとnMOSトランジスタTCa1のドレイン間のノードは、nMOSトランジスタTOa1のゲートに接続される。
増幅回路AP1の反転入力(−)端子(第1入力端子)には、リファレンス電圧VREFが入力される。増幅回路AP1の非反転入力(+)端子(第2入力端子)には、可変抵抗VR1の抵抗制御端が接続され、電圧VS1が入力される。増幅回路AP1の出力端子は、nMOSトランジスタTDa1のゲートに接続される。増幅回路AP1の出力端子とnMOSトランジスタTDa1のゲート間のノードは、イコライズ回路142のnMOSトランジスタTDb121のゲートに接続される。
次に、レギュレータ141_2の回路接続を述べる。
レギュレータ141_2は、低電圧増幅回路AP2、nMOSトランジスタTSa2、TCa2、TDa2、及びDタイプのnMOSトランジスタTOa2、抵抗Ra2、及び可変抵抗VR2を含む。
DタイプのnMOSトランジスタTOa2のドレインには、電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTOa2のソースは、可変抵抗VR2を介して接地電圧端GNDに接続される。nMOSトランジスタTOa2のソースと可変抵抗VR2間のノードは、配線LOUT2に接続される。配線LOUT2は電圧VOUT2を出力する。
また、nMOSトランジスタTSa2のドレインには、抵抗Ra2を介して電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTSa2のソースは、直列接続されたnMOSトランジスタTCa2、TDa2を介して接地電圧端GNDに接続される。nMOSトランジスタTSa2のソースとnMOSトランジスタTCa2のドレイン間のノードは、nMOSトランジスタTOa2のゲートに接続される。
増幅回路AP2の反転入力(−)端子(第1入力端子)には、リファレンス電圧VREFが入力される。増幅回路AP2の非反転入力(+)端子(第2入力端子)には、可変抵抗VR2の抵抗制御端が接続され、電圧VS2が入力される。増幅回路AP2の出力端子は、nMOSトランジスタTDa2のゲートに接続される。増幅回路AP2の出力端子とnMOSトランジスタTDa2のゲート間のノードは、イコライズ回路142のnMOSトランジスタTDb122のゲートに接続される。
次に、イコライズ回路142の回路接続について述べる。
イコライズ回路142は、nMOSトランジスタTDb121、TDb122、TCb12、DタイプのnMOSトランジスタTEQ、及び抵抗Rb12を含む。nMOSトランジスタTDb121とnMOSトランジスタTDb122は、同一のトランジスタ特性を有する。
nMOSトランジスタTCb12のドレインには、抵抗Rb12を介して電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTCb12のドレインと抵抗Rb12間のノードは、nMOSトランジスタTEQのゲートに接続される。nMOSトランジスタTEQのソース(またはドレイン)は配線LOUT1に接続され、nMOSトランジスタTEQのドレイン(またはソース)は配線LOUT2に接続される。さらに、nMOSトランジスタTCb12のソースは、並列接続されたnMOSトランジスタTDb121、TDb122をそれぞれ介して接地電圧端GNDに接続される。言い換えると、nMOSトランジスタTCb12のソースと接地電圧端GNDとの間に、nMOSトランジスタTDb121及びTDb122が並列に接続される。
前述したレギュレータ141_1、141_2、及びイコライズ回路142においては、以下の関係が成り立つ。
[{Rb12・(TDb12のチャネル幅)/(TDb12のチャネル長)}/{Ra1・(TDa1のチャネル幅)/(TDa1のチャネル長)}]>1
ここで、Rb12及びRa1はそれぞれ抵抗値を示す。TDb12は、TDb121あるいはTDb122を示す。
ここで、Rb12及びRa1はそれぞれ抵抗値を示す。TDb12は、TDb121あるいはTDb122を示す。
また、Ra1=Ra2
(TDa1のチャネル幅)=(TDa2のチャネル幅)
(TDa1のチャネル長)=(TDa2のチャネル長)
ここで、Ra2は抵抗値を示す。
(TDa1のチャネル幅)=(TDa2のチャネル幅)
(TDa1のチャネル長)=(TDa2のチャネル長)
ここで、Ra2は抵抗値を示す。
次に、第1実施形態におけるレギュレータ群14Aの動作について説明する。図8は、第1実施形態のレギュレータ群14Aの動作を示す電圧波形図である。
nMOSトランジスタTSa1及びTSa2のゲートに入力されるイネーブル信号REG_ENがアサート(例えば、“H”(電源電圧))されると、nMOSトランジスタTSa1及びTSa2がオン状態となる。これにより、レギュレータ141_1及び141_2の動作がスタートする。
nMOSトランジスタTCa1は、nMOSトランジスタTDa1を高電圧から保護するための耐圧保護用のトランジスタである。nMOSトランジスタTCa1のゲートにクランプ信号CLAが入力され、nMOSトランジスタTCa1を流れる電流が制限される。同様に、nMOSトランジスタTCa2は、nMOSトランジスタTDa2を高電圧から保護するための耐圧保護用のトランジスタである。nMOSトランジスタTCa2のゲートにクランプ信号CLAが入力され、nMOSトランジスタTCa2を流れる電流が制限される。なお、nMOSトランジスタTDa1及びTDa2が高耐圧のトランジスタである場合は、nMOSトランジスタTCa1及びTCa2を設けなくてもよい。
増幅回路AP1の非反転入力(+)端子には、可変抵抗VR1の抵抗制御端の電圧VS1が入力され、反転入力(−)端子にはリファレンス電圧VREFが入力される。リファレンス電圧VREFは、例えば、接地電圧よりも高い値(例えば、1.2V)とする。増幅回路AP1は、電圧VS1とリファレンス電圧VREFとの電圧差を増幅して電圧AO1を出力する。電圧AO1は、電圧VS1(あるいは電圧VOUT1)の変化に従って連続的に変化する。
増幅回路AP1から出力される電圧(または第1信号)AO1は、nMOSトランジスタTDa1のゲートとnMOSトランジスタTDb121のゲートに入力される。nMOSトランジスタTDb121は、nMOSトランジスタTEQのゲート電圧Gb12を“L(例えば、接地電圧)”に低下させるプルダウン回路として機能する。
増幅回路AP2の非反転入力(+)端子には、可変抵抗VR2の抵抗制御端の電圧VS2が入力され、反転入力(−)端子にはリファレンス電圧VREFが入力される。増幅回路AP2は、電圧VS2とリファレンス電圧VREFとの電圧差を増幅して電圧AO2を出力する。電圧AO2は、電圧VS2(あるいは電圧VOUT2)の変化に従って連続的に変化する。
増幅回路AP2から出力される電圧(または第2信号)AO2は、nMOSトランジスタTDa2のゲートとnMOSトランジスタTDb122のゲートに入力される。nMOSトランジスタTDb122は、nMOSトランジスタTEQのゲート電圧Gb12を“L”に低下させるプルダウン回路として機能する。
また、可変抵抗VR1は電圧VOUT1の最終到達電圧(または、目標電圧)を設定可能であり、可変抵抗VR2は電圧VOUT2の最終到達電圧を設定可能である。そこで、電圧VOUT1及び電圧VOUT2がそれぞれ目標電圧まで昇圧されるように、可変抵抗VR1及びVR2をそれぞれ設定する。
前述した構成において、レギュレータ141_1及び141_2の動作がスタートすると、D型のnMOSトランジスタTEQがオン状態であるため、図8に示すように、電圧VOUT1及び電圧VOUT2は、同一電圧で同一の傾きで上昇する。そして、電圧VOUT1及び電圧VOUT2は、電圧VOUT1の目標電圧に達する。電圧VOUT1が目標電圧に達すると、増幅回路AP1からの電圧AO1は“H”となり、nMOSトランジスタTDa1及びTDb121はオン状態に遷移する。これにより、nMOSトランジスタTEQのゲート電圧Gb12は低下し、nMOSトランジスタTEQはオフ状態に遷移する。これによって、配線LOUT1と配線LOUT2間は、接続状態から遮断状態に遷移する。
その後、電圧VOUT2は、上昇を続け、目標電圧に達する。電圧VOUT2が目標電圧に達すると、増幅回路AP2から出力される電圧AO2は“H”となり、nMOSトランジスタTDa2はオン状態に遷移する。
なお、nMOSトランジスタTOa1のゲート電圧Ga1は、電圧VOUT1に達した後、電圧VOUT1より低い電圧で一定となる。nMOSトランジスタTOa2のゲート電圧Ga2は、電圧VOUT2に達した後、電圧VOUT2より低い電圧で一定となる。nMOSトランジスタTEQのゲート電圧Gb12は、電圧VOUT1に達した後、徐々に低下して“L”となる。
1.2 第1実施形態の効果
第1実施形態によれば、動作速度を向上できる半導体記憶装置を提供することが可能である。
第1実施形態によれば、動作速度を向上できる半導体記憶装置を提供することが可能である。
以下に、第1実施形態の効果について詳述する。一般に、メモリセルが三次元に配列された半導体記憶装置では、メモリセルトランジスタのゲートに接続されるワード線WLの負荷容量が大きい。また、世代が進み、メモリセルの積層数や搭載メモリ容量が増えるにつれて、ワード線WLの負荷容量が増大する傾向にある。このため、ワード線の電圧を目標電圧まで上昇させるには、より大きな駆動電流を必要とする。
例えば、電圧生成回路内のレギュレータからワード線に、電圧VOUT1と、電圧VOUT1より高い電圧VOUT2を供給する場合、電圧VOUT1及びVOUT2を安定的に上昇させるために、電圧VOUT1を目標電圧まで上昇させる期間は、電圧VOUT1を転送する第1配線と、電圧VOUT2を転送する第2配線とを導通状態とし、電圧VOUT1と電圧VOUT2を同一電圧で同一の傾きで上昇させる。電圧VOUT1が目標電圧まで到達したら、第1配線と第2配線との間を遮断状態とし、その後、電圧VOUT2を目標電圧まで上昇させる。以降、第1配線と第2配線とを導通状態とする動作をイコライズ動作と称する。
レギュレータ141_1による供給目標電圧である電圧VOUT1がレギュレータ141_2による供給目標電圧である電圧VOUT2よりも低い場合、イコライズ動作は、電圧VOUT1及び電圧VOUT2を昇圧させる期間において、第1配線及び第2配線の電圧が電圧VOUT1に到達するまでは継続し、電圧VOUT1に到達してからはすぐに終了することが好ましい。
例えば、第1配線及び第2配線の電圧を検出するためのコンパレータをレギュレータ141_1及び141_2とは別に実装し、その出力に基づいて、電圧VOUT1及び電圧VOUT2が昇圧している期間におけるイコライズ動作の終了タイミングを管理することが考えられる。
一般に、コンパレータの出力を用いたイコライズ動作では、誤検知を避けるために、コンパレータに入力される信号に対して不検知領域を設ける必要がある。この不検知領域を大きく設定すると、電圧VOUT1及び電圧VOUT2が昇圧している期間においてイコライズ動作が速すぎるタイミングで終了する可能性がある。一方で、不検知領域を小さく設定すると、イコライズ動作が適切なタイミングで終了しない可能性がある。
また、コンパレータの出力を用いたイコライズ動作では、イコライズ動作を行うスイッチ回路のゲートはコンパレータの出力でデジタル的にオフされる。このとき、ワード線の負荷容量が大きいため、イコライズ動作を終了した直後からワード線の充電負荷により電圧VOUT1の電圧波形に上昇の遅れや電圧波形の凹み等が発生し得る。
そこで、第1実施形態では、配線LOUT1に電圧VOUT1を出力するレギュレータ141_1と、配線LOUT2に電圧VOUT2を出力するレギュレータ141_2と、配線LOUT1と配線LOUT2とを接続状態あるいは遮断状態に保持するイコライズ回路(または、スイッチ回路)142とを備える。レギュレータ141_1は電圧VOUT1に応じて電圧AO1(第1信号)を出力し、レギュレータ141_2は電圧VOUT2に応じて電圧AO2(第2信号)を出力する。イコライズ回路142は、レギュレータ141_1または141_2から出力される電圧AO1またはAO2の少なくともいずれかの信号に基づいて、接続状態または遮断状態のいずれかの状態を保持する。
レギュレータ141_1または141_2から出力される電圧AO1またはAO2は、コンパレータから出力されるデジタル信号と異なり、連続的に変化するアナログ信号である。第1実施形態では、アナログ信号である電圧AO1またはAO2に基づいて、イコライズ回路142における接続状態と遮断状態とを切り換えることにより、電圧VOUT1が目標電圧にほぼ到達するまでイコライズ動作を継続することができるとともに、電圧VOUT2の目標電圧への昇圧が妨げられることを抑制できる。
すなわち、第1実施形態では、レギュレータから出力されるアナログ信号がイコライズ動作を終了させる検知信号としてイコライズ回路に直接入力されているため、イコライズ動作が必要となる期間はイコライズ動作を継続させることができるとともに、イコライズ動作が不用となるタイミングでイコライズ動作を終了させることができる。
また、前述したように、コンパレータの出力を用いたイコライズ動作では、イコライズ動作を行うスイッチ回路のゲートはコンパレータの出力でデジタル的にオフされるため、イコライズ動作を終了した直後からワード線の充電負荷により電圧VOUT1の電圧波形に上昇の遅れや電圧波形の凹み等が発生し得る。
これに対し、第1実施形態では、連続的に変化するアナログ信号によりイコライズ動作を適切なタイミングで終了させることができるため、レギュレータ141_1から出力される電圧VOUT1の電圧波形に上昇の遅れや凹みが発生するのを低減することができる。
以上により、第1実施形態の半導体記憶装置によれば、データの書き込み及び読み出し等の動作に際して必要となる電圧を早期かつ安定的に供給することが可能となるため、動作速度を向上させることができる。
2.第2実施形態
次に、第2実施形態の半導体記憶装置について説明する。第2実施形態は、図7に示した第1実施形態におけるイコライズ回路にイコライズ終了判定回路を追加したものである。第2実施形態では、第1実施形態と異なる点について主に説明する。
次に、第2実施形態の半導体記憶装置について説明する。第2実施形態は、図7に示した第1実施形態におけるイコライズ回路にイコライズ終了判定回路を追加したものである。第2実施形態では、第1実施形態と異なる点について主に説明する。
2.1 電圧生成回路
第2実施形態の電圧生成回路14はレギュレータ群14Aaを備える。図9は、第2実施形態におけるレギュレータ群14Aaの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Aaは、2つのレギュレータ141_1、141_2、イコライズ回路142A、及びイコライズ終了判定回路143を含む。
第2実施形態の電圧生成回路14はレギュレータ群14Aaを備える。図9は、第2実施形態におけるレギュレータ群14Aaの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Aaは、2つのレギュレータ141_1、141_2、イコライズ回路142A、及びイコライズ終了判定回路143を含む。
以下に、イコライズ回路142Aの回路接続を述べる。
nMOSトランジスタTCb12のドレインと抵抗Rb12の一端との間に、nMOSトランジスタTSb12が接続される。抵抗Rb12の他端には電圧VSUPが供給される。
次に、イコライズ終了判定回路143の回路接続を述べる。
イコライズ終了判定回路143は、コンパレータ(または、レベルシフタ)CP1、ラッチ回路LA1、論理積回路(AND回路)AD1、及びレベルシフタRS1を有する。nMOSトランジスタTDb121、TDb122のドレインとnMOSトランジスタTCb12のソース間のノードは、コンパレータCP1の入力端に接続される。コンパレータCP1の出力端は、ラッチ回路LA1の第1入力端に接続され、ラッチ回路LA1の第2入力端にはラッチイネーブル信号LAT_ENが入力される。ラッチ回路LA1の出力端は、論理積回路AD1の第1入力端に接続される。論理積回路AD1の第2入力端には、イネーブル信号REG_ENが入力される。論理積回路AD1の出力端は、レベルシフタRS1の入力端に接続される。さらに、レベルシフタRS1の出力端は、nMOSトランジスタTSb12のゲートに接続される。
ここで、信号Gb12_CLは、nMOSトランジスタTDb121、TDb122のドレインとnMOSトランジスタTCb12のソース間のノードから、コンパレータCP1の入力端に入力される電圧である。信号FLGは、コンパレータCP1の出力端からラッチ回路LA1の第1入力端に入力される電圧である。ラッチイネーブル信号LAT_ENは、ラッチ回路LA1の第2入力端に入力される電圧である。イネーブル信号REG_ENは、論理積回路AD1の第2入力端に入力される信号である。イコライズ終了信号(または第3信号)EQ_ENは、論理積回路AD1の出力端からレベルシフタRS1の入力端に入力される電圧である。レギュレータ群14Aaのその他の回路接続は、図7に示した回路と同様である。
次に、第2実施形態におけるレギュレータ群14Aaの動作について説明する。図10は、第2実施形態におけるレギュレータ群14Aaの動作を示す電圧波形図である。
まず、時刻t1にて、nMOSトランジスタTSa1及びTSa2のゲートに入力されるイネーブル信号REG_ENをアサート状態(例えば“H”)として、nMOSトランジスタTSa1及びTSa2をオン状態とする。これにより、レギュレータ141_1及び141_2の動作をスタートさせる。さらに、論理積回路AD1の第2入力端に入力されるイネーブル信号REG_ENをアサート状態(例えば“H”)として、イコライズ終了判定回路143の動作をスタートさせる。
次に、電圧VOUT1、電圧VOUT2、及びゲート電圧Gb12が上昇し、時刻t2において、フラグ信号FLGが“L”から“H”に遷移する。さらに、時刻t3において、ラッチ回路LA1の第2入力端に入力されるラッチイネーブル信号LAT_ENが“L”から“H”に遷移する。
その後、電圧VOUT1が目標電圧に達すると、nMOSトランジスタTDa1及びTDb121はオン状態に遷移する。これにより、nMOSトランジスタTEQのゲート電圧Gb12は低下し、nMOSトランジスタTEQはオフ状態となって、配線LOUT1と配線LOUT2間が接続状態から遮断状態に遷移する。このとき、時刻t4において、フラグ信号FLGが“H”から“L”に遷移する。フラグ信号FLGが“L”に遷移すると、イコライズ終了信号EQ_ENが“H”から“L”に遷移する。
その後、イコライズ終了信号EQ_EN(“L”)は、レベルシフタRS1を介してnMOSトランジスタTSb12のゲートに入力される。これにより、nMOSトランジスタTSb12はオフ状態となり、抵抗Rb12に流れる電流を遮断する。その他の動作は、前述した第1実施形態と同様である。
2.2 第2実施形態の効果
第2実施形態によれば、前述した第1実施形態と同様に、動作速度を向上できる半導体記憶装置を提供することが可能である。
第2実施形態によれば、前述した第1実施形態と同様に、動作速度を向上できる半導体記憶装置を提供することが可能である。
さらに、第2実施形態は、イコライズ終了判定回路143と、イコライズ回路142A内に設けられたnMOSトランジスタTSb12を備える。イコライズ終了判定回路143は、イコライズ回路142Aにおけるイコライズ動作の終了を検知して、イコライズ終了信号EQ_ENを出力する。イコライズ動作とは、配線LOUT1と配線LOUT2とを接続状態(あるいは導通状態)にする動作をさす。
イコライズ終了判定回路143がイコライズ動作の終了を検知したとき、すなわちnMOSトランジスタTEQがオフ状態になったとき、nMOSトランジスタTSb12のゲートに入力されるイコライズ終了信号EQ_ENは、“H”から“L”に遷移する。これにより、nMOSトランジスタTSb12はオフ状態となり、抵抗Rb12に流れる電流を遮断する。すなわち、第2実施形態では、電圧VOUT1が目標電圧まで上昇した直後に、イコライズ回路142Aにおけるイコライズ動作を停止させ、抵抗Rb12に流れる電流を削減することができる。その他の効果は、前述した第1実施形態と同様である。
3.第3実施形態
次に、第3実施形態の半導体記憶装置について説明する。第1及び第2実施形態では、電圧VUSELとして、2つの電圧VOUT1及びVOUT2が生成される場合を示したが、第3実施形態では、3つの電圧VOUT1、VOUT2、及びVOUT3が生成される場合を示す。以降、電圧VOUTと記した場合、電圧VOUT1、VOUT2、VOUT3の各々を示すものとする。さらに、第3実施形態におけるレギュレータ群はイコライズ終了判定回路を備える。第3実施形態では、第2実施形態と異なる点について主に説明する。
次に、第3実施形態の半導体記憶装置について説明する。第1及び第2実施形態では、電圧VUSELとして、2つの電圧VOUT1及びVOUT2が生成される場合を示したが、第3実施形態では、3つの電圧VOUT1、VOUT2、及びVOUT3が生成される場合を示す。以降、電圧VOUTと記した場合、電圧VOUT1、VOUT2、VOUT3の各々を示すものとする。さらに、第3実施形態におけるレギュレータ群はイコライズ終了判定回路を備える。第3実施形態では、第2実施形態と異なる点について主に説明する。
3.1 電圧生成回路
第3実施形態の電圧生成回路14はレギュレータ群14Abを備える。図11は、第3実施形態におけるレギュレータ群14Abの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Abは、3つのレギュレータ141_1、141_2、141_3、イコライズ回路142A_1、142A_2、142A_3、及びイコライズ終了判定回路C13、C12、C23を含む。
第3実施形態の電圧生成回路14はレギュレータ群14Abを備える。図11は、第3実施形態におけるレギュレータ群14Abの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Abは、3つのレギュレータ141_1、141_2、141_3、イコライズ回路142A_1、142A_2、142A_3、及びイコライズ終了判定回路C13、C12、C23を含む。
図11に示すように、増幅回路AP1から出力される電圧AO1は、イコライズ回路142A_1のnMOSトランジスタTDb132のゲートに接続されると共に、イコライズ回路142A_2のnMOSトランジスタTDb121のゲートに接続される。増幅回路AP2から出力される電圧AO2は、イコライズ回路142A_2のnMOSトランジスタTDb122のゲートに接続されると共に、イコライズ回路142A_3のnMOSトランジスタTDb231のゲートに接続される。さらに、増幅回路AP3の出力電圧AO3は、イコライズ回路142A_1のnMOSトランジスタTDb131のゲートに接続されると共に、イコライズ回路142A_3のnMOSトランジスタTDb232のゲートに接続される。
nMOSトランジスタTDb131及びTDb132のドレインとnMOSトランジスタTSb13のゲートとの間には、イコライズ終了判定回路C13が接続される。nMOSトランジスタTDb121及びTDb122のドレインとnMOSトランジスタTSb12のゲートとの間には、イコライズ終了判定回路C12が接続される。nMOSトランジスタTDb231及びTDb232のドレインとnMOSトランジスタTSb23のゲートとの間には、イコライズ終了判定回路C23が接続される。
さらに、レギュレータ141_1、141_2、141_3のnMOSトランジスタTOa1、TOa2、TOa3は、配線LOUT1、LOUT2、LOUT3をそれぞれ介して、電圧VOUT1、VOUT2、VOUT3をそれぞれ出力する。
図10に示したレギュレータ群14Abにおいては、以下の関係が成り立つ。
[{Rb12・(TDb12のチャネル幅)/(TDb12のチャネル長)}/{Ra1・(TDa1のチャネル幅)/(TDa1のチャネル長)}]>1
ここで、Rb12及びRa1はそれぞれ抵抗値を示す。TDb12は、TDb121あるいはTDb122を示す。
ここで、Rb12及びRa1はそれぞれ抵抗値を示す。TDb12は、TDb121あるいはTDb122を示す。
また、Ra1=Ra2=Ra3
(TDa1のチャネル幅)=(TDa2のチャネル幅)=(TDa3のチャネル幅)
(TDa1のチャネル長)=(TDa2のチャネル長)=(TDa3のチャネル長)
Rb13=Rb12=Rb23
(TDb13のチャネル幅)=(TDb12のチャネル幅)=(TDb23のチャネル幅)
(TDb13のチャネル長)=(TDb12のチャネル長)=(TDb23のチャネル長)
ここで、Ra2、Ra3、Rb13、Rb12及びRb23はそれぞれ抵抗値を示す。TDb13はTDb131あるいはTDb132を示し、TDb12はTDb121あるいはTDb122を示し、TDb23はTDb231あるいはTDb232を示す。
(TDa1のチャネル幅)=(TDa2のチャネル幅)=(TDa3のチャネル幅)
(TDa1のチャネル長)=(TDa2のチャネル長)=(TDa3のチャネル長)
Rb13=Rb12=Rb23
(TDb13のチャネル幅)=(TDb12のチャネル幅)=(TDb23のチャネル幅)
(TDb13のチャネル長)=(TDb12のチャネル長)=(TDb23のチャネル長)
ここで、Ra2、Ra3、Rb13、Rb12及びRb23はそれぞれ抵抗値を示す。TDb13はTDb131あるいはTDb132を示し、TDb12はTDb121あるいはTDb122を示し、TDb23はTDb231あるいはTDb232を示す。
この第3実施形態のレギュレータ群14Abは、図9に示した2つの電圧VOUT1及びVOUT2が生成されるレギュレータ群14Aaを、3つの電圧VOUT1、VOUT2、及びVOUT3が生成される回路に適用したものであり、レギュレータ群14Abの動作については記載を省略する。
3.2 電圧生成回路の他の構成例
次に、第3実施形態の電圧生成回路14が備えるレギュレータ群14Abの他の構成例について説明する。第3実施形態の電圧生成回路14は、レギュレータ群14Acまたは14Adを備える。
次に、第3実施形態の電圧生成回路14が備えるレギュレータ群14Abの他の構成例について説明する。第3実施形態の電圧生成回路14は、レギュレータ群14Acまたは14Adを備える。
3.2.1 レギュレータ群14Ac
図12は、レギュレータ群14Acの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Acは、前述したレギュレータ群14Abに対して、電圧VOUT1、VOUT2、VOUT3を駆動するドライブ回路144_1、144_2、144_3をそれぞれ追加したものである。
図12は、レギュレータ群14Acの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Acは、前述したレギュレータ群14Abに対して、電圧VOUT1、VOUT2、VOUT3を駆動するドライブ回路144_1、144_2、144_3をそれぞれ追加したものである。
図12に示すように、レギュレータ141_1、141_2、141_3に対して、ドライブ回路144_1、144_2、144_3がそれぞれ追加される。ドライブ回路144_1は、nMOSトランジスタTSc1、TCc1、TDc1、DタイプのnMOSトランジスタTOc1、ランプアップ終了判定回路C1、及び抵抗Rc1を含む。ドライブ回路144_2は、nMOSトランジスタTSc2、TCc2、TDc2、DタイプのnMOSトランジスタTOc2、ランプアップ終了判定回路C2、及び抵抗Rc2を含む。さらに、ドライブ回路144_3は、nMOSトランジスタTSc3、TCc3、TDc3、DタイプのnMOSトランジスタTOc3、ランプアップ終了判定回路C3、及び抵抗Rc3を含む。以降、ドライブ回路144と記した場合、ドライブ回路144_1、144_2、144_3の各々を示すものとする。
以下に、ドライブ回路144_1の回路接続を述べる。
DタイプのnMOSトランジスタTOc1のドレインには、電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTOc1のソースは、配線LOUT1に接続される。
nMOSトランジスタTSc1のドレインには、抵抗Rc1を介して電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTSc1のソースは、直列接続されたnMOSトランジスタTCc1、TDc1を介して接地電圧端GNDに接続される。nMOSトランジスタTSc1のソースとnMOSトランジスタTCc1のドレイン間のノードは、nMOSトランジスタTOc1のゲートに接続される。さらに、nMOSトランジスタTDc1のゲートは、増幅回路AP1の出力端子に接続される。
ランプアップ終了判定回路C1は、前述したイコライズ終了判定回路143と同じ回路構成を有する。nMOSトランジスタTCc1のソースとnMOSトランジスタTDc1のドレイン間のノードは、ランプアップ終了判定回路C1のコンパレータCP1の入力端に接続される。ランプアップ終了判定回路C1のレベルシフタRS1の出力端は、nMOSトランジスタTSc1のゲートに接続される。
次に、ドライブ回路144_2の回路接続を述べる。
DタイプのnMOSトランジスタTOc2のドレインには、電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTOc2のソースは、配線LOUT2に接続される。
nMOSトランジスタTSc2のドレインには、抵抗Rc2を介して電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTSc2のソースは、直列接続されたnMOSトランジスタTCc2、TDc2を介して接地電圧端GNDに接続される。nMOSトランジスタTSc2のソースとnMOSトランジスタTCc2のドレイン間のノードは、nMOSトランジスタTOc2のゲートに接続される。さらに、nMOSトランジスタTDc2のゲートは、増幅回路AP2の出力端子に接続される。
ランプアップ終了判定回路C2は、イコライズ終了判定回路143と同じ回路構成を有する。nMOSトランジスタTCc2のソースとnMOSトランジスタTDc2のドレイン間のノードは、ランプアップ終了判定回路C2のコンパレータCP1の入力端に接続される。ランプアップ終了判定回路C2のレベルシフタRS1の出力端は、nMOSトランジスタTSc2のゲートに接続される。
次に、ドライブ回路144_3の回路接続を述べる。
DタイプのnMOSトランジスタTOc3のドレインには、電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTOc3のソースは、配線LOUT3に接続される。
nMOSトランジスタTSc3のドレインには、抵抗Rc3を介して電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTSc3のソースは、直列接続されたnMOSトランジスタTCc3、TDc3を介して接地電圧端GNDに接続される。nMOSトランジスタTSc3のソースとnMOSトランジスタTCc3のドレイン間のノードは、nMOSトランジスタTOc3のゲートに接続される。さらに、nMOSトランジスタTDc3のゲートは、増幅回路AP3の出力端子に接続される。
ランプアップ終了判定回路C3は、イコライズ終了判定回路143と同じ回路構成を有する。nMOSトランジスタTCc3のソースとnMOSトランジスタTDc3のドレイン間のノードは、ランプアップ終了判定回路C3のコンパレータCP1の入力端に接続される。ランプアップ終了判定回路C3のレベルシフタRS1の出力端は、nMOSトランジスタTSc3のゲートに接続される。
レギュレータ群14Acのその他の回路構成は、図11に示したレギュレータ群14Abの回路構成と同様である。
次に、レギュレータ群14Acの動作について説明する。
ドライブ回路144_1は、電圧VOUT1を目標電圧まで上昇させる期間で動作し、配線LOUT1を駆動する。これにより、電圧VOUT1は、第1実施形態及び第2実施形態と比べて、短い時間で目標電圧に到達する。同様に、ドライブ回路144_2、144_3は、電圧VOUT2、電圧VOUT3を目標電圧までそれぞれ上昇させる期間で動作し、配線LOUT2、配線LOUT3をそれぞれ駆動する。これにより、電圧VOUT2、電圧VOUT3は、第1実施形態及び第2実施形態と比べて、短い時間で目標電圧にそれぞれ到達する。
電圧VOUT1が目標電圧に到達すると、増幅回路AP1からの電圧AO1は“H”となり、nMOSトランジスタTDc1がオン状態に遷移する。これにより、nMOSトランジスタTOc1のゲート電圧Gc1は低下し、nMOSトランジスタTOc1はオフ状態となる。これによって、ドライブ回路144_1による電圧VOUT1の昇圧は停止する。
また、ドライブ回路144_1内のランプアップ終了判定回路C1は、電圧VOUT1が目標電圧に到達したか否かを検知し、ランプ終了信号RUP_EN1をアサートあるいはネゲートする。すなわち、電圧VOUT1が目標電圧に到達すると、ランプアップ終了判定回路C1は、アサートされたランプ終了信号RUP_EN1(例えば、“L”)をnMOSトランジスタTSc1のゲートに出力する。nMOSトランジスタTSc1は、ランプ終了信号RUP_EN1(“L”)を受け取ると、オフ状態に遷移する。これにより、抵抗Rc1に流れる電流が遮断される。
同様に、電圧VOUT2が目標電圧に到達すると、増幅回路AP2から出力される電圧AO2は“H”となり、nMOSトランジスタTDc2がオン状態に遷移する。これにより、nMOSトランジスタTOc2のゲート電圧Gc2は低下し、nMOSトランジスタTOc2はオフ状態となる。これによって、ドライブ回路144_2による電圧VOUT2の昇圧は停止する。
また、ドライブ回路144_2内のランプアップ終了判定回路C2は、電圧VOUT2が目標電圧に到達したか否かを検知し、ランプ終了信号RUP_EN2をアサートあるいはネゲートする。すなわち、電圧VOUT2が目標電圧に到達すると、ランプアップ終了判定回路C2は、アサートされたランプ終了信号RUP_EN2(例えば、“L”)をnMOSトランジスタTSc2のゲートに出力する。nMOSトランジスタTSc2は、ランプ終了信号RUP_EN2(“L”)を受け取ると、オフ状態に遷移する。これにより、抵抗Rc2に流れる電流が遮断される。
同様に、電圧VOUT3が目標電圧に到達すると、増幅回路AP3からの出力電圧AO3は“H”となり、nMOSトランジスタTDc3がオン状態に遷移する。これにより、nMOSトランジスタTOc3のゲート電圧Gc3は低下し、nMOSトランジスタTOc3はオフ状態となる。これによって、ドライブ回路144_3による電圧VOUT3の昇圧は停止する。
また、ドライブ回路144_3内のランプアップ終了判定回路C3は、電圧VOUT3が目標電圧に到達したか否かを検知し、ランプ終了信号RUP_EN3をアサートあるいはネゲートする。すなわち、電圧VOUT3が目標電圧に到達すると、ランプアップ終了判定回路C3は、アサートされたランプ終了信号RUP_EN3(例えば、“L”)をnMOSトランジスタTSc3のゲートに出力する。nMOSトランジスタTSc3は、ランプ終了信号RUP_EN3(“L”)を受け取ると、オフ状態に遷移する。これにより、抵抗Rc3に流れる電流が遮断される。
レギュレータ群14Acのその他の動作は、図11に示したレギュレータ群14Abの動作と同様である。
3.2.2 レギュレータ群14Ad
図13は、レギュレータ群14Adの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Adは、前述したレギュレータ群14Abに対して、電圧VOUT1、VOUT2を駆動するドライブ回路144_1、144_2をそれぞれ追加したものである。言い換えると、レギュレータ群14Acにおいて、電圧VOUT3を駆動するドライブ回路144_3を削除したものである。このようなレギュレータ群14Adは、電圧VOUT3が供給される配線(例えば、ワード線WL)の容量負荷が小さい場合に用いられる。
図13は、レギュレータ群14Adの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Adは、前述したレギュレータ群14Abに対して、電圧VOUT1、VOUT2を駆動するドライブ回路144_1、144_2をそれぞれ追加したものである。言い換えると、レギュレータ群14Acにおいて、電圧VOUT3を駆動するドライブ回路144_3を削除したものである。このようなレギュレータ群14Adは、電圧VOUT3が供給される配線(例えば、ワード線WL)の容量負荷が小さい場合に用いられる。
レギュレータ群14Adのその他の回路構成は、図11に示したレギュレータ群14Abの回路構成と同様である。また、レギュレータ群14Adの動作は、ドライブ回路144_3の動作を除いて、図12に示したレギュレータ群14Acと同様である。
3.3 第3実施形態の効果
第3実施形態によれば、前述した第1実施形態と同様に、動作速度を向上できる半導体記憶装置を提供することが可能である。
第3実施形態によれば、前述した第1実施形態と同様に、動作速度を向上できる半導体記憶装置を提供することが可能である。
さらに、第3実施形態の電圧生成回路は、個々のレギュレータが生成する電圧VOUTを昇圧するためのドライブ回路144を有する。ドライブ回路144は、電圧VOUTを目標電圧までそれぞれ上昇させる期間で動作し、電圧VOUTが目標電圧までそれぞれ到達すると動作を停止する。
これにより、第1及び第2実施形態に比べて、昇圧すべき電圧VOUTを目標電圧まで高速に昇圧することができる。さらに、電圧VOUTが目標電圧まで到達したことを検知して、レギュレータの動作を停止できる。このため、電圧VOUTを目標電圧まで昇圧した後、電圧VOUTを昇圧しない期間は、電圧VOUTに対応するドライブ回路144に流れる電流を削減することができる。その他の効果は、前述した第2実施形態と同様である。
4.第4実施形態
次に、第4実施形態の半導体記憶装置について説明する。第1〜第3実施形態では、電圧VOUTを出力するトランジスタとイコライズを行うトランジスタにnMOSトランジスタを用いたが、第4実施形態は、これらのトランジスタに、pチャネルMOS電界効果トランジスタ(以下、pMOSトランジスタ)を用いたものである。第4実施形態では、第1実施形態と異なる点について主に説明する。
次に、第4実施形態の半導体記憶装置について説明する。第1〜第3実施形態では、電圧VOUTを出力するトランジスタとイコライズを行うトランジスタにnMOSトランジスタを用いたが、第4実施形態は、これらのトランジスタに、pチャネルMOS電界効果トランジスタ(以下、pMOSトランジスタ)を用いたものである。第4実施形態では、第1実施形態と異なる点について主に説明する。
4.1 電圧生成回路
第4実施形態の電圧生成回路14はレギュレータ群14Aeを備える。図14は、第4実施形態におけるレギュレータ群14Aeの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Aeは、2つのレギュレータ145_1、145_2、及びイコライズ回路146を含む。
第4実施形態の電圧生成回路14はレギュレータ群14Aeを備える。図14は、第4実施形態におけるレギュレータ群14Aeの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Aeは、2つのレギュレータ145_1、145_2、及びイコライズ回路146を含む。
以下に、レギュレータ145_1の回路接続を述べる。
レギュレータ145_1は、低電圧増幅回路AP1A、nMOSトランジスタTCa1、TDa1、及びpMOSトランジスタTOa1A、抵抗Ra1、及び可変抵抗VR1を含む。
pMOSトランジスタTOa1Aのソースには、電圧VSUPが供給される。pMOSトランジスタTOa1Aのドレインは、可変抵抗VR1を介して接地電圧端GNDに接続される。pMOSトランジスタTOa1Aのドレインと可変抵抗VR1間のノードは、配線LOUT1に接続される。配線LOUT1は電圧VOUT1を出力する。
また、nMOSトランジスタTCa1のドレインには、抵抗Ra1を介して電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTCa1のソースは、nMOSトランジスタTDa1を介して接地電圧端GNDに接続される。nMOSトランジスタTCa1のドレインと抵抗Ra1間のノードは、pMOSトランジスタTOa1Aのゲートに接続される。
増幅回路AP1Aの反転入力(−)端子(第1入力端子)には、可変抵抗VR1の抵抗制御端が接続され、電圧VS1が入力される。増幅回路AP1Aの非反転入力(+)端子(第2入力端子)には、リファレンス電圧VREFが入力される。増幅回路AP1Aの出力端子は、nMOSトランジスタTDa1のゲートに接続される。増幅回路AP1Aの出力端子とnMOSトランジスタTDa1のゲート間のノードは、イコライズ回路146のnMOSトランジスタTDb121のゲートに接続される。
次に、レギュレータ145_2の回路接続を述べる。
レギュレータ145_2は、低電圧増幅回路AP2A、nMOSトランジスタTCa2、TDa2、及びpMOSトランジスタTOa2A、抵抗Ra2、及び可変抵抗VR2を含む。
pMOSトランジスタTOa2Aのソースには、電圧VSUPが供給される。pMOSトランジスタTOa2Aのドレインは、可変抵抗VR2を介して接地電圧端GNDに接続される。pMOSトランジスタTOa2Aのドレインと可変抵抗VR2間のノードは、配線LOUT2に接続される。配線LOUT2は電圧VOUT2を出力する。
また、nMOSトランジスタTCa2のドレインには、抵抗Ra2を介して電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTCa2のソースは、nMOSトランジスタTDa2を介して接地電圧端GNDに接続される。nMOSトランジスタTCa2のドレインと抵抗Ra2間のノードは、pMOSトランジスタTOa2Aのゲートに接続される。
増幅回路AP2Aの反転入力(−)端子(第1入力端子)には、可変抵抗VR2の抵抗制御端が接続され、電圧VS2が入力される。増幅回路AP2Aの非反転入力(+)端子(第2入力端子)には、リファレンス電圧VREFが入力される。増幅回路AP2Aの出力端子は、nMOSトランジスタTDa2のゲートに接続される。増幅回路AP2Aの出力端子とnMOSトランジスタTDa2のゲート間のノードは、イコライズ回路146のnMOSトランジスタTDb122のゲートに接続される。
次に、イコライズ回路146の回路接続について述べる。
イコライズ回路146は、nMOSトランジスタTDb121、TDb122、TCb12、pMOSトランジスタTEQA、及び抵抗Rb12を含む。nMOSトランジスタTDb121とnMOSトランジスタTDb122は、同一のトランジスタ特性を有する。
nMOSトランジスタTCb12のドレインには、抵抗Rb12を介して電圧VSUPが供給される。nMOSトランジスタTCb12のドレインと抵抗Rb12間のノードは、pMOSトランジスタTEQAのゲートに接続される。pMOSトランジスタTEQAのソース(またはドレイン)は配線LOUT1に接続され、pMOSトランジスタTEQAのドレイン(またはソース)は配線LOUT2に接続される。
nMOSトランジスタTCb12のソースは、直列接続されたnMOSトランジスタTDb121、TDb122を介して接地電圧端GNDに接続される。言い換えると、nMOSトランジスタTCb12のソースと接地電圧端GNDとの間に、nMOSトランジスタTDb121及びTDb122が直列に接続される。
前述したレギュレータ145_1、145_2、及びイコライズ回路146においては、第1実施形態と同様に以下の関係が成り立つ。
[{Rb12・(TDb12のチャネル幅)/(TDb12のチャネル長)}/{Ra1・(TDa1のチャネル幅)/(TDa1のチャネル長)}]>1
ここで、Rb12及びRa1はそれぞれ抵抗値を示す。TDb12は、TDb121あるいはTDb122を示す。
ここで、Rb12及びRa1はそれぞれ抵抗値を示す。TDb12は、TDb121あるいはTDb122を示す。
また、Ra1=Ra2
(TDa1のチャネル幅)=(TDa2のチャネル幅)
(TDa1のチャネル長)=(TDa2のチャネル長)
ここで、Ra2は抵抗値を示す。
(TDa1のチャネル幅)=(TDa2のチャネル幅)
(TDa1のチャネル長)=(TDa2のチャネル長)
ここで、Ra2は抵抗値を示す。
その他の構成は、図7を用いて説明した第1実施形態の構成と同様である。
次に、第4実施形態におけるレギュレータ群14Aeの動作について説明する。図15は、第4実施形態のレギュレータ群14Aeの動作を示す電圧波形図である。
増幅回路AP1Aの非反転入力(+)端子には、リファレンス電圧VREFが入力され、反転入力(−)端子には、可変抵抗VR1から電圧VS1が入力される。増幅回路AP1Aは、リファレンス電圧VREFと電圧VS1との電圧差を増幅して電圧AO1を出力する。電圧AO1は、電圧VS1(あるいは電圧VOUT1)の変化に従って連続的に変化する。増幅回路AP1Aから出力される電圧AO1は、nMOSトランジスタTDa1のゲートとnMOSトランジスタTDb121のゲートに入力される。
増幅回路AP2Aの非反転入力(+)端子には、リファレンス電圧VREFが入力され、反転入力(−)端子には、可変抵抗VR2から電圧VS2が入力される。増幅回路AP2Aは、リファレンス電圧VREFと電圧VS2との電圧差を増幅して電圧AO2を出力する。増幅回路AP2Aから出力される電圧AO2は、nMOSトランジスタTDa2のゲートとnMOSトランジスタTDb122のゲートに入力される。nMOSトランジスタTDb121及びTDb122は、pMOSトランジスタTEQAのゲート電圧Gb12を“H”に上昇させるプルアップ回路として機能する。
前述した構成において、レギュレータ145_1及び145_2の動作がスタートすると、pMOSトランジスタTEQAがオン状態にあるため、図15に示すように、電圧VOUT1及び電圧VOUT2は、同一電圧で同一の傾きで上昇する。そして、電圧VOUT1及び電圧VOUT2は、電圧VOUT1の目標電圧に到達する。電圧VOUT1が目標電圧に到達すると、増幅回路AP1Aから出力される電圧AO1は“L”となり、nMOSトランジスタTDa1及びTDb121はオフ状態に遷移する。これにより、pMOSトランジスタTEQAのゲート電圧Gb12は上昇し、pMOSトランジスタTEQAはオフ状態に遷移する。これによって、配線LOUT1と配線LOUT2間は、接続状態から遮断状態に遷移する。
その後、電圧VOUT2は、上昇を続け、目標電圧に達する。電圧VOUT2が目標電圧に達すると、増幅回路AP2Aから出力される電圧AO2は“L”となり、nMOSトランジスタTDa2はオフ状態に遷移する。
なお、nMOSトランジスタTOa1A、TOa2Aのゲート電圧Ga1、Ga2は、電圧VOUT2より高く、電圧VSUPより低い電圧で一定となる。pMOSトランジスタTEQAのゲート電圧Gb12は、電圧VSUPより低い電圧で一定となる。
4.2 電圧生成回路の他の構成例
次に、第4実施形態の電圧生成回路14が備えるレギュレータ群14Aeの他の構成例について説明する。第4実施形態の電圧生成回路14はレギュレータ群14Afを備える。
次に、第4実施形態の電圧生成回路14が備えるレギュレータ群14Aeの他の構成例について説明する。第4実施形態の電圧生成回路14はレギュレータ群14Afを備える。
図16は、レギュレータ群14Afの構成を示す回路図である。レギュレータ群14Afは、前述したレギュレータ群14Aeに対して、イコライズ回路146の構成を変更したものである。レギュレータ群14Afは、2つのレギュレータ145_1、145_2、及びイコライズ回路146Aを含む。
以下に、イコライズ回路146Aの回路接続について述べる。
イコライズ回路146Aは、nMOSトランジスタTDb121、TDb122、TDb121A、TDb122A、TCb12、pMOSトランジスタTEQA、及び抵抗Rb12を含む。nMOSトランジスタTDb121、TDb122、TDb121A及びTDb122Aは、同一のトランジスタ特性を有する。
nMOSトランジスタTCb12のソースは、直列接続されたnMOSトランジスタTDb1221、TDb1211を介して接地電圧端GNDに接続されると共に、直列接続されたnMOSトランジスタTDb1212、TDb1222を介して接地電圧端GNDに接続される。言い換えると、nMOSトランジスタTCb12のソースと接地電圧端GNDとの間に、直列接続されたnMOSトランジスタTDb1221、TDb1211と、直列接続されたnMOSトランジスタTDb1212、TDb1222とが並列に接続される。
増幅回路AP1Aの出力端子とnMOSトランジスタTDa1のゲート間のノードは、イコライズ回路146AのnMOSトランジスタTDb121及びTDb121Aのゲートに接続される。増幅回路AP2Aの出力端子とnMOSトランジスタTDa2のゲート間のノードは、イコライズ回路146AのnMOSトランジスタTDb122及びTDb122Aのゲートに接続される。レギュレータ群14Afのその他の構成は、図14に示したレギュレータ群14Aeと同様である。
前述したレギュレータ145_1、145_2、及びイコライズ回路146Aにおいては、以下の関係が成り立つ。
[{Rb12・(TDb12のチャネル幅)/(TDb12のチャネル長)}/{Ra1・(TDa1のチャネル幅)/(TDa1のチャネル長)}]>0.5
ここで、Rb12及びRa1はそれぞれ抵抗値を示す。TDb12は、TDb121あるいはTDb122、TDb121A、TDb122Aを示す。
ここで、Rb12及びRa1はそれぞれ抵抗値を示す。TDb12は、TDb121あるいはTDb122、TDb121A、TDb122Aを示す。
また、Ra1=Ra2
(TDa1のチャネル幅)=(TDa2のチャネル幅)
(TDa1のチャネル長)=(TDa2のチャネル長)
ここで、Ra2は抵抗値を示す。
(TDa1のチャネル幅)=(TDa2のチャネル幅)
(TDa1のチャネル長)=(TDa2のチャネル長)
ここで、Ra2は抵抗値を示す。
次に、第4実施形態におけるレギュレータ群14Afの動作について説明する。
レギュレータ群14Afの動作は、nMOSトランジスタTCb12のソースと接地電圧端GND間に、直列接続のnMOSトランジスタTDb121A、TDb122Aが追加されたことにより、配線LOUT1とLOUT2間における接続状態から遮断状態への切り換えが高速化できる。その他の動作は、図14に示したレギュレータ群14Aeと同様である。
4.3 第4実施形態の効果
第4実施形態によれば、前述した第1実施形態と同様に、動作速度を向上できる半導体記憶装置を提供することが可能である。
第4実施形態によれば、前述した第1実施形態と同様に、動作速度を向上できる半導体記憶装置を提供することが可能である。
さらに、第4実施形態では、第1実施形態で用いたnMOSトランジスタTOa1、TOa2、TEQに換えて、pMOSトランジスタTOa1A、TOa2A、TEQAを用いることができ、第1実施形態と同様な効果を得ることができる。
5.その他変形例等
前記実施形態では半導体記憶装置としてNAND型フラッシュメモリを例に説明したが、NAND型フラッシュメモリに限らず、その他の半導体メモリ全般に適用でき、さらには半導体メモリ以外の種々の記憶装置に適用できる。
前記実施形態では半導体記憶装置としてNAND型フラッシュメモリを例に説明したが、NAND型フラッシュメモリに限らず、その他の半導体メモリ全般に適用でき、さらには半導体メモリ以外の種々の記憶装置に適用できる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
10…半導体記憶装置、11…メモリセルアレイ、12…ロウデコーダ、13…ドライバ、14…電圧生成回路、14A,14Aa,14Ab,14Ac,14Ad,14Ae,14Af,14B,14C…レギュレータ群、15…センスアンプ、16…アドレスレジスタ、17…コマンドレジスタ、18…シーケンサ、20…コントローラ、141_1,141_2,141_3…レギュレータ、142,142A,142A_1,142A_2,142A_3,…イコライズ回路、143…イコライズ終了判定回路、144_1,144_2,144_3…ドライブ回路、145_1,145_2…レギュレータ、146,146A…イコライズ回路、C1,C2,C3…ランプアップ終了判定回路、C13,C12,C23…イコライズ終了判定回路。
Claims (14)
- 第1メモリセルに接続された第1ワード線と、
第2メモリセルに接続された第2ワード線と、
前記第1ワード線に電気的に接続された第1配線に第1電圧を供給し、前記第2ワード線に電気的に接続された第2配線に第2電圧を供給する電圧生成回路と、
を具備し、
前記電圧生成回路は、
前記第1配線に前記第1電圧を出力すると共に、前記第1電圧に応じて第1信号を出力する第1レギュレータと、
前記第2配線に前記第2電圧を出力すると共に、前記第2電圧に応じて第2信号を出力する第2レギュレータと、
前記第1信号または前記第2信号の少なくともいずれかの信号に基づいて、前記第1配線と前記第2配線との間を接続状態または遮断状態のいずれかの状態に保持するスイッチ回路とを備える半導体記憶装置。 - 前記第1レギュレータは、前記第1電圧と第3電圧との電圧差を増幅して、前記第1信号を出力する増幅回路を備える請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1レギュレータから出力される前記第1信号は、前記第1電圧の変化に従って連続的に変化する請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記スイッチ回路は、
前記第1配線と前記第2配線との間に電気的に接続された第1トランジスタと、
前記第1トランジスタのゲートに電気的に接続され、前記第1信号により動作するプルダウン回路と、
を備える請求項1に記載の半導体記憶装置。 - プルダウン回路は第2トランジスタを有し、
前記第2トランジスタのゲートに前記第1信号が供給され、第1端に前記第1トランジスタのゲートが電気的に接続され、第2端に接地電圧が供給される請求項4に記載の半導体記憶装置。 - 前記スイッチ回路は、
前記第1配線と前記第2配線との間に電気的に接続された第1トランジスタと、
前記第1トランジスタのゲートと接地電圧端との間に、並列に接続された第2トランジスタ及び第3トランジスタとを備え、
前記第2トランジスタのゲートに前記第1信号が供給され、前記第3トランジスタのゲートに前記第2信号が供給される請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記スイッチ回路は、
前記第1配線と前記第2配線との間に電気的に接続された第1トランジスタと、
前記第1トランジスタのゲートに電気的に接続され、前記第1信号及び前記第2信号により動作するプルアップ回路と、
を備える請求項1に記載の半導体記憶装置。 - プルダウン回路は第2トランジスタ及び第3トランジスタを有し、
前記第2トランジスタのゲートに前記第1信号が供給され、前記第3トランジスタのゲートに前記第2信号が供給され、
前記第3トランジスタの第1端に前記第1トランジスタのゲートが電気的に接続され、前記第3トランジスタの第2端に前記第2トランジスタの第1端が電気的に接続され、前記第2トランジスタの第2端に接地電圧が供給される請求項7に記載の半導体記憶装置。 - 前記スイッチ回路は、
前記第1配線と前記第2配線との間に電気的に接続された第1トランジスタと、
前記第1トランジスタのゲートと接地電圧端との間に、直列に接続された第2トランジスタ及び第3トランジスタとを備え、
前記第2トランジスタのゲートに前記第1信号が供給され、前記第3トランジスタのゲートに前記第2信号が供給される請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記第1トランジスタはnチャネルMOS電界効果トランジスタを含む請求項4に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1トランジスタはpチャネルMOS電界効果トランジスタを含む請求項7に記載の半導体記憶装置。
- 前記スイッチ回路が前記接続状態から前記遮断状態に遷移したとき、前記スイッチ回路に流れる電流を遮断する第1回路をさらに具備する請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1トランジスタのゲート電圧を受信し、前記ゲート電圧に応じて第3信号を出力する第1回路と、
前記第2トランジスタの前記第1端と第4電圧端との間に電気的に接続され、前記第3信号に基づいて接続状態または遮断状態のいずれかの状態を持つ第3トランジスタと、
をさらに備える請求項5に記載の半導体記憶装置。 - 前記第1配線と前記第1ワード線との間、及び前記第2配線と前記第2ワード線との間に電気的に接続され、前記第1配線から前記第1ワード線に前記第1電圧を転送し、前記第2配線から前記第2ワード線に前記第2電圧を転送するデコーダをさらに備える請求項1に記載の半導体記憶装置。
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