JP2003273693A - 圧電共振子及びそれを用いた圧電フィルタ・デュプレクサ・通信装置 - Google Patents

圧電共振子及びそれを用いた圧電フィルタ・デュプレクサ・通信装置

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JP2003273693A JP2002201766A JP2002201766A JP2003273693A JP 2003273693 A JP2003273693 A JP 2003273693A JP 2002201766 A JP2002201766 A JP 2002201766A JP 2002201766 A JP2002201766 A JP 2002201766A JP 2003273693 A JP2003273693 A JP 2003273693A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】スプリアス振動の影響をきわめて小さくできる
圧電共振子などを提供する。 【解決手段】基板２と、基板２に形成されている、少な
くとも１層以上の圧電薄膜を有する薄膜部の上下面を少
なくとも一対の上部電極６及び下部電極５を厚み方向で
対向させて挟む構造の振動部とを有する圧電共振子にお
いて、振動部の上部電極６及び下部電極５が対向して重
なる部分の形状は、厚み方向視で、長さが振動波長の１
０倍以下である平行な辺を有し、且つ対向しあう電極端
面間の距離が異なっている部分を少なくとも１箇所以上
有する、長方形及び正方形以外の四角形、または五角形
以上の多角形である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板と、前記基板
に形成されている、少なくとも１層以上の圧電薄膜を有
する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極および
下部電極を厚み方向で対向させて挟む構造の振動部とを
有する圧電共振子に関し、例えば、携帯電話、無線ＬＡ
Ｎ等の発振器やフィルタ等の素子として用いられる圧電
共振子及びそれを用いた圧電フィルタ・デュプレクサ・
通信装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電共振子において、厚み縦振動モード
で使用するものにおいては、上下電極の厚み方向で重な
る部分、つまり振動部となる電極交差部分の厚み方向視
形状が単なる矩形の場合、その交差部分の矩形の対向す
る２辺間の長さで、Ｓｎ（ｎ＝０，１，２，３……自然
数）モード振動の共振周波数が決まるものである。特
に、振動部の厚み方向視形状が正方形の場合、その対向
する２辺間の長さが同じだから、一方の対向する２辺間
の長さできまるＳｎ（ｎ＝０，１，２，３……自然数）
モード振動の共振周波数と、他方の対向する２辺間の長
さできまるＳｎ（ｎ＝０，１，２，３……自然数）モー
ド振動の共振周波数とは同じになる。
【０００３】一方、圧電共振子として、上下電極の交差
部分の厚み方向視形状が円形のものの場合、振動波長と
の関係はその直径の大きさに対応づけられるものであっ
て、Ｓｎ（ｎ＝０，１，２，３……自然数）モード振動
の共振周波数は、別々のｎの値に対し、各１個きまる。
【０００４】ところが、圧電共振子として、上下電極の
交差部分の厚み方向視形状が長方形の場合、一方の対向
する２辺間の長さと他方の対向する２辺間の長さが異な
るため、一方の対向する２辺間の長さできまるＳｎモー
ド振動の共振周波数と、他方の対向する２辺間の長さで
きまるＳｎモード振動の共振周波数とが異なり、全体で
は数多くの共振周波数のスプリアス振動が発生すること
になる。
【０００５】このことから、振動部の厚み方向視形状が
長方形の場合、正方形や円形のものと比較してスプリア
ス振動の影響が大きく作用することが予測されることも
あって、従来、一般的に採用されてこなかった。
【０００６】したがって、従来においては、振動部の形
状が単に正方形か、円形となるものが主に採用されてい
た。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
ように振動部の形状が正方形や円形のものの場合、主振
動のレスポンスを大きくするためにその振動部の対向す
る２辺間の長さや径を大きくすると、一般に、共振点
と、反共振点との間隔が広がっていって、その圧電共振
子のＱが低下する傾向がある。つまり、対向電極の重な
り部分の厚み方向視形状が円形や正方形である場合に
は、その寸法が大きくなるほど、Ｑが小さくなり、損失
が増える。
【０００８】例えば、特開２００２−９５７９号公報に
開示されているように、振動部の厚み方向視形状が円形
または円形を内包する任意の形状であって、その振動部
の半径ｒと振動部の厚さｔとの関係がｒ≧２０ｔ／ｎと
なっているものの場合、電極寸法が大きくなってしま
う。また、Ｑが低下するため、その圧電共振子を用いて
作製したフィルタの挿入損失が劣化するという問題があ
る。この従来の場合の周波数と、位相およびインピーダ
ンスとの関係の一例を図３１に示している。
【０００９】この場合、スプリアスの影響によるリップ
ルが多数生じているとともに、主振動に接近してスプリ
アス振動が生じることで主振動との干渉のおそれが高ま
るなど共振特性として安定性が低いものとなりやすい。
【００１０】また、電極端部で反射する横モード振動の
高調波のうち厚み縦振動の共振周波数帯に出現するモー
ドを抑制するために、例えば特開２０００−３３２５６
８号公報に開示されているように、振動部部分の形状を
不等辺四角形などに構成するものが提案されている。
【００１１】しかしながら、このような形状のものの場
合、振動部を振動可能に支えるダイヤフラムは、電極に
外接する方形よりも大きいことが必要である。そして、
電極形状が不規則であるため、例えば、面積の等しい方
形の電極に比べて、大きなダイヤフラムが必要となり、
小型化が図れないものである。
【００１２】本発明は、上記実状に鑑みてなされたもの
であって、スプリアス振動の影響をきわめて小さくでき
る圧電共振子およびそれを用いたフィルタ・デュプレク
サ・通信装置の提供を解決課題としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明に係る第１の圧電
共振子は、基板と、前記基板に形成されている、少なく
とも１層以上の圧電薄膜を有する薄膜部の上下面を少な
くとも一対の上部電極及び下部電極を厚み方向で対向さ
せて挟む構造の振動部とを有する圧電共振子において、
前記振動部の前記上部電極及び下部電極が対向して重な
る部分の形状は、前記厚み方向視で、長さが振動波長の
１０倍以下である平行な辺を有し、且つ対向しあう電極
端面間の距離が異なっている部分を少なくとも１箇所以
上有する、長方形及び正方形以外の四角形であることを
特徴とする。
【００１４】本発明に係る第１の圧電共振子において、
対向しあう電極端面間の距離が異なっている部分とは、
振動部の厚み方向視形状に対応した電極形状の対向する
辺の組として互いの辺が平行でない部分があることを意
味する。このような部分では辺に沿った方向において、
対向する辺間の距離が連続的にまたは一部不連続に変わ
ることになる。また、振動部の上部電極及び下部電極が
対向して重なる部分の形状において、平行な辺の組が２
組以上ある場合、少なくとも１組の平行な辺間の距離と
他の平行な辺の組の平行な辺間の距離が異なるものとす
ることが好ましい。
【００１５】本発明に係る第１の圧電共振子によれば、
振動部の上部電極及び下部電極が対向して重なる部分の
形状は、厚み方向視で、長さが振動波長の１０倍以下で
ある平行な辺を有し、且つ対向しあう電極端面間の距離
が異なっている部分を少なくとも１箇所以上有する、長
方形及び正方形以外の四角形であることによって、同じ
面積を有する長方形のものと比較してその長手方向と交
差する方向で発生するスプリアスは細かい振動となるの
で、それらスプリアスが主振動に対する大きなリップル
として作用しなくなるからインピーダンス特性や位相特
性が向上する。
【００１６】本発明に係る第２の圧電共振子は、基板
と、前記基板に形成されている、少なくとも１層以上の
圧電薄膜を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上
部電極及び下部電極を厚み方向で対向させて挟む構造の
振動部とを有する圧電共振子において、前記振動部の前
記上部電極及び下部電極が対向して重なる部分の形状
は、前記厚み方向視で、長さが振動波長の１０倍以下で
ある平行な辺を有し、且つ対向しあう電極端面間の距離
が異なっている部分を少なくとも１箇所以上有する、五
角形以上の多角形であることを特徴とする。
【００１７】本発明に係る第２の圧電共振子において、
対向しあう電極端面間の距離が異なっている部分とは、
振動部の厚み方向視形状に対応した電極形状の対向する
辺の組として互いの辺が平行でない部分があることを意
味する。このような部分では辺に沿った方向において、
対向する辺間の距離が連続的にまたは一部不連続に変わ
ることになる。
【００１８】本発明に係る第２の圧電共振子によれば、
振動部の前記上部電極及び下部電極が対向して重なる部
分の形状は、前記厚み方向視で、長さが振動波長の１０
倍以下である平行な辺を有し、且つ対向しあう電極端面
間の距離が異なっている部分を少なくとも１箇所以上有
する、五角形以上の多角形であることによって、同じ面
積を有する長方形のものと比較してその長手方向と交差
する方向で発生するスプリアスは細かい振動となるの
で、それらスプリアスが主振動に対する大きなリップル
として作用しなくなるからインピーダンス特性や位相特
性が向上する。
【００１９】なお、本発明に係る第１および第２の圧電
共振子のように、振動部の厚み方向視形状において、互
いに平行な辺の長さが振動波長の１０倍以下であること
が好ましいことは、本発明者が行った実験結果からも判
明する。すなわち、本発明者は、圧電共振子の振動部の
厚み方向視での形状において、平行な辺の長さが振動波
長との比の異なる多数種類の試料を用意し、それぞれの
試料についてスプリアスがどの程度発生しているかを実
験により計測し、図３２に示すような実験データを得
た。スプリアスはインピーダンス若しくは位相で評価す
るが、図３２では位相で評価した。位相で評価する場
合、主振動に対する角度差で評価する。つまり、位相の
角度差が小さいと、スプリアスは小さくなる。図３２か
らわかるように、振動部の厚み方向視での形状におい
て、平行な辺の長さが振動波長の１０倍以下の場合、ス
プリアスの発生が主振動に対して位相角度との関係でい
えば、相対的な角度差が１５度以下の小さいものとなっ
ていることが判明した。よって、振動部分の厚み方向視
の形状において、平行な辺の長さが振動波長の１０倍以
下になると、スプリアスが小さくなる。
【００２０】本発明に係る第１または第２の圧電共振子
は、好ましくは、前記振動部の前記上部電極及び下部電
極が対向して重なる部分の形状は、前記厚み方向視で、
線対称、または、点対称である。この場合、振動部の形
状に規則性があるので、スプリアス同士の相殺も生じや
すいなどにより、圧電共振子におけるインピーダンス特
性や位相特性が一層向上する。
【００２１】本発明に係る第２の圧電共振子は、好まし
くは、前記振動部の前記上部電極及び下部電極が重なる
部分の形状は、前記厚み方向視で、八角形であることを
特徴とする。この場合、インピーダンス特性や位相特性
の優れた圧電共振子が得られる。また、この場合、好ま
しくは、前記振動部の前記上部電極及び下部電極が重な
る部分の形状は、前記厚み方向視で、長八角形である。
この場合、前記振動部の前記上部電極及び下部電極が重
なる部分の前記厚み方向視での形状における短手方向長
さをｂとし、該形状における長手方向で両端に位置する
短手方向に沿った辺の長さをｄとすると、ｄ／ｂ≦０．
５を満たすことが好ましい。
【００２２】このようにすると、従来に比して、スプリ
アスの発生や影響が抑制されるので、位相特性やインピ
ーダンス特性にいっそう優れた圧電共振子を得ることが
できる。
【００２３】本発明に係る第１の圧電共振子は、好まし
くは、前記振動部の前記上部電極及び前記下部電極が対
向して重なる部分の形状は、前記厚み方向視で、ひし形
または台形である。この場合、インピーダンス特性や位
相特性の優れた圧電共振子が得られる。
【００２４】本発明の第３の圧電共振子は、基板と、前
記基板に形成されている、少なくとも１層以上の圧電薄
膜を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極
及び下部電極を厚み方向で対向させて挟む構造の振動部
とを有する圧電共振子において、前記振動部の前記上部
電極及び下部電極が対向して重なる部分の形状は、前記
厚み方向視で、平行な辺がなく、かつ線対称図形である
ことを特徴とする。
【００２５】本発明の第３の圧電共振子によれば、振動
部の形状に規則性があるので、スプリアス同士の相殺も
生じやすいなどにより、圧電共振子におけるインピーダ
ンス特性や位相特性が向上する。
【００２６】本発明の第３の圧電共振子は、好ましく
は、前記振動部の前記上部電極及び下部電極が対向して
重なる部分の形状は、前記厚み方向視で、二等辺三角形
または七角形である。この場合、インピーダンス特性や
位相特性の優れた圧電共振子が得られる。
【００２７】本発明に係る第１ないし第３の圧電共振子
は、好ましくは、前記振動部の前記上部電極及び前記下
部電極が対向して重なる部分の長手方向長さは主振動の
共振波長の２０倍以上に設定されている。この場合、そ
の長手方向の振動サイズによって発生するスプリアスを
一層低減できる。
【００２８】本発明に係る第１ないし第３の圧電共振子
は、好ましくは、前記基板は開口部もしくは凹部を有
し、前記開口部もしくは凹部上に前記振動部が形成され
ている。この場合、ダイヤフラム型に構成される圧電振
動子についてスプリアスの低減を図ることができる。
【００２９】本発明に係る第１ないし第３の圧電共振子
は、好ましくは、前記振動部は、前記上部電極及び下部
電極を通して印加される電気信号によって厚み縦振動モ
ードで振動する。この場合、厚み縦振動する構成の圧電
振動子についてスプリアスの低減を図ることができる。
【００３０】本発明に係る圧電フィルタは、本発明に係
る第１ないし第３の圧電共振子を用いている、または、
本発明に係る第１ないし第３の圧電共振子を用いて、ラ
ダー構成にしたことを特徴とする。このように構成され
た圧電フィルタは、圧電共振子でのスプリアスが低減す
るので、それによりリップルの発生が低減されたフィル
タ特性の優れた圧電フィルタが得られる。
【００３１】本発明に係るデュプレクサは、本発明に係
る圧電共振子または圧電フィルタを用いていることを特
徴とする。本発明に係るデュプレクサは、圧電共振子で
のスプリアスが低減するので、それによりリップルの発
生が低減されたフィルタ特性の優れたデュプレクサが得
られる。
【００３２】本発明に係る通信装置は、本発明に係る圧
電共振子または圧電フィルタを用いていることを特徴と
する。本発明に係る通信装置は、圧電共振子でのスプリ
アスが低減するので、特性の優れた通信装置が得られ
る。
【００３３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図面に示す
実施形態に基づいて説明する。
【００３４】（実施形態１）図１および図２は、本発明
に係る圧電共振子の実施形態１を示しており、図１は、
圧電共振子の概略を示す縦断側面図、図２は、圧電共振
子の概略を示す平面図である。
【００３５】この圧電共振子１は、例えば共振周波数が
１．９５ＧＨｚに近い厚み縦振動の２倍波を利用したも
のである。なお、基本波、３倍波、４倍波、ｎ倍波（ｎ
＝５，６，７，……自然数）でもかまわない。そして、
圧電共振子１は、基板２上に、支持膜３、圧電薄膜部
４、電極５，６薄膜が積層状態に形成されたものであ
る。
【００３６】すなわち、圧電共振子１は、図１に示すよ
うに、振動空間としての平面視矩形の開口部８を有する
基板２と、該基板２の表面に形成された支持膜３と、該
支持膜３上に形成された下部電極５と、該下部電極５上
に形成された圧電薄膜部４と、該圧電薄膜部４上に形成
された上部電極６とから構成されている。
【００３７】基板２は、例えばシリコン、パイレックス
（登録商標）ガラス、石英などの板状体で形成されてい
る。その中央部には、後述する振動部７が振動できるよ
うにするために、基板２に上下に貫通する開口部８を、
例えばエッチング、レーザ加工、サンドブラストなどの
方法によって基板２を構成する部材が所定形状に除去さ
れて形成されている。なお、本実施形態では、シリコン
を基板２として用いる。
【００３８】そして、支持膜３は、その上に形成された
下部電極５、圧電薄膜部４、上部電極６を支持して開口
部８において振動可能なダイヤフラムを構成する。詳述
すると、この場合、支持膜３は、基板２の表面に開口部
８を被覆する状態で形成された酸化シリコン（Ｓｉ
Ｏ2）の薄膜層３ａと、この薄膜層３ａ上にさらに成膜
された酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）の薄膜層３ｂとで
構成されている。この支持膜３の材質としては、酸化シ
リコン以外に例えば窒化シリコン（ＳｉＮ）、窒化アル
ミニウムなどを用いても良い。特に、支持膜３は、圧縮
応力と引張応力という相反する応力を有する２層以上の
多層構造であることが好ましい。
【００３９】この支持膜３上には、まず下部電極５が薄
膜として形成されている。この下部電極５は、アルミニ
ウムで形成されている。
【００４０】この下部電極５および支持膜２上には、酸
化亜鉛（ＺｎＯ）からなる圧電薄膜部４が形成されてい
る。なお、圧電薄膜部４としては、窒化アルミニウム
（ＡｌＮ）、ＰＺＴなどを用いても良い。また、圧電薄
膜部４は、少なくとも１層以上の圧電薄膜を含むもので
あり、圧電体のみで構成されてもよく、あるいは、圧電
薄膜を１層以上含み、その圧電薄膜とは別の例えば絶縁
膜層などを含む構成でもよい。
【００４１】その圧電薄膜部４の上面には、下部電極５
とは一部が厚み方向で重なり合うよう対向させた状態で
上部電極６を薄膜として形成している。この上部電極６
も、下部電極５と同様にアルミニウムで形成されてい
る。なお、下部電極５、上部電極６を形成する素材とし
ては、アルミニウムに代えて、金（Ａｕ）、銀（Ａ
ｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）、ニッケル（Ｎｉ）な
どを用いても良い。
【００４２】そして、下部電極５および上部電極６がそ
れぞれ外部電極に接続された状態で圧電共振子１は封止
されている。
【００４３】下部電極５と上部電極６との厚み方向での
重なり部分の形状は、図２に示すように、細長形状の八
角形状（長八角形）となっている。すなわち、下部電極
５は長方形の短辺の両端の角部を落とした形状を有し、
上部電極６も長方形の短い辺の両端の角部を落とした形
状を有しており、これらの対向して重なる部分の形状は
細長形状の八角形状となっている。上部電極６をこのよ
うな形状にすることにより、配線を太くできるので、配
線抵抗の低減による共振子のＱの向上、ひいてはフィル
タ特性の向上が可能となる。この重なり部分の形状は、
細長い長方形の長手方向の両端の一対の隅角部を対応す
る辺と辺とにわたって斜めに欠いた形状となっている。
なお、この重なり部分の厚み方向視の形状は、長手方向
での中心を通りかつその長手方向に対し直交する直線を
仮想中心線とする線対称図形である。
【００４４】この重なり部分において、圧電薄膜部４で
は、下部電極５および上部電極６を通して供給される高
周波信号により圧電振動することになる。上部電極５、
下部電極６および圧電薄膜部４、及び、その下の絶縁膜
３におけるこの圧電振動する部分を以下、振動部７とい
う。
【００４５】この厚み方向視で細長形状の八角形状を成
す振動部７は、図１および図２に示すように、その長手
方向長さａが主振動（Ｓ0モード）の振動波長λに対し
て２０λ以上の長さに設定されている。なお、長手方向
と直交するその短手方向長さｂについては主振動の振動
波長λに対して５λ以下の長さに設定されていても良い
とともに、５λを超える寸法に設定されていても良い。
【００４６】なお、振動部７の長辺の長さａは、主振動
の振動波長λに対して８０λ以上の長さに設定されるこ
とが一層好ましい。
【００４７】なお、その振動部７の長手方向長さａの上
限は、主振動の共振波長と圧電共振子１のそのチップサ
イズに合わせて設定されるものであり、振動部７の短手
方向長さｂの下限は、主振動の振動波長λと同程度であ
る。
【００４８】この厚み方向視で細長形状の八角形状を成
す振動部に構成された圧電共振子の具体的な特性につい
て、図４から図８に以下本発明者が行なった実験により
得られたデータを示す。
【００４９】図３に、振動部の寸法の取り方を示してい
る。すなわち、厚み方向視で細長形状の八角形の振動部
における長手方向長さをａとし、短手方向長さをｂと
し、長手方向に沿って平行な二辺の長さをｃとし、短手
方向に沿って平行な二辺の長さをｄとする。なお、平行
な二辺の対向するもの同士は同じ長さに設定している。
【００５０】表１には、図４から図８に示した各試料の
振動部の各寸法と、ｄ／ｂの値をそれぞれ示している。
この場合、各寸法は、主共振周波数における振動波長と
の比で示している。
【００５１】
【表１】 この表１で示される試料１は、図４（ａ）にその厚み方
向視形状が示され、図４（ｂ）にその計測されたインピ
ーダンス特性及び位相特性が示されている。同様に、試
料２は、図５に、試料３は、図６に、試料４は、図７
に、試料５は、図８に、それぞれ、各図（ａ）にその厚
み方向視形状が示され、各図（ｂ）にその計測されたイ
ンピーダンス特性及び位相特性が示されている。
【００５２】図４から図８に示される試料１から試料５
の圧電共振子では、平行な二辺の長さが振動波長の１０
倍以下であり、その平行な二辺以外の対向する電極端面
間長さが長手方向でも短手方向でも異なること、およ
び、振動部の上部電極及び下部電極が対向して重なる部
分の形状において、その電極端面における平行な辺の組
が２組以上ある場合、少なくとも１組の平行な辺間の距
離、すなわちそれらの辺に対応する電極端面間の距離
と、他の平行な辺の組の平行な辺間の距離、すなわちそ
れらの辺に対応する電極端面間の距離とが異なる。この
ため、電極端面間において生じる振動によって発生する
スプリアスが低減されている。なお、ここで提示した各
試料においては、ｄ／ｂの値が０．５以下であるため、
これにより、一層スプリアスの発生が抑制されている。
【００５３】（実施形態２）次に、本発明に係る圧電共
振子を備えるフィルタの一例を実施形態２として、図
９、図１０、図１１に基づいて以下に説明する。１個の
圧電共振子１を入力−出力端子間に直列接続し、１個の
圧電共振子を入力−グランド間に並列接続したＬ型ラダ
ーフィルタ１１を図９ないし図１１に示している。
【００５４】具体的には、図９に示すように、このラダ
ーフィルタ１１は、１チップ化された構成となってい
る。すなわち、上記実施形態１と同様シリコンからなる
基板１２に振動空間としての開口部１８を形成し、この
開口部１８を被覆するように基板１２表面に酸化シリコ
ンからなる支持膜１３を形成している。そして、この支
持膜１３上に、下部電極１５を形成し、この下部電極１
５及び支持膜１３上に圧電振動体としての酸化亜鉛（Ｚ
ｎＯ）からなる圧電薄膜１４を積層状態で形成してい
る。なお、支持膜１３は、基板２の表面に開口部１８を
被覆する状態で形成された酸化シリコン（ＳｉＯ2）の
薄膜層１３ａと、この薄膜層３ａ上にさらに成膜された
酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）からなる薄膜層１３ｂと
で構成されている。さらに、圧電薄膜１４の上面には、
上部電極１６ａと上部電極１６ｂとが、下部電極１５と
一部厚み方向で重なるように形成している。下部電極１
５と上部電極１６ａとの厚み方向で重なる部分の厚み方
向視形状、および、下部電極１５と上部電極１６ｂとの
厚み方向で重なる部分の厚み方向視形状は、それぞれ、
長八角形を成すものである。ここで、下部電極１５と上
部電極１６ａとが重なる部分で一つの直列圧電共振子１
９ａが形成され、下部電極１５と上部電極１６ｂとが重
なる部分で一つの並列圧電共振子１９ｂが形成されてい
る。
【００５５】圧電薄膜部１４を含む下部電極１５と上部
電極１６ａとの厚み方向で重なる部分は、下部電極１５
および上部電極１６ａを通して供給される高周波信号に
より圧電振動する振動部１７ａを成すものである。ま
た、圧電薄膜部４を含む下部電極１５と上部電極１６ｂ
との厚み方向で重なる部分は、下部電極１５および上部
電極１６ｂを通して供給される高周波信号により圧電振
動する振動部１７ｂを成すものである。
【００５６】振動部１７ａ、振動部１７ｂの厚み方向視
形状長八角形の長手方向の長さは、主共振周波数の波長
λの２０倍以上に設定され、該長八角形の短手方向の長
さは、主共振周波数の波長λの５倍以下に設定されてい
る。
【００５７】このラダーフィルタ１１は、上記のように
構成されていることにより、各圧電共振子１９ａ，１９
ｂで発生するスプリアスが低減するため、フィルタ特性
のリップルが低減することになり、特性が向上する。
【００５８】（実施形態３）次に、本発明に係る圧電共
振子の実施形態１とは異なる別の形態について、図１、
図１２および図１３に基づいて説明する。なお、図１に
ついては、この実施形態３における圧電共振子の縦断側
面図として、実施形態１と同様の構造が示されている。
したがって、構成として実施形態１と相違する振動部７
の厚み方向視での形状等について以下に説明し、実施形
態１と同様の構造については説明を省略する。
【００５９】図１２に示すように、圧電共振子１の振動
部７は、その厚み方向視で、二等辺三角形状となってい
る。そして、この場合、その振動部７の等辺のそれぞれ
の長さは主共振周波数の波長の６６．２倍に設定され、
底辺の長さは４０．９倍に設定されている。
【００６０】この圧電共振子１のインピーダンス特性及
び位相特性を図１３にグラフとして示している。この圧
電共振子１の場合、厚み方向視での振動部の形状が二等
辺三角形となっていることにより、その等辺同士の対向
する辺間距離が先端側ほど短くなるものとなっているか
ら、振動部を構成するその等辺に相当する電極端面間距
離が辺に沿って異なるものとなっており、それによっ
て、図１３に示すように、振動部７の形状に規則性があ
るので、スプリアス同士の相殺も生じやすくなるなどに
より、圧電共振子におけるインピーダンス特性や位相特
性が向上する。
【００６１】（実施形態４）次に、本発明に係る圧電共
振子の実施形態１とは異なる別の形態について、図１、
図１４および図１５に基づいて説明する。なお、図１に
ついては、この実施形態４における圧電共振子の縦断側
面図として、実施形態１と同様の構造が示されている。
したがって、構成として実施形態１と相違する振動部７
の厚み方向視での形状等について以下に説明し、実施形
態１と同様の構造については説明を省略する。
【００６２】図１４に示すように、圧電共振子１の振動
部７は、その厚み方向視で、ひし形となっている。そし
て、この場合、平行な２組の辺のその長さＬが振動波長
の１０倍以下となっている。
【００６３】この圧電共振子のインピーダンス特性及び
位相特性を図１５にグラフとして示している。このよう
に、厚み方向視ひし形状の振動部に構成されているとと
もに、その対向する辺同士が平行な対向する辺のその長
さＬが振動波長の１０倍以下となっているから、規則性
のある形態のなかにおいてスプリアスを互いに相殺させ
合うことなどにより低減させ易いものとなっており、図
１５に示すように、リップルがほとんど生じない良好な
特性が得られる。
【００６４】（実施形態５）次に、本発明に係る圧電共
振子の実施形態１とは異なる別の形態について、図１、
図１６および図１７に基づいて説明する。なお、図１に
ついては、この実施形態５における圧電共振子の縦断側
面図として、実施形態１と同様の構造が示されている。
したがって、構成として実施形態１と相違する振動部７
の厚み方向視での形状等について以下に説明し、実施形
態１と同様の構造については説明を省略する。
【００６５】図１６に示すように、圧電共振子１の振動
部７は、その厚み方向視で、四組の隣り合う辺同士が凹
角となり、４組の隣り合う辺同士が凸角となる線対称の
形状に構成された八角形形状となっている。
【００６６】この圧電共振子のインピーダンス特性及び
位相特性を図１７にグラフとして示している。このよう
に、厚み方向視での振動部７の形状が対向する辺間の距
離、それらの辺に対応する電極端面間の距離が辺に沿っ
た方向で変わるとともに、線対称図形となっているか
ら、規則性のある形態のなかにおいてスプリアスを互い
に相殺させ合うことなどにより低減させ易いものとなっ
ており、図１７に示すように、リップルがほとんど生じ
ない良好な特性が得られる。
【００６７】（実施形態６）次に、本発明に係る圧電共
振子の実施形態１とは異なる別の形態について、図１、
図１８および図１９に基づいて説明する。なお、図１に
ついては、この実施形態６における圧電共振子の縦断側
面図として、実施形態１と同様の構造が示されている。
したがって、構成として実施形態１と相違する振動部７
の厚み方向視での形状について以下に説明し、実施形態
１と同様の構造については説明を省略する。
【００６８】図１８に示すように、圧電共振子１の振動
部７は、その厚み方向視で、線対称図形である七角形形
状となっている。
【００６９】この圧電共振子１のインピーダンス特性及
び位相特性を図１９にグラフとして示している。この圧
電共振子１の場合、厚み方向視での振動部７の形状が線
対称図形である七角形となっていることにより、対向す
る辺同士において平行なものはなく、したがって、その
辺同士の対向する辺間距離が辺に沿った方向で変わるも
のとなっているから、振動部を構成するそれらの辺に対
応する電極端面間距離が辺に沿った位置によって異なる
ものとなっており、かつ線対称であることによって、振
動部７の形状に規則性があるので、スプリアス同士の相
殺も生じやすくなるなどにより、図１９に示すように、
圧電共振子におけるインピーダンス特性や位相特性が向
上する。
【００７０】（実施形態７）次に、本発明に係る圧電共
振子の実施形態１とは異なる別の形態について、図１、
図２０および図２１に基づいて説明する。なお、図１に
ついては、この実施形態７における圧電共振子の縦断側
面図として、実施形態１と同様の構造が示されている。
したがって、構成として実施形態１と相違する振動部７
の厚み方向視での形状について以下に説明し、実施形態
１と同様の構造については説明を省略する。
【００７１】図２０に示すように、圧電共振子１の振動
部７は、その厚み方向視で、線対称図形である台形形状
となっている。そして、この場合、台形の一組の平行な
辺の長さ、この場合短い方の辺の長さＬが振動波長の１
０倍以下に設定してある。
【００７２】この圧電共振子のインピーダンス特性及び
位相特性を図２１にグラフとして示している。このよう
に、厚み方向視線対称の台形形状の振動部７に構成され
ているとともに、その対向する辺同士が平行な対向する
辺のその長さＬが振動波長の１０倍以下となっているか
ら、規則性のある形態のなかにおいてスプリアスを互い
に相殺させ合うことなどにより低減させ易いものとなっ
ており、図２１に示すように、リップルがほとんど生じ
ない良好な特性が得られる。
【００７３】（実施形態８）次に、本発明に係るデュプ
レクサについて説明する。図２２に示されるようなデュ
プレクサ２０は、アンテナ端子２１、受信側端子２２お
よび送信側端子２３が設けられている。デュプレクサ２
０は、受信側端子２２および送信側端子２３と、アンテ
ナ端子２１との間に所要周波数帯域の通過のみ許す本発
明に係る圧電共振子、または本発明に係る圧電フィルタ
を回路素子として備える構成となっている。本発明に係
る圧電共振子またはこの圧電共振子により構成される圧
電フィルタを回路素子として構成されることにより、こ
のデュプレクサ２０の送信や受信での特性や性能が高め
られる。
【００７４】（実施形態９）例えば携帯電話端末装置
や、ＬＡＮ装置などの各種の通信装置として用いられる
本発明に係る通信装置について説明する。図２３に、そ
の通信装置の簡易なブロック図を示している。
【００７５】通信装置２４は、図２３に示すように、本
体に備えられる受信回路２５と、送信回路２６と、アン
テナ２７とを備えている。また、アンテナ２７と、送信
回路２６および受信回路２５とは、上記実施形態８で説
明したようなデュプレクサ２０を介して信号伝送がなさ
れる。したがって、このデュプレクサ２０に回路素子と
して備えられる本発明に係る圧電共振子、または該圧電
共振子により構成される本発明に係る圧電フィルタによ
って、この通信装置は、送信や受信での特性や性能が高
められる。
【００７６】本発明は、上述の実施形態に限定されるも
のではなく、例えば下記に示すように種々な応用や変形
が考えられる。
【００７７】（１）上記実施の形態では、圧電共振子の
共振周波数が１．９５ＧＨｚに近いものを示したが、
１．９５ＧＨｚより高い任意の共振周波数の圧電共振子
や１．９５ＧＨｚより低い任意の共振周波数の圧電共振
子に対しても本願発明はもちろん適用できる。
【００７８】（２）上記実施形態２では、圧電フィルタ
として、Ｌ型ラダーフィルタを示したが、例えば、図２
４（ａ）に示すように、２つの直列圧電共振子と、２つ
の並列圧電共振子とを接続して構成されたπ型ラダーフ
ィルタ、図２４（ｂ）に示すように、並列圧電共振子を
出力端子とグランド端子とに接続して構成されるＬ型ラ
ダーフィルタ、図２４（ｃ）に示すように、２つの直列
圧電共振子と、１つの並列圧電共振子とを接続して構成
されたＴ型ラダーフィルタなど、各種圧電フィルタに本
発明に係る圧電共振子を採用できる。また、上記実施形
態２では、フィルタを単一素子として構成できるよう、
２つの圧電共振子を並設する状態で形成したものを示し
たが、３つ以上の圧電共振子を単一素子として構成して
も良いとともに、その配置も一定方向に沿って並設され
るものに限定されない。
【００７９】（３）上記実施の形態では、振動部の厚み
方向視での形状を細長状の八角形のものを示したが、本
発明に係る圧電共振子における振動部７の厚み方向視の
形状としては、図２５〜図２８などに開示されたもので
も良い。
【００８０】すなわち、図２５（ａ）に示すものは、振
動部７の形状が横長の六角形状となっているものであっ
て、その平行な対向する辺の長さが振動波長λの１０倍
以下となっている。図２５（ｂ）に示すものは、振動部
７の形状が横長の楕円となっているものであって、その
長手方向長さＬが少なくとも振動波長λの２０倍以上と
なっている。図２５（ｃ）に示すものは、振動部７の形
状が半円となっているものであって、その長手方向長さ
Ｌが少なくとも振動波長λの２０倍以上となっている。
図２５（ｄ）に示すものは、その形状が鋭角２等辺三角
形となっているものであって、その長手方向長さＬ（こ
の場合短辺とそれに対する頂点までの距離Ｌ）が少なく
とも振動波長λの２０倍以上となっている。図２５
（ｅ）に示すものは、その形状が各４辺が階段状となっ
ている菱形となっているものであって、その平行な対向
する辺の長さが振動波長λの１０倍以下となっていると
ともに、その長さ方向長さＬが少なくとも振動波長λの
２０倍以上となっている。これら、図２５にそれぞれ示
す振動部の厚み方向視形状は、所定幅方向での中心を通
りかつその所定幅方向に対し直交する直線を仮想中心線
とする線対称図形である。
【００８１】また、図２６（ａ）に示すものは、その形
状が横長の十六角形となっているものであって、その平
行な対向する辺の長さが振動波長λの１０倍以下となっ
ているとともに、その長手方向長さＬが少なくとも振動
波長λの２０倍以上となっている。図２６（ｂ）に示す
ものは、その形状が細長の七角形となっているものであ
って、線対称図形となっているとともに、その長手方向
長さＬが少なくとも振動波長λの２０倍以上となってい
る。図２６（ｃ）に示すものは、その形状が細長の八角
形の４辺が凸曲線を描くものであって、その平行な対向
する辺の長さが振動波長λの１０倍以下となっていると
ともに、その長手方向長さＬが少なくとも振動波長λの
２０倍以上となっている。図２６（ｄ）に示すものは、
その形状が細長の八角形の４辺が凹曲線を描くものであ
って、その平行な対向する辺の長さが振動波長λの１０
倍以下となっているとともに、その長手方向長さＬが少
なくとも振動波長λの２０倍以上となっている。これ
ら、図２６にそれぞれ示す振動部の厚み方向視形状は、
所定幅方向での中心を通りかつその所定幅方向に対し直
交する直線を仮想中心線とする左右対称図形である。
【００８２】また、図２７（ａ）に示すものは、その形
状がその長手方向長さＬ１と短手方向長さＬ２との比が
１１：３となる菱形であって、その平行な対向する辺の
長さが振動波長λの１０倍以下となっている。図２７
（ｂ）に示すものは、その形状がその長手方向長さＬ１
と短手方向長さＬ２との比が６：１となる菱形であっ
て、その平行な対向する辺の長さが振動波長λの１０倍
以下となっている。。図２７（ｃ）に示すものは、その
形状が頂角３０°を成す台形となっているものであっ
て、その上辺の長さＬが振動波長λの１０倍以下となっ
ている。図２７にそれぞれ示す振動部の厚み方向視形状
は、所定幅方向での中心を通りかつその所定幅方向に対
し直交する直線を仮想中心線とする線対称図形である。
【００８３】また、図２８（ａ）に示すものは、その形
状が正方形の各辺から内側に鈍角二等辺三角形を切り欠
いているものであって、その長手方向長さＬ（この場合
正方形での対角線長さＬ）が少なくとも振動波長λの２
０倍以上となっている。図２８（ｂ）に示すものは、そ
の形状が長方形の各辺から内側に鈍角二等辺三角形を切
り欠いているものであって、その長手方向長さＬ（この
場合長方形での対角線長さＬ）が少なくとも振動波長λ
の２０倍以上となっている。これら、図２８にそれぞれ
示す振動部の厚み方向視形状は、所定幅方向での中心を
通りかつその所定幅方向に対し直交する直線を仮想中心
線とする線対称図形である。（４）上記実施形態では、
上部電極と外部電極とをつなぐリードが、振動部の長手
方向に沿った状態で上部電極につながるように形成され
たものを示したが、図２９（ａ），（ｂ）に示すよう
に、振動部７の上部電極６の長手方向に対して交差する
角度方向に沿ってリード２８を延出する状態でそのリー
ド２８と上部電極６とをつなぐようにしても良い。ここ
で、図２９（ａ）は、前記長手方向に対して３０°の角
度となる方向にリード１７が沿う場合を示し、図２９
（ｂ）は、前記長手方向に対して４５°の角度となる方
向にリード２８が沿う場合を示す。このようにリードの
沿う方向を振動部の長手方向に対して交差する方向とな
っているから、素子全体における振動部の長手方向での
必要寸法を小さくできることになって、素子として小型
化を図ることができる。
【００８４】（５）上記各実施形態では、基板に上下に
貫通する開口部を形成して振動部をその開口部に設ける
ものを示したが、本発明は、例えば、図３０に示すよう
に、基板３２の上面側に有底の空洞部を成す凹部３８を
形成して、その凹部３８を覆うように下部電極３５を絶
縁層３３を介して設け、下部電極３５上に成膜した圧電
薄膜３４上に上部電極３６を形成しすることで圧電共振
子３１を構成しても良い。
【００８５】
【発明の効果】本発明に係る第１ないし第３の圧電共振
子によれば、スプリアスが主振動に対する大きなリップ
ルとして作用しなくなるから、インピーダンス特性や位
相特性が向上し、共振特性として優れた圧電共振子が得
られる。圧電共振子をフィルタとして使用した場合、圧
電振動子のスプリアス振動の影響により通過帯域内に生
じるリップルが小さいものとなるので、例えばバンドパ
スフィルタとして信号の選別性能で優れたものが得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施形態１，３〜７に係る圧電共振
子の要部を示す縦断面図
【図２】 本発明の実施形態１に係る圧電共振子を示す
平面図
【図３】 本発明の実施形態１に係る圧電共振子の振動
部（厚み方向視八角形）を示す平面図
【図４】 本発明の実施形態１に係る圧電共振子の試料
１の振動部を示す平面図（ａ）と、その共振特性を示す
グラフ（ｂ）
【図５】 本発明の実施形態１に係る圧電共振子の試料
２の振動部を示す平面図（ａ）と、その共振特性を示す
グラフ（ｂ）
【図６】 本発明の実施形態１に係る圧電共振子の試料
３の振動部を示す平面図（ａ）と、その共振特性を示す
グラフ（ｂ）
【図７】 本発明の実施形態１に係る圧電共振子の試料
４の振動部を示す平面図（ａ）と、その共振特性を示す
グラフ（ｂ）
【図８】 本発明の実施形態１に係る圧電共振子の試料
５の振動部を示す平面図（ａ）と、その共振特性を示す
グラフ（ｂ）
【図９】 本発明の実施形態２に係る圧電フィルタを示
す平面図
【図１０】 図９におけるＡ−Ａ線断面図（ａ）、およ
び図９におけるＢ−Ｂ線断面図（ｂ）
【図１１】 図９の圧電フィルタを示す回路図
【図１２】 本発明の実施形態３に係る圧電共振子の振
動部の形状を示す平面図
【図１３】 図１２に示される圧電共振子の共振特性を
示すグラフ
【図１４】 本発明の実施形態４に係る圧電共振子の振
動部の形状を示す平面図
【図１５】 図１４に示される圧電共振子の共振特性を
示すグラフ
【図１６】 本発明の実施形態５に係る圧電共振子の振
動部の形状を示す平面図
【図１７】 図１６に示される圧電共振子の共振特性を
示すグラフ
【図１８】 本発明の実施形態６に係る圧電共振子の振
動部の形状を示す平面図
【図１９】 図１８に示される圧電共振子の共振特性を
示すグラフ
【図２０】 本発明の実施形態７に係る圧電共振子の振
動部の形状を示す平面図
【図２１】 図２０に示される圧電共振子の共振特性を
示すグラフ
【図２２】 本発明に係るデュプレクサの概略を示す説
明図
【図２３】 本発明に係る通信装置の概略を示す説明図
【図２４】 本発明に係るラダー構成の圧電フィルタの
変形例を示す回路図
【図２５】 本発明の別の実施形態の圧電共振子におけ
る振動部の厚み方向視の形状を示す平面図
【図２６】 本発明の別の実施形態の圧電共振子におけ
る振動部の厚み方向視の形状を示す平面図
【図２７】 本発明の別の実施形態の圧電共振子におけ
る振動部の厚み方向視の形状を示す平面図
【図２８】 本発明の別の実施形態の圧電共振子におけ
る振動部の厚み方向視の形状を示す平面図
【図２９】 振動部とリードとを示す平面図
【図３０】 本発明の別の実施の形態の圧電共振子の縦
断面図
【図３１】 従来の圧電共振子の共振特性を示すグラフ
【図３２】 圧電共振子の振動部の厚み方向視形状の対
向する平行な辺の長さと振動波長との比と、スプリアス
の発生状況との関係を示すグラフ
【符号の説明】
１ 圧電共振子 ２ 基板 ３ 支持膜 ４ 圧電薄膜部（薄膜部） ５ 下部電極 ６ 上部電極 ８ 開口部
フロントページの続き (72)発明者 吉野 幸夫 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 竹内 雅樹 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 後藤 義彦 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 野村 忠志 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Ｆターム(参考） 5J108 AA01 AA07 BB07 CC11 CC12 DD01 DD06 DD07

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板と、前記基板に形成されている、少
    なくとも１層以上の圧電薄膜を有する薄膜部の上下面を
    少なくとも一対の上部電極及び下部電極を厚み方向で対
    向させて挟む構造の振動部とを有する圧電共振子におい
    て、 前記振動部の前記上部電極及び下部電極が対向して重な
    る部分の形状は、前記厚み方向視で、長さが振動波長の
    １０倍以下である平行な辺を有し、且つ対向しあう電極
    端面間の距離が異なっている部分を少なくとも１箇所以
    上有する、長方形及び正方形以外の四角形であることを
    特徴とする、圧電共振子。
  2. 【請求項２】 基板と、前記基板に形成されている、少
    なくとも１層以上の圧電薄膜を有する薄膜部の上下面を
    少なくとも一対の上部電極及び下部電極を厚み方向で対
    向させて挟む構造の振動部とを有する圧電共振子におい
    て、 前記振動部の前記上部電極及び下部電極が対向して重な
    る部分の形状は、前記厚み方向視で、長さが振動波長の
    １０倍以下である平行な辺を有し、且つ対向しあう電極
    端面間の距離が異なっている部分を少なくとも１箇所以
    上有する、五角形以上の多角形であることを特徴とす
    る、圧電共振子。
  3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の圧電共振子に
    おいて、 前記振動部の前記上部電極及び下部電極が対向して重な
    る部分の形状は、前記厚み方向視で、線対称であること
    を特徴とする、圧電共振子。
  4. 【請求項４】 請求項１または２に記載の圧電共振子に
    おいて、 前記振動部の前記上部電極および下部電極が対向して重
    なる部分の形状は、前記厚み方向視で、点対称であるこ
    とを特徴とする、圧電共振子。
  5. 【請求項５】 請求項２，３，４に記載の圧電共振子に
    おいて、 前記振動部の前記上部電極及び下部電極が重なる部分の
    形状は、前記厚み方向視で、八角形であることを特徴と
    する、圧電共振子。
  6. 【請求項６】 請求項５に記載の圧電振動子において、 前記振動部の前記上部電極及び下部電極が重なる部分の
    形状は、前記厚み方向視で、長八角形であることを特徴
    とする、圧電共振子。
  7. 【請求項７】 請求項６に記載の圧電振動子において、 前記振動部の前記上部電極及び下部電極が重なる部分の
    前記厚み方向視での形状における短手方向長さをｂと
    し、該形状における長手方向で両端に位置する短手方向
    に沿った辺の長さをｄとすると、ｄ／ｂ≦０．５を満た
    すことを特徴とする、圧電共振子。
  8. 【請求項８】 請求項１，３，４に記載の圧電振動子に
    おいて、 前記振動部の前記上部電極及び前記下部電極が対向して
    重なる部分の形状は、前記厚み方向視で、ひし形である
    ことを特徴とする、圧電共振子。
  9. 【請求項９】 請求項１，３，４に記載の圧電共振子に
    おいて、 前記振動部の前記上部電極及び前記下部電極が対向して
    重なる部分の形状は、前記厚み方向視で、台形であるこ
    とを特徴とする、圧電共振子。
  10. 【請求項１０】 基板と、前記基板に形成されている、
    少なくとも１層以上の圧電薄膜を有する薄膜部の上下面
    を少なくとも一対の上部電極及び下部電極を厚み方向で
    対向させて挟む構造の振動部とを有する圧電共振子にお
    いて、 前記振動部の前記上部電極及び下部電極が対向して重な
    る部分の形状は、前記厚み方向視で、平行な辺がなく、
    かつ線対称図形であることを特徴とする、圧電共振子。
  11. 【請求項１１】 請求項１０に記載の圧電共振子におい
    て、 前記振動部の前記上部電極及び下部電極が対向して重な
    る部分の形状は、前記厚み方向視で、二等辺三角形であ
    ることを特徴とする、圧電共振子。
  12. 【請求項１２】 請求項１０に記載の圧電共振子におい
    て、 前記振動部の前記上部電極及び前記下部電極が対向して
    重なる部分の形状は、前記厚み方向視で、七角形である
    ことを特徴とする、圧電共振子。
  13. 【請求項１３】 請求項１ないし１２のいずれかに記載
    の圧電共振子において、 前記振動部の前記上部電極及び前記下部電極が対向して
    重なる部分の長手方向長さは主振動の共振波長の２０倍
    以上に設定されていることを特徴とする、圧電共振子。
  14. 【請求項１４】 請求項１ないし１３のいずれかに記載
    の圧電共振子において、 前記基板は開口部もしくは凹部を有し、前記開口部もし
    くは凹部上に前記振動部が形成されていることを特徴と
    する、圧電共振子。
  15. 【請求項１５】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
    の圧電共振子において、 前記振動部は、前記上部電極及び下部電極を通して印加
    される電気信号によって厚み縦振動モードで振動するこ
    とを特徴する、圧電共振子。
  16. 【請求項１６】 請求項１ないし１５のいずれかに記載
    の圧電共振子を用いていることを特徴とする、圧電フィ
    ルタ。
  17. 【請求項１７】 請求項１ないし１５のいずれかに記載
    の圧電共振子を用いて、ラダー構成にしたことを特徴と
    する、圧電フィルタ。
  18. 【請求項１８】 請求項１ないし１７のいずれかに記載
    の圧電共振子または圧電フィルタを用いたことを特徴と
    するデュプレクサ。
  19. 【請求項１９】 請求項１ないし１７のいずれかに記載
    の圧電共振子または圧電フィルタを用いたことを特徴と
    する、通信装置。
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