JP2010068132A - フィルタ、デュープレクサ、および通信装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に形成された下部電極2と上部電極4とで圧電膜3を挟持した圧電薄膜共振子S1〜S4を複数備えたフィルタであって、圧電薄膜共振子S1〜S4は、上部電極4と下部電極2とが重なっている電極領域4a〜4dの外郭形状が曲線を含み、複数の圧電薄膜共振子S1〜S4のうち互いに隣接する圧電薄膜共振子は、隣接対向する電極領域の外郭形状が相補形状となっている。
【選択図】図4A
Description
F=nV/2H
となる。この共振現象を利用して、膜厚によって共振周波数を制御することにより、所望の周波数特性を有する圧電薄膜共振子が作製される。更に、共振周波数が異なる複数の圧電薄膜共振子を接続することによりフィルタが作製される。
Proc. IEEE Ultrasonics Symposium、2005年、101-104頁
〔1.圧電薄膜共振子の構成(第1の構成)〕
図1は、本実施の形態の圧電薄膜共振子を用いたフィルタを説明するための図である。図1に示すように、複数の圧電薄膜共振子(直列共振子S1〜S4、並列共振器P1〜P3)を直列腕と並列腕にラダー型に配置して相互に接続することによって、所定の通過帯域を有するバンドパスフィルタを構成することができる。このタイプのフィルタは、一般に「ラダー型フィルタ」と呼ばれている。図1に示すフィルタにおいて、様々な周波数成分からなるRF信号を入力端子Inに入力すると、所望の周波数成分だけを出力端子Outから出力させることができる。図1に示す構成では、圧電薄膜共振子は直列腕に4個(S1〜S4)、並列腕に3個(P1〜P3)それぞれ配置されている。尚、要求仕様に従ったフィルタ設計に応じて、直列腕、並列腕の圧電薄膜共振子の数は適宜変更できる。並列腕の圧電薄膜共振子P1〜P3については、上部電極の膜上にチタン(Ti)等の周波数調整膜が形成されており、並列腕の圧電薄膜共振子S1〜S4の共振周波数は直列腕の圧電薄膜共振子の共振周波数より低くなるように設定されている。
図11は、本実施の形態に係るフィルタを構成する圧電薄膜共振子の第2の構成を示す。図11に示す圧電薄膜共振子は、図1に示したラダー型フィルタの直列腕の圧電薄膜共振子S1〜S4を示している。また、Z−Z部における断面図は、前述した図4Bと同等である。また、本実施の形態の圧電薄膜共振子は、図3A〜図3Cに示した製造工程に従って作製することができる。また、上部電極14と下部電極の12とが重なっている領域(電極領域)14a〜14dにドットハッチングを付与している。個々の電極領域の形状は、対向する二辺(電極領域14aの場合、外縁部14eと外縁部14f)が非平行の形状をなし、隣接する圧電薄膜共振子の上部電極と下部電極の重なり領域の間隔(例えば、電極領域14aの外縁部14fと電極領域14bの外縁部14gとの間隔)が略一定となっている。各々の圧電薄膜共振子は、図11に示す点線L21または一点鎖線L22に対して略線対称の形状をなしている。また、点線L21と一点鎖線L22で示した対称軸は、矢印AまたはBに示す方向に流れる電流の向きに対して略直交している。
図13は、本実施の形態の圧電薄膜共振子または上記フィルタを備えたデュープレクサの一例を示す。図13に示すように、デュープレクサ62は、受信フィルタ62aと送信フィルタ62bとを備えている。また、受信フィルタ62aには、例えばバランス出力に対応した受信端子63a及び63bが接続されている。また、送信フィルタ62bは、パワーアンプ64を介して送信端子65に接続している。アンテナ端子と各フィルタ間には、インピーダンス調整のために、必要に応じ整合回路(例えば位相器)が付加された構成となる場合もある。ここで、受信フィルタ62a及び送信フィルタ62bには、本実施の形態における圧電薄膜共振子が含まれている。
図14は、本実施の形態の通信モジュールを備えた通信装置の一例として、携帯電話端末のRFブロックを示す。また、図14に示す構成は、GSM(Global System for Mobile Communications)通信方式及びW−CDMA(Wideband Code Divition Multiple Access)通信方式に対応した携帯電話端末の構成を示す。また、本実施の形態におけるGSM通信方式は、850MHz帯、950MHz帯、1.8GHz帯、1.9GHz帯に対応している。また、携帯電話端末は、図14に示す構成以外にマイクロホン、スピーカー、液晶ディスプレイなどを備えているが、本実施の形態における説明では不要であるため図示を省略した。ここで、受信フィルタ73a、77、78、79、80、および送信フィルタ73bには、本実施の形態における圧電薄膜共振子またはフィルタが含まれている。
本実施の形態によれば、圧電薄膜共振子の横モードの不要波による影響を抑制しつつ、中空構造をなす電極の機械強度を損なうことなく、生産性に優れた圧電薄膜共振子を実現することができる。また、そのような圧電薄膜共振子を搭載することで、フィルタ、デュープレクサ、通信装置を小型化することができる。
基板と、前記基板上に形成された下部電極と、前記基板上および前記下部電極上に形成された圧電膜と、前記圧電膜上に前記下部電極と対向する部分を有するように形成された上部電極とを積層して備えた圧電薄膜共振子を複数備えたフィルタであって、
前記上部電極と前記下部電極とが重なっている電極領域の形状は、少なくとも一組の対向する非平行な外辺を有する形状であり、
前記一組の外辺のうちいずれか一方の外辺が、隣接する他の圧電薄膜共振子の電極領域と対向し、
前記一方の外辺に対向する前記他の圧電薄膜共振子の電極領域の外辺と、前記一方の外辺との間隔が一定である、フィルタ。
前記複数の圧電薄膜共振子のうち互いに隣接する圧電薄膜共振子は、隣接対向する電極領域の外郭形状が相補形状となっている、付記1記載のフィルタ。
前記電極領域の外辺は、曲線を含む、付記1または2に記載のフィルタ。
前記電極領域の形状は、略線対称である、付記1から3のいずれか一項に記載のフィルタ。
少なくとも隣り合う3つの圧電薄膜共振子の電極領域の間隔が略一定となって配置されている、付記1記載のフィルタ。
前記電極領域の略線対称軸が電流が流れる向きと略平行あるいは略直角になっている、付記1に記載のフィルタ。
基板と、前記基板上に形成された下部電極と、前記基板上および前記下部電極上に形成された圧電膜と、前記圧電膜上に前記下部電極と対向する部分を有するように形成された上部電極とを積層して備えた圧電薄膜共振子を複数備えたフィルタであって、
前記圧電薄膜共振子は、前記上部電極と前記下部電極とが重なった電極領域において、電流が流れる向きに対して平行な方向の長さが電流が流れる向きに対して垂直な方向の長さより短く、
少なくとも2つの隣接する圧電薄膜共振子の電極領域の間隔が略一定となっている、フィルタ。
前記電極領域に対応する部位における前記下部電極の下方に、前記電極領域を包含する空隙を備えた、付記1〜7の何れか一項記載のフィルタ。
圧電膜と上部電極と下部電極とを備えた積層膜は、前記基板の平坦主面上に形成され、
前記電極領域に対応する部位における前記下部電極の下方に、前記電極領域を包含する略ドーム形状の空隙を備えた、付記1〜7の何れか一項記載のフィルタ。
圧電膜と上部電極と下部電極とを備えた積層膜の応力が圧縮応力である、付記1〜7の何れか一項記載のフィルタ。
前記圧電膜は、窒化アルミニウムまたは酸化亜鉛を主成分とする材料で形成されている、付記1〜10の何れか一項記載のフィルタ。
前記下部電極および上部電極の少なくとも一方は、ルテニウム膜を含む、付記1〜11の何れか一項記載のフィルタ。
前記圧電膜の外周の少なくとも一部は、前記電極領域の外周より内側に設けられている、付記1〜12の何れか一項記載のフィルタ。
前記圧電薄膜共振子がラダー型に接続されている、付記1〜13の何れか一項記載のフィルタ。
付記1〜14の何れか一項記載のフィルタを備えた、デュープレクサ。
付記1〜14の何れか一項記載のフィルタを備えた、通信装置。
2 下部電極
3 圧電膜
4 上部電極
6 空隙
Claims (6)
- 基板と、前記基板上に形成された下部電極と、前記基板上および前記下部電極上に形成された圧電膜と、前記圧電膜上に前記下部電極と対向する部分を有するように形成された上部電極とを積層して備えた圧電薄膜共振子を複数備えたフィルタであって、
前記上部電極と前記下部電極とが重なっている電極領域の形状は、少なくとも一組の対向する非平行な外辺を有する形状であり、
前記一組の外辺のうちいずれか一方の外辺が、隣接する他の圧電薄膜共振子の電極領域と対向し、
前記一方の外辺に対向する前記他の圧電薄膜共振子の電極領域の外辺と、前記一方の外辺との間隔が一定である、フィルタ。 - 前記複数の圧電薄膜共振子のうち互いに隣接する圧電薄膜共振子は、対向する電極領域の形状が相補形状となっている、請求項1記載のフィルタ。
- 前記電極領域の外辺は、曲線を含む、請求項1または2に記載のフィルタ。
- 前記電極領域の形状は、略線対称である、請求項1から3のいずれか一項に記載のフィルタ。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載のフィルタを備えた、デュープレクサ。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載のフィルタを備えた、通信装置。
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